CN220287809U - 一种新型半导体纯水冷却装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了半导体纯水冷却技术领域的一种新型半导体纯水冷却装置,所述冷水机本体的顶部设有制冷剂口,所述冷水机本体的内部设有水箱,所述水箱的顶部设有水泵,所述水泵的顶部设有水管,所述冷水机本体的一侧设有连接口,通过将连接口和回流管、将其分别和需要冷却的半导体纯水装置进行连接,通过设有的水泵可将水箱的内部制冷剂通过水管的传送,输送到半导体纯水装置的内部,实现对该装置的冷却效果,回流管可将冷却完的制冷剂回流收集到冷却箱的内部,通过设有的将制冷片,吸热板、散热扇、散热片和散热孔,可实现了对冷却箱内部冷却的效果,通过设有的电磁阀可实现冷却箱内部冷却的制冷剂回流到水箱的内部,实现循环利用的效果。
Description
技术领域
本实用新型属于半导体纯水冷却技术领域,具体涉及一种新型半导体纯水冷却装置。
背景技术
在半导体制作工艺中,80%以上的工序都要经过化学处理,而每一道化学处理都离不开超纯水纯水处理设备,是指水中的导电介质几乎完全去除,同时不离解的气体、胶体以及有机物包括细菌也去除至很低程度的水。在处理时,需要通过半导体设备进行控制处理,这样就需要用到半导体双极超纯水处理装置,在对半导体纯水装置使用期间,一般需要用到冷却装置。
现有的半导体纯水冷却效果较差,在对半导体纯水冷却时大多数都是采用风扇进行散热,降低了半导体纯水冷却的效率,影响了使用的效果,为此我们提出一种新型半导体纯水冷却装置。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种新型半导体纯水冷却装置,以解决上述背景技术中提出导体纯水冷却时大多数都是采用风扇进行散热,降低了半导体纯水冷却的效率的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种新型半导体纯水冷却装置,包括冷水机本体,所述冷水机本体的顶部设有制冷剂口,所述冷水机本体的内部设有水箱,所述水箱的顶部设有水泵,所述水泵的顶部设有水管,所述冷水机本体的一侧设有连接口,所述水箱的一侧设有连接管,所述连接管的表面设有电磁阀,所述连接管的一侧设有冷却箱,所述冷水机本体的一侧设有回流管,所述冷却箱的顶部设有制冷箱,所述制冷箱的顶部设有散热孔,所述散热孔的内部设有散热扇,所述制冷箱的内部设有散热片,所述制冷箱的内部设有导热硅脂,所述制冷箱的内部设有制冷片,所述制冷箱的内部设有吸热板。
优选的,所述冷水机本体的顶部固定连接有制冷剂口,所述冷水机本体的内部固定安装有水箱,所述制冷剂口和水箱固定连接,所述水箱的顶部固定安装有水泵,所述水泵的顶部固定连接有水管。
优选的,所述冷水机本体的一侧固定安装有连接口,所述连接口和水管的一端固定连接,所述水箱的一侧固定连接有连接管,所述连接管的表面固定安装有电磁阀,所述连接管的一侧固定连接有冷却箱。
优选的,所述冷水机本体的一侧固定连接有回流管,所述回流管的一端和冷却箱的一侧固定连接,所述冷却箱的顶部固定连接有制冷箱,所述制冷箱的顶部固定开设有散热孔。
优选的,所述散热孔的内部固定安装有散热扇,所述制冷箱的内部固定安装有散热片,所述散热片设于散热扇的下方。
优选的,所述散热片的底部固定安装有导热硅脂,所述制冷箱的内部固定安装有制冷片,所述制冷片设于散热片的下方,所述制冷箱的内部固定安装有吸热板,所述吸热板设于制冷片的下方。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
通过将连接口和回流管、将其分别和需要冷却的半导体纯水装置进行连接,通过设有的水泵可将水箱的内部制冷剂通过水管的传送,输送到半导体纯水装置的内部,实现对该装置的冷却效果,回流管可将冷却完的制冷剂回流收集到冷却箱的内部,通过设有的将制冷片,吸热板、散热扇、散热片和散热孔,可实现了对冷却箱内部冷却的效果,通过设有的电磁阀可实现冷却箱内部冷却的制冷剂回流到水箱的内部,实现循环利用的效果。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图;
图2为本实用新型的侧面结构示意图;
图3为本实用新型的内部结构示意图;
图4为本实用新型的制冷箱内部结构示意图。
图中:1、冷水机本体;2、制冷剂口;3、水箱;4、水泵;5、水管;6、连接口;7、连接管;8、电磁阀;9、冷却箱;10、回流管;11、制冷箱;12、散热孔;13、散热扇;14、散热片;15、导热硅脂;16、制冷片;17、吸热板。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4,本实用新型提供一种技术方案:一种新型半导体纯水冷却装置,包括冷水机本体1,冷水机本体1的顶部设有制冷剂口2,冷水机本体1的内部设有水箱3,水箱3的顶部设有水泵4,水泵4的顶部设有水管5,冷水机本体1的一侧设有连接口6,水箱3的一侧设有连接管7,连接管7的表面设有电磁阀8,连接管7的一侧设有冷却箱9,冷水机本体1的一侧设有回流管10,冷却箱9的顶部设有制冷箱11,制冷箱11的顶部设有散热孔12,散热孔12的内部设有散热扇13,制冷箱11的内部设有散热片14,制冷箱11的内部设有导热硅脂15,制冷箱11的内部设有制冷片16,制冷箱11的内部设有吸热板17。
具体的,冷水机本体1的顶部固定连接有制冷剂口2,冷水机本体1的内部固定安装有水箱3,制冷剂口2和水箱3固定连接,水箱3的顶部固定安装有水泵4,水泵4的顶部固定连接有水管5,冷水机本体1的一侧固定安装有连接口6,连接口6和水管5的一端固定连接,水箱3的一侧固定连接有连接管7,连接管7的表面固定安装有电磁阀8,连接管7的一侧固定连接有冷却箱9,冷水机本体1的一侧固定连接有回流管10,回流管10的一端和冷却箱9的一侧固定连接,冷却箱9的顶部固定连接有制冷箱11,制冷箱11的顶部固定开设有散热孔12,散热孔12的内部固定安装有散热扇13,制冷箱11的内部固定安装有散热片14,散热片14设于散热扇13的下方,散热片14的底部固定安装有导热硅脂15,制冷箱11的内部固定安装有制冷片16,制冷片16设于散热片14的下方,制冷箱11的内部固定安装有吸热板17,吸热板17设于制冷片16的下方。
本实施例中,将连接口6和需要冷却的半导体纯水装置进行连接,将回流管10和半导体纯水装置的另一端进行连接,通过设有的制冷剂口2可将制冷剂加入到水箱3的内部,通过设有的水泵4可将水箱3的内部制冷剂通过水管5的传送,输送到半导体纯水装置的内部,实现对该装置的冷却效果,通过设有的回流管10可将冷却完的制冷剂回流收集到冷却箱9的内部,将制冷片16连接电源后,制冷片16的一端会呈吸热端,一端呈放热端,通过设有的吸热板17可对冷却箱9的表面热量进行吸取,通过制冷片16可将吸热板17表面的热量传递到散热片14的表面,通过设有的导热硅脂15提高了热传递的速率,通过设有的散热扇13可将散热孔12内部的热量进行排出,从而实现了对冷却箱9内部冷却的效果,通过设有的电磁阀8可实现冷却箱9内部冷却的制冷剂回流到水箱3的内部,实现循环利用的效果。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种新型半导体纯水冷却装置,包括冷水机本体(1),其特征在于:所述冷水机本体(1)的顶部设有制冷剂口(2),所述冷水机本体(1)的内部设有水箱(3),所述水箱(3)的顶部设有水泵(4),所述水泵(4)的顶部设有水管(5),所述冷水机本体(1)的一侧设有连接口(6),所述水箱(3)的一侧设有连接管(7),所述连接管(7)的表面设有电磁阀(8),所述连接管(7)的一侧设有冷却箱(9),所述冷水机本体(1)的一侧设有回流管(10),所述冷却箱(9)的顶部设有制冷箱(11),所述制冷箱(11)的顶部设有散热孔(12),所述散热孔(12)的内部设有散热扇(13),所述制冷箱(11)的内部设有散热片(14),所述制冷箱(11)的内部设有导热硅脂(15),所述制冷箱(11)的内部设有制冷片(16),所述制冷箱(11)的内部设有吸热板(17)。
2.根据权利要求1所述的一种新型半导体纯水冷却装置,其特征在于:所述冷水机本体(1)的顶部固定连接有制冷剂口(2),所述冷水机本体(1)的内部固定安装有水箱(3),所述制冷剂口(2)和水箱(3)固定连接,所述水箱(3)的顶部固定安装有水泵(4),所述水泵(4)的顶部固定连接有水管(5)。
3.根据权利要求1所述的一种新型半导体纯水冷却装置,其特征在于:所述冷水机本体(1)的一侧固定安装有连接口(6),所述连接口(6)和水管(5)的一端固定连接,所述水箱(3)的一侧固定连接有连接管(7),所述连接管(7)的表面固定安装有电磁阀(8),所述连接管(7)的一侧固定连接有冷却箱(9)。
4.根据权利要求1所述的一种新型半导体纯水冷却装置,其特征在于:所述冷水机本体(1)的一侧固定连接有回流管(10),所述回流管(10)的一端和冷却箱(9)的一侧固定连接,所述冷却箱(9)的顶部固定连接有制冷箱(11),所述制冷箱(11)的顶部固定开设有散热孔(12)。
5.根据权利要求1所述的一种新型半导体纯水冷却装置,其特征在于:所述散热孔(12)的内部固定安装有散热扇(13),所述制冷箱(11)的内部固定安装有散热片(14),所述散热片(14)设于散热扇(13)的下方。
6.根据权利要求1所述的一种新型半导体纯水冷却装置,其特征在于:所述散热片(14)的底部固定安装有导热硅脂(15),所述制冷箱(11)的内部固定安装有制冷片(16),所述制冷片(16)设于散热片(14)的下方,所述制冷箱(11)的内部固定安装有吸热板(17),所述吸热板(17)设于制冷片(16)的下方。
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