CN220773414U - 一种掩膜板清洗升降式防护装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种掩膜板清洗升降式防护装置，包括防护罩组件、掩膜板安装位和升降模组，所述的防护罩组件包括若干个相互套叠的升降桶，所述的掩膜板安装位设于升降桶内的中心；所述的升降模组设于防护罩组件的外周，驱动升降桶的升降。本实用新型设计了一种掩膜板清洗升降式防护装置，可以在清洗过程中起到防护作用，避免清洗过程中强酸强碱液体发生飞溅。

Description

一种掩膜板清洗升降式防护装置

技术领域

本实用新型涉及制造、加工设备领域，具体地说是一种掩膜板清洗升降式防护装置。

背景技术

在半导体制造领域，掩膜板是半导体制程的重要零部件，对于掩膜板的清洗尤为重要，要求的洁净度也是业内最高水平，因此掩膜板的清洗设备就极为重要，清洗过程中需要进行强酸强碱等的清洗，因此片在中心主轴上进行清洗时，需要做好较强的防护，中心主轴外围的防护罩既要耐酸碱，也要放置飞溅等因素。

但是现有的生产中，缺少相关的防护罩，现有的防护罩总是固定的，不方便掩膜板清洗过程中的取放工作。

发明内容

为了解决以上问题，本实用新型提供了一种掩膜板清洗升降式防护装置。

本实用新型的技术方案是:一种掩膜板清洗升降式防护装置，包括防护罩组件、掩膜板安装位和升降模组，所述的防护罩组件包括若干个相互套叠的升降桶，所述的掩膜板安装位设于升降桶内的中心；所述的升降模组设于防护罩组件的外周，驱动升降桶的升降。

优选的，所述的防护罩组件包括底盘和至少二个升降桶，分别为第一升降桶、第二升降桶，第二升降桶和底盘之间由第三升降桶连接，所述的第一升降桶设于第二升降桶的内，所述的第二升降桶设于第三升降桶年内，所述的第三升降桶设于底盘内，第一升降桶和第二升降桶为可升降桶，第三升降桶为固定桶；所述的防护罩组件还包括升降联动机构，包括升降柱和升降边，所述的升降柱包括第一升降柱和第二升降柱，所述的升降边包括第一升降边、第二升降边和第三升降边，所述的第一升降边设于第一升降桶的中部、第二升降边设于第二升降桶的顶部，第三升降边设于第三升降桶的顶部，所述的第一升降柱的顶端与所述第一升降边固定连接，第一升降柱的下端穿过第二升降边和第三升降边，末端设置凸边；所述的第二升降柱的顶端与所述第二升降边固定连接，第二升降柱的下端穿过第三升降边，末端设置凸边；所述的第一升降柱和第二升降柱为光柱，且第一升降柱和第二升降柱间隔设置，所述的第一升降柱与第二升降边之间设有直线轴承，所述的第二升降柱与第三升降边之间设有直线轴承。

作为进一步优选的，所述的升降模组包括第一升降模组和第二升降模组，两者对称设置于升降桶的两侧，该两组升降模组结构为丝杆滑轨式，所述的第二升降模组的丝杆由升降电机驱动旋转，所述第一升降模组和第二升降模组的丝杆由同步转轴连接，实现同步转动；所述的第一升降模组还包括第一滑轨和第一滑块，第二升降模组还包括第二滑轨和第二滑块，两个滑块分别与一个顶升柱的下端固定连接，顶升柱的上端分别与第一升降边的两端固定连接，第一滑块和第二滑块的滑动，由顶升柱带动第一升降桶两侧同时匀速升降。

作为进一步优选的，所述的升降桶内设有主轴，主轴的顶端设置包括安装座、安装柱和限位柱，所述安装座设于主轴的顶端，所述的安装柱均布于安装座上表面的边缘，且呈竖直设置，每根安装柱的顶部设有两个限位柱，分别限制掩膜板的两个方向上的移动，所有限位柱围绕形成容纳掩膜板的掩膜板安装位。

作为更进一步优选的，所述的主轴从下至上分别穿过底盘和第三升降桶的底部，伸入至升降桶内；主轴的下端连接主轴电机，由主轴电机驱动主轴转动；所述的主轴的外部设有防护桶，所述的第三升降桶的底部与主轴之间设有防护边，所述防护桶的上端抵靠在安装座的下方，防护桶的下端设于防护边的外部，所述的防护边向上伸入至防护桶内。

作为进一步优选的，所述的升降桶的底部设有抽风管和排水管。

作为进一步优选的，所述的第一升降桶的上部呈向内收拢的圆台状，所述的第一升降桶的顶端内部设有喷嘴。

优选的，所述升降桶设于机架内，升降桶的外周设有工作平台，所述机架的下端设有万向轮。

本实用新型的有益效果为：本实用新型设计了一种掩膜板清洗升降式防护装置，可以在清洗过程中起到防护作用，避免清洗过程中强酸强碱液体发生飞溅。升降模组和升降桶进行固定连接，通过提升第一升降桶进行第一层的升降，当第一升降桶升降到一定距离后，通过第一升降柱末端的凸边限位，勾起第二升降桶继续进行升降。通过这种方式的设计，在确保升降桶在耐酸碱的同时，最大限度的提升了升降的高度，同时操作面也不至于变得很高。

主轴外部设置的防护桶和防护边，可以保护中心主轴不会被强酸碱污染。

附图说明

图1是本实用新型的主视图。

图2是本实用新型的隐藏机架和万向轮后的立体结构示意图之一。

图3是本实用新型的隐藏机架和万向轮后的立体结构示意图之二。

图4是本实用新型的主要部件的立体结构关系示意图。

图5是本实用新型的主要部件的主视图。

图6是本实用新型的主要部件的俯视图。

图7是本实用新型的主要部件的左视图。

图8是本实用新型的B-B剖视图。

标号说明：

1：第一升降桶；2：第二升降桶；3：工作平台；4：第一升降模组；5：第三升降桶；6：主轴电机；7：万向轮；8：第二升降模组；9：机架；10：安装柱；11：排水管；12：安装座；13：掩膜板；14：抽风管；15：防护边；16：同步转轴；17：主轴；18：限位柱；19：升降电机；20：顶升柱；21：第二滑轨；22：第二滑块；23：第一滑块；24：喷嘴；26：第一滑轨；27：直线轴承；28：第一升降柱；29：第一升降边；30：第二升降边；31：第三升降边；32：第二升降柱；33：凸边；34：底盘；35：防护桶。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明。

如图1-8所示，本实用新型包括防护罩组件、掩膜板安装位和升降模组，所述的防护罩组件包括若干个相互套叠的升降桶，所述的掩膜板安装位设于升降桶内的中心；所述的升降模组设于防护罩组件的外周，驱动升降桶的升降。

如图4、5、7所示，本实施例中，所述的防护罩组件包括底盘34和至少二个升降桶，分别为第一升降桶1、第二升降桶2，第二升降桶2和底盘34之间由第三升降桶5连接，所述的第一升降桶1设于第二升降桶2的内，所述的第二升降桶2设于第三升降桶5年内，所述的第三升降桶5设于底盘34内，第一升降桶1和第二升降桶2为可升降桶，第三升降桶5为固定桶；所述的防护罩组件还包括升降联动机构，包括升降柱和升降边，所述的升降柱包括第一升降柱28和第二升降柱32，所述的升降边包括第一升降边29、第二升降边30和第三升降边31，所述的第一升降边29设于第一升降桶1的中部、第二升降边30设于第二升降桶2的顶部，第三升降边31设于第三升降桶5的顶部，所述的第一升降柱28的顶端与所述第一升降边29固定连接，第一升降柱28的下端穿过第二升降边30和第三升降边31，末端设置凸边33；所述的第二升降柱32的顶端与所述第二升降边30固定连接，第二升降柱32的下端穿过第三升降边31，末端设置凸边33；所述的第一升降柱28和第二升降柱32为光柱，且第一升降柱28和第二升降柱32间隔设置，所述的第一升降柱28与第二升降边30之间设有直线轴承27，第三升降边31上设有供第一升降柱28升降的缺口，所述的第二升降柱32与第三升降边31之间设有直线轴承27，直线轴承27和光轴配合，让第一升降柱28和第二升降柱32升降过程中滑动更为顺滑，升降桶的升降也更加的平稳。

本实施例中，所述的升降模组包括第一升降模组4和第二升降模组8，两者对称设置于升降桶的两侧，该两组升降模组结构为丝杆滑轨式，所述的第二升降模组8的丝杆由升降电机19驱动旋转，所述第一升降模组4和第二升降模组8的丝杆由同步转轴16连接，实现同步转动；所述的第一升降模组4还包括第一滑轨26和第一滑块23，第二升降模组8还包括第二滑轨21和第二滑块22，两个滑块分别与一个顶升柱20的下端固定连接，顶升柱20的上端分别与第一升降边29的两端固定连接，第一滑块23和第二滑块22的滑动，由顶升柱20带动第一升降桶1两侧同时匀速升降。升降模组和升降桶进行固定连接，通过提升第一升降桶1进行第一层的升降，当第一升降桶1升降到一定距离后，通过第一升降柱28末端的凸边33限位，勾起第二升降桶2继续进行升降。通过这种方式的设计，在确保升降桶在耐酸碱的同时，最大限度的提升了升降的高度，同时操作面也不至于变得很高。

如图8所示，本实施例中，所述的升降桶内设有主轴17，主轴17的顶端设置包括安装座12、安装柱10和限位柱18，所述安装座12设于主轴17的顶端，所述的安装柱10均布于安装座12上表面的边缘，且呈竖直设置，每根安装柱10的顶部设有两个限位柱18，分别限制掩膜板13的两个方向上的移动，所有限位柱18围绕形成容纳掩膜板13的掩膜板安装位。

本实施例中，所述的主轴17从下至上分别穿过底盘34和第三升降桶5的底部，伸入至升降桶内；主轴17的下端连接主轴电机6，由主轴电机6驱动主轴17转动；所述的主轴17的外部设有防护桶35，所述的第三升降桶5的底部与主轴17之间设有防护边15，所述防护桶35的上端抵靠在安装座12的下方，防护桶35的下端设于防护边15的外部，所述的防护边15向上伸入至防护桶35内。主轴17外部设置的防护桶35和防护边15，可以保护中心主轴17不会被强酸碱污染。

本实施例中，所述的升降桶的底部设有抽风管14和排水管11。在升降桶的底部有抽风口，清洗过程中产生的酸碱气体可以被有效的抽出升降桶，排水管11用于清洗后将酸碱液体排出。

本实施例中，所述的第一升降桶1的上部呈向内收拢的圆台状，所述的第一升降桶1的顶端内部设有喷嘴24。圆台状的设置，呈笼罩状，更有利于掩膜板13的清洗工作。在第一升降桶1的顶端安装有喷嘴24，可以自动对升降桶进行喷淋清洗，确保强酸强碱在操作完成后被清洗干净。

如图1所示，本实施例中，所述升降桶设于机架9内，升降桶的外周设有工作平台3，设置工作平台3，便于掩膜板13的取放，所述机架9的下端设有万向轮7，万向轮7便于整个装置的移动。

工作原理：工作初始状态时，第一滑块23和第二滑块22均位于第一滑轨26和第二滑轨21的底端，将掩膜板13固定放置于掩膜板安装位内。升降电机19转动，驱动第一升降模组4和第二升降模组8内的丝杆转动，从而驱动第一滑块23和第二滑块22分别同步沿着第一滑轨26和第二滑轨21上升，上升的过程中通过顶升柱20提升第一升降桶1进行第一层的升降，当第一升降桶1升降到一定距离后，第一升降柱28末端的凸边33限位，穿过第三升降边31的缺口，继续上行勾起第二升降桶2继续进行升降。由于第三升降边31上设有缺口，所以第一升降柱28只会勾起第二升降桶2上升，并不会带动第三升降桶5上升。当升降桶上升到位之后，由第一升降桶1顶部的喷嘴24进行喷洒清洗液，同时由主轴电机6驱动主轴17带动掩膜板13旋转，实现多角度清洗，提高清洗效率。清洗完毕后，升降同下降，便于取出清洗后的掩膜板13。

在本实用新型说明书的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“中部”、“顶部”、“末端”、“两侧”、“下端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (8)

1.一种掩膜板清洗升降式防护装置，其特征在于包括防护罩组件、掩膜板安装位和升降模组，所述的防护罩组件包括若干个相互套叠的升降桶，所述的掩膜板安装位设于升降桶内的中心；所述的升降模组设于防护罩组件的外周，驱动升降桶的升降。

2.根据权利要求1所述的一种掩膜板清洗升降式防护装置，其特征在于所述的防护罩组件包括底盘（34）和至少二个升降桶，分别为第一升降桶（1）、第二升降桶（2），第二升降桶（2）和底盘（34）之间由第三升降桶（5）连接，所述的第一升降桶（1）设于第二升降桶（2）的内，所述的第二升降桶（2）设于第三升降桶（5）年内，所述的第三升降桶（5）设于底盘（34）内，第一升降桶（1）和第二升降桶（2）为可升降桶，第三升降桶（5）为固定桶；所述的防护罩组件还包括升降联动机构，包括升降柱和升降边，所述的升降柱包括第一升降柱（28）和第二升降柱（32），所述的升降边包括第一升降边（29）、第二升降边（30）和第三升降边（31），所述的第一升降边（29）设于第一升降桶（1）的中部、第二升降边（30）设于第二升降桶（2）的顶部，第三升降边（31）设于第三升降桶（5）的顶部，所述的第一升降柱（28）的顶端与所述第一升降边（29）固定连接，第一升降柱（28）的下端穿过第二升降边（30）和第三升降边（31），末端设置凸边（33）；所述的第二升降柱（32）的顶端与所述第二升降边（30）固定连接，第二升降柱（32）的下端穿过第三升降边（31），末端设置凸边（33）；所述的第一升降柱（28）和第二升降柱（32）为光柱，且第一升降柱（28）和第二升降柱（32）间隔设置，所述的第一升降柱（28）与第二升降边（30）之间设有直线轴承（27），所述的第二升降柱（32）与第三升降边（31）之间设有直线轴承（27）。

3.根据权利要求2所述的一种掩膜板清洗升降式防护装置，其特征在于所述的升降模组包括第一升降模组（4）和第二升降模组（8），两者对称设置于升降桶的两侧，结构为丝杆滑轨式，所述的第二升降模组（8）的丝杆由升降电机（19）驱动旋转，所述第一升降模组（4）和第二升降模组（8）的丝杆由同步转轴（16）连接，实现同步转动；所述的第一升降模组（4）还包括第一滑轨（26）和第一滑块（23），第二升降模组（8）还包括第二滑轨（21）和第二滑块（22），两个滑块分别与一个顶升柱（20）的下端固定连接，顶升柱（20）的上端分别与第一升降边（29）的两端固定连接，第一滑块（23）和第二滑块（22）的滑动，由顶升柱（20）带动第一升降桶（1）两侧同时匀速升降。

4.根据权利要求2所述的一种掩膜板清洗升降式防护装置，其特征在于所述的升降桶内设有主轴（17），主轴（17）的顶端设置包括安装座（12）、安装柱（10）和限位柱（18），所述安装座（12）设于主轴（17）的顶端，所述的安装柱（10）均布于安装座（12）上表面的边缘，且呈竖直设置，每根安装柱（10）的顶部设有两个限位柱（18），分别限制掩膜板（13）的两个方向上的移动，所有限位柱围绕形成容纳掩膜板（13）的掩膜板安装位。

5.根据权利要求4所述的一种掩膜板清洗升降式防护装置，其特征在于所述的主轴（17）从下至上分别穿过底盘（34）和第三升降桶（5）的底部，伸入至升降桶内；主轴（17）的下端连接主轴电机（6），由主轴电机（6）驱动主轴（17）转动；所述的主轴（17）的外部设有防护桶（35），所述的第三升降桶（5）的底部与主轴（17）之间设有防护边（15），所述防护桶（35）的上端抵靠在安装座（12）的下方，防护桶（35）的下端设于防护边（15）的外部，所述的防护边（15）向上伸入至防护桶（35）内。

6.根据权利要求2所述的一种掩膜板清洗升降式防护装置，其特征在于所述的升降桶的底部设有抽风管（14）和排水管（11）。

7.根据权利要求2所述的一种掩膜板清洗升降式防护装置，其特征在于所述的第一升降桶（1）的上部呈向内收拢的圆台状，所述的第一升降桶（1）的顶端内部设有喷嘴（24）。

8.根据权利要求1所述的一种掩膜板清洗升降式防护装置，其特征在于所述升降桶设于机架（9）内，升降桶的外周设有工作平台（3），所述机架（9）的下端设有万向轮（7）。