CN220642404U - 一种用于半导体晶圆真空运输平台的升降机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及机械制造的技术领域，公开了一种用于半导体晶圆真空运输平台的升降机构，包括设置在过渡腔体底部的回转平台，所述回转平台采用中空结构，其中心旋转部嵌套设置有滚珠丝母，所述滚珠丝母与滚珠丝杆配合，所述滚珠丝杆的一端插入过渡腔体中波纹管的内部，且其顶面与波纹管的顶面连接在一起；所述回转平台用于带动滚珠丝母原地旋转，以驱动滚珠丝杆连同波纹管沿其轴向方向做往复直线运动。整个装置结构简单，组装简单，维护难度低，便于推广应用。
Description
技术领域
本实用新型涉及机械制造的技术领域，具体涉及一种用于半导体晶圆真空运输平台的升降机构。
背景技术
目前，半导体行业内的晶圆真空运输平台中的过渡腔体用于暂存并转移晶圆进入真空腔体，在转移过程中，需要借助升降装置提升晶圆放置架的高度，以使其内部的晶圆可以被顺利转移进入真空腔体，但是目前的升降装置多采用电动升降杆或者直线滑台直接驱动，其缺点是整体轴向尺寸较大，不能满足当今晶圆真空运输平台提升精密度，减小体积的市场需求。
实用新型内容
本实用新型提供了一种用于半导体晶圆真空运输平台的升降机构，采用紧凑型结构设计，以回转平台作为驱动器，带动滚珠丝母原地旋转以驱动滚珠丝杆做往复直线运动，实现晶圆的上下运动，取代了原有的电动升降杆或者直线滑台，尽可能地减少驱动器占用的轴向尺寸，满足当今晶圆真空运输平台的设计需求。
本实用新型可通过以下技术方案实现：
一种用于半导体晶圆真空运输平台的升降机构，包括设置在过渡腔体底部的回转平台，所述回转平台采用中空结构，其中心旋转部嵌套设置有滚珠丝母，所述滚珠丝母与滚珠丝杆配合，所述滚珠丝杆的一端插入过渡腔体中波纹管的内部，且其顶面与波纹管的顶面连接在一起；
所述回转平台用于带动滚珠丝母原地旋转，以驱动滚珠丝杆连同波纹管沿其轴向方向做往复直线运动。
进一步，所述回转平台的顶面与过渡腔体的底面连接，其底面与圆柱壳体相连，在所述圆柱壳体的内部嵌套设置有导向块，所述导向块的内部设置有与滚珠丝杆配合的通道，在所述通道的内壁上对称设置有两个凸台，在所述滚珠丝杆的表面、且沿其轴向方向对称设置有两个凹槽，每个凸台均卡装在对应的凹槽内部。
进一步，所述导向块的底面设置有环形边缘，在所述环形边缘上设置有与圆柱壳体连接的避让槽；
所述滚珠丝母的环形边缘与回转平台的中心旋转部螺纹连接。
进一步，所述回转平台采用蜗轮蜗杆传动、电动机驱动的回转结构。
本实用新型有益的技术效果在于：
1、采用回转平台代替原有的电动机，减少由于马达引线造成的轴向长度浪费，同时反向利用滚珠丝杠的传动机理，实现行程利用最大化，从而在整体行程不变的情况下，降低升降机构在竖直方向的所占高度，并且还节约了径向空间，让维护空间更大；
2、整个升降机构大多使用标准件进行组合安装，从采购成本上来看，减少了非标机加工零件的数量，大大节约了成本；
3、整个升降机构的结构更加紧凑简洁，装配工序更简单，装配精度更容易保证，维护难度低，便于推广应用。
附图说明
图1为本实用新型的总体结构示意图；
图2为本实用新型的轴向结构示意图；
图3为本实用新型的总体结构的爆炸示意图；
图4为本实用新型的导向块的结构示意图；
图5为本实用新型的滚珠丝杆的结构示意图；
其中，1-过渡腔体，2-回转平台，3-滚珠丝母，4-滚珠丝杆，41-凹槽，5-波纹管，6-导向块，61-凸台，7-圆柱壳体。
具体实施方式
下面结合附图及较佳实施例详细说明本实用新型的具体实施方式。
如图1-3所示，本实用新型提供了一种用于半导体晶圆真空运输平台的升降机构，包括设置在过渡腔体1底部的回转平台2，该回转平台2采用中空结构，其中心旋转部嵌套设置有滚珠丝母3，该滚珠丝母3与滚珠丝杆4配合，该滚珠丝杆4的一端插入过渡腔体1中波纹管5的内部，且其顶面与波纹管5的顶面连接在一起；该回转平台2用于带动滚珠丝母3原地旋转，以驱动滚珠丝杆4连同波纹管5沿其轴向方向做往复直线运动。这样，以回转平台2作为驱动器，取代电动机驱动，减少由于马达引线造成的轴向长度浪费，同时反向利用滚珠丝杠的传动机理即将滚珠丝母3原地旋转，以带动滚珠丝杆4沿其轴向方向往复运动，也就可以带动波纹管5连同其上晶圆做升降运动，实现行程利用最大化，从而在保证功能实现和行程不变的前提下，尽可能缩短整个升降机构的轴向尺寸，实现整体尺寸上的缩减，满足当今晶圆真空运输平台的设计需求。
为了确保滚珠丝杆运行的直线性，本实用新型的升降机构增设了导向块6，如图4所示，该导向块6嵌套设置在圆柱壳体7的内部，该圆柱壳体7的顶面与回转平台2的底面相连，该回转平台2的顶面与过渡腔体1的底面连接，该导向块6的内部设置有与滚珠丝杆4配合的通道，在通道的内壁上对称设置有两个凸台61，在滚珠丝杆4的表面、且沿其轴向方向对称设置有两个凹槽41，如图5所示，每个凸台61均卡装在对应的凹槽41内部；这样，在滚珠丝母和滚珠丝杆的配合下，通过凹槽和凸台的嵌套配合，减少运行总的滚珠丝杆在径向方向的偏移，确保滚珠丝杆运行的直线性。
为了方便安装，我们在导向块6的底面设置有环形边缘，在环形边缘上设置有与圆柱壳体连接的避让槽，以便通过螺栓将两者连接在一起；同理，该滚珠丝母4的环形边缘与回转平台2的中心旋转部也通过螺纹连接，如在两者连接面均匀间隔开设多个螺纹孔，通过螺栓将两者连接在一起。
该回转平台2采用蜗轮蜗杆传动、电动机驱动的回转结构，即将电动机与蜗轮蜗杆传动机构连接在一起，设置在回转轴承的侧面，尽量减少占用轴向尺寸，同时蜗轮蜗杆传动机构具有自锁功能，确保升降高度的稳定性。
虽然以上描述了本实用新型的具体实施方式，但是本领域的技术人员应当理解，这些仅是举例说明，在不背离本实用新型的原理和实质的前提下，可以对这些实施方式做出多种变更或修改，因此，本实用新型的保护范围由所附权利要求书限定。
Claims (4)
1.一种用于半导体晶圆真空运输平台的升降机构，其特征在于：包括设置在过渡腔体底部的回转平台，所述回转平台采用中空结构，其中心旋转部嵌套设置有滚珠丝母，所述滚珠丝母与滚珠丝杆配合，所述滚珠丝杆的一端插入过渡腔体中波纹管的内部，且其顶面与波纹管的顶面连接在一起；
所述回转平台用于带动滚珠丝母原地旋转，以驱动滚珠丝杆连同波纹管沿其轴向方向做往复直线运动。
2.根据权利要求1所述的用于半导体晶圆真空运输平台的升降机构，其特征在于：所述回转平台的顶面与过渡腔体的底面连接，其底面与圆柱壳体相连，在所述圆柱壳体的内部嵌套设置有导向块，所述导向块的内部设置有与滚珠丝杆配合的通道，在所述通道的内壁上对称设置有两个凸台，在所述滚珠丝杆的表面、且沿其轴向方向对称设置有两个凹槽，每个凸台均卡装在对应的凹槽内部。
3.根据权利要求2所述的用于半导体晶圆真空运输平台的升降机构，其特征在于：所述导向块的底面设置有环形边缘，在所述环形边缘上设置有与圆柱壳体连接的避让槽；
所述滚珠丝母的环形边缘与回转平台的中心旋转部螺纹连接。
4.根据权利要求1所述的用于半导体晶圆真空运输平台的升降机构，其特征在于：所述回转平台采用蜗轮蜗杆传动、电动机驱动的回转结构。
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