CN220572921U - 冷却腔及其废气处理装置 - Google Patents
冷却腔及其废气处理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN220572921U CN220572921U CN202322061753.0U CN202322061753U CN220572921U CN 220572921 U CN220572921 U CN 220572921U CN 202322061753 U CN202322061753 U CN 202322061753U CN 220572921 U CN220572921 U CN 220572921U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- inner sleeve
- sleeve
- baffles
- cooling cavity
- outer sleeve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 title claims abstract description 28
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 29
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 6
- 239000000843 powder Substances 0.000 abstract description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 15
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 8
- 239000002912 waste gas Substances 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000005496 tempering Methods 0.000 description 2
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000009841 combustion method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 perfluoro compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000011863 silicon-based powder Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
Abstract
本实用新型是冷却腔，包括：外套筒，其内设置有内套筒；多个倾斜的挡板，其从上至下交错设置在所述内套筒内，并形成螺旋向下的流道；封板，其连接所述外套筒、内套筒底部；所述外套筒顶部与所述内套筒顶部设置有溢流腔；内套筒的内壁设置有多个挡板，多个挡板倾斜设置，多个挡板与内套筒内壁形成螺旋的流道，这样气流、水流方向倾斜，可以很好地阻挡水汽，使入口的水汽含量减少，减轻粉末的结块现象；此外通过设置挡板也能够很好的阻挡高温气流的回流情况。
Description
技术领域
本实用新型涉及废气处理装置，特别是冷却腔及其废气处理装置。
背景技术
在半导体行业中，如太阳能面板、晶圆、液晶平板等厂家生产过程中会产生有毒有害的废气，主要以单硅烷(SiH4)、氯气(Cl2)、PFC(全氟化合物(perfluorocompounds))等为主；为了防止有害物质对于环境的污染，对废气排放前，需要在先对工程废气进行净化处理；在处理含有上述气体的废气时，通常使用吸附法、加热分解法、水洗法和燃烧法等一种或者数种相结合的方式进行处理。
现有的废气处理装置是将废气通过反应腔，通过等离子枪对反应腔中的气体进行燃烧分解，分解过后的气体进入冷却腔进行冷却，排入至水箱，最后从排气口将完成净化的废气排出；
现有气体在经过冷却腔时存在如下问题：
1、冷却腔中注入的气体中有SiH4组分，和氧气反应后有SiO2粉末，遇水汽后结成硅粉块，容易堵塞管道；以前的冷却腔是直筒，缺点是管道堵塞，需要经常清理，堵塞严重的话会报警不能正常工作；
2、以前的冷却腔是直筒，缺点是燃烧的混合气体由上而下直通排出，在非正常情况下负压有可能不稳定，造成高温气体往上回火；
综上，如何能够防止冷却腔堵塞以及防止高温回火的情况发生成为了本领域研究人员急需解决的问题。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是：如何能够防止冷却腔堵塞以及防止高温回火的情况；
为解决上述技术问题，本实用新型采取的技术方案为：
本实用新型是冷却腔，包括：外套筒，其内设置有内套筒；多个倾斜的挡板，其从上至下交错设置在所述内套筒内，并形成螺旋向下的流道；封板，其连接所述外套筒、内套筒底部；所述外套筒顶部与所述内套筒顶部设置有溢流腔；
在本方案中，冷却腔包括呈内外设置的内套筒，外套筒；内套筒，外套筒之间形成夹层，用于进水；内套筒，外套筒底部设置有封板，使得夹层底部为封闭结构，顶部具有一开口；当夹层内的水位高度超过内套筒的高度后，会流入至内套筒内，与气体混合；
内套筒的内壁设置有多个挡板，多个挡板倾斜设置，多个挡板与内套筒内壁形成螺旋的流道，这样气流、水流方向倾斜，可以很好地阻挡水汽，使入口的水汽含量减少，减轻粉末的结块现象；此外通过设置挡板也能够很好的阻挡高温气流的回流情况。
为了说明挡板的具体结构，本实用新型采用所述挡板为半圆结构；所述挡板的弧形段与所述内套筒的内壁固定连接。
为了说明挡板的具体连接方式，本实用新型采用位于所述内套筒的水平截面，多个所述挡板配合覆盖所述内套筒的内孔；
换言之，从内套筒的顶部向下看，多个挡板异面重叠覆盖内套筒的内孔，这样就不会有水汽直接从内套筒排出，水汽必须经过螺旋的流道排出；
具体而言，在本方案中从上至下设置有三个倾斜的挡板，上部挡板的覆盖内套筒的内孔的角度为0°～180°；中部挡板的覆盖内套筒的内孔的角度为
120°～300°，底部挡板的覆盖内套筒的内孔的角度为240°～60°。
本方案中的冷却腔可以应用在废气处理装置上，冷却腔位于水箱、反应箱之间。
本实用新型的有益效果：本实用新型是冷却腔，内套筒的内壁设置有多个挡板，多个挡板倾斜设置，多个挡板与内套筒内壁形成螺旋的流道，这样气流、水流方向倾斜，可以很好地阻挡水汽，使入口的水汽含量减少，减轻粉末的结块现象；此外通过设置挡板也能够很好的阻挡高温气流的回流情况。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是废气处理装置的结构示意图；
图2是冷却腔的剖面图；
图3是冷却腔的顶部结构示意图；
图4是冷却腔的底部结构示意图；
图5是内套筒与3个挡板的水平截面配合图；
图中：1-外套筒、2-内套筒、3-挡板、4-流道、5-封板、6-溢流腔、10-冷却腔、20-水箱、30-反应箱。
具体实施方式
现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
如图2-4所示，本实用新型是冷却腔10，包括：外套筒1，其内设置有内套筒2；多个倾斜的挡板3，其从上至下交错设置在所述内套筒2内，并形成螺旋向下的流道4；封板5，其连接所述外套筒1、内套筒2底部；所述外套筒1顶部与所述内套筒2顶部设置有溢流腔6；
在本方案中，冷却腔包括呈内外设置的内套筒，外套筒；内套筒，外套筒之间形成夹层，用于进水；内套筒，外套筒底部设置有封板，使得夹层底部为封闭结构，顶部具有一开口；当夹层内的水位高度超过内套筒的高度后，会流入至内套筒内，与气体混合；
内套筒的内壁设置有多个挡板，多个挡板倾斜设置，多个挡板与内套筒内壁形成螺旋的流道，这样气流、水流方向倾斜，可以很好地阻挡水汽，使入口的水汽含量减少，减轻粉末的结块现象；此外通过设置挡板也能够很好的阻挡高温气流的回流情况。
如图2-4所示，为了说明挡板的具体结构，本实用新型采用所述挡板3为半圆结构；所述挡板3的弧形段与所述内套筒2的内壁固定连接。
如图5所示，为了说明挡板的具体连接方式，本实用新型采用位于所述内套筒2的水平截面，多个所述挡板3配合覆盖所述内套筒2的内孔；
换言之，从内套筒的顶部向下看，多个挡板异面重叠覆盖内套筒的内孔，这样就不会有水汽直接从内套筒排出，水汽必须经过螺旋的流道排出；
具体而言，在本方案中从上至下设置有三个倾斜的挡板，上部挡板的覆盖内套筒的内孔的角度为0°～180°；中部挡板的覆盖内套筒的内孔的角度为120°～300°，底部挡板的覆盖内套筒的内孔的角度为240°～60°；
需要注意的是，虽然从截面上看是水平设置的，但是实际多个挡板是位于不同会的高度，且倾斜设置的。
如图1所示，本方案中的冷却腔可以应用在废气处理装置上，冷却腔10位于水箱30、反应箱20之间。
以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (4)
1.冷却腔，其特征在于，包括：
外套筒，其内设置有内套筒；
多个倾斜的挡板，其从上至下交错设置在所述内套筒内，并形成螺旋向下的流道；
封板，其连接所述外套筒、内套筒底部；
所述外套筒顶部与所述内套筒顶部设置有溢流腔。
2.根据权利要求1所述的冷却腔，其特征在于，所述挡板为半圆结构；
所述挡板的弧形段与所述内套筒的内壁固定连接。
3.根据权利要求1所述的冷却腔，其特征在于，位于所述内套筒的水平截面，多个所述挡板配合覆盖所述内套筒的内孔。
4.废气处理装置，其包括权利要求1-3任意一项所述的废气处理装置，其特征在于，
所述冷却腔设置在水箱、反应箱之间。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322061753.0U CN220572921U (zh) | 2023-08-01 | 2023-08-01 | 冷却腔及其废气处理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322061753.0U CN220572921U (zh) | 2023-08-01 | 2023-08-01 | 冷却腔及其废气处理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN220572921U true CN220572921U (zh) | 2024-03-12 |
Family
ID=90117770
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202322061753.0U Active CN220572921U (zh) | 2023-08-01 | 2023-08-01 | 冷却腔及其废气处理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN220572921U (zh) |
-
2023
- 2023-08-01 CN CN202322061753.0U patent/CN220572921U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6423284B1 (en) | Fluorine abatement using steam injection in oxidation treatment of semiconductor manufacturing effluent gases | |
| CN103292332B (zh) | 一种含氟有机废液、废气负压焚烧处理系统及方法 | |
| KR100827484B1 (ko) | 코크 오븐가스의 타르와 수분 제거장치 및 방법 | |
| US20040213721A1 (en) | Apparatus and method for point-of-use treatment of effluent gas streams | |
| KR100479627B1 (ko) | 폐가스 처리용 습식 전처리 장치 및 그 전처리 방법 | |
| WO2000035573A1 (en) | Apparatus and method for point-of-use treatment of effluent gas streams | |
| CN220572921U (zh) | 冷却腔及其废气处理装置 | |
| CN105066146B (zh) | 一种高浓度有机废液处理系统及处理方法 | |
| CN1164352C (zh) | 一种尾气净化处理装置及其该装置完成的工艺 | |
| JP2002166126A (ja) | 燃焼排ガスの処理装置 | |
| CN114923193B (zh) | 一种有害气体燃烧反应器 | |
| CN116202091A (zh) | 一种硅烷高空紧急放散系统及方法 | |
| CN2873784Y (zh) | 工业煤气酚液蒸发器 | |
| CN217247947U (zh) | 一种用于处理二氧化碳废气的碳化装置 | |
| CN220397572U (zh) | 燃烧室水汽隔离装置及其废气处理装置 | |
| CN103090399B (zh) | 硅烷尾气处理装置以及方法 | |
| CN202379747U (zh) | 多晶硅生产中的氯硅烷液体的处理装置 | |
| CN209052641U (zh) | 用于提纯生物质气的洗涤装置 | |
| CN201073588Y (zh) | 外延炉尾气净化器 | |
| CN107715657A (zh) | 一种工业车间废气处理用回收装置 | |
| CN218818346U (zh) | 检测液封及避免液封的火炬分子封装置 | |
| CN216395893U (zh) | 一种降低焦炉烟气中nox含量的装置 | |
| CN217473150U (zh) | 一种多晶硅废气处理系统 | |
| CN211635989U (zh) | 苯基硅橡胶生产尾气吸收系统 | |
| CN219502313U (zh) | 一种复合炉烟气处理装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |