CN220761983U - 一种晶圆减薄机的上磨盘修整机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种晶圆减薄机的上磨盘修整机构，包括安装板、轴座、轴套、花键套、支架、转轴、修整盘、旋转驱动装置和升降驱动装置；所述轴座固定在安装板的上方；所述轴套通过第一轴承转动连接在轴座内；所述花键套固定在轴套内的上端；所述轴套的下端安装有从动齿轮；所述转轴穿设过轴套并通过花键齿与花键套配合；所述旋转驱动装置安装在安装板上且动力输出端与从动齿轮传动连接；所述修整盘固定在转轴上端；所述支架固定在安装板的下方；所述升降驱动装置安装在支架底部且动力输出端与转轴的下端转动连接，本设计可以在线对晶圆减薄机的上磨盘进行修整，提高加工精度。
Description
技术领域
本实用新型涉及研磨机领域，特别涉及一种晶圆减薄机的上磨盘修整机构。
背景技术
晶圆产品通过治具安装在晶圆减薄机的下磨盘上，通过上磨盘对晶圆上表面进行研磨减薄加工，而上磨盘对工件的加工过程中，上磨盘无法及时进行修整，通常是加工结束并将工件取出后，通过下磨盘对上磨盘进行修整，该方式则难以保证在加工过程中上磨盘的修整面的平面度，从而影响工件的加工质量。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种晶圆减薄机的上磨盘修整机构以解决背景技术中提及问题。
为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种晶圆减薄机的上磨盘修整机构，包括安装板、轴座、轴套、花键套、支架、转轴、修整盘、旋转驱动装置和升降驱动装置；所述轴座固定在安装板的上方；所述轴套通过第一轴承转动连接在轴座内；所述花键套固定在轴套内的上端；所述轴套的下端安装有从动齿轮；所述转轴穿设过轴套并通过花键齿与花键套配合；所述旋转驱动装置安装在安装板上且动力输出端与从动齿轮传动连接；所述修整盘固定在转轴上端；所述支架固定在安装板的下方；所述升降驱动装置安装在支架底部且动力输出端与转轴的下端转动连接；
所述厚度检测机构位于下磨盘机构的左上部，包括安装架、Z轴驱动装置、连接架、吹气装置和两组厚度检测探针；所述安装架固定在上磨盘机构前侧；所述Z轴驱动装置安装在安装架上且动力输出端与连接架连接；所述吹气装置与两组厚度检测探针分别安装在连接架底部。
对本实用新型的进一步描述，所述旋转驱动装置包括减速电机、主动齿轮和同步带；所述减速电机固定在安装板底部且位于支架旁侧；所述主动齿轮安装在减速电机的动力输出端；所述同步带连接在主动齿轮与从动齿轮之间。
对本实用新型的进一步描述，所述升降驱动装置采用第一电缸；所述第一电缸的动力输出端通过第二轴承与转轴的下端连接。
对本实用新型的进一步描述，所述上磨盘修整机构还包括防尘组件；所述防尘组件包括连接座、防尘盖、风琴防尘罩和防尘套；所述防尘盖通过连接座固定在轴套上方；所述防尘盖与连接座之间安装有密封圈；所述风琴防尘罩固定在防尘盖与修整盘之间；所述防尘套固定在轴座上端且位于防尘盖内侧；所述防尘套与防尘盖之间安装有密封件。
对本实用新型的进一步描述，所述上磨盘修整机构还包括灰尘收集盒；所述灰尘收集盒固定在轴座上端且位于防尘套外侧；所述灰尘收集盒的底部设有排尘口。
本实用新型的有益效果为：
晶圆工件通过治具安装在晶圆减薄机的下磨盘机构上，通过上磨盘机构对其进行减薄加工，本设计的上磨盘修整机构可以同时对上磨盘机构的上磨盘进行修整，边加工边修整，提高上磨盘的平整度，从而提高对工件的加工精度。
附图说明
图1是本实用新型的整体结构图；
图2是本实用新型的半剖结构图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型进行进一步说明：
如图1-2所示，一种晶圆减薄机的上磨盘修整机构，该上磨盘修整机构安装在晶圆减薄机的机箱上且位于上磨盘的右下部，下磨盘机构则位于上磨盘机构的左下部，该上磨盘修整机构包括安装板41、轴座42、轴套43、花键套44、支架45、转轴46、修整盘47、旋转驱动装置48和升降驱动装置49；所述安装板41用于固定在机箱上；所述轴座42固定在安装板41的上方；所述轴套43通过第一轴承401转动连接在轴座42内；所述花键套44固定在轴套43内的上端；所述轴套43的下端安装有从动齿轮431；所述转轴46穿设过轴套43并通过花键齿与花键套44配合；所述旋转驱动装置48安装在安装板41上且动力输出端与从动齿轮431传动连接；所述修整盘47固定在转轴46上端；所述支架45固定在安装板41的下方；所述升降驱动装置49安装在支架45底部且动力输出端与转轴46的下端转动连接；该上磨盘修整机构4可以在上磨盘机构3工作过程中，通过升降驱动装置49驱动转轴46顶起，并通旋转驱动装置48控制转轴46旋转，带动修整盘47与上磨盘底面的右部接触，上磨盘进行修整，从而可以提高上磨盘对工件的打磨精度。
所述旋转驱动装置48包括减速电机481、主动齿轮482和同步带483；所述减速电机481固定在安装板41底部且位于支架45旁侧；所述主动齿轮482安装在减速电机481的动力输出端；所述同步带483连接在主动齿轮482与从动齿轮431之间，减速电机481驱动主动齿轮482旋转，主动齿轮482通过同步带483带动从动齿轮431旋转，从动齿轮431带动与之连接的轴套43旋转，轴套43上的花键套44与转轴46的花键齿配合，带动修整盘47转动。
所述升降驱动装置49采用第一电缸；所述第一电缸的动力输出端通过第二轴承402与转轴46的下端连接，可控制转轴46的升降而不影响其旋转功能。
所述上磨盘修整机构4还包括防尘组件410；所述防尘组件410包括连接座4101、防尘盖4102、风琴防尘罩4103和防尘套4104；所述防尘盖4102通过连接座4101固定在轴套43上方；所述防尘盖4102与连接座4101之间安装有密封圈410-01；所述风琴防尘罩4103固定在防尘盖4102与修整盘47之间；所述防尘套4104固定在轴座42上端且位于防尘盖4102内侧；所述防尘套4104与防尘盖4102之间安装有密封件410-02，该设置可以防止灰尘进入内部，起到防护作用。
所述上磨盘修整机构4还包括灰尘收集盒411；所述灰尘收集盒411固定在轴座42上端且位于防尘套4104外侧；所述灰尘收集盒411的底部设有排尘口4111，灰尘掉落至灰尘收集盒411内，排尘口4111通过管道连接吸尘装置将灰尘排出。
以上所述并非对本新型的技术范围作任何限制，凡依据本实用新型技术实质对以上的实施例所作的任何修改、等同变化与修饰，均仍属于本新型的技术方案的范围内。
Claims (5)
1.一种晶圆减薄机的上磨盘修整机构，其特征在于：包括安装板、轴座、轴套、花键套、支架、转轴、修整盘、旋转驱动装置和升降驱动装置；所述轴座固定在安装板的上方；所述轴套通过第一轴承转动连接在轴座内；所述花键套固定在轴套内的上端；所述轴套的下端安装有从动齿轮；所述转轴穿设过轴套并通过花键齿与花键套配合；所述旋转驱动装置安装在安装板上且动力输出端与从动齿轮传动连接；所述修整盘固定在转轴上端；所述支架固定在安装板的下方；所述升降驱动装置安装在支架底部且动力输出端与转轴的下端转动连接。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆减薄机的上磨盘修整机构，其特征在于：所述旋转驱动装置包括减速电机、主动齿轮和同步带；所述减速电机固定在安装板底部且位于支架旁侧；所述主动齿轮安装在减速电机的动力输出端；所述同步带连接在主动齿轮与从动齿轮之间。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆减薄机的上磨盘修整机构，其特征在于：所述升降驱动装置采用第一电缸；所述第一电缸的动力输出端通过第二轴承与转轴的下端连接。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆减薄机的上磨盘修整机构，其特征在于：所述上磨盘修整机构还包括防尘组件；所述防尘组件包括连接座、防尘盖、风琴防尘罩和防尘套；所述防尘盖通过连接座固定在轴套上方；所述防尘盖与连接座之间安装有密封圈；所述风琴防尘罩固定在防尘盖与修整盘之间；所述防尘套固定在轴座上端且位于防尘盖内侧；所述防尘套与防尘盖之间安装有密封件。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆减薄机的上磨盘修整机构，其特征在于：所述上磨盘修整机构还包括灰尘收集盒；所述灰尘收集盒固定在轴座上端且位于防尘套外侧；所述灰尘收集盒的底部设有排尘口。
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