CN220730627U - 一种直写曝光机构 - Google Patents

Abstract

一种直写曝光机构，其包括基座和安装于基座的曝光镜头，所述曝光镜头通过安装法兰固定于基座，所述安装法兰包括至少一圆弧形外缘，所述直写曝光机构还包括镜头角度调节装置，所述角度调节装置包括限位件和调节件，所述限位件包括至少两个转动件，所述转动件紧靠所述安装法兰的圆弧形外缘，所述调节件抵靠所述安装法兰的角度调整部，所述转动件为柱形，包括转动轴和绕转动轴转动的旋转体，所述旋转体与所述圆弧形外缘相切。采用旋转的限位件进行限位，调整顺畅，不易移位。

Description

一种直写曝光机构

技术领域

本发明涉及一种直写曝光机构，尤其是一种应用于曝光设备的直写曝光机构。

背景技术

直写曝光设备应用于半导体和PCB以及平面成像领域的研发、生产，其原理是利用图形发生器取代传统的掩模技术，直接将计算机的图形数据曝光到产品上，能够节省成本和提高效率。所述图形发生器可以采用数字微镜器件（DMD ，Digital MicromirrorDevice），数字微镜器件（DMD）是一种电子输入、光学输出的微机电系统，包括阵列排列的具有两个倾斜角度的微反射镜，通过控制数字微镜器件中微反射镜的倾斜角度从而形成所需的图案。由于数字微镜器件中微反射镜的尺寸、相邻微反射镜之间的间距都是确定的，限制了产品的分辨率，为了提高分辨率获得更加精细的线条，通常采用数字微镜器件相对于扫描方向倾斜的方式。数字微镜器件的理想倾斜角度通过计算获得，为了获得理想的倾斜角度，通常在安装有数字微镜器件的镜头安装使用过程中，调整镜头的角度，进而达到调整数字微镜器件的倾斜角度的目的。目前调整镜头角度的方式采用设置于孔位内的限位件限制镜头位置，再使用螺栓调节角度，由于存在加工和安装误差等原因，镜头转动过程中的硬接触，容易导致镜头卡死，无法调节的现象，转动过程中为滑动摩擦，摩擦力大，角度调整不顺畅，费时费力。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种直写曝光机构，避免镜头角度调整过程不顺畅，无法转动的情况。

为了解决上述问题，提供一种直写曝光机构，其包括基座和安装于基座的曝光镜头，所述曝光镜头通过安装法兰固定于基座，所述安装法兰包括至少一圆弧形外缘，所述直写曝光机构还包括镜头角度调节装置，所述角度调节装置包括限位件和调节件，所述限位件包括至少两个转动件，所述转动件紧靠所述安装法兰的圆弧形外缘，所述调节件抵靠所述安装法兰的角度调整部，所述转动件为柱形，包括转动轴和绕转动轴转动的旋转体，所述旋转体与所述圆弧形外缘相切。

进一步的，所述转动件之间为连续的圆弧形外缘，或者每个转动件分别对应一段圆弧形外缘，分别对应的圆弧形外缘对称设置。

进一步的，转动件之间的距离小于圆弧形外缘之间的最远距离，在圆弧形外缘转动范围内。

进一步的，所述安装法兰包括线型外缘连接圆弧形外缘。

进一步的，所述调节件包括调节安装件和推动件，所述调节安装件为条形，邻近所述安装法兰的线型外缘，所述推动件安装于所述调节安装件，一端抵靠所述安装法兰的线性外缘，另一端露出所述调节安装件，推动件至少间隔设置两个，分别靠近线性外缘的边缘。

进一步的，所述镜头角度调节装置包括推抵件，所述推抵件位于所述限位件的相对侧，推抵所述安装法兰抵靠限位件。

进一步的，所述推抵件包括推抵安装块、滑动块和弹性件，所述推抵安装块固定于基座，所述推抵安装块临近安装法兰一侧具有向内凹陷的容置口，所述滑动块安装于所述容置口，所述滑动块端部设置旋转件，通过所述旋转件抵靠所述安装法兰，所述弹性件位于容置口内侧，所述弹性件的一端抵靠所述安装法兰，另一端抵靠推抵安装块，或者所述弹性件连接安装于推抵安装块的弹力调整件。

进一步的，所述调节件包括调节安装块、推动件和调节固定件，所述推动件和调节固定件安装于所述调节安装块，所述调节安装块具有凹口，用于容纳安装法兰的角度调整部，所述凹口两侧为推动件安装部，所述推动件从两侧向中间凹口设置，顶靠所述安装法兰的角度调整度。

进一步的，所述推动件为调整螺栓或者千分尺。

进一步的，所述转动件为轴承。

与现有技术相比，本发明采用旋转的限位件进行限位，调整顺畅，不易移位。且占用空间小，调节维护空间小，有利于缩小整体设备的外形尺寸，节约场地。

附图说明

图1是直写曝光机构第一实施例的示意图。

图2是直写曝光机构第一实施例的俯视图。

图3是推动件推动镜头旋转的示意图。

图4是直写曝光机构第二实施例的俯视图。

图5是直写曝光机构推抵件的示意图。

图6是直写曝光机构第二实施例的侧视图。

实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面通过附图中示出的具体实施例来描述本发明。

如图1至图3所示，一种直写曝光机构包括基座10、安装于基座的曝光镜头11和镜头角度调节装置12。所述曝光镜头11呈行列规则排列，所述曝光镜头11包括安装法兰110和光学组件111，所述光学组件111通过安装法兰110固定于基座10，所述光学组件111包括固定安装的数字微镜器件。

所述安装法兰110包括对称设置的圆弧形外缘112，圆弧形外缘112之间通过线型外缘113连接。所述光学组件111安装于所述安装法兰110的中心。所述安装法兰110围绕中心设置有多个通孔114，所述通孔114为弧形，与安装法兰110的旋转路径相当，所述安装法兰的固定件通过所述通孔114固定于所述基座10，所述通孔114的孔径大于固定件的外周，安装法兰110运动过程中，固定件与通孔114不接触。所述固定件可以采用固定螺丝。

所述镜头角度调节装置12包括限位件120和调节件121，所述限位件120包括多个转动件122，每个曝光镜头11至少对应两个转动件122，相邻的曝光镜头11可以共用同一个转动件122，每个安装法兰110的圆弧形外缘112至少设置一个转动件122，对应于不同圆弧形外缘112的转动件122之间的距离小于圆弧形外缘112之间的最远距离。所述转动件122为柱形，包括固定轴和套接于所述固定轴饶所述固定轴转动的旋转体。所述转动件200可以采用轴承。所述转动件与圆弧形外缘112相切，固定曝光镜头旋转的中心位置。

所述调节件121包括调节安装件130和推动件131，所述调节安装件130为条形，邻近所述安装法兰的线型外缘113，所述推动件131安装于所述调节安装件130，一端抵靠所述安装法兰的线性外缘113，另一端露出所述调节安装件130，便于操作所述调节件。每个曝光镜头对应设置两个推动件131，位于所述安装法兰的线性外缘113的两端，从两个方向调节曝光镜头旋转。所述调节件311采用调整螺栓或者千分尺。

所述镜头角度调节装置还包括转动件固定板123，用于固定转动件122，所述转动件固定板123对应于安装法兰110的外缘设计，转动件固定板123对应于安装法兰110的圆弧型外缘的圆心与镜头法兰的圆弧形外缘的圆心重合，达到同轴心状态，更好的限定转动件122与安装法兰的圆弧形外缘113相切。

所述直写曝光机构在组装调试的过程中，初步安装曝光镜头，对安装法兰110进行预固定，固定件穿过安装法兰的通孔114，初步安装至基座10，固定件的顶部与安装法兰110之间具有间隔，所述通孔114的尺寸大于所述固定件的尺寸，在安装法兰110旋转过程中，固定件与安装法兰110无接触，避免安装法兰110在转动过程中卡住无法移动。调节推动件131，推动安装法兰110转动，所述安装法兰110转动过程中，所述转动件122的固定轴不动，旋转体随着安装法兰110的推力而转动。根据螺距计算推动件131旋转一周时，安装法兰110移动的距离，计算安装法兰110的旋转角度θ，进而精确地通过调整推动件131调节安装法兰的旋转角度。调节到所需角度后，锁紧固定件，固定曝光镜头11。

所述直写曝光机构占用空间小，调节维护空间小，有利于缩小整体设备的外形尺寸，节约场地。并且通过千分尺球头或者调整螺栓来推动安装法兰，对镜头表面损伤极小，采用旋转的限位件进行限位，调整顺畅，且不易移位。上述实施例只是以双排的曝光镜头为例，本领域技术人员应该知晓，其也可以应用于单排的曝光镜头。

如图4-图6所示，为直写曝光机构的另一实施例，与上述实施例相同，直写曝光机构包括基座10、安装于基座的曝光镜头11和镜头角度调节装置。

所述曝光镜头11通过安装法兰23固定于基座，所述安装法兰23包括至少一圆弧形外缘23，所述安装法兰设置多个通孔230，所述通孔为弧形，与安装法兰23的旋转路径相当，所述安装法兰的固定件231通过所述通孔230固定于所述基座22，所述通孔230的孔径大于固定件231的外周，安装法兰23运动过程中，固定件231与通孔230不接触。

所述镜头角度调节装置包括固定于基座的限位件20和调节件21，所述限位件20包括至少两个转动件200，所述转动件200紧靠所述安装法兰的圆弧形外缘230，转动件200之间具有间隔，较佳的，处于所述圆弧形外缘230的两端。所述转动件200包括固定轴和套接于所述固定轴饶所述固定轴转动的旋转体。所述转动件200可以采用轴承。

所述调节件21包括调节安装块210、推动件211和调节固定件212，所述推动件211和调节固定件212安装于所述调节安装块210，所述调节安装块210具有凹口213，用于容纳安装法兰的角度调整部231，所述凹口213两侧为推动件安装部214，所述推动件211从两侧向中间凹口213设置，顶靠所述安装法兰23的角度调整度。所述调节固定件212垂直于所述推动件211安装于所述调节安装块210，用于调节完成后固定所述推动件211。

为了避免镜头角度调节过程中，所述安装法兰23与限位件20脱离，所述镜头角度调节装置还包括推抵件24，所述推抵件24位于所述限位件的相对侧，所述推抵件24包括推抵安装块240、滑动块241和弹性件242，所述推抵安装块240固定于所述基座22，所述推抵安装块240邻近安装法兰23一侧具有向内凹陷的容置口243，所述滑动块241安装于所述容置口243，邻接所述安装法兰23，所述弹性件242位于容置口243内侧，所述弹性件242的一端抵靠所述滑动块241，另一端连接弹力调整件244，通过调节所述弹力调整件244，使得滑动块241顶靠所述安装法兰23。所述弹性件242在安装法兰23运动过程中，调节滑动块241的位置，使得滑动块241对安装法兰23保持推力。所述滑动块241包括滑动座245和旋转件246，所述旋转件246安装于所述滑动座245，所述旋转件245为绕轴旋转的部件，可以采用所述转动件相同的部件，如轴承。所述滑动块241通过所述旋转件245与所述安装法兰23抵靠，所述安装法兰23旋转运动时，所述旋转件245相对所述安装法兰23转动，减少摩擦力。较佳的，与所述推抵件相抵触的安装法兰的部位为圆弧形外缘。

通过推抵件弹性推动所述安装法兰，帮助限位件与安装法兰始终保持相切状态，更加精准限定镜头的旋转中心位置。

Claims (10)

1.一种直写曝光机构，其包括基座和安装于基座的曝光镜头，其特征在于：所述曝光镜头通过安装法兰固定于基座，所述安装法兰包括至少一圆弧形外缘，所述直写曝光机构还包括镜头角度调节装置，所述角度调节装置包括限位件和调节件，所述限位件包括至少两个转动件，所述转动件紧靠所述安装法兰的圆弧形外缘，所述调节件抵靠所述安装法兰的角度调整部，所述转动件为柱形，包括转动轴和绕转动轴转动的旋转体，所述旋转体与所述圆弧形外缘相切。

2.根据权利要求1所述的直写曝光机构，其特征在于：所述转动件之间为连续的圆弧形外缘，或者每个转动件分别对应一段圆弧形外缘，分别对应的圆弧形外缘对称设置。

3.根据权利要求1所述的直写曝光机构，其特征在于：转动件之间的距离小于圆弧形外缘之间的最远距离，在圆弧形外缘转动范围内。

4.根据权利要求1所述的直写曝光机构，其特征在于：相邻的曝光镜头之间设置一个转动件，所述转动件紧靠相邻的安装法兰的圆弧形外缘。

5.根据权利要求4所述的直写曝光机构，其特征在于：所述安装法兰包括线型外缘连接圆弧形外缘，所述调节件包括调节安装件和推动件，所述调节安装件为条形，邻近所述安装法兰的线型外缘，所述推动件安装于所述调节安装件，一端抵靠所述安装法兰的线性外缘，另一端露出所述调节安装件，推动件至少间隔设置两个，分别靠近线性外缘的边缘。

6.根据权利要求1所述的直写曝光机构，其特征在于：所述镜头角度调节装置包括推抵件，所述推抵件位于所述限位件的相对侧，推抵所述安装法兰抵靠限位件。

7.根据权利要求6所述的直写曝光机构，其特征在于：所述推抵件包括推抵安装块、滑动块和弹性件，所述推抵安装块固定于基座，所述推抵安装块临近安装法兰一侧具有向内凹陷的容置口，所述滑动块安装于所述容置口，所述滑动块端部设置旋转件，通过所述旋转件抵靠所述安装法兰，所述弹性件位于容置口内侧，所述弹性件的一端抵靠所述安装法兰，另一端抵靠推抵安装块，或者所述弹性件连接安装于推抵安装块的弹力调整件。

8.根据权利要求7所述的直写曝光机构，其特征在于：所述调节件包括调节安装块、推动件和调节固定件，所述推动件和调节固定件安装于所述调节安装块，所述调节安装块具有凹口，用于容纳安装法兰的角度调整部，所述凹口两侧为推动件安装部，所述推动件从两侧向中间凹口设置，顶靠所述安装法兰的角度调整度。

9.根据权利要求5或8所述的直写曝光机构，其特征在于：所述推动件为调整螺栓或者千分尺。

10.根据权利要求1所述的直写曝光机构，其特征在于：所述转动件为轴承。