CN220728386U - 一种侧装式恒温恒湿控制设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型一种侧装式恒温恒湿控制设备，所述恒温恒湿控制设备包括进风组件、过滤器、加热器，所述进风组件由FFU风机与外壳组成，其内设置有风道引导通路；若干恒温恒湿控制设备集成在一安装板上，所述进风组件安装在安装板上；所述进风组件上固定连接有两个支撑，两个支撑上均设置有销孔，所述进风组件上安装有搭扣，一过滤器安装座支撑在两个支撑上，其上固定连接有两个销子，两个销子分别插入两个支撑上的销孔内，通过搭扣连接进风组件与过滤器安装座，所述过滤器安装座上设置有插槽，所述过滤器插装在过滤器安装座上的插槽内，覆盖FFU风机的吸风口；所述加热器安装在进风组件上，位于风道引导通路的出口内。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体制造行业，特别涉及一种侧装式恒温恒湿控制设备。
背景技术
现有的恒温恒湿控制设备都是安装在设备顶部，如专利：202020661270.8，一种EFEM恒温恒湿控制设备，安装拆卸不方便。
发明内容
本实用新型提出了一种侧装式恒温恒湿控制设备。
一种侧装式恒温恒湿控制设备，所述恒温恒湿控制设备包括进风组件、过滤器、加热器，所述进风组件由FFU风机与外壳组成，其内设置有风道引导通路；若干恒温恒湿控制设备集成在一安装板上，所述进风组件安装在安装板上；
所述进风组件上固定连接有两个支撑，两个支撑上均设置有销孔，所述进风组件上安装有搭扣，一过滤器安装座支撑在两个支撑上，其上固定连接有两个销子，两个销子分别插入两个支撑上的销孔内，通过搭扣连接进风组件与过滤器安装座，所述过滤器安装座上设置有插槽，所述过滤器插装在过滤器安装座上的插槽内，覆盖FFU风机的吸风口；
所述加热器安装在进风组件上，位于风道引导通路的出口内。
所述过滤器安装座上的插槽，其插入口两侧具有U形缺口。
所述恒温恒湿控制设备共两台，左右对称。
所述风道引导通路的出口处安装有温度侦测器。
所述风道引导通路的出口处安装有防护网罩。
所述加热器具有温度保护开关。
所述搭扣位于过滤器安装座的上方，与两个支撑相对。
所述安装板上固定连接框架结构。
所述安装板上固定连接线缆防护板。
本实用新型的优点是，设计合理，结构简单，采用侧装式设计，配合将多个侧装式恒温恒湿控制设备集成在一起，安装更加方便，同时针对侧装式设计，改进了过滤器的安装结构，便于过滤器与进风组件的组合连接，便于更换过滤器（过滤器为耗材，经常需要更换）。
附图说明
图1是侧装式恒温恒湿控制设备立体图。
图2是侧装式恒温恒湿控制设备主视图。
图3是侧装式恒温恒湿控制设备后视图。
图中 进风组件1、过滤器2、加热器3、安装板4、支撑5、销孔、搭扣7、过滤器安装座8、销子9、插槽10、U形缺口11、温度侦测器12、防护网罩13、框架结构14、线缆防护板15。
具体实施方式
如图1-3所示，一种侧装式恒温恒湿控制设备，所述恒温恒湿控制设备包括进风组件1、过滤器2、加热器3，所述进风组件1由FFU风机与外壳组成，其内设置有风道引导通路；若干恒温恒湿控制设备集成在一安装板4上，所述进风组件1安装在安装板4上；
所述进风组件1上固定连接有两个支撑5，两个支撑5上均设置有销孔，所述进风组件1上安装有搭扣7，一过滤器安装座8支撑在两个支撑5上，其上固定连接有两个销子9，两个销子9分别插入两个支撑上的销孔内，通过搭扣7连接进风组件1与过滤器安装座8，所述过滤器安装座8上设置有插槽10，所述过滤器2插装在过滤器安装座上的插槽10内，覆盖FFU风机的吸风口；
所述加热器3安装在进风组件1上，位于风道引导通路的出口内；
所述过滤器安装座上的插槽10，其插入口两侧具有U形缺口11；
所述恒温恒湿控制设备共两台，左右对称；
所述风道引导通路的出口处安装有温度侦测器12；
所述风道引导通路的出口处安装有防护网罩13；
所述加热器3具有温度保护开关；
所述搭扣7位于过滤器安装座8的上方，与两个支撑5相对；
所述安装板4上固定连接框架结构14；
所述安装板4上固定连接线缆防护板15。
以上仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种侧装式恒温恒湿控制设备，所述恒温恒湿控制设备包括进风组件、过滤器、加热器，所述进风组件由FFU风机与外壳组成，其内设置有风道引导通路；其特征在于，若干恒温恒湿控制设备集成在一安装板上，所述进风组件安装在安装板上；
所述进风组件上固定连接有两个支撑，两个支撑上均设置有销孔，所述进风组件上安装有搭扣，一过滤器安装座支撑在两个支撑上，其上固定连接有两个销子，两个销子分别插入两个支撑上的销孔内，通过搭扣连接进风组件与过滤器安装座，所述过滤器安装座上设置有插槽，所述过滤器插装在过滤器安装座上的插槽内，覆盖FFU风机的吸风口；
所述加热器安装在进风组件上，位于风道引导通路的出口内。
2.根据权利要求1所述的一种侧装式恒温恒湿控制设备，其特征在于，所述过滤器安装座上的插槽，其插入口位于过滤器安装座顶部。
3.根据权利要求1所述的一种侧装式恒温恒湿控制设备，其特征在于，所述过滤器安装座上的插槽，其插入口两侧具有U形缺口。
4.根据权利要求1所述的一种侧装式恒温恒湿控制设备，其特征在于，所述恒温恒湿控制设备共两台，左右对称。
5.根据权利要求1所述的一种侧装式恒温恒湿控制设备，其特征在于，所述风道引导通路的出口处安装有温度侦测器。
6.根据权利要求1所述的一种侧装式恒温恒湿控制设备，其特征在于，所述风道引导通路的出口处安装有防护网罩。
7.根据权利要求1所述的一种侧装式恒温恒湿控制设备，其特征在于，所述加热器具有温度保护开关。
8.根据权利要求1所述的一种侧装式恒温恒湿控制设备，其特征在于，所述搭扣位于过滤器安装座的上方，与两个支撑相对。
9.根据权利要求1所述的一种侧装式恒温恒湿控制设备，其特征在于，所述安装板上固定连接框架结构。
10.根据权利要求1所述的一种侧装式恒温恒湿控制设备，其特征在于，所述安装板上固定连接线缆防护板。
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