CN220776384U - 用于pecvd设备的电磁屏蔽结构及装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及电磁屏蔽技术领域，提供一种用于PECVD设备的电磁屏蔽结构及装置，包括底部支架、第一支架、第二支架、第三支架、第一罩体、第二罩体和第三罩体，采用分体式的支架和罩体结构，可以在维修过程中只拆卸一侧屏蔽罩，且整体重量较轻，无需使用堆高车作业，制造和维护成本较低，支架与罩体之间通过螺栓连接，维修过程中底部框架无需拆卸，点对点拆卸维修对象，只需两人配合即可抬出罩体，节省维护成本，从而解决了现有屏蔽罩拆卸困难的问题。

Description

用于PECVD设备的电磁屏蔽结构及装置

技术领域

本实用新型涉及电磁屏蔽技术领域，具体涉及一种用于PECVD设备的电磁屏蔽结构及装置。

背景技术

等离子体增强化学气相沉积(plasma enhanced chemical vapor deposition，PECVD)设备是制作太阳能电池重要的设备之一，在低气压下，利用低温等离子体在工艺腔体的阴极上(即载板)产生辉光放电，利用加热腔使硅片升温到预定的温度，然后通入适量的工艺气体，这些气体经一系列化学反应和等离子体反应，最终在样品表面形成固态薄膜，其中，在反应过程中，需要在射频电极激发的电场作用下，反应气体分解成电子、离子和活性基团等，PECVD设备所使用的射频电极均为高于100KHz的高频电磁波，穿透能力强，对人体会产生损害，因此，需要将射频电极工作中通过各电极辐射的高频电磁波进行屏蔽。

现有使用的电磁屏蔽方式为焊接一体式电磁屏蔽罩对射频电极进行包裹，并在电极各处放置绝缘陶瓷进行支撑，防止电极片受热变形后发生漏电事故。

然而，PECVD设备的射频电极数量较多，分布范围较大，现有的电磁屏蔽罩采用5mm左右的铝板进行焊接，需要将所有电极及电极片完全覆盖住，这就导致电磁屏蔽罩整体重量较大，制造成本高，同时，由于电极和电极片完全置于电磁屏蔽罩内，若电极或电极片需要维修，则需要将整个电磁屏蔽罩进行拆卸，拆卸过程中还需借用行车或者堆高车等工具，拆卸难度大，维修十分不便。

实用新型内容

本实用新型提供一种用于PECVD设备的电磁屏蔽结构及装置，解决或至少部分解决现有技术中存在的技术缺陷。

本实用新型的第一方面提供一种用于PECVD设备的电磁屏蔽结构，包括：

底部支架；

对应设置的第一支架和第二支架，所述第一支架和所述第二支架设于所述底部支架上；

第三支架，设于所述第一支架和所述第二支架之间，PECVD设备的电极分别被包裹于所述第一支架、所述第二支架和所述第三支架的内部；

第一罩体，所述第一罩体覆盖于所述第一支架的外侧，以对所述第一支架内部电极辐射的电磁进行屏蔽；

第二罩体，所述第二罩体覆盖于所述第二支架的外侧，以对所述第二支架内部的电极辐射的电磁进行屏蔽；

第三罩体，所述第三罩体覆盖于所述第三支架的外侧，以对所述第三支架内部的电极辐射的电磁进行屏蔽。

根据本实用新型提供的用于PECVD设备的电磁屏蔽结构，所述底部支架与所述第一支架、所述第二支架和所述第三支架之间还设有底板，以使所述底板与所述第一罩体之间形成第一屏蔽腔，所述底板与所述第二罩体之间形成第二屏蔽腔，所述底板与所述第三罩体之间形成第三屏蔽腔。

根据本实用新型提供的用于PECVD设备的电磁屏蔽结构，所述第一屏蔽腔和所述第二屏蔽腔对应的所述底板上均。设有多个通风区域，所述通风区域为圆形。

根据本实用新型提供的用于PECVD设备的电磁屏蔽结构，所述通风区域内设有若干个通风孔，所述通风孔均匀分布。

根据本实用新型提供的用于PECVD设备的电磁屏蔽结构，所述第一罩体、所述第二罩体和所述第三罩体的侧壁上设有通风口。

根据本实用新型提供的用于PECVD设备的电磁屏蔽结构，所述第一罩体远离所述第二罩体的一侧设有第一冷却水口。

根据本实用新型提供的用于PECVD设备的电磁屏蔽结构，所述第二罩体远离所述第一罩体的一侧设有第二冷却水口。

根据本实用新型提供的用于PECVD设备的电磁屏蔽结构，所述第一罩体、所述第二罩体和所述第三罩体均为铝质钣金拼接结构。

根据本实用新型提供的用于PECVD设备的电磁屏蔽结构，所述铝质钣金均弯折有折边，所述折边的弯折角度为90°。

本实用新型的第二方面提供一种电磁屏蔽装置，包括如上所述用于PECVD设备的电磁屏蔽结构。

有益效果：本实用新型提供的用于PECVD设备的电磁屏蔽结构，通过采用分体式的底部支架、第一支架、第二支架、第三支架结构和分体式的第一罩体、第二罩体、第三罩体结构，可以在维修过程中只拆卸一侧屏蔽罩，且整体重量较轻，无需使用堆高车作业，制造和维护成本较低，支架与罩体之间通过螺栓连接，维修过程中底部框架无需拆卸，点对点拆卸维修对象，只需两人配合即可抬出罩体，节省维护成本，从而解决了现有屏蔽罩拆卸困难的问题。

进一步，在本实用新型提供的电磁屏蔽装置中，由于具备如上所述的用于PECVD设备的电磁屏蔽结构，因此同样具备如上所述的各种优势。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例中用于PECVD设备的电磁屏蔽结构的结构示意图；

图2是本实用新型实施例中用于PECVD设备的电磁屏蔽结构的另一结构示意图；

图3是图1中局部A的放大图；

图4是图2中局部B的放大图。

附图标记：

1、底部支架；2、第一支架；3、第二支架；4、第三支架；5、第一罩体；6、第二罩体；7、第三罩体；8、底板；9、通风孔；10、第一冷却水口；11、第二冷却水口；12、折边；13、电极。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型中的附图，对本实用新型中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。

等离子体增强化学气相沉积(plasma enhanced chemical vapor deposition，PECVD)设备是制作太阳能电池重要的设备之一，在低气压下，利用低温等离子体在工艺腔体的阴极上(即载板)产生辉光放电，利用加热腔使硅片升温到预定的温度，然后通入适量的工艺气体，这些气体经一系列化学反应和等离子体反应，最终在样品表面形成固态薄膜，其中，在反应过程中，需要在射频电极激发的电场作用下，反应气体分解成电子、离子和活性基团等，PECVD设备所使用的射频电极均为高于100KHz的高频电磁波，穿透能力强，对人体会产生损害，因此，需要将射频电极工作中通过各电极辐射的高频电磁波进行屏蔽。

现有使用的电磁屏蔽方式为焊接一体式电磁屏蔽罩对射频电极进行包裹，并在电极各处放置绝缘陶瓷进行支撑，防止电极片受热变形后发生漏电事故。

然而，PECVD设备的射频电极数量较多，分布范围较大，现有的电磁屏蔽罩采用5mm左右的铝板进行焊接，需要将所有电极及电极片完全覆盖住，这就导致电磁屏蔽罩整体重量较大，制造成本高，同时，由于电极和电极片完全置于电磁屏蔽罩内，若电极或电极片需要维修，则需要将整个电磁屏蔽罩进行拆卸，拆卸过程中还需借用行车或者堆高车等工具，拆卸难度大，维修十分不便。

本实用新型实施例中，通过采用分体式的底部支架、第一支架、第二支架、第三支架结构和分体式的第一罩体、第二罩体、第三罩体结构，可以在维修过程中只拆卸一侧屏蔽罩，且整体重量较轻，无需使用堆高车作业，制造和维护成本较低，支架与罩体之间通过螺栓连接，维修过程中底部框架无需拆卸，点对点拆卸维修对象，只需两人配合即可抬出罩体，节省维护成本，从而解决了现有屏蔽罩拆卸困难的问题。

下面结合图1至图4描述本实用新型的用于PECVD设备的电磁屏蔽结构。

如图1和图2所示，本实用新型实施例提供的用于PECVD设备的电磁屏蔽结构由分体式的支架和罩体组成，支架作为支撑龙骨设在罩体的内部，罩体包裹在支架的外部，罩体将PECVD设备中的电极包裹于内部，对电极辐射的电磁进行屏蔽，其中，支架部分包括底部支架1、第一支架2、第二支架3和第三支架4，底部支架1为立方体框架型结构，可以采用质量较轻的不锈钢管焊接形成，或者不锈钢管通过螺纹连接件进行拼接形成，底部支架1还可以采用型钢焊接或者螺栓连接拼接形成。

第一支架2和第二支架3间隔一段距离对应设置，第一支架2和第二支架3设于底部支架1的上方，底部支架1用于支撑第一支架2和第二支架3，第三支架4设于第一支架2和第二支架3之间，第一支架2、第二支架3和第三支架4这三者拼装成H形状，第一支架2、第二支架3和第三支架4之间采用可拆卸的连接方式，例如通过螺纹连接件连接或者通过螺栓连接等，第一支架2、第二支架3和第三支架4都为长方体框架型结构，PECVD设备的电极13分别被包裹于第一支架2、第二支架3和第三支架4的内部。本实施例中，底部支架1共设置4个，分别设于第一支架2两端的底部和第二支架3两端的底部，第一支架2、第二支架3和第三支架4可以采用质量较轻的不锈钢管拼接形成，或者不锈钢管通过螺纹连接件拼接形成，还可以采用型钢拼接形成等，对于拼接的龙骨骨架的材质和形状本实用新型实施例不作限制，形成的第一支架2、第二支架3和第三支架4的重量不超过12kg，可由一名维修人员独立取下，维修较为简单。

罩体部分包括第一罩体5、第二罩体6和第三罩体7，其中，第一罩体5覆盖于第一支架2的外侧，对第一支架2内部电极13辐射的电磁进行屏蔽，第二罩体6覆盖于第二支架3的外侧，对第二支架3内部的电极13辐射的电磁进行屏蔽，第三罩体7覆盖于第三支架4的外侧，以对第三支架4内部的电极13辐射的电磁进行屏蔽，第一罩体5与第一支架2之间通过螺栓连接，或者第一罩体5套设在第一支架2的外部，第一罩体5的底部连接在地面上，第二罩体6与第二支架3之间通过螺栓连接，或者第二罩体6套设在第二支架3的外部，第二罩体6的底部连接在地面上，第三罩体7与第三支架4之间通过螺栓连接，第三罩体7分别与第一罩体5、第二罩体6通过螺栓连接，第一罩体5、第二罩体6和第三罩体7分别为与第一支架2、第二支架3和第三支架4相匹配的长方体结构，第一罩体5、第二罩体6和第三罩体7采用金属板拼接形成，例如铁板、铝板等。

PECVD设备的电极13分别被第一罩体5、第二罩体6和第三罩体7封装在内部，射频电极13工作中，利用第一罩体5、第二罩体6和第三罩体7对各电极13辐射的高频电磁波进行屏蔽，本实施例中，采用分体式的底部支架1、第一支架2、第二支架3和第三支架4结构和分体式的第一罩体5、第二罩体6和第三罩体7结构，可以在维修过程中只拆卸一侧屏蔽罩，且整体重量较轻，无需使用堆高车作业，制造和维护成本较低，支架与罩体之间通过螺栓连接，维修过程中底部框架无需拆卸，点对点拆卸维修对象，只需两人配合即可抬出罩体，节省维护成本，从而解决了现有屏蔽罩拆卸困难的问题。

为了进一步的提高PECVD设备的工艺性，底部支架1与第一支架2之间设有底板8，第一支架2外部套设的第一罩体5与底板8之间形成第一屏蔽腔，底部支架1与第二支架3之间设有底板8，第二支架3外部套设的第二罩体6与底板8之间形成第二屏蔽腔，第三支架4的底部也设有底板8，第三支架4外部套设的第三罩体7与底板8之间形成第三屏蔽腔，电极13分别设在第一屏蔽腔、第二屏蔽腔和第三屏蔽腔内部，射频电极13工作中，利用第一罩体5、第二罩体6和第三罩体7对各电极13辐射的高频电磁波进行屏蔽。

进一步的，继续如图1所示，本实用新型的一些实施例中，第一屏蔽腔和第二屏蔽腔对应的底板8上分别设有两个圆形的通风区域，可以在微晶工艺时通过加装排风扇对屏蔽腔内部进行散热。

继续如图3所示，通风区域内设有若干个通风孔9，通风孔9均匀分布，保证屏蔽腔的散热效果，或者在第一罩体5、第二罩体6和第三罩体7的侧壁上设有通风口进行散热，也能保证屏蔽腔的散热效果。

第一屏蔽腔和第二屏蔽腔内部还设有电极柱，为了实现对电极柱进行降温冷却，如图2和图4所示，本实用新型的一些实施例中，第一罩体5远离第二罩体6的一侧设有2个第一冷却水口10(图中未示出)，第二罩体6远离第一罩体5的一侧设有2个第二冷却水口11，第一冷却水口10和第二冷却水口11设于罩体的底部，第一冷却水口10和第二冷却水口11供外部的冷却水管路通过，对第一屏蔽腔和第二屏蔽腔内部的电极柱进行降温冷却。

为了保证第一罩体5、第二罩体6和第三罩体7拼接处贴合的紧密性，第一罩体5、第二罩体6和第三罩体7采用铝质钣金拼接，并且铝质钣金均弯折有折边12，折边12的弯折角度为90°，以保证各钣金屏蔽罩之间贴合紧密，不会产生电磁泄露，同时，还能增加铝质钣金的强度，第一罩体5、第二罩体6和第三罩体7的底部均向外侧进行弯折出折边12，方便第一罩体5、第二罩体6和第三罩体7第地面进行连接。

另一方面，本实用新型实施例还提供一种电磁屏蔽装置，包括上述任一实施例提供的用于PECVD设备的电磁屏蔽结构。本实用新型实施例中电磁屏蔽装置有益效果的推导过程与上述用于PECVD设备的电磁屏蔽结构有益效果的推导过程大体类似，故此处不再赘述。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种用于PECVD设备的电磁屏蔽结构，其特征在于，包括：

底部支架(1)；

对应设置的第一支架(2)和第二支架(3)，所述第一支架(2)和所述第二支架(3)设于所述底部支架(1)上；

第三支架(4)，设于所述第一支架(2)和所述第二支架(3)之间，PECVD设备的电极分别被包裹于所述第一支架(2)、所述第二支架(3)和所述第三支架(4)的内部；

第一罩体(5)，所述第一罩体(5)覆盖于所述第一支架(2)的外侧，以对所述第一支架(2)内部电极辐射的电磁进行屏蔽；

第二罩体(6)，所述第二罩体(6)覆盖于所述第二支架(3)的外侧，以对所述第二支架(3)内部的电极辐射的电磁进行屏蔽；

第三罩体(7)，所述第三罩体(7)覆盖于所述第三支架(4)的外侧，以对所述第三支架(4)内部的电极辐射的电磁进行屏蔽。

2.根据权利要求1所述的用于PECVD设备的电磁屏蔽结构，其特征在于，所述底部支架(1)与所述第一支架(2)、所述第二支架(3)和所述第三支架(4)之间还设有底板(8)，以使所述底板(8)与所述第一罩体(5)之间形成第一屏蔽腔，所述底板(8)与所述第二罩体(6)之间形成第二屏蔽腔，所述底板(8)与所述第三罩体(7)之间形成第三屏蔽腔。

3.根据权利要求2所述的用于PECVD设备的电磁屏蔽结构，其特征在于，所述第一屏蔽腔和所述第二屏蔽腔对应的所述底板(8)上均设有多个通风区域，所述通风区域为圆形。

4.根据权利要求3所述的用于PECVD设备的电磁屏蔽结构，其特征在于，所述通风区域内设有若干个通风孔(9)，所述通风孔(9)均匀分布。

5.根据权利要求1所述的用于PECVD设备的电磁屏蔽结构，其特征在于，所述第一罩体(5)、所述第二罩体(6)和所述第三罩体(7)的侧壁上设有通风口。

6.根据权利要求1-5任一项所述的用于PECVD设备的电磁屏蔽结构，其特征在于，所述第一罩体(5)远离所述第二罩体(6)的一侧设有第一冷却水口(10)。

7.根据权利要求6所述的用于PECVD设备的电磁屏蔽结构，其特征在于，所述第二罩体(6)远离所述第一罩体(5)的一侧设有第二冷却水口(11)。

8.根据权利要求7所述的用于PECVD设备的电磁屏蔽结构，其特征在于，所述第一罩体(5)、所述第二罩体(6)和所述第三罩体(7)均为铝质钣金拼接结构。

9.根据权利要求8所述的用于PECVD设备的电磁屏蔽结构，其特征在于，所述铝质钣金均弯折有折边(12)，所述折边(12)的弯折角度为90°。

10.一种电磁屏蔽装置，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的用于PECVD设备的电磁屏蔽结构。