CN220597697U - 一种n型晶片加工用高密封型退火设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种N型晶片加工用高密封型退火设备，其涉及单晶硅太阳能电池技术领域，旨在解决现有的密封型退火炉，内部缺少快速降温的结构，自然冷却的降温效率较低，影响使用的问题，其技术方案要点是包括外炉体，所述外炉体的内部固定连接有内炉体，所述内炉体和外炉体之间预留有空腔，所述空腔的内部设置有方形螺旋管，所述外炉体的内部固定连接有保温层，所述方形螺旋管外侧的一端固定连接有进液管，所述进液管的外侧固定连接有输送泵，所述方形螺旋管外侧的另一端固定连接有排液管。达到了方便使用和提高降温效率的效果。

Description

一种N型晶片加工用高密封型退火设备

技术领域

本实用新型涉及单晶硅太阳能电池技术领域，尤其是涉及一种N型晶片加工用高密封型退火设备。

背景技术

太阳能电池片制造过程中的一个重要步骤是单晶硅片退火，退火是一种材料热处理工艺，指的是将材料缓慢加热到一定温度，保持足够时间，然后以适宜速度冷却，目的是降低硬度，改善切削加工性，消除残余应力，稳定尺寸，减少变形与裂纹倾向，细化晶粒，调整组织，消除组织缺陷，退火可以激活更多磷原子，降低表面浓度，减少表面“死层”，提高电池效率。

上述中的现有技术方案存在以下缺陷：现有的密封型退火炉，内部缺少快速降温的结构，自然冷却的降温效率较低，影响使用。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种可以快速降温的N型晶片加工用高密封型退火设备。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

一种N型晶片加工用高密封型退火设备，包括外炉体，所述外炉体的内部固定连接有内炉体，所述内炉体和外炉体之间预留有空腔，所述空腔的内部设置有方形螺旋管，所述外炉体的内部固定连接有保温层，所述方形螺旋管外侧的一端固定连接有进液管，所述进液管的外侧固定连接有输送泵，所述方形螺旋管外侧的另一端固定连接有排液管。

通过采用上述技术方案，在外炉体的内部增加保温层，可以在进行退火时，防止热量大量流失，保证内部正在进行退火的单硅晶片可以稳定进行降温处理，提高退火的效率。

进一步地，所述外炉体的前端通过铰链活动连接有密封门，所述外炉体的下端固定连接有冷却箱，所述冷却箱的前端设置有控制面板，所述冷却箱外侧的一端固定连接有加液管，所述冷却箱内部的底端固定连接有降温组件。

通过采用上述技术方案，方便对装置进行控制和调节。

进一步地，所述进液管和排液管均延伸至冷却箱的内部，所述进液管和排液管均与方形螺旋管相互接通。

通过采用上述技术方案，通过进液管将降温后的水引入方形螺旋管内，同时将通过螺旋管内部的水从排液管排出。

进一步地，所述降温组件的内部包括有导冷板、半导体制冷片、散热翅片、安装罩、风机和散热孔，所述导冷板的内部固定连接有半导体制冷片，所述半导体制冷片的外侧固定连接有散热翅片，所述冷却箱的底部固定连接有安装罩，所述安装罩的内部固定连接有风机，所述安装罩的外侧预留有散热孔。

通过采用上述技术方案，通过增加降温组件，通过半导体制冷片进行制冷，同时通过导冷板将温度传递出去，开始对冷却箱内部的水进行降温处理，同时半导体制冷片通过散热翅片散热降温，配合风机提高降温效果，延长半导体制冷片的使用寿命。

进一步地，所述导冷板固定安装在冷却箱内部底端的中心，所述导冷板与半导体制冷片相互接触，所述风机的中心正对散热翅片。

通过采用上述技术方案，通过将导冷板与半导体制冷片接触，可以提高导冷的效果，同时加快散热翅片的散热效率。

综上所述，本实用新型的有益技术效果为：

1、采用了保温层和风机，通过在外炉体的内部增加保温层，可以减少退火时的热量损失，保证单硅晶片可以进行稳定的降温，同时风机可以在散热翅片进行降温时，提高其散热效率，产生方便使用的效果；

2、采用了方形螺旋管和半导体制冷片，通过半导体制冷片对冷却箱内部的水进行降温处理，同时通过输送泵将冷却水通过进液管输送到螺旋管的内部，同时螺旋管螺旋缠绕在内炉体的外侧，可以将热量进行吸收带走，产生提高降温效率的效果。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型外炉体剖视结构示意图；

图3为本实用新型方形螺旋管立体结构示意图；

图4为本实用新型冷却箱内部剖视结构示意图。

图中，1、外炉体；2、内炉体；3、空腔；4、方形螺旋管；5、保温层；6、进液管；7、输送泵；8、排液管；9、密封门；10、冷却箱；11、控制面板；12、加液管；13、降温组件；131、导冷板；132、半导体制冷片；133、散热翅片；134、安装罩；135、风机；136、散热孔。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

参照图1-4，一种N型晶片加工用高密封型退火设备，包括外炉体1，外炉体1的内部固定连接有内炉体2，内炉体2和外炉体1之间预留有空腔3，空腔3的内部设置有方形螺旋管4，外炉体1的内部固定连接有保温层5，方形螺旋管4外侧的一端固定连接有进液管6，进液管6的外侧固定连接有输送泵7，方形螺旋管4外侧的另一端固定连接有排液管8，外炉体1的前端通过铰链活动连接有密封门9，外炉体1的下端固定连接有冷却箱10，冷却箱10的前端设置有控制面板11，冷却箱10外侧的一端固定连接有加液管12，冷却箱10内部的底端固定连接有降温组件13，在外炉体1的内部增加保温层5，在退火时，可以防止热量大量流失，保证内部正在进行退火的单硅晶片可以稳定进行降温处理，提高退火的效率，控制面板11与输送泵7、半导体制冷片132和风机135电性连接。

如图1-4所示，进液管6和排液管8均延伸至冷却箱10的内部，进液管6和排液管8均与方形螺旋管4相互接通，降温组件13的内部包括有导冷板131、半导体制冷片132、散热翅片133、安装罩134、风机135和散热孔136，导冷板131的内部固定连接有半导体制冷片132，半导体制冷片132的外侧固定连接有散热翅片133，冷却箱10的底部固定连接有安装罩134，安装罩134的内部固定连接有风机135，安装罩134的外侧预留有散热孔136，导冷板131固定安装在冷却箱10内部底端的中心，导冷板131与半导体制冷片132相互接触，风机135的中心正对散热翅片133，通过增加降温组件13，通过半导体制冷片132进行制冷，同时通过导冷板131将温度传递出去，开始对冷却箱10内部的水进行降温处理，同时半导体制冷片132通过散热翅片133散热降温，配合风机135提高降温效果，延长半导体制冷片132的使用寿命。

本实施例的实施原理为：开始进行退火降温时，外炉体1内部的保温层5可以防止热量大量流失，保证退火时的温度需求，实现稳定的退火处理，同时当需要进行降温时，通过半导体制冷片132和导冷板131对冷却箱10内部的水进行降温处理，之后输送泵7将冷却水通过进液管6输送到方形螺旋管4的内部，方形螺旋管4缠绕在内炉体2的外侧，在冷却水沿着方形螺旋管4流动时，将炉体内部的热量带走，通过排液管8重新回到冷却箱10中，并且再次进行冷却处理后，重复上述操作，再次进行降温，循环往复，提高降温的效率。

本具体实施方式的实施例均为本实用新型的较佳实施例，并非依此限制本实用新型的保护范围，故：凡依本实用新型的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种N型晶片加工用高密封型退火设备，包括外炉体(1)，其特征在于：所述外炉体(1)的内部固定连接有内炉体(2)，所述内炉体(2)和外炉体(1)之间预留有空腔(3)，所述空腔(3)的内部设置有方形螺旋管(4)，所述外炉体(1)的内部固定连接有保温层(5)，所述方形螺旋管(4)外侧的一端固定连接有进液管(6)，所述进液管(6)的外侧固定连接有输送泵(7)，所述方形螺旋管(4)外侧的另一端固定连接有排液管(8)。

2.根据权利要求1所述的N型晶片加工用高密封型退火设备，其特征在于：所述外炉体(1)的前端通过铰链活动连接有密封门(9)，所述外炉体(1)的下端固定连接有冷却箱(10)，所述冷却箱(10)的前端设置有控制面板(11)，所述冷却箱(10)外侧的一端固定连接有加液管(12)，所述冷却箱(10)内部的底端固定连接有降温组件(13)。

3.根据权利要求2所述的N型晶片加工用高密封型退火设备，其特征在于：所述进液管(6)和排液管(8)均延伸至冷却箱(10)的内部，所述进液管(6)和排液管(8)均与方形螺旋管(4)相互接通。

4.根据权利要求2所述的N型晶片加工用高密封型退火设备，其特征在于：所述降温组件(13)的内部包括有导冷板(131)、半导体制冷片(132)、散热翅片(133)、安装罩(134)、风机(135)和散热孔(136)，所述导冷板(131)的内部固定连接有半导体制冷片(132)，所述半导体制冷片(132)的外侧固定连接有散热翅片(133)，所述冷却箱(10)的底部固定连接有安装罩(134)，所述安装罩(134)的内部固定连接有风机(135)，所述安装罩(134)的外侧预留有散热孔(136)。

5.根据权利要求4所述的N型晶片加工用高密封型退火设备，其特征在于：所述导冷板(131)固定安装在冷却箱(10)内部底端的中心，所述导冷板(131)与半导体制冷片(132)相互接触，所述风机(135)的中心正对散热翅片(133)。