CN220548497U - 一种随动排线装置及切片机装置 - Google Patents
一种随动排线装置及切片机装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN220548497U CN220548497U CN202321954716.6U CN202321954716U CN220548497U CN 220548497 U CN220548497 U CN 220548497U CN 202321954716 U CN202321954716 U CN 202321954716U CN 220548497 U CN220548497 U CN 220548497U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- follow
- mounting seat
- winding displacement
- guide rail
- wire coil
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims abstract description 39
- 238000004804 winding Methods 0.000 title claims abstract description 39
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 abstract description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 8
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 8
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 8
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 7
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
本实用新型涉及一种随动排线装置及切片机装置，包括导向单元，其包括导向轨以及与所述导向轨滑动连接的连接组件；排线单元，其包括线盘及第一安装座，所述线盘安装在所述第一安装座上，所述第一安装座和所述连接组件相连，所述线盘的直径方向与所述导向轨的长度方向平行；驱动单元，其包括第一驱动件和第二驱动件，第一驱动件和所述连接组件相连、驱动所述连接组件沿所述导向轨长度方向运动，第二驱动件和所述第一安装座相连、驱动所述第一安装座转动。本实用新型能够灵活调节线盘的位置及角度，从而在工作过程中，线盘直径不断发生变化时，能够使排线随线盘进行位置及角度的调节，从而避免了避免了排线的磨损，有效提高了切片的作业效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及切片机技术领域，尤其是指一种随动排线装置及切片机装置。
背景技术
硅金刚线切片机是一种用于切割硅晶片的设备，其工作原理是利用金刚线的高硬度和高强度，在工件表面，通过带有微小金刚石颗粒的钢线，对硅材料进行切削加工成为硅片。硅片切割机主要用于金属材料及硅、锗、砷化镓和其他半导体衬底材料的划片和切割。能够用于加工太阳能电池板、硅片、陶瓷片、铝箔片等。
现有的切片机的排线装置为固定设置的，不能进行灵活调节，针对不同尺寸的硅晶片，需通过人工方式对排线装置的位置进行调节，使其适配不同的待切晶片，操作繁琐，耗时耗力，也降低了切片作业效率，并且现有的排线装置中的线盘的角度单一，工作时，若排线的拉伸方向与线盘的径向存在夹角，金刚线则会与线盘发生摩擦，长此以往会对排线造成磨损。
实用新型内容
为此，本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术中的不足，提供一种随动排线装置及切片机装置，能够灵活调节排线装置中线盘的位置及角度，从而在工作过程中，线盘直径不断发生变化时，能够使排线随线盘进行位置及角度的调节，从而避免了排线与线盘之间的摩擦，避免了排线的磨损，有效提高了切片的作业效率。
为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种随动排线装置，包括，
导向单元，其包括导向轨以及与所述导向轨滑动连接的连接组件；
排线单元，其包括线盘及第一安装座，所述线盘安装在所述第一安装座上，所述第一安装座和所述连接组件相连，所述线盘的直径方向与所述导向轨的长度方向平行；
驱动单元，其包括第一驱动件和第二驱动件，所述第一驱动件和所述连接组件相连、驱动所述连接组件沿所述导向轨长度方向运动，所述第二驱动件和所述第一安装座相连、驱动所述第一安装座转动，所述第二驱动件的输出轴的延伸方向和所述导向轨的长度方向平行。
优选地，所述第一驱动件为第一驱动电机。
优选地，所述第二驱动件为第二驱动电机。
优选地，所述第二驱动电机的输出轴与所述第一安装座相连。
优选地，所述排线单元还包括第二安装座，所述第二安装座和所述连接组件相连，所述第二驱动电机设置在所述第二安装座上。
优选地，所述第二安装座上设有通孔，所述第二驱动电机的输出轴穿过所述通孔与所述第一安装座相连。
优选地，所述排线单元还包括连接法兰和安装柱，所述安装柱的一端与所述法兰相连，所述安装柱通过所述法兰安装至所述第一安装座，所述线盘设置在所述安装柱的另一端。
优选地，还包括感应单元，所述感应单元包括设置在所述导向轨的多个感应器，多个所述感应器沿所述导向轨的长度方向设置，所述连接组件包括连接块和设于所述连接块上的感应片，所述连接块沿所述导向轨活动时，所述感应片从所述感应器中穿过。
优选地，还包括安装板，所述导向轨安装在所述安装板上。
本实用新型还提供了一种切片机装置，包括切片机本体以及如前所述的一种随动排线装置，所述随动排线装置安装在所述切片机本体上。
本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
本实用新型所述的一种随动排线装置，设有导向单元、排线单元以及驱动单元，其中，线盘能够在第一驱动件的驱动下沿导向轨的长度方向运动，从而实现对排线长度的调节，同时，线盘还能够在第二驱动件的驱动下，绕第二驱动件的输出轴进行转动，从而避免了排线与线盘之间的摩擦，有效避免了排线的磨损。通过本实用新型能够灵活调节排线装置中线盘的位置及角度，从而在工作过程中，线盘直径不断发生变化时，能够使排线随线盘进行位置及角度的调节，从而避免了排线与线盘之间的摩擦，避免了排线的磨损，有效提高了切片的作业效率。
附图说明
为了使本实用新型的内容更容易被清楚的理解，下面根据本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中
图1是本实用新型最佳实施例的整体结构示意图。
图2是本实用新型最佳实施例的俯视结构示意图。
图3是本实用新型最佳实施例的局部结构示意图。
说明书附图标记说明：1、导向轨；2、线盘；21、第一安装座；2、第二安装座；221、第一连接板；222、第二连接板；23、连接法兰；24、安装柱；3、第一驱动件；4、第二驱动件；5、感应器；61、连接块；62、感应片；7、安装板。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。
实施例一
参照图1至图3所示，本实用新型揭示了一种随动排线装置，包括导向单元，所述导向单元包括导向轨1以及与所述导向轨1滑动连接的连接组件，所述连接组件能够沿所述导向轨1的长度方向进行往复运动；
所述随动排线装置还包括排线单元，所述排线单元包括线盘2及第一安装座21，排线缠绕在所述线盘2上，所述线盘2安装在所述第一安装座上21，所述第一安装座21和所述连接组件相连，从而所述第一安装座21能够在所述连接组件的带动下、沿所述导向轨1的长度方向往复运动。需要说明的是，所述线盘2的径向与所述导向轨1的长度方向平行，从而所述线盘2所在的平面与所述导向轨1的长度方向平行；
所述随动排线装置还包括驱动单元，所述驱动单元包括第一驱动件3和第二驱动件4，所述第一驱动件3和所述连接组件相连，所述第一驱动件3用于驱动所述连接组件沿所述导向轨1长度方向运动，所述第二驱动件4和所述第一安装座21相连，所述第二驱动件4用于驱动所述第一安装座21绕其输出轴进行转动，所述第二驱动件4的输出轴的延伸方向和所述导向轨1的长度方向平行。
由此可以得知，本实用新型所要保护的一种随动排线装置，设有导向单元、排线单元以及驱动单元，其中，线盘能够在第一驱动件的驱动下沿导向轨的长度方向运动，从而实现对排线长度的调节，同时，线盘还能够在第二驱动件的驱动下，绕第二驱动件的输出轴进行转动，从而避免了排线与线盘之间的摩擦，有效避免了排线的磨损。通过本实用新型能够灵活调节排线装置中线盘的位置及角度，从而在工作过程中，线盘直径不断发生变化时，能够使排线随线盘进行位置及角度的调节，从而避免了排线与线盘之间的摩擦，避免了排线的磨损，有效提高了切片的作业效率。
进一步地，所述第一驱动件3为第一驱动电机；所述第二驱动件4为第二驱动电机。所述第二驱动电机的输出轴与所述第一安装座21相连。
作为优选的实施方式，所述第一驱动电机和所述第二驱动电机采用伺服电机。
更进一步地，所述排线单元还包括第二安装座22，所述第二安装座22和所述连接组件相连，所述第二驱动电机安装在所述第二安装座22上。具体地，所述第二安装座22包括相互垂直的第一连接板221和第二连接板222，所述第一连接板221和所述连接组件相连，所述第二连接板222与所述第二驱动电机相连。
从细节上来看，所述第二连接板222上设有通孔，所述第二驱动电机的输出轴穿过所述通孔与所述第一安装座21相连，所述输出轴的一端通过螺栓装配210至所述第一安装座21上，并且，所述输出轴与所述通孔之间互不接触，进而所述输出轴与所述第二连接板222之间互不接触。
需要注意的是，所述第一安装座21与所述第二连接板222之间也存在间隙、互不接触。
具体来看，所述排线单元还包括连接法兰23和安装柱24，所述安装柱24的一端与所述法兰23相连，所述安装柱24通过所述法兰23安装至所述第一安装座21，所述线盘2装配至所述安装柱24的另一端。
进一步地，所述随动排线装置还包括感应单元，所述感应单元包括设置在所述导向轨1的多个感应器5，多个所述感应器5沿所述导向轨1的长度方向设置。
具体地，所述连接组件包括连接块61和设于所述连接块61上的感应片62，当所述连接块61沿所述导向轨1活动时，所述感应片62能够从多个所述感应器5中穿过。
另外，所述随动排线装置还包括安装板7，所述导向轨1安装在所述安装板7上。
所述随动排线装置还包括控制单元，所述第一驱动件3、所述第二驱动件4以及所述感应单元均接入所述控制单元，通过所述控制单元，实现对所述线盘2位置及角度的控制，进而能够实现对排线长度的调节、以及对所述线盘2倾斜角度的控制，从而适配不同的待切硅原料，以适应不同的工况。
实施例二
本实用新型还揭示了一种切片机装置，包括切片机本体以及如前面所述的一种随动排线装置，所述随动排线装置安装在所述切片机本体上。
综上所述，本实用新型所要保护的一种随动排线装置，设有导向单元、排线单元以及驱动单元，其中，线盘能够在第一驱动件的驱动下沿导向轨的长度方向运动，从而实现对排线长度的调节，同时，线盘还能够在第二驱动件的驱动下，绕第二驱动件的输出轴进行转动，从而避免了排线与线盘之间的摩擦，有效避免了排线的磨损。通过本实用新型能够灵活调节排线装置中线盘的位置及角度，从而在工作过程中，线盘直径不断发生变化时，能够使排线随线盘进行位置及角度的调节，从而避免了排线与线盘之间的摩擦，避免了排线的磨损，有效提高了切片的作业效率。
显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。
Claims (10)
1.一种随动排线装置，其特征在于：包括，
导向单元，其包括导向轨以及与所述导向轨滑动连接的连接组件；
排线单元，其包括线盘及第一安装座，所述线盘安装在所述第一安装座上，所述第一安装座和所述连接组件相连，所述线盘的直径方向与所述导向轨的长度方向平行；
驱动单元，其包括第一驱动件和第二驱动件，所述第一驱动件和所述连接组件相连、驱动所述连接组件沿所述导向轨长度方向运动，所述第二驱动件和所述第一安装座相连、驱动所述第一安装座转动，所述第二驱动件的输出轴的延伸方向和所述导向轨的长度方向平行。
2.根据权利要求1所述的一种随动排线装置，其特征在于：所述第一驱动件为第一驱动电机。
3.根据权利要求1所述的一种随动排线装置，其特征在于：所述第二驱动件为第二驱动电机。
4.根据权利要求3所述的一种随动排线装置，其特征在于：所述第二驱动电机的输出轴与所述第一安装座相连。
5.根据权利要求4所述的一种随动排线装置，其特征在于：所述排线单元还包括第二安装座，所述第二安装座和所述连接组件相连，所述第二驱动电机设置在所述第二安装座上。
6.根据权利要求5所述的一种随动排线装置，其特征在于：所述第二安装座上设有通孔，所述第二驱动电机的输出轴穿过所述通孔与所述第一安装座相连。
7.根据权利要求1所述的一种随动排线装置，其特征在于：所述排线单元还包括连接法兰和安装柱，所述安装柱的一端与所述法兰相连，所述安装柱通过所述法兰安装至所述第一安装座，所述线盘设置在所述安装柱的另一端。
8.根据权利要求1所述的一种随动排线装置，其特征在于：还包括感应单元，所述感应单元包括设置在所述导向轨的多个感应器，多个所述感应器沿所述导向轨的长度方向设置，所述连接组件包括连接块和设于所述连接块上的感应片，所述连接块沿所述导向轨活动时，所述感应片从所述感应器中穿过。
9.根据权利要求1所述的一种随动排线装置，其特征在于：还包括安装板，所述导向轨安装在所述安装板上。
10.一种切片机装置，其特征在于：包括切片机本体以及如权利要求1-9中任意一项所述的一种随动排线装置，所述随动排线装置安装在所述切片机本体上。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202321954716.6U CN220548497U (zh) | 2023-07-24 | 2023-07-24 | 一种随动排线装置及切片机装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202321954716.6U CN220548497U (zh) | 2023-07-24 | 2023-07-24 | 一种随动排线装置及切片机装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN220548497U true CN220548497U (zh) | 2024-03-01 |
Family
ID=90007044
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202321954716.6U Active CN220548497U (zh) | 2023-07-24 | 2023-07-24 | 一种随动排线装置及切片机装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN220548497U (zh) |
-
2023
- 2023-07-24 CN CN202321954716.6U patent/CN220548497U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5072204B2 (ja) | ウエーハの表面のナノトポグラフィを改善する方法及びワイヤソー装置 | |
| CN105458857B (zh) | 一种恒力补偿装置 | |
| CN108436688B (zh) | 一种安装在机器人末端的砂带打磨工具 | |
| CN209941091U (zh) | 一种双光头高速激光熔覆设备 | |
| CN203485320U (zh) | 锭料馈送系统和包括该锭料馈送系统的线锯装置 | |
| CN220548497U (zh) | 一种随动排线装置及切片机装置 | |
| CN2597171Y (zh) | 微机控制晶体线切割机 | |
| US6539932B2 (en) | Apparatus and method for cutting ingots | |
| CN103801731A (zh) | 一种轮胎膜具钻孔装置 | |
| CN112677333A (zh) | 一种双线环形金刚石线锯平切方法及数控玉石线锯机 | |
| CN104589522B (zh) | 一种多线切割方法及一种多线切割机 | |
| CN103286863A (zh) | 用于切割半导体工件的方法及设备 | |
| CN111251157A (zh) | 砂线切割装置及方法 | |
| CN110467045B (zh) | 一种自动放线架 | |
| CN208262269U (zh) | 一种自动化钻孔攻丝一体机 | |
| CN210012218U (zh) | 一种环型线体钢带驱动装置 | |
| CN214187859U (zh) | 一种双线环形金刚石线锯数控玉石平切机 | |
| CN202180260U (zh) | 电动往复锯 | |
| CN102491082B (zh) | 用于汽车白车身侧围板料的手动输送设备 | |
| CN201572920U (zh) | 一种新型立车 | |
| CN217371474U (zh) | 一种立式工装夹具 | |
| CN215543764U (zh) | 拉丝机调节机构 | |
| KR200171970Y1 (ko) | 무게추를 이용한 트랙 절단장치 | |
| CN203330158U (zh) | 拉丝机从动排线支架组件 | |
| JP4977910B2 (ja) | ワイヤによるワークの切断方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |