CN220543848U - 一种陶瓷盘翻转加热装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种陶瓷盘翻转加热装置，包括主体框架、翻转机构、加热机构以及输送机构，翻转机构包括转动板、夹持组件以及翻转驱动件，转动板可转动地设置在主体框架上，夹持组件设置在转动板上，翻转驱动件的输出轴与转动板连接，翻转机构具有第一状态、第二状态，处于第一状态时，转动板沿竖直方向延伸，从第一状态向第二状态转换时，翻转驱动件驱动转动板旋转，处于第二状态时，转动板沿水平方向延伸，加热机构设置在翻转机构侧部，加热机构包括加热板，输送机构设置在翻转机构、加热机构之间，用于将陶瓷盘从翻转机构输送至加热机构。本实用新型可实现陶瓷盘的自动翻转和加热，自动化程度高，且不会对陶瓷盘造成损伤，结构简单，实用性好。

Description

一种陶瓷盘翻转加热装置

技术领域

本实用新型属于半导体加工技术领域，具体涉及一种陶瓷盘翻转加热装置。

背景技术

晶片即半导体芯片集成电路制作所使用的硅晶片，由于其形状为圆形故也称之为晶圆。通过在晶片表面制作各种电路结构，可使其成为具有特定电性功能的电子元器件。在晶片的生产加工过程中，通常需要经过切片、研磨、抛光和清洗等工艺步骤。目前，在进行研磨、抛光等工艺过程中，需要采用陶瓷盘作为晶片的载体或基盘，即晶片是贴附在陶瓷盘的表面进行加工作业的，陶瓷盘有很高的表面平整度，可起到为晶片的研磨、抛光提供参考平面的作用。

在现有技术中，将晶片贴合至陶瓷盘表面并进行研磨、抛光、清洗工序后，需要将晶片从陶瓷盘上取下，即需要对陶瓷盘进行有效的加热，使晶片与陶瓷盘分离，再将晶片取下。但是，目前在清洗工位清洗后，陶瓷盘通常呈竖直方向放置，而在进入加热工位后，陶瓷盘需要呈水平方向放置在加热装置的合适位置，因此，需要工人手动进行翻转和放置操作，这种手动的方式效率低下，无法满足目前的高速生产需求，生产成本较高，且手动操作过程中可能出现陶瓷盘损坏的现象，导致无法进行后续的取片操作，影响了产品质量。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种工作效率高、自动化程度高的陶瓷盘翻转加热装置。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种陶瓷盘翻转加热装置，包括：

主体框架；

翻转机构：所述的翻转机构包括转动板、夹持组件以及翻转驱动件，所述的转动板可转动地设置在所述的主体框架上，所述的夹持组件设置在所述的转动板上，所述的夹持组件用于夹持陶瓷盘，所述的翻转驱动件设置在所述的主体框架上，且所述的翻转驱动件的输出轴与所述的转动板连接，所述的翻转机构具有第一状态、第二状态，当处于第一状态时，所述的转动板沿竖直方向延伸，从第一状态向第二状态转换时，所述的翻转驱动件驱动所述的转动板旋转，当处于第二状态时，所述的转动板沿水平方向延伸；

加热机构：所述的加热机构设置在所述的主体框架上，且位于所述的翻转机构的侧部，所述的加热机构包括加热板，所述的加热板的顶部具有用于加热陶瓷盘的加热区域；

输送机构：所述的输送机构设置在所述的主体框架上，且位于所述的翻转机构、加热机构之间，所述的输送机构用于将陶瓷盘从所述的翻转机构输送至所述的加热机构上。

优选地，所述的夹持组件包括一对夹爪，一对所述的夹爪分别设置在所述的转动板的相对两侧，一对所述的夹爪用于夹持或松开陶瓷盘。

进一步优选地，所述的夹持组件还包括夹持件，所述的夹持件设置在所述的转动板的一端，所述的夹持件上开设有卡槽，所述的卡槽朝向所述的转动板的另一端，所述的卡槽的形状与陶瓷盘的外周面的形状一致。

优选地，所述的输送机构包括第一输送组件、第二输送组件，当所述的翻转机构处于第二状态时，所述的第一输送组件、第二输送组件分别位于所述的转动板的相对两侧。

进一步优选地，所述的第一输送组件包括多个沿水平方向分布的第一输送转轴、输送驱动件，每个所述的第一输送转轴的一端均设置有第一转动轮，所述的输送驱动件的输出轴上设置有驱动轮，所述的驱动轮与多个所述的第一转动轮之间通过第一输送带传动连接。

更进一步优选地，所述的第一输送组件还包括第一从动轮，所述的第一从动轮设置有多个，所述的驱动轮与多个所述的第一转动轮、多个所述的第一从动轮通过第一输送带传动连接。

进一步优选地，所述的第二输送组件包括多个沿水平方向分布的第二输送转轴，每个所述的第二输送转轴的一端均设置有第二转动轮，多个所述的第二转动轮之间通过第二输送带传动连接。

更进一步优选地，所述的第二输送组件还包括第二从动轮，所述的第二从动轮设置有多个，多个所述的第二转动轮、多个所述的第二从动轮通过第二输送带传动连接。

进一步优选地，所述的输送机构还包括第三输送组件，所述的第三输送组件包括一对第三转动轮，一对所述的第三转动轮设置在所述的主体框架上，一对所述的第三转动轮中的一个位于多个所述的第一输送转轴之间，一对所述的第三转动轮中的另一个位于多个所述的第二输送转轴之间。

优选地，所述的装置还包括定位机构，所述的定位机构包括定位组件、配合件，所述的定位组件、配合件均设置在所述的主体框架上且分别位于所述的加热机构的两端，所述的定位组件可沿竖直方向、水平方向移动，推动陶瓷盘在所述的加热板上移动，使陶瓷盘卡设在所述的定位组件、配合件之间。

进一步优选地，所述的定位组件包括定位件、第一定位驱动件以及第二定位驱动件，所述的第一定位驱动件设置在所述的主体框架上，所述的第二定位驱动件与所述的第一定位驱动件的输出轴连接，所述的定位件与所述的第二定位驱动件的输出轴连接，所述的第一定位驱动件用于驱动所述的第二定位驱动件沿竖直方向移动带动所述的定位件沿竖直方向移动，所述的第二定位驱动件用于驱动所述的定位件沿水平方向移动。

更进一步优选地，所述的定位件具有定位部，所述的配合件具有配合部，所述的定位部、配合部的形状与陶瓷盘的外周面的形状一致。

进一步优选地，所述的定位机构还包括传动组件，所述的传动组件设置在所述的主体框架上且位于所述的加热板的下方，所述的加热板上开设有贯穿其顶部和底部的通槽，所述的传动组件可沿竖直方向移动且其顶部可穿过所述的通槽并伸出所述的加热板的顶部。

更进一步优选地，所述的传动组件包括传动支架、传动轮以及传动驱动件，所述的传动驱动件设置在所述的主体框架上，所述的传动支架的底部与所述的传动驱动件的输出轴连接，所述的传动轮可转动地设置在所述的传动支架的顶部，所述的传动驱动件用于驱动所述的传动支架沿竖直方向移动，带动所述的传动轮移动。

进一步优选地，所述的定位机构还包括顶撑组件，所述的顶撑组件设置在所述的主体框架上且位于所述的加热板的下方，所述的加热板上开设有贯穿其顶部和底部的通孔，所述的顶撑组件可沿竖直方向移动且其顶部可穿过所述的通孔并伸出所述的加热板的顶部。

更进一步优选地，所述的顶撑组件包括顶杆、顶撑驱动件，所述的顶撑驱动件设置在所述的主体框架上，所述的顶杆的一端与所述的顶撑驱动件的输出轴连接，所述的顶撑驱动件用于驱动所述的顶杆沿竖直方向移动。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

本实用新型通过设置翻转机构、输送机构以及加热机构，可实现陶瓷盘的自动翻转和加热，无需人工操作，自动化程度高，极大降低了工人的劳动强度，翻转和加热的速度快，能够满足高速生产的需求，提高了工作效率，降低了成本，且不会对陶瓷盘造成损伤，保证了后续加工质量，结构简单、设计巧妙，使用方便，实用性好。

附图说明

附图1为本实施例的翻转机构处于第一状态时翻转加热装置的立体示意图；

附图2为本实施例的翻转机构处于第二状态时翻转加热装置的立体示意图；

附图3为本实施例的翻转机构的立体示意图一；

附图4为本实施例的翻转机构的立体示意图二；

附图5为本实施例的输送机构的立体示意图；

附图6为本实施例的加热机构和定位机构的立体示意图一；

附图7为本实施例的加热机构和定位机构的立体示意图二。

以上附图中：

1、主体框架；2、翻转机构；21、转动板；22、夹持组件；221、夹爪；222、夹持件；2220、卡槽；23、翻转驱动件；3、输送机构；31、第一输送组件；311、第一输送转轴；312、输送驱动件；313、第一转动轮；314、驱动轮；315、第一从动轮；316、第一输送带；32、第二输送组件；321、第二输送转轴；322、第二转动轮；323、第二从动轮；324、第二输送带；33、转轴；34、第三输送组件；341、第三转动轮；4、加热机构；41、加热板；411、加热区域；412、通槽；413、通孔；5、定位机构；51、定位组件；510、定位件；511、第一定位驱动件；512、第二定位驱动件；52、配合件；520、配合部；53、传动组件；531、传动支架；532、传动轮；533、传动驱动件；54、顶撑组件；541、顶杆；542、顶撑驱动件。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

一种陶瓷盘翻转加热装置，如图1和图2所示，包括主体框架1、翻转机构2、输送机构3、加热机构4以及定位机构5，翻转机构2、输送机构3以及加热机构4依次设置在主体框架1上，翻转机构2用于将竖直状态的陶瓷盘翻转为水平状态，输送机构3用于将翻转后的陶瓷盘从翻转机构3输送至加热机构4，加热机构4用于对陶瓷盘进行加热预热，定位机构5设置在主体框架1上且位于加热机构4的侧部，定位机构5用于调节陶瓷盘在加热机构4上的位置。

以下具体对各个部件及其连接关系做详细介绍：

翻转机构2包括转动板21、夹持组件22以及翻转驱动件23，如图3和图4所示，转动板21可转动地设置在主体框架1上，夹持组件22设置在转动板21上，夹持组件22用于夹持陶瓷盘，翻转驱动件23设置在主体框架1上，翻转驱动件23用于驱动转动板21旋转。

具体而言：

如图3和图4所示，转动板21呈板状，转动板21一端的宽度小于其另一端的宽度，转动板21的一端与主体框架1可转动地连接，具体可采用例如转轴连接，在此不再赘述。

如图3和图4所示，夹持组件22包括夹爪221、夹持件222，夹爪221和夹持件222分别设置在转动板21的两端，具体地：夹持件222设置在转动板21的一端，夹持件222上开设有卡槽2220，卡槽2220朝向转动板21的另一端，卡槽2220的形状与陶瓷盘的外周面的形状一致，即卡槽2220呈圆弧状；夹爪221设置在转动板21的另一端，夹爪221设置有一对，一对夹爪221沿转动板21的宽度方向设置，即一对夹爪221分别设置在转动板21另一端的相对两侧，一对夹爪221可相向移动或相背移动，以夹持或松开陶瓷盘，夹爪221的具体结构为现有技术，在此不再赘述。

如图3和图4所示，翻转驱动件23的输出轴与转动板21可转动地连接，翻转驱动件23的输出轴可沿自身轴线方向伸缩，驱动转动板21相对主体框架1转动；翻转驱动件23具体可采用例如驱动气缸，但也不仅限于该实施方式。

如图1和图2所示，翻转机构2具有第一状态、第二状态，具体地：当翻转机构2处于第一状态时，转动板21沿竖直方向延伸，即转动板21竖直设置，此时陶瓷盘可竖直放置在夹持件222的卡槽2220内并通过一对夹爪221夹持；当翻转机构2从第一状态向第二状态转换时，翻转驱动件23驱动转动板21相对主体框架1旋转，即翻转驱动件23的输出轴缩短，带动转动板21的另一端朝向主体框架1靠拢；当翻转机构2处于第二状态时，转动板21沿水平方向延伸，即转动板21水平设置，转动板21相对第一状态下旋转了90°，此时陶瓷盘也水平放置在转动板21上。

输送机构3包括第一输送组件31、第二输送组件32，如图1、图2和图5所示，第一输送组件31、第二输送组件32均设置在主体框架1上，且分别位于主体框架1的相对两侧，也就是说，当翻转机构2处于第二状态时，即转动板21沿水平方向延伸时，第一输送组件31、第二输送组件32分别位于转动板21的相对两侧，第一输送组件31和第二输送组件32相互配合并将转动板21上的陶瓷盘输送至加热机构4上。

具体而言：

如图5所示，第一输送组件31包括第一输送转轴311、输送驱动件312以及第一从动轮315，第一输送转轴311设置有多个，多个第一输送转轴311沿水平方向分布；第一输送转轴311可转动地连接在主体框架1上且位于主体框架1内，第一输送转轴311的一端伸出至主体框架1外，第一输送转轴311的一端同轴设置有第一转动轮313；输送驱动件312设置在主体框架1上，输送驱动件312的输出轴也伸出至主体框架1外，输送驱动件312的输出轴上同轴设置有驱动轮314，输送驱动件312可采用例如驱动电机，但也不仅限于该实施方式；第一从动轮315可转动地连接在主体框架1上且位于主体框架1外，第一从动轮315设置有多个，多个第一从动轮315分布在主体框架1上；输送驱动件312的驱动轮314、多个第一输送转轴311的第一转动轮313、多个第一从动轮315之间通过第一输送带316传动连接，即输送驱动件312工作时通过第一输送带316可带动多个第一输送转轴311转动。

如图5所示，第二输送组件32包括第二输送转轴321、第二从动轮323，第二输送转轴321设置有多个，多个第二输送转轴321沿水平方向分布，第二输送转轴321的数量与第一输送转轴311的数量一致，且其位置与第一输送转轴311相互对应；第二输送转轴321可转动地连接在主体框架1上且位于主体框架1内，第二输送转轴321的一端伸出至主体框架1外，第二输送转轴321的一端同轴设置有第二转动轮322；第二从动轮323可转动地连接在主体框架1上且位于主体框架1外，第二从动轮323设置有多个，多个第二从动轮323分布在主体框架1上；多个第二输送转轴321的第二转动轮322、多个第二从动轮323之间通过第二输送带324传动连接。

如图5所示，第一输送组件31和第二输送组件32之间也传动连接，具体地：多个第一输送转轴311中的一个与多个第二输送转轴321中的一个通过转轴33传动连接，在本实施例中，最靠近加热机构4的第一输送转轴311的另一端和最靠近加热机构4的第二输送转轴321的另一端分别与转轴33的两端同轴连接。当输送驱动件312工作时，通过第一输送带316可带动多个第一输送转轴311转动，最靠近加热机构4的第一输送转轴311通过转轴33带动最靠近加热机构4的第二输送转轴321转动，再通过第二输送带324带动其余第二输送转轴321转动。

此外，输送机构3还包括第三输送组件34，如图5所示，第三输送组件34包括第三转动轮341，第三转动轮341设置在主体框架1上，第三转动轮341设置有一对，一对第三转动轮341中的一个位于多个第一输送转轴311之间，一对第三转动轮341中的另一个位于多个第二输送转轴321之间。

加热机构4包括加热板41，如图1、图2和图6所示，加热板41设置在主体框架1上，加热板41的顶部具有用于加热陶瓷盘的加热区域411，加热板41的具体加热结构为现有技术，在此不再赘述；定位机构5包括定位组件51、配合件52，如图1、图2和图7所示，定位组件51、配合件52均设置在主体框架1上且分别位于加热板41的两端，定位组件51可沿竖直方向、水平方向移动，推动陶瓷盘在加热板41上移动，使陶瓷盘卡设在定位组件51、配合件52之间。

具体而言：

如图6和图7所示，定位组件51包括定位件510、第一定位驱动件511以及第二定位驱动件512，定位驱动件511设置在主体框架1上，第二定位驱动件512与第一定位驱动件511的输出轴连接，定位件510与第二定位驱动件512的输出轴连接，第一定位驱动件511用于驱动第二定位驱动件512沿竖直方向移动，带动所定位件510沿竖直方向移动，第二定位驱动件512用于驱动定位件510沿水平方向移动，第一定位驱动件511、第二定位驱动件512均可采用驱动气缸，但也不仅限于该实施方式。

如图6和图7所示，定位件510具有定位部，定位部朝向加热机构4，定位部的形状与陶瓷盘的外周面的形状一致；配合件52具有配合部520，配合部520朝向加热机构4，配合部520的形状与陶瓷盘的外周面的形状一致；定位件510可在第二定位驱动件51的驱动下沿水平方向移动，其定位部推动陶瓷盘在加热板41上移动，最终使得定位件510的定位部与配合件52的配合部520共同将陶瓷盘卡住。

此外，定位机构5还包括传动组件53，如图6和图7所示，传动组件53设置在主体框架1上且位于加热板41的下方，加热板41上开设有贯穿其顶部和底部的通槽412，传动组件53可沿竖直方向移动且其顶部可穿过通槽412并伸出加热板41的顶部，传动组件53用于防止陶瓷盘在加热板41上移动过程中其底面与加热板41的上表面直接接触造成损坏。具体而言：

如图6和图7所示，传动组件53设置有一对，一对传动组件53沿加热板41的宽度方向分布在两侧；传动组件53包括传动支架531、传动轮532以及传动驱动件533，传动驱动件533设置在主体框架1上，传动支架531的底部与传动驱动件531的输出轴连接，传动驱动件531可驱动传动支架531沿竖直方向移动，传动驱动件531具体可采用例如驱动气缸，但也不仅限于该实施方式；传动轮532可转动地设置在传动支架531的顶部，传动轮532设置有多个，多个传动轮532沿加热板41的延伸方向分布；通槽412也设置有多个，多个通槽412的位置、数量与多个传动轮532的位置、数量相互匹配，当传动支架531沿竖直方向移动时，可带动多个传动轮532沿竖直方向移动，使其分别穿过多个通槽412并伸出加热板41的顶部。

此外，定位机构5还包括顶撑组件54，如图6和图7所示，顶撑组件54设置在主体框架1上且位于加热板41的下方，加热板41上开设有贯穿其顶部和底部的通孔413，顶撑组件54可沿竖直方向移动且其顶部可穿过通孔413并伸出加热板41的顶部。具体而言：

顶撑组件54包括顶杆541、顶撑驱动件542，顶撑驱动件542设置在主体框架上，顶杆541的一端与顶撑驱动件542的输出轴连接，顶撑驱动件542用于驱动顶杆541沿竖直方向移动，顶撑驱动件542具体可采用例如驱动气缸，但也不仅限于该实施方式；顶杆541设置有多个，多个顶杆541的一端均与顶撑驱动件542的输出轴连接，通孔413也设置有多个，多个通孔413的位置、数量与多个顶杆541的位置、数量相互匹配。

以下具体阐述本实施例的翻转加热装置的工作过程：

将清洗工序后的陶瓷盘竖直放置在翻转机构2上，此时翻转机构2处于第一状态，即陶瓷盘通过夹持组件22夹紧，翻转驱动件23驱动转动板21相对主体框架1旋转，将转动板21转动至水平状态，即翻转机构2进入第二状态，此时陶瓷盘也呈水平状放置在转动板21上，夹持组件22将陶瓷盘松开；输送机构3的第一输送组件31和第二输送组件32同步工作，将陶瓷盘从夹持机构2上水平输送至加热机构4的加热板41上；定位机构5的传动组件53伸出加热板41，并在定位组件51和配合件52的作用下调节陶瓷盘在加热板41上的位置，使得定位组件51和配合件52将陶瓷盘卡住；加热机构4的加热板41开始工作，对陶瓷盘进行加热，完成后顶撑组件54将陶瓷盘顶起，此时可通过机械手抓取陶瓷盘进入下一工序。

上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种陶瓷盘翻转加热装置，其特征在于：包括：

主体框架；

翻转机构：所述的翻转机构包括转动板、夹持组件以及翻转驱动件，所述的转动板可转动地设置在所述的主体框架上，所述的夹持组件设置在所述的转动板上，所述的夹持组件用于夹持陶瓷盘，所述的翻转驱动件设置在所述的主体框架上，且所述的翻转驱动件的输出轴与所述的转动板连接，所述的翻转机构具有第一状态、第二状态，当处于第一状态时，所述的转动板沿竖直方向延伸，从第一状态向第二状态转换时，所述的翻转驱动件驱动所述的转动板旋转，当处于第二状态时，所述的转动板沿水平方向延伸；

加热机构：所述的加热机构设置在所述的主体框架上，且位于所述的翻转机构的侧部，所述的加热机构包括加热板，所述的加热板的顶部具有用于加热陶瓷盘的加热区域；

输送机构：所述的输送机构设置在所述的主体框架上，且位于所述的翻转机构、加热机构之间，所述的输送机构用于将陶瓷盘从所述的翻转机构输送至所述的加热机构上。

2.根据权利要求1所述的陶瓷盘翻转加热装置，其特征在于：所述的夹持组件包括一对夹爪，一对所述的夹爪分别设置在所述的转动板的相对两侧，一对所述的夹爪用于夹持或松开陶瓷盘。

3.根据权利要求2所述的陶瓷盘翻转加热装置，其特征在于：所述的夹持组件还包括夹持件，所述的夹持件设置在所述的转动板的一端，所述的夹持件上开设有卡槽，所述的卡槽朝向所述的转动板的另一端，所述的卡槽的形状与陶瓷盘的外周面的形状一致。

4.根据权利要求1所述的陶瓷盘翻转加热装置，其特征在于：所述的输送机构包括第一输送组件、第二输送组件，当所述的翻转机构处于第二状态时，所述的第一输送组件、第二输送组件分别位于所述的转动板的相对两侧。

5.根据权利要求4所述的陶瓷盘翻转加热装置，其特征在于：所述的第一输送组件包括多个沿水平方向分布的第一输送转轴、输送驱动件，每个所述的第一输送转轴的一端均设置有第一转动轮，所述的输送驱动件的输出轴上设置有驱动轮，所述的驱动轮与多个所述的第一转动轮之间通过第一输送带传动连接。

6.根据权利要求4所述的陶瓷盘翻转加热装置，其特征在于：所述的第二输送组件包括多个沿水平方向分布的第二输送转轴，每个所述的第二输送转轴的一端均设置有第二转动轮，多个所述的第二转动轮之间通过第二输送带传动连接。

7.根据权利要求1所述的陶瓷盘翻转加热装置，其特征在于：所述的装置还包括定位机构，所述的定位机构包括定位组件、配合件，所述的定位组件、配合件均设置在所述的主体框架上且分别位于所述的加热机构的两端，所述的定位组件可沿竖直方向、水平方向移动，推动陶瓷盘在所述的加热板上移动，使陶瓷盘卡设在所述的定位组件、配合件之间。

8.根据权利要求7所述的陶瓷盘翻转加热装置，其特征在于：所述的定位组件包括定位件、第一定位驱动件以及第二定位驱动件，所述的第一定位驱动件设置在所述的主体框架上，所述的第二定位驱动件与所述的第一定位驱动件的输出轴连接，所述的定位件与所述的第二定位驱动件的输出轴连接，所述的第一定位驱动件用于驱动所述的第二定位驱动件沿竖直方向移动带动所述的定位件沿竖直方向移动，所述的第二定位驱动件用于驱动所述的定位件沿水平方向移动。

9.根据权利要求7所述的陶瓷盘翻转加热装置，其特征在于：所述的定位机构还包括传动组件，所述的传动组件设置在所述的主体框架上且位于所述的加热板的下方，所述的加热板上开设有贯穿其顶部和底部的通槽，所述的传动组件可沿竖直方向移动且其顶部可穿过所述的通槽并伸出所述的加热板的顶部。

10.根据权利要求9所述的陶瓷盘翻转加热装置，其特征在于：所述的传动组件包括传动支架、传动轮以及传动驱动件，所述的传动驱动件设置在所述的主体框架上，所述的传动支架的底部与所述的传动驱动件的输出轴连接，所述的传动轮可转动地设置在所述的传动支架的顶部，所述的传动驱动件用于驱动所述的传动支架沿竖直方向移动，带动所述的传动轮移动。