CN220584049U - 用于检查显示面板的设备 - Google Patents

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Abstract

本公开涉及用于检查显示面板的设备。用于检查显示面板的设备，包括：光源；半反射镜，反射作为从光源照射的源光束的一部分的第一光束，并且朝向显示面板透射作为源光束的另一部分的第二光束；反射镜，反射穿透半反射镜和显示面板的第二光束以使其返回到半反射镜；面板支承器，将显示面板支承在半反射镜和反射镜之间；波片，设置在半反射镜和反射镜之间并透射第二光束；旋转器，以预定角度旋转波片；以及成像检测器，拍摄第一光束和第二光束的干涉条纹。

Description

用于检查显示面板的设备
技术领域
实施方式涉及用于检查显示面板的设备以及用于检查显示面板的方法。更具体地，实施方式涉及用于检查包括光透射区域的显示面板的设备和方法。
背景技术
由于诸如重量轻和薄的特性，平板显示器正被用作代替阴极射线管显示器的显示装置。这种平板显示装置的代表性示例包括液晶显示装置和有机发光显示装置。
显示装置可以包括显示面板和功能模块。显示面板可以包括透射入射外部光的光透射区域。诸如设置在显示面板的后表面上的相机模块或传感器模块的功能模块可以通过光透射区域感测或识别定位在显示面板前面的对象、用户等。因此，需要检查显示面板的光透射区域的制造状态。
显示面板的光透射区域的制造状态可以通过干涉条纹来检查。干涉条纹分析是使用光干涉信号的方法，当从任意参考点同时出发的光通过不同的光路移动并且然后合并时，根据两个光的光路差以明和暗的形式来表现该光干涉信号。干涉条纹可以通过诸如电荷耦合装置(“CCD”)相机的成像设备来检测。
实用新型内容
实施方式提供了具有改善的检查精度和减少的检查时间的用于检查显示面板的设备。
其它实施方式提供了具有改善的检查精度和减少的检查时间的用于检查显示面板的方法。
实施方式中的用于检查显示面板的设备可以包括：光源；半反射镜，反射作为从光源照射的源光束的一部分的第一光束，并且朝向显示面板透射作为源光束的另一部分的第二光束；反射镜，反射穿透半反射镜和显示面板的第二光束以使其返回到半反射镜；面板支承器，将显示面板支承在半反射镜和反射镜之间；波片，设置在半反射镜和反射镜之间并透射第二光束；旋转器，旋转波片；以及成像检测器，拍摄第一光束和第二光束的干涉条纹。
在实施方式中，面板支承器可以将显示面板固定成不旋转。
在实施方式中，成像检测器可以拍摄第一光束和第二光束的干涉条纹，其中，第一光束由半反射镜反射，并且第二光束穿透半反射镜、波片和显示面板，由反射镜反射，并且再次穿透显示面板、波片和半反射镜。
在实施方式中，成像检测器可以在波片旋转之前获取通过拍摄第一光束和第二光束的干涉条纹而获得的第一图像，并且在波片旋转之后获取通过拍摄第一光束和第二光束的干涉条纹而获得的第二图像。
在实施方式中，波片可以设置在半反射镜和显示面板之间。
在实施方式中，波片可以设置在显示面板和反射镜之间。
在实施方式中，光源可以照射圆偏振源光束。
在实施方式中，反射镜可以相对于半反射镜倾斜。
实施方式中的用于检查显示面板的方法可以包括：朝向半反射镜照射源光束；获取拍摄第一光束和第二光束的干涉条纹的第一图像，其中，第一光束是源光束的由半反射镜反射的一部分，并且第二光束是源光束的穿透半反射镜、波片和显示面板并由反射镜反射，并且再次穿透显示面板、波片和半反射镜的另一部分；旋转波片；以及在旋转波片之后，获取拍摄第一光束和第二光束的干涉条纹的第二图像。
在实施方式中，显示面板可以固定成不旋转。
在实施方式中，穿透半反射镜的第二光束可以依次穿透波片和显示面板并由反射镜反射。
在实施方式中，由反射镜反射的第二光束可以依次穿透显示面板、波片和半反射镜。
在实施方式中，照射源光束可以包括朝向半反射镜照射圆偏振源光束。
在实施方式中，反射镜可以相对于半反射镜倾斜。
在本公开的实施方式中的用于检查显示面板的设备中，在显示面板固定成不旋转的状态下，设备可以获取关于显示面板的光透射区域的干涉条纹图像，并且旋转具有预定周期并且以预定角度设置在半反射镜和反射镜之间的波片。因此，设备可以在减少检查时间的同时防止干涉条纹不出现或微弱地出现的图像形成缺陷。而且，由于显示面板固定，因此可以防止由于显示面板的振动而引起的错误测量。因此，可以精确地检查显示面板的光透射区域，并且可以减少检查时间。
附图说明
通过参考附图更详细地描述本公开的示例性实施方式，本公开的以上和其它示例性实施方式、优点和特征将变得更加明显，在附图中：
图1是示意性地示出用于检查显示面板的设备的实施方式的配置图。
图2是示出作为图1的用于检查显示面板的设备的检查对象的显示面板的实施方式的平面图。
图3是示出图2的显示面板的第一区域的平面图。
图4是沿着图3的线I-I'截取的剖视图。
图5是示出用于检查显示面板的方法的实施方式的流程图。
具体实施方式
在下文中，将参考附图更详细地描述实施方式中的显示装置。相同的附图标记用于附图中的相同的部件，并且将省略对相同部件的冗余描述。
将理解，当元件被称为“在”另一元件“上”时，它可以直接在另一元件上或者在它们之间可以存在居间元件。相反，当一个元件被称为“直接在”另一元件“上”时，不存在居间元件。
将理解，尽管在本文中可以使用术语“第一”、“第二”、“第三”等来描述各种元件、部件、区域、层和/或部分，但是这些元件、部件、区域、层和/或部分不应受到这些术语的限制。这些术语仅用于将一个元件、部件、区域、层或部分与另一元件、部件、区域、层或部分区分开。因此，在不背离本文中的教导的情况下，下面讨论的“第一元件”、“第一部件”、“第一区域”、“第一层”或“第一部分”可以被称为第二元件、第二部件、第二区域、第二层或第二部分。
本文中所使用的术语仅用于描述特定实施方式的目的，并且不旨在进行限制。除非上下文另外清楚地指示，否则如本文中所使用的，单数形式“一”、“一个”和“该”旨在包括包含“至少一个”的复数形式。“或”意指“和/或”。如本文中所使用的，术语“和/或”包括相关所列项的一个或多个的任意和所有组合。还将理解，当在本说明书中使用术语“包括”和/或“包括有”或者“包含”和/或“包含有”时，其指定所陈述的特征、区域、整体、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但不排除一个或多个其它特征、区域、整体、步骤、操作、元件、部件和/或其组的存在或添加。
此外，可以在本文中使用诸如“下”或“底部”以及“上”或“顶部”的相对术语来描述如附图中所示的一个元件与另一元件的关系。将理解，除了附图中描绘的定向之外，相对术语旨在包含装置的不同定向。例如，如果在附图中的一个中的装置被翻转，则被描述为在其它元件的“下”侧上的元件将随之被定向在其它元件的“上”侧上。因此，根据附图的特定定向，示例性术语“下”可以包含“下”和“上”两种定向。类似地，如果在附图中的一个中的装置被翻转，则被描述为在其它元件“下方”或“下面”的元件将随之被定向在其它元件的“上方”。因此，示例性术语“下方”或“下面”可以包含上方和下方两种定向。
如本文中所使用的“约”或“大约”包括所述值以及由本领域普通技术人员在考虑到所讨论的测量和与特定量的测量相关的误差(即，测量系统的限制)时所确定的特定值的可接受偏差范围内的平均值。例如，诸如“约”的术语可以意指在所述值的一个或多个标准偏差内，或者在所述值的±30％、±20％、±10％、±5％内。
如本文中所使用的术语“单元”可以意指执行预定功能的软件部件或硬件部件。例如，硬件部件可以包括现场可编程门阵列(“FPGA”)或专用集成电路(“ASIC”)。软件部件可以指代可寻址存储介质中的可执行代码和/或由可执行代码使用的数据。因此，例如，软件部件可以是面向对象的软件部件、类部件和任务部件，并且可以包括进程、函数、属性、过程、子例程、程序代码段、驱动器、固件、微代码、电路、数据、数据库、数据结构、表、数组或变量。
除非另有定义，否则本文中使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本公开所属领域中的普通技术人员通常理解的相同的含义。还将理解，术语，诸如在常用字典中定义的那些术语，应被解释为具有与它们在相关领域和本公开的上下文中的含义一致的含义，并且除非在本文中明确地如此定义，否则将不以理想化或过于形式化的含义进行解释。
图1是示意性地示出用于检查显示面板的设备的实施方式的配置图。
参考图1，在本公开的实施方式中的用于检查显示面板的设备100可以包括光源110、半反射镜120、波片130、旋转器140、面板支承器150、反射镜160、成像检测器170和分析单元180。
用于检查显示面板的设备100可以检查显示面板200。作为用于检查显示面板的设备100的检查对象的显示面板200可以包括具有透光率的光透射区域。用于检查显示面板的设备100可以检查显示面板200的光透射区域的制造状态。更详细地，用于检查显示面板的设备100可以分析从光源110照射的源光束(例如，图1的L1)中的不穿透显示面板200的参考光束(例如，图1的L2a)和穿透显示面板200的光透射区域的测量光束(例如，图1的L2b)的干涉条纹。因此，用于检查显示面板的设备100可以检查显示面板200的光透射区域的制造状态。这将稍后详细描述。
光源110可以生成源光束L1并将源光束L1朝向半反射镜120照射。在实施方式中，从光源110照射的源光束L1可以是圆偏振光束，但是本公开不限于此。
从光源110照射的源光束L1可以入射到半反射镜120。半反射镜120可以反射入射光的一部分并透射入射光的另一部分。
如图1中所示，半反射镜120可以反射作为从光源110照射的源光束L1的一部分的第一光束L2a和作为源光束L1的另一部分的第二光束L2b。也就是说，半反射镜120可以分离入射的源光束L1的光路。如稍后将描述的，第一光束L2a可以从半反射镜120反射以入射到成像检测器170上。第二光束L2b可以穿透半反射镜120、波片130和显示面板200，由反射镜160反射，再次穿透显示面板200、波片130和半反射镜120，并且入射在成像检测器170上。入射到成像检测器170的第一光束L2a也可以被称为参考光束，并且第二光束L2b也可以被称为测量光束。而且，当第二光束L2b穿透显示面板200时，可以理解，第二光束L2b具有光透射性质并透射要检查的显示面板200的光透射区域。
波片130可以在半反射镜120插置在其间的情况下与光源110间隔开。波片130可以设置在半反射镜120和反射镜160之间。也就是说，从半反射镜120反射的第一光束L2a可以不入射在波片130上，并且只有穿透半反射镜120的第二光束L2b可以入射在波片130上。
入射在波片130上的第二光束L2b的偏振状态可以在穿透波片130的同时改变。波片130可以由诸如具有λ/4片特性的四分之一波片(“QWP”)和具有λ/2片特性的半波片(“HWP”)的各种波片组成。
而且，波片130可以包括各种材料。在实施方式中，例如，波片130可以是包括具有膜形状的聚合物的膜波片。然而，本公开不限于此，并且波片130可以是包括晶体的晶体波片。当波片130是晶体波片时，可以改善波片130的耐久性。
在实施方式中，波片130可以与显示面板200基本上平行设置。
波片130可以以各种方式设置在半反射镜120和反射镜160之间。
在实施方式中，如图1中所示，波片130可以设置在半反射镜120和显示面板200之间。在这种情况下，穿透半反射镜120的第二光束L2b可以依次穿透波片130和显示面板200以由反射镜160反射，并且再次透射到显示面板200和波片130，并且入射在半反射镜120上。
在另一实施方式中，与附图中所示的不同，波片130可以设置在显示面板200和反射镜160之间。在这种情况下，穿透半反射镜120的第二光束L2b可以依次穿透显示面板200和波片130以由反射镜160反射，并且然后再次透射到波片130和显示面板200，并且入射在半反射镜120上。
旋转器140可以以预定角度旋转波片130。在实施方式中，例如，旋转器140可以围绕与波片130的上表面垂直的旋转轴以预定角度旋转波片130。成像检测器170可以分别在旋转器140旋转波片130之前和之后拍摄第一光束L2a和第二光束L2b的干涉条纹。因此，用于检查显示面板的设备100可以防止干涉条纹不出现或微弱地出现的图像形成缺陷。在实施方式中，例如，旋转器140旋转波片130的角度可以设定成适当的值，以便根据要检查的显示面板200反转成像。
旋转器140可以保持波片130的恒定旋转角度。在实施方式中，例如，刻度盘可以设置在波片130之下，并且波片130的旋转角度可以由通过刻度盘测量旋转角度来恒定地保持。因此，当检查显示面板200时，波片130可以以预定角度旋转，以确保检查工艺的可靠性。
面板支承器150可以支承显示面板200。面板支承器150可以支承显示面板200，使得显示面板200设置在半反射镜120和反射镜160之间。
在实施方式中，面板支承器150可以固定，使得显示面板200在显示面板200的检查工艺期间不旋转。
反射镜160可以反射通过半反射镜120、波片130和显示面板200入射的第二光束L2b。由反射镜160反射的第二光束L2b可以穿透显示面板200、波片130和半反射镜120，以入射在成像检测器170上。
在实施方式中，如图1中所示，反射镜160可以不与半反射镜120平行。也就是说，反射镜160可以相对于半反射镜120倾斜。在实施方式中，例如，镜调节单元(未示出)可以通过调节反射镜160相对于半反射镜120的角度来调节干涉条纹的数量。
光路与源光束L1分离的第一光束L2a和第二光束L2b可以入射到成像检测器170。第一光束L2a可以从半反射镜120反射以入射在成像检测器170上。第二光束L2b可以穿透半反射镜120、波片130和显示面板200，由反射镜160反射，再次穿透显示面板200、波片130和半反射镜120，并且入射在成像检测器170上。成像检测器170可以对第一光束L2a和第二光束L2b的干涉条纹进行成像。
在旋转器140旋转波片130之前，成像检测器170可以通过拍摄第一光束L2a和第二光束L2b的干涉条纹来获取第一图像。接下来，在旋转器140以预定角度旋转波片130之后，成像检测器170可以通过拍摄第一光束L2a和第二光束L2b的干涉条纹来获取第二图像。旋转器140旋转波片130的角度可以根据显示面板200(例如，根据产品规格)设定成适当的值，使得干涉条纹清楚地出现在第一图像和第二图像中的至少一个中。因此，用于检查显示面板的设备100可以防止干涉条纹不出现或微弱地出现的图像形成缺陷。
分析单元180可以分析由成像检测器170获取的第一图像和/或第二图像中显示的干涉条纹，以检查显示面板200的光透射区域的制造状态。具体地，以明和暗的形式表现的干涉条纹可以根据与源光束L1分离的第一光束L2a和第二光束L2b之间的光路差而出现。分析单元180可以从干涉条纹计算相位信息，并且从相位信息检查显示面板200的光透射区域的折射率分布和波前像差。
图2是示出作为图1的用于检查显示面板的设备的检查对象的显示面板的实施方式的平面图。
参考图2，显示面板200可以具有第一区域A1和第二区域A2。第一区域A1和第二区域A2中的每一个可以是用于显示图像的显示区域。第一区域A1可以包括透射外部光的透射区域(例如，图3的透射区域TA)。由于第一区域A1包括透射区域，因此第一区域A1的透射率可以比第二区域A2的透射率高。第一区域A1可以在显示图像的同时透射入射在第一区域A1上的外部光。也就是说，第一区域A1可以总体上具有光透射性质。第一区域A1也可以被称为光透射区域。
显示面板200的第一区域A1可以是其中功能模块设置在后表面上的区域。设置在显示面板200的后表面上的诸如相机模块和传感器模块的功能模块可以通过透光的第一区域A1来检测或识别设置在显示面板200前面的对象、用户等。因此，由于功能模块的性能根据显示面板200的第一区域A1的制造状态而变化，因此需要检查显示面板200的第一区域A1。
图3是示出图2的显示面板的第一区域的平面图。图4是沿着图3的线I-I'截取的剖视图。
在下文中，参考图3和图4，在显示面板200的第一区域A1和第二区域A2中，可以更详细地描述要由用于检查显示面板的设备100检查的第一区域A1。
参考图3，第一区域A1可以包括第一像素区域PA1、透射区域TA和第一周边区域SA1。第一像素区域PA1可以是其中设置像素并且发射从像素中的每一个生成的光的区域。
第一像素区域PA1可以包括发射不同颜色的光的多个第一子像素区域SRA1、SGA1和SBA1。在实施方式中，第一子像素区域SRA1、SGA1和SBA1包括发射红色光的第一红色像素区域SRA1、发射绿色光的第一绿色像素区域SGA1和发射蓝色光的第一蓝色像素区域SBA1。
透射区域TA可以是透射入射在显示面板200上的外部光的区域。由于第一区域A1包括透射外部光的透射区域TA，因此设置在显示面板200之下与第一区域A1对应的功能模块可以通过透射区域TA检测或识别设置在显示装置前面的对象或用户。第一周边区域SA1可以围绕第一像素区域PA1和透射区域TA。第一周边区域SA1可以是其中不发射光并且不透射外部光的区域。
参考图4，在实施方式中，显示面板200可以包括衬底210和显示单元DP。显示单元DP可以包括多个导电层220、230、241和242、多个无机绝缘层211和212、有机绝缘层213、第一电极250和像素限定层214、发射层260、第二电极270和封装层280。
衬底210可以是透明绝缘衬底。在实施方式中，例如，衬底210可以包括玻璃、石英、塑料等。
设置在不同层中的导电层220、230、241和242可以设置在衬底210上。导电层220、230、241和242可以包括有源层220、栅电极230、源电极241和漏电极242。导电层220、230、241和242可以设置在第一像素区域PA1和第一周边区域SA1中。
无机绝缘层211和212可以设置在衬底210上，以通过设置在不同层中而使导电层220、230、241和242彼此绝缘。无机绝缘层211和212可以包括栅极绝缘层211和中间绝缘层212。
有源层220可以设置在衬底210上。有源层220可以包括非晶硅、多晶硅、氧化物半导体等。有源层220可以包括源极区、漏极区以及设置在源极区和漏极区之间的沟道区。源极区和漏极区可以掺杂有P型或N型杂质，并且沟道区可以掺杂有与掺杂到源极区和漏极区中的杂质不同类型的杂质。
栅极绝缘层211可以设置在有源层220上。栅极绝缘层211可以覆盖有源层220，并且可以形成在衬底210上。栅极绝缘层211可以使栅电极230与有源层220绝缘。栅极绝缘层211可以包括诸如氮化硅、氧化硅或氮氧化硅的无机绝缘材料。
栅电极230可以设置在栅极绝缘层211上。栅电极230可以与有源层220的沟道区重叠。栅电极230可以包括诸如金属或金属合金的导电材料。在实施方式中，例如，栅电极230可以包括钼(Mo)、铜(Cu)等。
中间绝缘层212可以设置在栅电极230上。中间绝缘层212可以覆盖栅电极230，并且可以形成在栅极绝缘层211上。中间绝缘层212可以使源电极241和漏电极242与栅电极230绝缘。中间绝缘层212可以包括诸如氮化硅、氧化硅、氮氧化硅等的无机绝缘材料。
源电极241和漏电极242可以设置在中间绝缘层212上。源电极241可以连接到有源层220的源极区，并且漏电极242可以连接到有源层220的漏极区。源电极241和漏电极242可以包括诸如金属或金属合金的导电材料。在实施方式中，例如，源电极241和漏电极242可以包括铝(Al)、钛(Ti)、铜(Cu)等。有源层220、栅电极230、源电极241和漏电极242可以形成晶体管TR。晶体管TR可以设置在第一像素区域PA1中。
有机绝缘层213可以设置在源电极241和漏电极242上。有机绝缘层213可以形成在中间绝缘层212上以覆盖源电极241和漏电极242。有机绝缘层213可以保护晶体管TR并在晶体管TR上提供平坦表面。有机绝缘层213可以包括诸如聚酰亚胺(“PI”)的有机绝缘材料。
第一电极250可以设置在有机绝缘层213上。第一电极250可以连接到源电极241或漏电极242。第一电极250可以设置在第一像素区域PA1中。第一电极250可以包括诸如金属或透明导电氧化物的导电材料。
像素限定层214可以设置在第一电极250上。暴露第一电极250的中央部分的像素开口可以限定在像素限定层214中，以限定第一像素区域PA1。此外，像素限定层214可以通过将第二电极270与第一电极250的边缘分离来防止在第一电极250的边缘和第二电极270之间生成电弧。像素限定层214可以包括诸如聚酰亚胺(“PI”)的有机绝缘材料。
发射层260可以设置在第一电极250上。发射层260可以设置在由像素开口暴露的第一电极250上。发射层260可以包括有机发光材料和量子点中的至少一种。
第二电极270可以设置在发射层260上。第二电极270也可以设置在像素限定层214上。第二电极270可以在发射层260插置在其间的情况下面对第一电极250。第二电极270可以包括诸如金属或透明导电氧化物的导电材料。第一电极250、发射层260和第二电极270可以形成发光元件EL。发光元件EL可以设置在第一像素区域PA1中。
显示面板200可以包括与透射区域TA重叠的透射窗TW。透射窗TW可以限定为显示面板200的与透射区域TA重叠的部件的开口。与透射区域TA重叠的开口可以限定在栅极绝缘层211、中间绝缘层212、有机绝缘层213、像素限定层214和第二电极270中的至少一个中。
在实施方式中，与透射区域TA重叠的第一开口OP1、第二开口OP2、第三开口OP3、第四开口OP4和第五开口OP5可以分别限定在第二电极270、像素限定层214、有机绝缘层213、中间绝缘层212和栅极绝缘层211中。在这种情况下，第二电极270的第一开口OP1、像素限定层214的第二开口OP2、有机绝缘层213的第三开口OP3、中间绝缘层212的第四开口OP4以及栅极绝缘层211的第五开口OP5可以限定透射窗TW。
封装层280可以设置在第二电极270上。封装层280可以包括至少一个无机层和至少一个有机层。
封装层280的与第一像素区域PA1、第一周边区域SA1、第二像素区域和第二周边区域重叠的部分可以设置在发光元件EL上，防止杂质从外部流入发光元件EL，并且保护发光元件EL免受外部冲击。在实施方式中，第二像素区域和第二周边区域可以是与第一像素区域PA1和第一周边区域SA1的结构基本上类似的结构。而且，封装层280的与透射区域TA重叠的一部分可以填充透射窗TW。封装层280可以具有在第一像素区域PA1、第一周边区域SA1和透射区域TA之上的平坦顶表面。
在实施方式中，封装层280可以包括第一无机层、设置在第一无机层上的第二无机层以及设置在第一无机层和第二无机层之间的有机层。第一无机层和第二无机层可以减少或基本上阻挡诸如氧和湿气的杂质渗透到发光元件EL中。有机层可以改善封装层280的密封特性，减轻第一无机层和第二无机层的内应力，补偿第一无机层和第二无机层的缺陷，并且向第二无机层提供平坦顶表面。
如参考图2至图4所描述的，在显示面板200中，要由用于检查显示面板的设备100检查的区域可以是具有光透射性质的第一区域A1。在这种情况下，即使当通过相同的制造工艺制造多个显示面板200时，第一区域A1的双折射也可以针对每个所制造的显示面板200而变化。因此，当用于检查显示面板的设备100在预定条件下检查显示面板200时，可能出现干涉条纹在显示面板200中的一些中不出现或微弱地出现的图像形成缺陷。而且，为了解决这个问题，即使在以各种角度倾斜显示面板200的同时拍摄干涉条纹的情况下，也不能完全消除成像缺陷，并且由于检查时间的增加和倾斜，可能出现干涉条纹由于显示面板200的振动而变得不均匀的问题。
然而，在本公开的实施方式中，用于检查显示面板的设备100可以通过旋转波片130来获取干涉条纹图像，波片130设置在半反射镜120和反射镜160之间，并且在显示面板200不旋转的固定状态下具有预定周期。在实施方式中，例如，成像检测器170可以分别在旋转器140旋转波片130之前和之后通过拍摄第一光束L2a和第二光束L2b的干涉条纹来获取第一图像和第二图像。旋转器140旋转波片130的角度可以根据显示面板200设定成适当的值，使得干涉条纹清楚地出现在第一图像和第二图像中的至少一个中。因此，用于检查显示面板的设备100可以防止干涉条纹不出现或微弱地出现的图像形成缺陷，并且可以减少检查时间。而且，由于显示面板200固定，因此可以防止由于显示面板200的振动而引起的错误测量。因此，可以精确地检查显示面板200的光透射区域，并且可以减少检查时间。
图5是示出用于检查显示面板的方法的实施方式的流程图。
在下文中，将参考图1和图5简要描述使用用于检查显示面板的设备100的用于检查显示面板200的方法。
首先，可以将要检查的显示面板200装载到面板支承器150上(S110)。
面板支承器150可以支承显示面板200，使得显示面板200设置在半反射镜120和反射镜160之间。面板支承器150可以固定，使得显示面板200在显示面板200的检查工艺期间不旋转。
随后，可以获取通过捕获显示面板200的光透射区域(例如，图2的第一区域A1)的干涉条纹而获得的第一图像(S120)。
光源110可以生成源光束L1并将源光束L1朝向半反射镜120照射。
半反射镜120可以反射作为从光源110照射的源光束L1的一部分的第一光束L2a，并且透射作为源光束L1的另一部分的第二光束L2b。
第一光束L2a可以从半反射镜120反射以入射到成像检测器170上。第二光束L2b可以穿透半反射镜120、波片130和显示面板200，由反射镜160反射，再次穿透显示面板200、波片130和半反射镜120，并且入射在成像检测器170上。成像检测器170可以通过成像第一光束L2a和第二光束L2b的干涉条纹来获取第一图像。
然后，旋转器140可以以预定角度旋转波片130(S130)。在实施方式中，例如，旋转器140可以围绕与波片130的顶表面垂直的旋转轴以预定角度旋转波片130。
在旋转器140将波片130旋转预定角度之后，可以获取通过拍摄显示面板200的光透射区域的干涉条纹而获得的第二图像(S140)。
旋转器140旋转波片130的角度可以根据显示面板200(例如，根据产品规格)设定成适当的值，使得干涉条纹清楚地出现在第一图像和第二图像中的至少一个中。因此，用于检查显示面板的设备100可以防止干涉条纹不出现或微弱地出现的图像形成缺陷。
在获取第二图像之后，可以从面板支承器150卸载显示面板200(S150)。
根据本公开的实施方式中的用于检查显示面板的方法，当设置在半反射镜120和反射镜160之间并且在固定状态下具有预定周期的波片130旋转预定角度(其中，显示面板200不旋转)时，可以获得干涉条纹图像。因此，用于检查显示面板的方法可以防止干涉条纹不出现或微弱地出现的图像形成缺陷，并且可以减少检查时间。而且，由于显示面板200固定，因此可以防止由于显示面板200的振动而引起的错误测量。
实施方式中的设备和方法可以应用于包括在计算机、笔记本、移动电话、智能电话、智能板、便携式媒体播放器(“PMP”)、个人数字助理(“PDA”)、MP3播放器等中的显示装置。
尽管已经参考附图描述了实施方式中的设备和方法，但是所示的实施方式是示例，并且可以由相关技术领域中的普通技术人员在不背离所附权利要求中描述的技术精神的情况下进行修改和改变。

Claims (8)

1.一种用于检查显示面板的设备，其特征在于，所述设备包括：
光源；
半反射镜，反射作为从所述光源照射的源光束的一部分的第一光束，并且朝向所述显示面板透射作为所述源光束的另一部分的第二光束；
反射镜，反射穿透所述半反射镜和所述显示面板的所述第二光束以使所述第二光束返回到所述半反射镜；
面板支承器，将所述显示面板支承在所述半反射镜和所述反射镜之间；
波片，设置在所述半反射镜和所述反射镜之间并透射所述第二光束；
旋转器，旋转所述波片；以及
成像检测器，拍摄所述第一光束和所述第二光束的干涉条纹。
2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述面板支承器将所述显示面板固定成不旋转。
3.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述第一光束由所述半反射镜反射，并且所述第二光束穿透所述半反射镜、所述波片和所述显示面板，由所述反射镜反射，并且再次穿透所述显示面板、所述波片和所述半反射镜。
4.根据权利要求3所述的设备，其特征在于，所述成像检测器在所述波片旋转之前获取通过拍摄所述第一光束和所述第二光束的所述干涉条纹而获得的第一图像，并且在所述波片旋转之后获取通过拍摄所述第一光束和所述第二光束的所述干涉条纹而获得的第二图像。
5.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述波片设置在所述半反射镜和所述显示面板之间。
6.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述波片设置在所述显示面板和所述反射镜之间。
7.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述光源照射圆偏振源光束。
8.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述反射镜相对于所述半反射镜倾斜。
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