CN220659759U - 一种晶圆切割用的夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，且公开了一种晶圆切割用的夹具，包括安装机构、承载机构、磁力吸盘和防护机构，所述安装机构用于与激光切割机床连接；所述承载机构与安装机构可拆卸连接，且位于安装机构的上方。该晶圆切割用的夹具通过壳体的设置，在对晶圆切割时，将待切割晶圆放置在壳体上表面承载并调节待切割晶圆的位置，使磁力吸盘通电对待切割晶圆夹持后进行切割，当切割过程中意外产生火花时，通过壳体代替磁力吸盘受损，可在切割结束后将壳体拆卸替换，壳体较磁力吸盘造价成本更低，减少使用时维护的成本，同时通过可拆卸的设置，方便更换壳体的同时也便于对磁力吸盘老化情况进行维修，使磁力夹具的吸附力保持契合使用时的情况。

Description

一种晶圆切割用的夹具

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体涉及一种晶圆切割用的夹具。

背景技术

晶圆切割定位装置，用于晶圆片的切割定位，使得晶圆片稳定切割，晶圆片是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆片，晶圆片切割机又名硅片 激光切割机、激光划片机，工作原理时利用高能激光束照射在工件表面，使被照射的区域局部熔化、气化，从而实现硅材料的切割。

晶圆切割可采用磁性夹具、吸盘夹具、夹盖夹具和胶粘夹具，其中磁性夹具将晶圆吸附在夹具上，以便进行切割，这种夹具具有良好的稳定性和精度，同时容易操作，更加方便使用。

磁力夹具通常由耐高温和耐腐蚀材料制成，能够在激光切割过程中承受高温和辐射，然而，如果激光切割的过程中产生大量的火花、溅射物或有害气体，这些可能会对磁力夹具的表面造成一定的污染或腐蚀，而磁性表面污染或磁力源损坏因素的影响，容易导致磁力不稳定，这可能导致晶圆在切割过程中移位或松动，同时磁力夹具中的磁力吸盘维护较为麻烦，后期维护的成本较高。

因此，磁力夹具存在磁性表面污染或磁力源损坏导致磁力不稳定且维护成本较高造成使用不便的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种晶圆切割用的夹具，避免磁力夹具的磁性表面污染或磁力源损坏，从而避免磁力不稳定，且便于维护减少维护成本。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：

设计一种晶圆切割用的夹具，包括安装机构、承载机构、磁力吸盘和防护机构，所述安装机构用于与激光切割机床连接；

所述承载机构与安装机构可拆卸连接，且位于安装机构的上方；

所述防护机构包括壳体，所述壳体与承载机构可拆卸连接，且位于承载机构上方；

所述磁力吸盘通过锁紧件与承载机构可拆卸连接，所述壳体朝向磁力吸盘开设有容纳槽，所述磁力吸盘位于容纳槽内。

可选的，所述承载机构包括承载板，所述承载板的上表面开设有穿线孔，用于磁力吸盘的电线穿出安装，所述承载板的下表面开设有导线槽，所述导线槽与磁力吸盘的电线外表面接触。

可选的，所述锁紧件包括限位螺栓，所述磁力吸盘的上表面通过开设的沉头通孔与限位螺栓滑动连接，所述承载板的上表面通过开设的螺纹孔与限位螺栓穿出磁力吸盘的外表面螺纹连接。

可选的，所述容纳槽与磁力吸盘的轮廓相匹配，且所述磁力吸盘的上表面与容纳槽的内顶壁接触连接。

可选的，所述锁紧件包括撑杆、压板和螺纹杆，所述撑杆的上表面通过开设的螺纹孔与螺纹杆螺纹连接，所述压板的上表面通过开设的通孔滑动连接在螺纹杆的上表面且位于撑杆的上方，所述螺纹杆的上表面固定连接有顶块。

可选的，所述撑杆固定连接在承载板的上表面，所述撑杆的上表面与压板的下表面接触连接，所述压板的上表面与顶块的下表面接触连接，所述压板下表面且位于撑杆的一侧与磁力吸盘的上表面接触连接。

可选的，所述安装机构包括横板，所述横板的上表面开设有收纳槽，所述收纳槽与导线槽的宽度相同，且所述收纳槽的槽底与磁力吸盘的电线外表面接触连接，所述收纳槽与导线槽配合对磁力吸盘的电线外表面进行夹持。

可选的，所述横板的下表面通过开设的通孔滑动连接有止动螺栓，所述承载板的上表面通过开设的通孔与止动螺栓穿出横板的外表面滑动连接，所述壳体的外表面固定连接有拼接耳，所述拼接耳的表面通过开设的通孔与止动螺栓穿出承载板的外表面滑动连接，所述止动螺栓穿出拼接耳的外表面螺纹连接有止动螺母。

与现有技术相比，本实用新型提供具备以下有益效果：

该晶圆切割用的夹具通过壳体的设置，在对晶圆切割时，将待切割晶圆放置在壳体上表面承载并调节待切割晶圆的位置，使磁力吸盘通电对待切割晶圆夹持后进行切割，当切割过程中意外产生火花时，通过壳体代替磁力吸盘受损，可在切割结束后将壳体拆卸替换，壳体较磁力吸盘造价成本更低，减少使用时维护的成本，同时通过可拆卸的设置，方便更换壳体的同时也便于对磁力吸盘老化情况进行维修，使磁力夹具的吸附力保持契合使用时的情况。

附图说明

图1为本实用新型中夹具的爆炸结构示意图；

图2为本实用新型中夹具的立体结构示意图；

图3为本实用新型中夹具另一个实施例的爆炸结构示意图。

图中：1、磁力吸盘；2、壳体；3、容纳槽；4、承载板；5、穿线孔；6、导线槽；7、限位螺栓；8、撑杆；9、压板；10、螺纹杆；11、顶块；12、横板；13、收纳槽；14、止动螺栓；15、拼接耳。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1至图3，本实用新型提供技术方案：一种晶圆切割用的夹具，包括安装机构、承载机构、磁力吸盘1和防护机构，安装机构用于与激光切割机床连接；

承载机构与安装机构可拆卸连接，且位于安装机构的上方；

防护机构包括壳体2，壳体2与承载机构可拆卸连接，且位于承载机构上方；

磁力吸盘1通过锁紧件与承载机构可拆卸连接，壳体2朝向磁力吸盘1开设有容纳槽3，磁力吸盘1位于容纳槽3内；安装机构用于与激光切割机床连接，用于安装支撑和拆卸，通过承载机构与磁力吸盘1之间的连接，承载机构用于对磁力吸盘1进行支撑，配合锁紧件的作用，用于对承载机构与磁力吸盘1之间的连接进行限位，同时也可拆卸对磁力吸盘1进行更换，通过壳体2的作用，可以对磁力吸盘1起到防护作用，磁力吸盘1可以透过壳体2产生吸附力，即工件可以吸附于壳体2上，磁力吸盘1为现有公知技术，由可充电电池、线圈和磁铁组成，当电流通过线圈时，会产生一个磁场，根据右手定则，电流流向确定了磁场的方向，在磁力吸盘1中，磁铁通常位于线圈的中心，并与线圈的磁场相互作用，当电流通过线圈时，线圈产生的磁场使得磁铁受到电磁力的作用，这种电磁力的作用使得磁铁具有了磁力，能够吸引和夹持物体，电线与电池的输入端电连接。

本实施例中，作为优选方案，承载机构包括承载板4，承载板4的上表面开设有穿线孔5，用于磁力吸盘1的电线穿出安装，承载板4的下表面开设有导线槽6，导线槽6与磁力吸盘1的电线外表面接触，承载板4为正圆形板，配合穿线孔5的设置，便于对磁力吸盘1进行安装，通过导线槽6的设置，便于安装后走线。

本实施例中，作为优选方案，锁紧件包括限位螺栓7，磁力吸盘1的上表面通过开设的沉头通孔与限位螺栓7滑动连接，承载板4的上表面通过开设的螺纹孔与限位螺栓7穿出磁力吸盘1的外表面螺纹连接，通过限位螺栓7的作用，用于对磁力吸盘1与承载板4之间的连接进行固定，需要在磁力吸盘1的外表面上开孔，然后拧紧螺栓固定。

本实施例中，作为优选方案，容纳槽3与磁力吸盘1的轮廓相匹配，且磁力吸盘1的上表面与容纳槽3的内顶壁接触连接，通过沉头通孔的设置，磁力吸盘1的上表面可以与容纳槽3的内顶壁接触连接，进一步对磁力吸盘1起到辅助限位的作用。

本实施例中，作为优选方案，安装机构包括横板12，横板12的上表面开设有收纳槽13，收纳槽13与导线槽6的宽度相同，且收纳槽13的槽底与磁力吸盘1的电线外表面接触连接，收纳槽13与导线槽6配合对磁力吸盘1的电线外表面进行夹持，通过收纳槽13与导线槽6配合对磁力吸盘1的电线外表面夹持，当意外牵扯到承载板4外的电线时，避免夹持部分的电线移动，可以避免电线与磁力吸盘1之间的连接点意外松动或断开，需要将该夹具拆卸更换维修，减少不便。

本实施例中，作为优选方案，横板12的下表面通过开设的通孔滑动连接有止动螺栓14，承载板4的上表面通过开设的通孔与止动螺栓14穿出横板12的外表面滑动连接，壳体2的外表面固定连接有拼接耳15，拼接耳15的表面通过开设的通孔与止动螺栓14穿出承载板4的外表面滑动连接，止动螺栓14穿出拼接耳15的外表面螺纹连接有止动螺母，通过止动螺栓14贯穿横板12、承载板4和拼接耳15与止动螺母之间的连接，可以对横板12、承载板4和壳体2之间的连接进行限位。

在其中一个可能的实施例中，锁紧件包括撑杆8、压板9和螺纹杆10，撑杆8的上表面通过开设的螺纹孔与螺纹杆10螺纹连接，压板9的上表面通过开设的通孔滑动连接在螺纹杆10的上表面且位于撑杆8的上方，螺纹杆10的上表面固定连接有顶块11，通过撑杆8与螺纹杆10之间的连接，螺纹杆10可以在撑杆8的内部旋转升降，通过压板9与螺纹杆10之间的连接，压板9可以在螺纹杆10的外表面转动也可以升降，通过顶块11的设置，在螺纹杆10下降过程中随着螺纹杆10下降。

本实施例中，作为优选方案，撑杆8固定连接在承载板4的上表面，撑杆8的上表面与压板9的下表面接触连接，压板9的上表面与顶块11的下表面接触连接，压板9下表面且位于撑杆8的一侧与磁力吸盘1的上表面接触连接，通过顶块11的设置，在螺纹杆10下降过程中推动压板9随着螺纹杆10下降，通过压板9的作用，在下降过程中下表面与磁力吸盘1的上表面接触，产生挤压力配合承载板4对磁力吸盘1进行夹持，可以配合不同的磁力吸盘1进行安装，提高适用的范围，不需要限定磁力吸盘1必须开孔配合螺栓，同时安装拆卸方便，提高安装效率。

该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220V市电电连接，并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种晶圆切割用的夹具，其特征在于：包括安装机构、承载机构、磁力吸盘（1）和防护机构，所述安装机构用于与激光切割机床连接；

所述承载机构与安装机构可拆卸连接，且位于安装机构的上方；

所述防护机构包括壳体（2），所述壳体（2）与承载机构可拆卸连接，且位于承载机构上方；

所述磁力吸盘（1）通过锁紧件与承载机构可拆卸连接，所述壳体（2）朝向磁力吸盘（1）开设有容纳槽（3），所述磁力吸盘（1）位于容纳槽（3）内。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用的夹具，其特征在于：所述承载机构包括承载板（4），所述承载板（4）的上表面开设有穿线孔（5），用于磁力吸盘（1）的电线穿出安装，所述承载板（4）的下表面开设有导线槽（6），所述导线槽（6）与磁力吸盘（1）的电线外表面接触。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆切割用的夹具，其特征在于：所述锁紧件包括限位螺栓（7），所述磁力吸盘（1）的上表面通过开设的沉头通孔与限位螺栓（7）滑动连接，所述承载板（4）的上表面通过开设的螺纹孔与限位螺栓（7）穿出磁力吸盘（1）的外表面螺纹连接。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆切割用的夹具，其特征在于：所述容纳槽（3）与磁力吸盘（1）的轮廓相匹配，且所述磁力吸盘（1）的上表面与容纳槽（3）的内顶壁接触连接。

5.根据权利要求2所述的一种晶圆切割用的夹具，其特征在于：所述锁紧件包括撑杆（8）、压板（9）和螺纹杆（10），所述撑杆（8）的上表面通过开设的螺纹孔与螺纹杆（10）螺纹连接，所述压板（9）的上表面通过开设的通孔滑动连接在螺纹杆（10）的上表面且位于撑杆（8）的上方，所述螺纹杆（10）的上表面固定连接有顶块（11）。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆切割用的夹具，其特征在于：所述撑杆（8）固定连接在承载板（4）的上表面，所述撑杆（8）的上表面与压板（9）的下表面接触连接，所述压板（9）的上表面与顶块（11）的下表面接触连接，所述压板（9）下表面且位于撑杆（8）的一侧与磁力吸盘（1）的上表面接触连接。

7.根据权利要求2所述的一种晶圆切割用的夹具，其特征在于：所述安装机构包括横板（12），所述横板（12）的上表面开设有收纳槽（13），所述收纳槽（13）与导线槽（6）的宽度相同，且所述收纳槽（13）的槽底与磁力吸盘（1）的电线外表面接触连接，所述收纳槽（13）与导线槽（6）配合对磁力吸盘（1）的电线外表面进行夹持。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆切割用的夹具，其特征在于：所述横板（12）的下表面通过开设的通孔滑动连接有止动螺栓（14），所述承载板（4）的上表面通过开设的通孔与止动螺栓（14）穿出横板（12）的外表面滑动连接，所述壳体（2）的外表面固定连接有拼接耳（15），所述拼接耳（15）的表面通过开设的通孔与止动螺栓（14）穿出承载板（4）的外表面滑动连接，所述止动螺栓（14）穿出拼接耳（15）的外表面螺纹连接有止动螺母。