CN220753370U - 一种覆膜裁切机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种覆膜裁切机构，包括裁切组件，还包括用于对晶圆进行吸附固定的固定机构，所述固定机构设置在所述裁切组件下方，所述固定机构包括吸附组件、气泵，所述气泵安装在所述吸附组件两侧，所述吸附组件包括底座、固定筒、吸盘，所述固定筒安装在所述底座上方，所述吸盘安装在所述固定筒上方。本实用新型通过设置固定机构，使用装置时，将待加工的晶圆放置在吸盘上，启动气泵，底座和固定筒内的气体经气泵排出，吸盘内部形成负压，晶圆在负压的作用下牢牢固定在吸盘上，如此对晶圆进行吸附固定，有效提高了晶圆在加工过程中的稳定性。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆加工技术领域，特别是涉及一种覆膜裁切机构。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。晶圆加工时需要用到覆膜裁切装置。
专利号(CN214875777U)公开了一种晶圆覆膜装置，该装置通过转动轴、U形架、连接杆、拉伸弹簧、滑动块和伺服电机的设置，在使用的过程中可以实现自动化切割薄膜，从而起到了保证每次切割的形状相同的作用，降低切割薄膜过程中出现偏差，达到了提高工作效率和覆膜质量的目的。
上述装置采用伸缩弹簧、支撑块和L卡板共同协作的方式对晶圆进行固定，晶圆在加工过程中的稳定性难以保障，如此会影响加工质量，需要加以改进。
实用新型内容
本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种覆膜裁切机构。
本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：
一种覆膜裁切机构，包括裁切组件，还包括用于对晶圆进行吸附固定的固定机构，所述固定机构设置在所述裁切组件下方；
所述固定机构包括吸附组件、气泵，所述气泵安装在所述吸附组件两侧，所述吸附组件包括底座、固定筒、吸盘，所述固定筒安装在所述底座上方，所述吸盘安装在所述固定筒上方。
优选的，覆膜机构安装在所述固定机构上，所述覆膜机构包括固定箱、输气管、覆膜组件、固定架，所述输气管安装在所述固定箱侧面，所述覆膜组件安装在所述固定箱上，所述固定架安装在所述固定箱前部和后部。
优选的，所述覆膜组件包括活塞板、弹簧、连接杆、固定座、气缸、压板，所述弹簧安装在所述活塞板下方，所述连接杆设置在所述弹簧内侧，所述固定座固定在所述连接杆一端，所述气缸固定在所述固定座上方，所述压板固定在所述气缸伸缩端。
优选的，所述底座的材质为不锈钢，所述吸盘的数量为四个。
优选的，所述输气管与所述固定箱焊接，所述活塞板的形状为长方体。
优选的，所述弹簧与所述固定箱焊接，所述弹簧的材质为高碳钢。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
通过设置固定机构，使用装置时，将待加工的晶圆放置在吸盘上，启动气泵，底座和固定筒内的气体经气泵排出，吸盘内部形成负压，晶圆在负压的作用下牢牢固定在吸盘上，如此对晶圆进行吸附固定，有效提高了晶圆在加工过程中的稳定性。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型所述一种覆膜裁切机构的结构示意图；
图2是本实用新型所述一种覆膜裁切机构的主视图；
图3是本实用新型所述一种覆膜裁切机构的主视内部结构示意图；
图4是本实用新型所述一种覆膜裁切机构中电动推杆的结构示意图；
图5是本实用新型所述一种覆膜裁切机构中固定箱的放大左视内部结构示意图。
附图标记说明如下：
1、固定块；2、电动推杆；3、升降板；4、保护箱；5、电机；6、安装板；7、裁切刀；8、固定机构；801、底座；802、固定筒；803、吸盘；804、气泵；9、覆膜机构；901、固定箱；902、输气管；903、活塞板；904、弹簧；905、连接杆；906、固定座；907、气缸；908、压板；909、固定架。
具体实施方式
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
下面结合附图对本实用新型作进一步说明：
如图1-图5所示，一种覆膜裁切机构，包括固定块1、电动推杆2、升降板3、保护箱4、电机5、安装板6、裁切刀7，电动推杆2安装在固定块1上方，升降板3固定在电动推杆2上方，保护箱4固定在升降板3前部，电机5安装在保护箱4内部，安装板6固定在电机5输出端，裁切刀7固定在安装板6下方，还包括用于对晶圆进行吸附固定的固定机构8，固定机构8设置在裁切刀7下方。
在本实用新型中，固定机构8包括底座801、固定筒802、吸盘803、气泵804，固定筒802安装在底座801上方，吸盘803安装在固定筒802上方，气泵804固定在底座801两侧；底座801的材质为不锈钢，吸盘803的数量为四个；使用装置时，将待加工的晶圆放置在吸盘803上，启动气泵804，底座801和固定筒802内的气体经气泵804排出，吸盘803内部形成负压，晶圆在负压的作用下牢牢固定在吸盘803上，如此对晶圆进行吸附固定，有效提高了晶圆在加工过程中的稳定性。
在本实用新型中，覆膜机构9安装在固定机构8上，覆膜机构9包括固定箱901、输气管902、活塞板903、弹簧904、连接杆905、固定座906、气缸907、压板908、固定架909，输气管902安装在固定箱901侧面，活塞板903设置在固定箱901内部，弹簧904安装在活塞板903下方，连接杆905设置在弹簧904内侧，固定座906固定在连接杆905一端，气缸907固定在固定座906上方，压板908固定在气缸907伸缩端，固定架909安装在固定箱901前部和后部；输气管902与固定箱901焊接，活塞板903的形状为长方体，弹簧904与固定箱901焊接，弹簧904的材质为高碳钢；气泵804排出的气体经输气管902进入固定箱901，固定箱901内的气压增大，活塞板903在气压的作用下下降，弹簧904被压缩，活塞板903通过连接杆905带动固定座906下降，固定座906上的薄膜随之下降，薄膜下降与晶圆接触，如此实现晶圆的自动覆膜，有效提高了装置的使用效果。
上述结构中：使用装置时，将薄膜的两端分别放置在两个固定座906上，启动气缸907，气缸907带动压板908下降，压板908下降对薄膜两端进行固定，将待加工的晶圆放置在吸盘803上，启动气泵804，底座801和固定筒802内的气体经气泵804排出，吸盘803内部形成负压，晶圆在负压的作用下牢牢固定在吸盘803上，气泵804排出的气体经输气管902进入固定箱901，固定箱901内的气压增大，活塞板903在气压的作用下下降，弹簧904被压缩，活塞板903通过连接杆905带动固定座906下降，固定座906上的薄膜随之下降，薄膜下降与晶圆接触，如此实现晶圆的自动覆膜，覆膜完成后，启动电动推杆2和电机5，电机5带动裁切刀7转动，电动推杆2收缩带动裁切刀7下降，转动的裁切刀7下降与薄膜接触从而对其进行裁切。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。
Claims (6)
1.一种覆膜裁切机构，包括裁切组件，其特征在于：还包括用于对晶圆进行吸附固定的固定机构(8)，所述固定机构(8)设置在所述裁切组件下方；
所述固定机构(8)包括吸附组件、气泵(804)，所述气泵(804)安装在所述吸附组件两侧，所述吸附组件包括底座(801)、固定筒(802)、吸盘(803)，所述固定筒(802)安装在所述底座(801)上方，所述吸盘(803)安装在所述固定筒(802)上方。
2.根据权利要求1所述的一种覆膜裁切机构，其特征在于：覆膜机构(9)安装在所述固定机构(8)上，所述覆膜机构(9)包括固定箱(901)、输气管(902)、覆膜组件、固定架(909)，所述输气管(902)安装在所述固定箱(901)侧面，所述覆膜组件安装在所述固定箱(901)上，所述固定架(909)安装在所述固定箱(901)前部和后部。
3.根据权利要求2所述的一种覆膜裁切机构，其特征在于：所述覆膜组件包括活塞板(903)、弹簧(904)、连接杆(905)、固定座(906)、气缸(907)、压板(908)，所述弹簧(904)安装在所述活塞板(903)下方，所述连接杆(905)设置在所述弹簧(904)内侧，所述固定座(906)固定在所述连接杆(905)一端，所述气缸(907)固定在所述固定座(906)上方，所述压板(908)固定在所述气缸(907)伸缩端。
4.根据权利要求1所述的一种覆膜裁切机构，其特征在于：所述底座(801)的材质为不锈钢，所述吸盘(803)的数量为四个。
5.根据权利要求3所述的一种覆膜裁切机构，其特征在于：所述输气管(902)与所述固定箱(901)焊接，所述活塞板(903)的形状为长方体。
6.根据权利要求3所述的一种覆膜裁切机构，其特征在于：所述弹簧(904)与所述固定箱(901)焊接，所述弹簧(904)的材质为高碳钢。
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