CN220710294U - 一种用于半导体芯片的视觉检测夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于半导体芯片的视觉检测夹具，包括：底座、检测托盘、支撑架、升降传动机构、升降驱动装置、光源件、第一安装架、摄像头、第二安装架、位置传感器、控制机构，所述控制机构分别与升降传动机构、光源件、摄像头和位置传感器相连接。通过上述方式，本实用新型一种用于半导体芯片的视觉检测夹具，不仅可以提升工作效率、提高检测质量，而且可以提高通用性，减少了生产成本，还可以对历史数据进行溯源。

Description

一种用于半导体芯片的视觉检测夹具

技术领域

本实用新型涉及半导体芯片检测设备技术领域，特别是涉及一种用于半导体芯片的视觉检测夹具。

背景技术

质检是整个半导体芯片生产过程中不可缺少的步骤之一。在目前的半导体芯片质量检查环节中，普遍使用人工检查的方式来判断芯片印刷的正确性。

但是，在这种检测方式时，主要依靠操作人员的经验进行判断，精准性很差，而且人眼很容易产生疲劳，造成工作效率和产能的下降，另外，每次检查的工作记录以及出现的问题等信息无法进行追溯查询，不方便后期的总结和调阅。

实用新型内容

本实用新型提供了一种用于半导体芯片的视觉检测夹具，具有可靠性能高、定位精确、结构简单等优点，同时在半导体芯片检测设备的应用及普及上有着广泛的市场前景。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：

提供一种用于半导体芯片的视觉检测夹具，其包括：底座、检测托盘、支撑架、升降传动机构、升降驱动装置、光源件、第一安装架、摄像头、第二安装架、位置传感器、控制机构，所述控制机构分别与升降传动机构、光源件、摄像头和位置传感器相连接；

所述支撑架设置于所述底座上，所述摄像头通过所述第二安装架设置于所述支撑架上，所述第一安装架设置于所述摄像头下方的支撑架上，所述光源件可旋转设置于所述第一安装架上，所述位置传感器设置于所述支撑架上；

所述升降传动机构包括：剪叉升降组件、连接轴、活动导轮、上活动限位座、下活动限位座、活动限位槽；

所述上活动限位座设置于所述检测托盘的底部，所述下活动限位座设置于所述底座上，所述活动限位槽设置于所述上活动限位座和所述下活动限位座的内侧壁上；所述剪叉升降组件的一侧的顶部和底部分别通过所述连接轴与所述检测托盘和底座可旋转连接，其另一侧的顶部和底部上均设置有所述活动导轮，且所述活动导轮活动设置于所述活动限位槽中，以使得剪叉升降组件通过活动导轮沿着活动限位槽来回运动，从而保证剪叉升降组件的正常升降；所述升降驱动装置可旋转连接于所述底座上，其输出端与剪叉升降组件或者剪叉升降组件上的横杆可旋转连接，以驱动剪叉升降组件向下折叠或者向上展开。

在本实用新型一个较佳实施例中，所述底座上设置有与控制机构相连接的控制开关。

在本实用新型一个较佳实施例中，所述第二安装架上设置有两个所述摄像头。

在本实用新型一个较佳实施例中，第一安装架和第二安装架与所述支撑架均为可拆卸连接。

在本实用新型一个较佳实施例中，所述第一安装架为空心结构，所述光源件设置于所述第一安装架的底部的四周。

在本实用新型一个较佳实施例中，所述光源件通过转轴与所述第一安装架活动连接，所述第一安装架上设置有旋转导槽，旋转限位销的一端与光源件相连接，另一端穿过旋转导槽并与锁紧螺母相连接，以锁定或者解锁光源件的角度调节。

本实用新型的有益效果是：不仅可以提升工作效率、提高检测质量，而且可以提高通用性，减少了生产成本，还可以对历史数据进行溯源。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：

图1是本实用新型的一种用于半导体芯片的视觉检测夹具一较佳实施例的结构示意图；

图2是本实用新型的一种用于半导体芯片的视觉检测夹具另一较佳实施例的结构示意图。

具体实施方式

下面将对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型实施例包括：

一种用于半导体芯片的视觉检测夹具，其结构包括：底座1、检测托盘2、支撑架3、升降传动机构、升降驱动装置4、光源件5、第一安装架6、摄像头7、第二安装架8、位置传感器9、控制机构，所述控制机构分别与升降传动机构、光源件、摄像头和位置传感器相连接。其中，控制机构可以采用现有的PLC等控制器：使用PLC编程技术，控制机械移动、灯光和摄像的开启关闭。

所述支撑架设置于所述底座上，所述摄像头通过所述第二安装架设置于所述支撑架上，所述第一安装架设置于所述摄像头下方的支撑架上，所述光源件可旋转设置于所述第一安装架上。

进一步优选的，所述底座上设置有与控制机构相连接的控制开关。

进一步优选的，所述第二安装架上设置有两个所述摄像头。

进一步优选的，第一安装架和第二安装架与所述支撑架均为可拆卸连接。

进一步优选的，所述第一安装架为空心结构，所述光源件设置于所述第一安装架的底部的四周。

进一步优选的，所述光源件通过转轴与所述第一安装架活动连接，所述第一安装架上设置有旋转导槽10，旋转限位销的一端与光源件相连接，另一端穿过旋转导槽并与锁紧螺母相连接，以锁定或者解锁光源件的角度调节。

所述升降传动机构活动设置于所述底座上，其顶部与所述检测托盘活动连接，所述升降驱动装置与所述底座为可旋转连接，且其输出端与升降传动机构相连接，以带动升降传动机构进行升降，从而实现检测托盘的升降调节，所述位置传感器设置于所述支撑架上，以检测检测托盘的位置。

所述升降传动机构包括：剪叉升降组件11、连接轴12、活动导轮13、上活动限位座14、下活动限位座15、活动限位槽16，所述上活动限位座设置于所述检测托盘的底部，所述下活动限位座设置于所述底座上，所述活动限位槽设置于所述上活动限位座和所述下活动限位座的内侧壁上；所述剪叉升降组件的一侧的顶部和底部分别通过所述连接轴与所述检测托盘和底座可旋转连接，其另一侧的顶部和底部上均设置有所述活动导轮，且所述活动导轮活动设置于所述活动限位槽中，即位于顶部的活动导轮与上活动限位座上的活动限位槽相连接、位于底部的活动导轮与下活动限位座上的活动限位槽相连接，以使得剪叉升降组件可以通过活动导轮沿着活动限位槽来回运动，从而保证剪叉升降组件的正常升降，另外，相对设置的上下活动限位座可以用来限定剪叉升降组件的最低折叠高度；升降驱动装置的输出端与剪叉升降组件或者剪叉升降组件上的横杆可旋转连接，以驱动剪叉升降组件向下折叠或者向上展开。

进一步优选的，所述升降驱动装置可以采用驱动气缸、驱动电缸等。

进一步优选的，剪叉升降组件包括两个相互交叉设置的摇臂，且两个摇臂的中部通过转轴活动连接。

视觉检测夹具的操作流程主要包括：

1.升降驱动装置启动，带动剪叉升降组件展开，以使得检测托盘顶升至上料位，将待检测的芯片盘放到检测托盘上；

2.升降驱动装置带动剪叉升降组件折叠，直至检测托盘下降到拍照检测位；

3.当位置传感器检测到检测托盘运动到达指定位置时，触发双路高清摄像头（相机）拍摄芯片盘面图片；

4.上位机通过控制机构接收到图片，并使用图形算法按预定的模板进行对比分析，把异常的芯片位置标注出来，通过客户端软件进行展示；

5.升降驱动装置带动检测托盘上升，以供操作人员修正错误的芯片；

6.修正完成后，移走当前芯片盘并放置新的芯片盘，继续将盘位下降到拍照位置，循环完成检测过程。

本实用新型一种用于半导体芯片的视觉检测夹具的有益效果是：

1.既可以做为单机使用，还能实现多机台联机协作功能，提升工作效率，防止因工人视觉疲劳或操作不当而导致的检测问题，提高检测质量；

2.对每个盘面的检查结果都进行记录，便于对历史数据的溯源；

3.可以根据使用需求，快速更换检测产品，实现多种芯片的检查功能，提高通用性，较大的减少了运营的成本。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (6)

1.一种用于半导体芯片的视觉检测夹具，其特征在于，包括：底座、检测托盘、支撑架、升降传动机构、升降驱动装置、光源件、第一安装架、摄像头、第二安装架、位置传感器、控制机构，所述控制机构分别与升降传动机构、光源件、摄像头和位置传感器相连接；

所述支撑架设置于所述底座上，所述摄像头通过所述第二安装架设置于所述支撑架上，所述第一安装架设置于所述摄像头下方的支撑架上，所述光源件可旋转设置于所述第一安装架上，所述位置传感器设置于所述支撑架上；

所述升降传动机构包括：剪叉升降组件、连接轴、活动导轮、上活动限位座、下活动限位座、活动限位槽；

所述上活动限位座设置于所述检测托盘的底部，所述下活动限位座设置于所述底座上，所述活动限位槽设置于所述上活动限位座和所述下活动限位座的内侧壁上；所述剪叉升降组件的一侧的顶部和底部分别通过所述连接轴与所述检测托盘和底座可旋转连接，其另一侧的顶部和底部上均设置有所述活动导轮，且所述活动导轮活动设置于所述活动限位槽中，以使得剪叉升降组件通过活动导轮沿着活动限位槽来回运动，从而保证剪叉升降组件的正常升降；所述升降驱动装置可旋转连接于所述底座上，其输出端与剪叉升降组件或者剪叉升降组件上的横杆可旋转连接，以驱动剪叉升降组件向下折叠或者向上展开。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体芯片的视觉检测夹具，其特征在于，所述底座上设置有与控制机构相连接的控制开关。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体芯片的视觉检测夹具，其特征在于，所述第二安装架上设置有两个所述摄像头。

4.根据权利要求1所述的一种用于半导体芯片的视觉检测夹具，其特征在于，第一安装架和第二安装架与所述支撑架均为可拆卸连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于半导体芯片的视觉检测夹具，其特征在于，所述第一安装架为空心结构，所述光源件设置于所述第一安装架的底部的四周。

6.根据权利要求1所述的一种用于半导体芯片的视觉检测夹具，其特征在于，所述光源件通过转轴与所述第一安装架活动连接，所述第一安装架上设置有旋转导槽，旋转限位销的一端与光源件相连接，另一端穿过旋转导槽并与锁紧螺母相连接，以锁定或者解锁光源件的角度调节。