CN220540870U - 增压系统，以及压力容器 - Google Patents

Abstract

本申请公开一种增压系统，包括第一增压管路、第二增压管路、通用管路、气源以及控制部件。第一增压管路和第二增压管路各自独立地连通于所述气源以及所述通用管路，以依靠所述通用管路连通所述腔体，两者受控制地择一运行对来自气源的气体进行增压后通过所述通用管路输入至与所述通用管路连通的所述腔体内；所述通用管路上设置有管路压力传感器，所述腔体内设置有腔体压力传感器，分别用于感测所述通用管路内的管路压力和所述腔体内部的腔体压力；控制部件，电连接所述第一增压管路，所述第二增压管路，所述通用管路和所述腔体，以至少基于获取的所述管路压力和所述腔体压力中的一个或以上，控制所述第一增压管路和所述第二增压管路的运行状态。

Description

增压系统，以及压力容器

技术领域

本申请涉及工业制造领域，特别是涉及一种具有双路增压管路的增压系统，以及具有该增压系统的压力容器。

背景技术

现在工业制造中，存在许多场景需要利用增压系统对密封容器进行压力控制。增压系统需要高频率且处于高负载工况条件下进行运作。这对增压系统的部件提出了较高的稳定性要求。如若增压系统中的部件出现故障，则将会导致增压失效，影响作业的可靠性和连续性。

实用新型内容

本申请所要解决的技术问题在于，如何实现增压系统的稳定性和可靠性。

为了解决上述问题，本申请公开一种腔室的增压系统，以及具有该增压系统的压力容器。

本申请一方面提供一种增压系统，所述系统包括：第一增压管路、第二增压管路、通用管路、气源以及控制部件；其中，所述第一增压管路和所述第二增压管路各自独立地连通于所述气源以及所述通用管路，以依靠所述通用管路连通所述腔体，两者受控制地择一运行对来自气源的气体进行增压后通过所述通用管路输入至与所述通用管路连通的所述腔体内；所述通用管路上设置有管路压力传感器，所述腔体内设置有腔体压力传感器，分别用于感测所述通用管路内的管路压力和所述腔体内部的腔体压力；控制部件，电连接所述第一增压管路，所述第二增压管路，所述通用管路和所述腔体，以至少基于获取的所述管路压力和所述腔体压力中的一个或以上，控制所述第一增压管路和所述第二增压管路的运行状态。

在一些可行的实现方式中，所述第一增压管路和所述第二增压管路分别包括有第一增压部件和第二增压部件，用以在运行时气体进行增压。

在一些可行的实现方式中，依据气体流向，所述第一增压管路和所述第二增压管路升分别包括设置在所述第一增压部件和所述第二增压部件后方的第一截止阀和第二截止阀，用以防止增压后的气体沿管路回流。

在一些可行的实现方式中，所述控制部件电连接所述第一增压管路和所述第二增压管路上分别包括设置的第一管路开关和第二管路开关，以控制所述第一管路开关和第二管路开关的开闭实现所述第一增压管路和所述第二增压管路的气体通入和气体截止。

在一些可行的实现方式中，依据气体流向，所述第一管路开关和第二管路开关设置于所述第一增压部件和所述第二增压部件前方。

在一些可行的实现方式中，所述第一管路开关和第二管路开关包括电磁阀、电动阀或气动阀。

在一些可行的实现方式中，所述第一增压管路和所述第二增压管路通过三通管连通所述通用管路。

在一些可行的实现方式中，所述第一增压管路和所述第二增压管路分别包括有第一气压传感器和第二气压传感器，用以感测从所述气源通入处于工作状态中的增压管路的气体的气压。

在一些可行的实现方式中，所述控制部件电连接所述第一增压管路，所述第二增压管路，所述通用管路和所述腔体，以至少基于获取的所述管路压力，所述腔体压力，以及从所述气源通入处于工作状态中的增压管路的气体的气压的一个或以上，控制所述第一增压管路和所述第二增压管路的运行状态。

本申请另一方面公开了一种压力容器。所述压力容器包括腔体，以及如上所述的增压系统。

本申请公开的增压系统，可以实现增压过程的稳定性，同时可进行实时的监控并能够快速地进行增压管路的切换，保证了作业的可靠性与连贯性。

附图说明

本申请将以示例性实施例的方式进一步说明，这些示例性实施例将通过附图进行详细描述。这些实施例并非限制性的，在这些实施例中，相同的编号表示相同的结构，其中：

图1是根据本申请的一些实施例所示的增压系统的示例性示意图。

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中的元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

本文中使用的术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本申请。本文所使用的术语“及/或”或“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

以下参考附图对本申请的一些实施例进行说明。应当注意的是，以下描述是为了说明的目的，并不旨在限制本申请的保护范围。

图1是根据本申请的一些实施例所示的腔体的增压系统的示例性示意图。如图1所示，增压系统100可以包括第一增压管路110、第二增压管路120、通用管路130、气源140以及控制部件(图中未示出，本申请中将以CC表示)。

第一增压管路110和第二增压管路120可以对流入其中的气体进行增压后流出。在一些可行的实现方式中，第一增压管路110和第二增压管路120可以各自独立地连通气源140。气源140中的气体在流入增压管路后可以被加压，随后流出。同时，第一增压管路110和第二增压管路120可以同时连通通用管路130。示例性的，可以通过三通管，或其他类型的分叉接头进行管路之间的连通。以气体入口和气体出口标示气体在第一增压管路110和第二增压管路120之间的气体流动方向(也可以称为气体流向)，第一增压管路110和第二增压管路120的气体入口分别于气源140连通，气体出口分别于三通管的一端连通。而剩余的一端，将与通用管路130连通。

第一增压管路110和第二增压管路120可以包括第一增压部件111和第二增压部件121，用以对流入的气体进行加压。增加部件(包括第一增压部件111和第二增压部件121)可以包括增压缸、增压泵、增压机等。分属于两个增压管路的两个增压部件可以是相同的，也可以是不同的。

可以理解的是，当气体增压后通过通用管道130输入到腔体150内部后，气体将在腔体150内部堆积，可能出现压力高于通用管道130，随后使压力高于增压部件(例如，第一增压部件111或第二增压部件121)输出的气体压力。也就是说，可能会出现增压部件的供给侧压力小于接受侧的压力。这时，气体将会倒灌。因此，依据气体流向，第一增压管路110和第二增压管路120上可以分别包括设置在第一增压部件111或第二增压部件121后方的第一截止阀112和第二截止阀122。第一截止阀112和第二截止阀122可以是单向阀，允许气体按气体流路流动，而阻止气体回流。这样，可以防止增压后的气体沿管路的回流，防止气体倒灌。

气体流入第一增压管路110或第二增压管路120是受控制的。在一些可行的实现方式中，气体将受控制地流入第一增压管路110和第二增压管路120中的一个。也就是说，第一增压管路110和第二增压管路120在同一时间，只有一个是工作的。气体在经过第一增压管路110或第二增压管路120的加压后，将流入通用管路130。随后，经由通用管路130，加压后的气体将流入与通用管路130连通的腔体150的内部，实现腔体150内部的增压。

通用管路130上可以设置有管路压力传感器131，腔体150内部可以设置有腔体压力传感器151。管路压力传感器131可以感测从第一增压管路110或第二增压管路120流入的增压后的气体的压力(在本申请中也可以被称为管路压力)。腔体压力传感器151可以感测腔体150内部的腔体压力。该管路压力和腔体压力可以被传输至于与通用管路130和腔体150电连接的控制部件CC。控制部件CC可以至少基于该管路压力和腔体压力控制第一增压管路110和第二增压管路120的运行状态。

示例性的，控制部件CC中可以将管路压力和腔体压力与预存的设定参数进行比较，以控制第一增压管路110和第二增压管路120的运行状态。假定对增压系统100的设定参数是10min将腔体150内的压力升压至3bar。结合气源140的气体流量、气源140的气体压力、增压系统100所处地的本地气压(例如，高原与平原的本地气压不同)等客观因素确定的一个延渥时长(例如，3min)，控制部件CC可以实时监控或在目标时间(10min+3min＝13min)到达时通过电连接的管路压力传感器131和腔体压力传感器151获取管路压力和腔体压力，并进行比对。若腔体压力正常(例如，在13min时达到了3bar)，则说明当前工作的增压管路运行正常。控制部件CC无需控制增压管路的切换。若腔体压力异常(例如，在13min时还未达到3bar)，则说明当前工作的增压管路不能实现既定目的。因此，控制部件CC可以控制该增压管路关闭，同时启用另一增压管路进行增压。

上述示例中，预存的设定参数也可以对应在各时间点管路压力的目标压力值。控制部件CC也可以实时的根据管路压力的实时压力值与目标压力值的对比，控制增压管路的运行。例如，当控制部件CC确定管路压力的实时压力值小于目标压力值时，可以确定运行的增压管路升压不足。这可能是从气源140处输送的气体量不租，或是整个增压管路中出现了泄露。为了确定是否为气源不足，第一增压管路110和第二增压管路120可以分别包括有第一气压传感器114和第二气压传感器124，用以感测从气源140通入第一增压管路110和第二增压管路120的气体的气压。依据气体流向，第一气压传感器114和第二气压传感器124可以分别设置在第一增压部件111和第二增压部件121的前方。控制部件CC可以电连接以上两个传感器，以接收输入处于工作状态中的增压管路的气体的压力。

在一些可行的实现方式中，控制部件CC可以在增压过程的实施阶段和结束阶段对整个过程实现监测，并通过监测结果实现增压管路的切换，保证整个增压过程顺利进行。示例性的，控制部件CC可以至少基于获取的管路压力，腔体压力，以及从气源140通入处于工作状态中的增压管路的气体的气压的一个或以上，控制第一增压管路110和所述第二增压管路120的运行状态。例如，控制部件CC可以在增压过程结束时对比腔体压力和预存的设定参数中的目标压力。若未达到，则可以控制切换两个增压管路的运行状态。比如，将处于工作状态的增压管路(比如第一增压管路110)停止运行，同时控制处于待机或停止状态的增压管路(比如，第二增压管路120)开始运行。又例如，控制部件CC也可以在增压过程中，确定管路压力是否异常来控制增压管路的切换。还例如，控制部件CC可以在增压过程中确定通入工作中的增压管路的气体的气压是否正常(通过第一气压传感器114或第二气压传感器124感测)来控制增压管路的切换，并确定异常原因。

在一些可行的实现方式中，控制部件CC可以控制分别设置于第一增压管路110和第二增压管路120的第一管路开关113和第二管路开关123，以实现气体的通入和截止。根据气体流向，第一管路开关113或第二管路开关123可以设置在第一增压部件111或第二增压部件121的前方。进一步地，可以设置在第一气压传感器114或第二气压传感器124的前方。示例性，第一管路开关113和第二管路开关123可以包括但不限于电磁阀、电动阀或气动阀。可选地或优选地，一管路开关113和第二管路开关123可以是电磁阀。

本申请所公开的增压系统，包括两个增压管路，实现互为冗余。在一个增压管路失效后可以自动切换至另一个增压管路以完成增压任务。同时，两个增压管路共用部分管路和部件，减少了机构及部件的使用，同时又不互相干扰。另外，控制部件能够实现即时的状态检测与判断，这提高了系统的稳定性和工作效率，保证了作业的可靠性和连贯性。

本申请另一方面公开了一种压力容器。该压力容器可以包括腔体，以及上述的增压系统。例如，该压力容器可以是半导体行业中用于除泡的除泡器。通过上述增压系统，可以实现高频率且稳定的压力调节，实现高效率制程。

本文已对基本概念做了描述，显然，对于本领域技术人员来说，上述详细披露仅仅作为示例，而并不构成对本说明书的限定。虽然此处并没有明确说明，本领域技术人员可能会对本说明书进行各种修改、改进和修正。该类修改、改进和修正在本说明书中被建议，所以该类修改、改进、修正仍属于本说明书示范实施例的精神和范围。

应当注意的是，为了简化本说明书披露的表述，从而帮助对一个或多个实施例的理解，前文对本说明书实施例的描述中，有时会将多种特征归并至一个实施例、附图或对其的描述中。但是，这种披露方法并不意味着本说明书对象所需要的特征比权利要求中提及的特征多。实际上，实施例的特征要少于上述披露的单个实施例的全部特征。

一些实施例中使用了描述成分、属性数量的数字，应当理解的是，此类用于实施例描述的数字，在一些示例中使用了修饰词“大约”、“近似”或“大体上”来修饰。除非另外说明，“大约”、“近似”或“大体上”表明所述数字允许有±20％的变化。相应地，在一些实施例中，说明书和权利要求中使用的数值参数均为近似值，该近似值根据个别实施例所需特点可以发生改变。在一些实施例中，数值参数应考虑规定的有效数位并采用一般位数保留的方法。尽管本说明书一些实施例中用于确认其范围广度的数值域和参数为近似值，在具体实施例中，此类数值的设定在可行范围内尽可能精确。

最后，应当理解的是，本说明书中所述实施例仅用以说明本说明书实施例的原则。其他的变形也可能属于本说明书的范围。因此，作为示例而非限制，本说明书实施例的替代配置可视为与本说明书的教导一致。相应地，本说明书的实施例不仅限于本说明书明确介绍和描述的实施例。

Claims (10)

1.一种增压系统，其特征在于，所述增压系统包括：第一增压管路、第二增压管路、通用管路、气源以及控制部件；其中，

所述第一增压管路和所述第二增压管路各自独立地连通于所述气源以及所述通用管路，以依靠所述通用管路连通腔体，两者受控制地择一运行对来自气源的气体进行增压后通过所述通用管路输入至与所述通用管路连通的所述腔体内；

所述通用管路上设置有管路压力传感器，所述腔体内设置有腔体压力传感器，分别用于感测所述通用管路内的管路压力和所述腔体内部的腔体压力；

控制部件，电连接所述第一增压管路，所述第二增压管路，所述通用管路和所述腔体，以至少基于获取的所述管路压力和所述腔体压力中的一个或以上，控制所述第一增压管路和所述第二增压管路的运行状态。

2.根据权利要求1所述的增压系统，其特征在于，所述第一增压管路和所述第二增压管路分别包括有第一增压部件和第二增压部件，用以在运行时气体进行增压。

3.根据权利要求2所述的增压系统，其特征在于，依据气体流向，所述第一增压管路和所述第二增压管路升分别包括设置在所述第一增压部件和所述第二增压部件后方的第一截止阀和第二截止阀，用以防止增压后的气体沿管路回流。

4.根据权利要求2所述的增压系统，其特征在于，所述控制部件电连接所述第一增压管路和所述第二增压管路上分别包括设置的第一管路开关和第二管路开关，以控制所述第一管路开关和第二管路开关的开闭实现所述第一增压管路和所述第二增压管路的气体通入和气体截止。

5.根据权利要求4所述的增压系统，其特征在于，依据气体流向，所述第一管路开关和第二管路开关设置于所述第一增压部件和所述第二增压部件前方。

6.根据权利要求4所述的增压系统，其特征在于，所述第一管路开关和第二管路开关包括电磁阀、电动阀或气动阀。

7.根据权利要求1所述的增压系统，其特征在于，所述第一增压管路和所述第二增压管路通过三通管连通所述通用管路。

8.根据权利要求1所述的增压系统，其特征在于，所述第一增压管路和所述第二增压管路分别包括有第一气压传感器和第二气压传感器，用以感测从所述气源通入处于工作状态中的增压管路的气体的气压。

9.根据权利要求8所述的增压系统，其特征在于，所述控制部件电连接所述第一增压管路，所述第二增压管路，所述通用管路和所述腔体，以至少基于获取的所述管路压力，所述腔体压力，以及从所述气源通入处于工作状态中的增压管路的气体的气压的一个或以上，控制所述第一增压管路和所述第二增压管路的运行状态。

10.一种压力容器，其特征在于，所述压力容器包括腔体，以及如权利要求1-9中任一项所述的增压系统。