CN220788778U - 一种低压化学气相沉积技术用供气管 - Google Patents
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Abstract
一种低压化学气相沉积技术用供气管，涉及半导体镀膜技术领域，包括不锈钢管，不锈钢管壁上设置有导气孔，不锈钢管上缠绕有避开导气孔的数个钢丝圈，相邻钢丝圈之间的间距为1mm—5mm，钢丝圈的钢丝直径为0.5mm—3mm。本实用新型与已有技术相比，具有能显著延长供气管使用寿命的优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体镀膜技术领域，尤其涉及一种低压化学气相沉积技术用供气管。
背景技术
低压化学气相沉积技术，用于光伏电池片或者其他半导体电子元器件的镀膜，现有的该镀膜技术所使用的供气管是一根表面光滑的不锈钢管，供气管被插挂在镀膜设备中输送和喷淋氧、硅烷、硼、磷液态或气体物质，这些物质在镀膜设备中经过高温和化学反应产生特殊气体，这些特殊气体在镀膜设备里经过高温化学反应会产生沉淀物，附着在镀膜设备里面的光伏电池片或者其他半导体电子元器件上，形成一层固体膜，从而达到镀膜设备设计的镀膜工艺效果；
但是由于插挂在镀膜设备内的供气管，也被镀膜设备内高温反应的特殊气体完全包围，这些特殊气体除了按正常工艺要求在光伏电池片或半导体元器件上镀上固体膜之外，也会在镀膜设备内的供气管表面沉淀堆积，在这些光滑的不锈钢供气管表面镀上同样的固体膜；
随着镀膜设备使用时间的增加，供气管上的固体膜越镀越厚，在固体膜自身重力的作用下，加上钢管表面光滑，附着力弱，固体膜很快就会出现硅裂和爆膜的现象，从而使得镀膜设备出现落脏和掉渣，掉落到光伏电池片或其他半导体电子元器件上，形成产品瑕疵，降低产品良率，极大的影响了镀膜设备的镀膜效果；
已有技术为了提高光伏电池片或其他半导体电子元器件镀膜的良品率，供气管必须在其表面的这层固体膜镀层堆积厚度还不足以使其出现硅裂、掉落爆膜的时候，就要更换为新的供气管，所以这层固体膜的厚薄程度直接决定了供气管的使用时长；由于现有供气管表面光滑、附着力弱，在其表面固体镀膜镀层相对较薄的时候就开始脱落，供气管必须更换，这就是现有镀膜设备供气管使用寿命短的主要原因。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种能显著延长供气管使用寿命的低压化学气相沉积技术用供气管。
本实用新型明的低压化学气相沉积技术用供气管是这样实现的，包括不锈钢管，其特别之处在于不锈钢管上缠绕有数个钢丝圈，相邻钢丝圈之间的间距为1mm—5mm，钢丝圈的钢丝直径为0.5mm—3mm。
为了提高光伏电池片或其他半导体电子元器件镀膜的良品率，供气管必须在其表面的这层固体膜镀层堆积厚度还不足以使其出现硅裂、掉落爆膜的时候，就要更换为新的供气管，所以这层固体膜的厚薄程度直接决定了供气管的使用时长，由于现有供气管表面光滑、附着力弱，在其表面固体镀膜镀层相对较薄的时候就开始脱落，供气管必须更换，这就是现有镀膜设备供气管使用寿命短的主要原因。
在缠绕钢丝后，增加了钢管表面积，且钢丝与钢丝的间距形成特殊的内三角结构，对半导体进行低压化学气相沉积镀膜过程中，堆积在不锈钢外表面的堆积物呈内三角形状，被钢丝与钢丝之间的内三角结构所咬合，从而使得供气管表面附着力得到极大提高，钢管表面的固体膜的堆积厚度也得到极大的提升，大大的增加供气管的使用寿命，极大的减少镀膜设备供气管的更换频率。
采用钢丝圈，将钢丝圈从钢管上取下的同时，也同时将附着在钢丝圈上的固体膜清除下来，方便了供气管重新投入使用。
优选地，不锈钢管壁上设置有导气孔，数个钢丝圈呈螺纹圈状分布，螺纹圈状的钢丝圈有数段，分别设置在导气孔旁的供气管壁上。采用螺纹圈状的钢丝圈，既避开导气孔，不会遮盖导气孔，同时，利用螺纹圈状的钢丝圈的弹性紧箍在不锈钢管上，不容易移位，保证相邻钢丝圈之间的间距稳定，在使用过程中不会发生改变。
优选地，不锈钢管外表面进行表面喷砂处理。喷砂处理后，增加了钢管表面积和粗糙度，从而使不锈钢管外表面附着物有着巨大的咬合力，从而使得供气管表面附着力得到极大提高。
本实用新型与已有技术相比，具有能显著延长供气管使用寿命的优点。
附图说明
图1为本发明低压化学气相沉积技术用供气管的结构示意图;
图2为本发明低压化学气相沉积技术用供气管使用时的状态图。
附图标记说明：A-堆积物； 1-不锈钢管；2-导气孔；3-钢丝圈；4-内三角结构。
具体实施方式
现结合附图和实施例对本实用新型低压化学气相沉积技术用供气管做进一步详细描述：
如图所示，本实用新型包括不锈钢管1，不锈钢管1壁上设置有导气孔2，其特别之处在于不锈钢管1上缠绕有避开导气孔2的数个钢丝圈3，相邻钢丝圈3之间的间距为1mm—5mm，钢丝圈3的钢丝直径为0.5mm—3mm，如图2所示，对半导体进行低压化学气相沉积镀膜过程中，堆积在不锈钢1外表面的堆积物A呈内三角形状，被钢丝与钢丝之间的内三角结构4所咬合。 当然，如果不锈钢管1采用的是不锈钢管1壁上没有设置有导气孔2的情形（有些低压化学气相沉积技术仅使用直通管导气技术），那么，数个钢丝圈3就沿不锈钢管1轴线分布，而不需要考虑避开导气孔2了。
数个钢丝圈3呈螺纹圈状分布，螺纹圈状的钢丝圈3有数段，分别设置在导气孔2旁的供气管壁上。
钢丝圈3的截面形状是圆形或者椭圆形。
不锈钢管1外表面进行表面喷砂处理。
Claims (4)
1.一种低压化学气相沉积技术用供气管，包括不锈钢管，其特征在于不锈钢管上缠绕有数个钢丝圈，相邻钢丝圈之间的间距为1mm—5mm，钢丝圈的钢丝直径为0.5mm—3mm。
2.根据权利要求1所述的低压化学气相沉积技术用供气管，其特征在于，数个钢丝圈呈螺纹圈状分布。
3.根据权利要求2所述的低压化学气相沉积技术用供气管，其特征在于，不锈钢管壁上设置有导气孔，螺纹圈状的钢丝圈有数段，分别设置在导气孔旁的供气管壁上。
4.根据权利要求1或2或3所述的低压化学气相沉积技术用供气管，其特征在于，不锈钢管外表面进行表面喷砂处理。
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