CN220397572U - 燃烧室水汽隔离装置及其废气处理装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型是燃烧室水汽隔离装置，包括：内套筒；外套筒，其内设置有所述内套筒，其顶部与所述内套筒顶部设置有溢流间隙；底板，其连接内套筒、外套筒底部；连接板，其设置在所述外套筒顶部；多个进气孔，其贯通开设在所述连接板周向；通过所述经气孔向所述内套筒通入压缩气体，在所述内套筒顶部形成气帘；连接板周向上开设有多个进气孔，压缩空气筒进气孔通入至外套筒内，这样形成气帘，这样水汽收到了气帘的阻碍无法上升，因此水汽无法与二氧化硅结成固体的块状，堵塞燃烧室的进气孔。
Description
技术领域
本实用新型涉及废气处理装置，特别是燃烧室水汽隔离装置。
背景技术
在半导体行业中，如太阳能面板、晶圆、液晶平板等厂家生产过程中会产生有毒有害的废气，主要以单硅烷(SiH4)、氯气(Cl2)、PFC(全氟化合物(perfluoro compounds))等为主；为了防止有害物质对于环境的污染，对废气排放前，需要在先对工程废气进行净化处理；在处理含有上述气体的废气时，通常使用吸附法、加热分解法、水洗法和燃烧法等一种或者数种相结合的方式进行处理。
现有的废气处理装置是将废气通过反应腔，通过等离子枪对反应腔中的气体进行燃烧分解，分解过后的气体进入冷却室进行冷却，排入至水箱，最后从排气管将气体排出；
现有方案中存在如下问题：废气在燃烧室燃烧，然后进入冷却腔，冷却腔有不断循环流动的水，吸收大量的热量，气体得到冷却，同时产生水汽，水汽上升进入燃烧室后会和燃烧后产生的二氧化硅结成固体的块状，吸附在燃烧室的内壁表面，堵塞燃烧室进气口和内壁；
综上，如何避免冷却室的水汽上升成为了本领域研究人员急需解决的问题。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是：何避免冷却室的水汽上升；
为解决上述技术问题，本实用新型采取的技术方案为：
本实用新型是燃烧室水汽隔离装置，包括：内套筒；外套筒，其内设置有所述内套筒，其顶部与所述内套筒顶部设置有溢流间隙；底板，其连接内套筒、外套筒底部；连接板，其设置在所述外套筒顶部；多个进气孔，其贯通开设在所述连接板周向；通过所述经气孔向所述内套筒通入压缩气体，在所述内套筒顶部形成气帘；
在本方案中，内套筒、外套筒两者底部之间设置有连接板，外套筒顶部设置有连接板，连接板用于连接外套筒、燃烧室；连接板周向上开设有多个进气孔，压缩空气筒进气孔通入至外套筒内，这样形成气帘，这样水汽收到了气帘的阻碍无法上升，因此水汽无法与二氧化硅结成固体的块状，堵塞燃烧室的进气孔。
为了具体说明进气孔的结构，本实用新型采用所述连接板的内圈为倾斜向下设置；所述进气孔的出口倾斜倾斜向下进行出气；
在本方案中，进气孔斜向下进行出气，形成的气帘同样也斜向下设置，对水汽的阻碍效果更好。
本方案中的燃烧室水汽隔离装置可以应用在废气处理装置上，燃烧室水汽隔离装置位于水箱、燃烧箱之间。
本实用新型的有益效果：本实用新型是燃烧室水汽隔离装置，连接板周向上开设有多个进气孔，压缩空气筒进气孔通入至外套筒内，这样形成气帘，这样水汽收到了气帘的阻碍无法上升，因此水汽无法与二氧化硅结成固体的块状，堵塞燃烧室的进气孔。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的剖面图；
图2是废气处理装置的结构示意图；
图中：1-内套筒、2-外套筒、3-连接板、4-进气孔、5-底板、6-出口、10-燃烧室水汽隔离装置、20-燃烧箱、30-水箱。
具体实施方式
现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
如图1所示，本实用新型是燃烧室水汽隔离装置10，包括：内套筒1；外套筒2，其内设置有所述内套筒1，其顶部与所述内套筒1顶部设置有溢流间隙；底板5，其连接内套筒1、外套筒2底部；连接板3，其设置在所述外套筒2顶部；多个进气孔4，其贯通开设在所述连接板3周向；通过所述经气孔4向所述内套筒1通入压缩气体，在所述内套筒1顶部形成气帘；
在本方案中，内套筒、外套筒两者底部之间设置有连接板，外套筒顶部设置有连接板，连接板用于连接外套筒、燃烧室；连接板周向上开设有多个进气孔，压缩空气筒进气孔通入至外套筒内，这样形成气帘，这样水汽收到了气帘的阻碍无法上升，因此水汽无法与二氧化硅结成固体的块状，堵塞燃烧室的进气孔。
如图1所示，为了具体说明进气孔的结构，本实用新型采用所述连接板3的内圈为倾斜向下设置；所述进气孔4的出口6倾斜倾斜向下进行出气；
在本方案中，进气孔斜向下进行出气，形成的气帘同样也斜向下设置，对水汽的阻碍效果更好。
如图2所示，本方案中的燃烧室水汽隔离装置可以应用在废气处理装置上，燃烧室水汽隔离装置10位于水箱30、燃烧箱20之间。
以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (3)
1.燃烧室水汽隔离装置，其特征在于，包括：
内套筒；
外套筒，其内设置有所述内套筒，其顶部与所述内套筒顶部设置有溢流间隙；
底板，其连接内套筒、外套筒底部；
连接板，其设置在所述外套筒顶部；
多个进气孔，其贯通开设在所述连接板周向；
通过所述进气孔向所述内套筒通入压缩气体，在所述内套筒顶部形成气帘。
2.根据权利要求1所述的燃烧室水汽隔离装置，其特征在于，所述连接板的内圈为倾斜向下设置；
所述进气孔的出口倾斜向下进行出气。
3.废气处理装置，其包括权利要求1-2任意一项所述的燃烧室水汽隔离装置，其特征在于，所述燃烧室水汽隔离装置设置在水箱、燃烧室之间。
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- 2023-08-01 CN CN202322051121.6U patent/CN220397572U/zh active Active
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