CN220537981U - 一种运送装置及外延炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例提供了一种运送装置及外延炉。其中，运送装置包括运送机构和防尘结构；防尘结构包括罩体和伸缩框架；伸缩框架设置在罩体的第一开口侧；伸缩框架的第一端与罩体固定连接，伸缩框架的第二端为活动端；运送机构包括夹持结构和推拉杆；夹持结构用于夹持托盘；推拉杆的第一端与夹持结构固定连接，推拉杆的第二端与外部驱动机构连接；推拉杆与伸缩框架的活动端固定连接；推拉杆用于在外部驱动机构的带动下，推动夹持结构、托盘和防尘结构向反应室或放料腔移动，在罩体被反应室或放料腔的入口阻挡后，顶推伸缩框架的活动端，并继续推动夹持结构将放置有衬底或外延片的托盘送入反应室或放料腔。本申请的运送装置提高了外延片的质量。

Description

一种运送装置及外延炉

技术领域

本实用新型涉及晶圆制造技术领域，特别是涉及一种运送装置及外延炉。

背景技术

晶圆生产需要用到外延炉对衬底进行外延生长处理。外延就是在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层，新淀积的这层称为外延层。在此过程中，需将衬底移动至外延炉的反应室中，反应室制备外延层，形成外延片，外延片从反应室中被取出，衬底和外延片需要在多个工位之间转移。相关技术中，在外延片和衬底转移的过程中，没有对外延片进行有效保护，外延片直接暴露在外延炉中，由于在生产过程中，外延炉中会产生漂浮物和掉落物等污染物，污染物与外延片接触会使外延片产生不良，导致外延片的成品质量差。

实用新型内容

本实用新型实施例的目的在于提供一种运送装置及外延炉，以以降低在外延片转移过程中，外延炉中的污染物与外延片接触的概率，从而提高外延片质量。具体技术方案如下：

本申请第一方面的实施例提出了一种运送装置，用以运送外延片或衬底，所述运送装置包括：运送机构和防尘结构；所述防尘结构包括罩体和伸缩框架；所述罩体内部形成有用以容纳放置有外延片或衬底的托盘的容纳空间，所述罩体相对的两端具有第一开口和第二开口；所述伸缩框架设置在所述罩体的第一开口侧；所述伸缩框架的第一端与所述罩体固定连接，所述伸缩框架的第二端为活动端；所述运送机构包括夹持结构和推拉杆；所述夹持结构用于夹持所述托盘；所述推拉杆的第一端与所述夹持结构固定连接，所述推拉杆的第二端穿过所述伸缩框架的活动端，与外部驱动机构连接；所述推拉杆与所述伸缩框架的活动端固定连接；所述推拉杆用于在所述外部驱动机构的带动下，推动所述夹持结构、所述托盘和所述防尘结构向反应室或放料腔移动，在所述罩体被所述反应室或放料腔的入口阻挡后，顶推所述伸缩框架的活动端，并继续推动所述夹持结构将放置有所述衬底或外延片的托盘送入所述反应室或放料腔。

在本申请的一些实施例中，所述伸缩框架包括：伸缩组件和连接板；

所述连接板与所述罩体的第一开口相对设置；所述连接板与所述推拉杆固定连接；

所述伸缩组件设置在所述罩体和所述连接板之间；所述伸缩组件的第一端与所述罩体固定连接，第二端与所述连接板滑动连接。

在本申请的一些实施例中，所述第一开口和所述第二开口之间的连接线方向为第一方向；

所述伸缩组件包括：导向杆和弹性件；

所述导向杆沿所述第一方向延伸；所述导向杆的第一端与所述罩体固定连接，第二端与所述连接板滑动连接；所述连接板上设有连接孔，所述导向杆滑动设置在所述连接孔内；

所述弹性件套设在所述导向杆的外部，并位于所述罩体和所述导向杆之间。

在本申请的一些实施例中，所述伸缩框架还包括：直线轴承；

所述直线轴承设置在所述连接板的连接孔内，并与所述连接板固定连接；

所述导向杆穿设在所述直线轴承内，并与所述直线轴承滑动连接。

在本申请的一些实施例中，所述夹持结构的尺寸，小于所述罩体的第二开口的尺寸，且大于所述罩体的第一开口的尺寸。

在本申请的一些实施例中，所述罩体的形状为长方体；

所述罩体的材质为陶瓷或石英。

在本申请的一些实施例中，所述运送机构为机械手；

所述机械手包括：抓取部和机械臂；该抓取部设置有所述夹持结构，该机械臂设置有所述推拉杆；

所述连接板上设有通孔；所述机械臂穿设在所述通孔内，并与所述连接板固定连接。

在本申请的一些实施例中，所述运送装置还包括：除尘组件；

所述除尘组件包括除尘管和供气装置；

所述除尘管具有进气口和出气口；所述除尘管的进气口与所述供气装置连接；所述除尘管的出气口设置在所述罩体的第一开口处；

所述供气装置用以将气体通过所述除尘管吹入所述罩体内，并在所述罩体内产生从所述罩体的第一开口流向所述第二开口的气流。

本申请第二方面的实施例提出了一种外延炉，包括第一方面任一实施例所述的运送装置。

在本申请的一些实施例中，外延炉还包括：运送装置腔、反应室和放料腔；

所述运送装置腔设置在所述反应室和所述放料腔之间；

所述运送装置设置在所述运送装置腔内；所述运送装置腔具有供所述运送装置伸出的两个开口结构；所述两个开口结构分别与外延炉的反应室的入口和所述放料腔相对设置。

本发明实施例有益效果：

本申请的运送装置包括运送机构和防尘结构；防尘结构包括罩体和伸缩框架；运送机构包括夹持结构和推拉杆；伸缩框架的第一端与罩体固定连接，伸缩框架的第二端为活动端；推拉杆与伸缩框架的活动端固定连接；因此，推拉杆可以带动伸缩框架移动，即防尘结构可以随着运送机构移动。推拉杆用于在外部驱动机构的带动下，推动夹持结构、托盘和防尘结构向反应室或放料腔移动，在罩体被反应室或放料腔的入口阻挡后，顶推伸缩框架的活动端，并继续推动夹持结构将放置有衬底的托盘送入反应室。

即在衬底向反应室转移的过程中，衬底始终在罩体的容纳空间内，直至罩体被反应室的入口阻挡，罩体停止移动；推拉杆向反应室继续移动，伸缩框架被逐渐压缩，衬底随运送机构离开罩体进入反应室的内部；运送机构的夹持结构将衬底放入反应室内；反应室制备完成后，形成外延片，运送机构的夹持结构进入反应室取出外延片，外延片随夹持结构向反应室外移动，此时，罩体受到伸缩框架的弹性力的作用，被压在反应室的入口处；在外延片随夹持结构进入罩体的过程中，伸缩框架逐渐伸长，直至外延片完全进入到罩体内，伸缩组件被完全释放；推拉杆继续向远离反应室的方向移动，罩体随运送机构移动至指定位置。本申请的运送装置，通过设置伸缩框架实现衬底或外延片和运送装置的分离和启用，在转移过程中，衬底和外延片全程处于罩体的容纳空间内，降低了外延炉中的污染物与外延片和衬底接触的概率，从而提高了外延片质量。

本申请的外延炉包括第一方面任一实施例的运送装置。运送装置通过设置伸缩框架实现衬底或外延片和运送装置的分离和启用，在转移过程中，衬底和外延片全程处于罩体的容纳空间内，降低了外延炉中的污染物与外延片和衬底接触的概率，从而提高了外延片的质量。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例的外延炉的俯视图；

图2为本申请实施例的运送装置在运送装置腔体内的结构示意图；

图3为本申请实施例的运送装置的俯视图(放置有外延片/衬底)；

图4为本申请实施例的运送装置10第一视角的立体图(放置有外延片/衬底)；

图5为本申请实施例的运送装置10第二视角的立体图(放置有外延片/衬底)；

图6为本申请实施例的运送装置10第三视角的立体图(放置有外延片/衬底)；

图7为本申请实施例的运送装置10第四视角的立体图(放置有外延片/衬底)；

图8为本申请实施例的运送装置10的直线轴承的安装示意图。

附图标记说明：

外延炉1；运送装置10；运送装置腔20；开口结构21；反应室30；外延片40；托盘50；衬底60；放料腔70；运送机构100；夹持结构110；推拉杆120；第一机械臂121；第二机械臂122；第三机械臂123；防尘结构200；罩体210；凸起211；伸缩框架220；伸缩组件221；导向杆2211；弹性件2212；连接板222；直线轴承223；轴承安装座224；轴端挡圈225；除尘组件300；除尘管310；进气口311；出气口312。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员基于本申请所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

晶圆生产需要用到外延炉对衬底进行外延生长处理。外延就是在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层，新淀积的这层称为外延层。在此过程中，需将衬底移动至外延炉的反应室中，反应室制备外延层，形成外延片，外延片从反应室中被取出，衬底和外延片需要在多个工位之间转移。相关技术中，在外延片和衬底转移的过程中，没有对外延片进行有效保护，外延片直接暴露在外延炉中，由于在生产过程中，外延炉中会产生漂浮物和掉落物等污染物，污染物与外延片接触会使外延片产生不良，导致外延片的成品质量差。

为了降低在外延片转移过程中，外延炉中的污染物与外延片接触的概率，从而提高外延片质量，本申请提出了一种运送装置及外延炉。

如图1和图2所示，图1为本申请实施例的外延炉1的俯视图；图2为本申请实施例的运送装置10在运送装置腔20体内的结构示意图；外延炉1包括运送装置10、运送装置腔20、反应室30和放料腔70；运送装置10用以运送外延片40或衬底60，运送装置腔20设置在反应室30和放料腔70之间；运送装置10设置在运送装置腔20内；运送装置腔20具有供运送装置10伸出的两个开口结构21；两个开口结构21分别与外延炉1的反应室30的入口和放料腔70相对设置。

外延片40的生产包括以下几个步骤：

S1、运送装置10从靠近放料腔70的开口结构21伸出运送装置腔20，并移动到放料腔70；从放料腔70内取出衬底60；

S2、运送装置10携带衬底60回到运送装置腔20，并从靠近反应室30的开口结构21伸出，向反应室30移动；

S3、运送装置10将衬底60放入反应室30内，并退出反应室30；如图1所示，此时放置有衬底60或外延片40的托盘50被运送装置10夹持，并位于反应室30内；

S4、反应室30制备外延层，可采用CVD(Chemical VaporDeposition，化学气相沉积)法在衬底60上制备出碳化硅外延层，形成外延片40；

S5、反应室30制备完成后，运送装置10进入反应室30，取出外延片40，并退回至运送装置腔20；如图2所示，此时，运送装置10位于运送装置腔20内；

S6、运送装置10从靠近放料腔70的开口结构21伸出运送装置腔20，并移动到放料腔70，将外延片40存放至放料腔70，完成一次外延片40制备。

下面对上述外延炉1中的运送装置10的具体结构进行详细说明。

如图1至图3所示，图3为本申请实施例的运送装置10的俯视图(放置有外延片40/衬底60)，本申请实施例提出了一种运送装置10，用以运送外延片40或衬底60，运送装置10包括运送机构100和防尘结构200；防尘结构200包括罩体210和伸缩框架220；罩体210内部形成有用以容纳放置有外延片40或衬底60的托盘50的容纳空间，罩体210相对的两端具有第一开口和第二开口；伸缩框架220设置在罩体210的第一开口侧；伸缩框架220的第一端与罩体210固定连接，伸缩框架220的第二端为活动端；运送机构100包括夹持结构110和推拉杆120；夹持结构110用于夹持托盘50；推拉杆120的第一端与夹持结构110固定连接，推拉杆120的第二端穿过伸缩框架220的活动端，与外部驱动机构(图中未示出)连接；推拉杆120与伸缩框架220的活动端固定连接；推拉杆120用于在外部驱动机构的带动下，推动夹持结构110、托盘50和防尘结构200向反应室30或放料腔70移动，在罩体210被反应室30或放料腔70的入口阻挡后，顶推伸缩框架220的活动端，并继续推动夹持结构110将放置有衬底60或外延片40的托盘50送入反应室30或放料腔70。

为了清楚的示出运送装置10的具体结构，提供了多角度的视图，如图4至图7所示，图4为本申请实施例的运送装置10第一视角的立体图(放置有外延片40/衬底60)；图5为本申请实施例的运送装置10第二视角的立体图(放置有外延片40/衬底60)；图6为本申请实施例的运送装置10第三视角的立体图(放置有外延片40/衬底60)；图7为本申请实施例的运送装置10第四视角的立体图(放置有外延片40/衬底60)。其中，图4和图5中的伸缩框架220处于伸长状态，图6和图7中的伸缩框架220处于压缩状态。

本申请的运送装置10包括运送机构100和防尘结构200；防尘结构200包括罩体210和伸缩框架220；运送机构100包括夹持结构110和推拉杆120；伸缩框架220的第一端与罩体210固定连接，伸缩框架220的第二端为活动端；推拉杆120与伸缩框架220的活动端固定连接；因此，推拉杆120可以带动伸缩框架220移动，即防尘结构200可以随着运送机构100移动。推拉杆120用于在外部驱动机构的带动下，推动夹持结构110、托盘50和防尘结构200向反应室30或放料腔70移动，在罩体210被反应室30或放料腔70的入口阻挡后，顶推伸缩框架220的活动端，并继续推动夹持结构110将放置有衬底60的托盘50送入反应室30。

即在衬底60向反应室30转移的过程中，衬底60始终在罩体210的容纳空间内(如图4和图5所示)，直至罩体210被反应室30的入口阻挡，罩体210停止移动；推拉杆120向反应室30继续移动，伸缩框架220被逐渐压缩(如图6和图7所示)，衬底60随运送机构100离开罩体210进入反应室30的内部(如图1所示)；运送机构100的夹持结构110将衬底60放入反应室30内；反应室30制备完成后，形成外延片40，运送机构100的夹持结构110进入反应室30取出外延片40，外延片40随夹持结构110向反应室30外移动，此时，罩体210受到伸缩框架220的弹性力的作用，被压在反应室30的入口处；在外延片40随夹持结构110进入罩体210的过程中，伸缩框架220逐渐伸长，直至外延片40完全进入到罩体210内，伸缩组件221被完全释放；推拉杆120继续向远离反应室30的方向移动，罩体210随运送机构100移动至指定位置。本申请的运送装置10，通过设置伸缩框架220实现衬底60或外延片40和运送装置10的分离和启用，在转移过程中，衬底60和外延片40全程处于罩体210的容纳空间内，降低了外延炉1中的污染物与外延片40和衬底60接触的概率，从而提高了外延片40的质量。

运送装置10进入放料腔70并从放料腔70中取出衬底60的过程，与运送装置10进入反应室30从反应室30中取出外延片40的过程相同；运送装置10将外延片40放入放料腔70的过程，与运送装置10将衬底60放入反应室30的过程相同，在此不再赘述。

在本申请的一些实施例中，如图1和图2所示，运送机构100可以为机械手；机械手包括抓取部和机械臂；该抓取部设置有所述夹持结构110，该机械臂设置有所述推拉杆120；连接板222上设有通孔；机械臂穿设在通孔内，并与连接板222固定连接。机械手为常用的运送机构100，具有灵活度高、结构简单和工作可靠等优点。机械臂可以包括通过机械关节依次连接的第一机械臂121、第二机械臂122和第三机械臂123，推拉杆120为第三机械臂123。多机械关节的设置方式，可以使得机械手的运动更加灵活，同时减小机械手的占地面积，节约安装空间。可以在每一机械关节处设置一个电机，用以控制机械臂的运动。

在本申请的一些实施例中，如图3和图4所示，伸缩框架220包括伸缩组件221和连接板222；连接板222与罩体210的第一开口相对设置；连接板222与推拉杆120固定连接；伸缩组件221设置在罩体210和连接板222之间；伸缩组件221的第一端与罩体210固定连接，第二端与连接板222滑动连接。如此，当罩体210被反应室30或放料腔70的入口阻挡后，连接板222在推拉杆120的带动下与罩体210之间的距离逐渐缩小，在此过程中，伸缩组件221被压缩；当推拉杆120向远离反应室30或放料腔70的方向移动的过程中，连接板222在推拉杆120的带动下与罩体210之间的距离逐渐增大，伸缩组件221逐步伸长，伸缩组件221的弹力将罩体210压紧在反应室30或放料腔70的开口处，直至外延片40或衬底60完全进入到罩体210内。

在本申请的一些实施例中，如图3和图4所示，第一开口和第二开口之间的连接线方向为第一方向；伸缩组件221包括导向杆2211和弹性件2212；导向杆2211沿第一方向延伸；导向杆2211的第一端与罩体210固定连接，第二端与连接板222滑动连接；连接板222上设有连接孔，导向杆2211滑动设置在连接孔内；弹性件2212套设在导向杆2211的外部，并位于罩体210和导向杆2211之间。导向杆2211对罩体210的运动方向具有导向作用，弹性件2212套设在导向杆2211的外部，可沿导向杆2211的延伸方向压缩或伸长，从而保证弹力有效作用于罩体210上。本申请的伸缩框架220，无需额外设置动力装置，节约能源，结构简单。

具体地，弹性件2212可以为弹簧，弹簧易于获得，伸缩性好。弹簧的两端可以为自由端，也可以分别与罩体210和连接板222固定连接。

如图4所示，罩体210的形状可以为长方体。规则的形状便于生产；长方体的罩体210的端面平整，利于其与反应室30和放料腔70的贴合，从而保证密封性。安装时，导向杆2211的延伸方向可以与罩体210的端面垂直，以使弹性件2212产生的弹力方向垂直于罩体210的端面，罩体210可以被有效压紧在反应室30或放料腔70的入口处。

如图4所示，导向杆2211的数量可以为两个，两个导向杆2211分别设置在罩体210的两侧，对罩体210的运动方向起到导向的作用，防止罩体210移动时发生偏移。

如图4所示，罩体210的外壁上可以设有凸起211结构，凸起211结构处设有连接孔，导向杆2211的第一端插入连接孔内，并采用胶粘或焊接等方式与罩体210固定连接。

在本申请的一些实施例中，如图4和图5所示，夹持结构110的尺寸，小于罩体210的第二开口的尺寸，且大于罩体210的第一开口的尺寸。以使夹持结构110能够从罩体210的第二开口进出，但不能从第一开口进出；在推拉杆120向回到运送装置腔20内的方向移动时，由于夹持结构110的尺寸大于罩体210的第一开口的尺寸，夹持结构110可以与罩体210的内壁接触，并为罩体210的移动提供推力，确保夹持结构110不会从罩体210的第一开口脱出。

在本申请的一些实施例中，如图5和图8所示，伸缩框架220还包括直线轴承223；直线轴承223设置在连接板222的连接孔内，并与连接板222固定连接；导向杆2211穿设在直线轴承223内，并与直线轴承223滑动连接。直线轴承223对导向杆2211的运动具有导向和润滑的作用，可以使得导向杆2211的运送更加顺滑。

具体地，如图8所示，图8为本申请实施例的运送装置10的直线轴承223的安装示意图，伸缩框架220还包括轴承安装座224和轴端挡圈225，轴承安装座224设置在连接板222的连接孔处，并部分嵌入连接孔内，轴承安装座224与连接板222通过紧固件固定连接，轴承安装座224内部具有安装空间，直线轴承223设置在安装空间内，轴端挡圈225设置在直线轴承223的端部，并位于轴承安装座224的内部，导向杆2211从直线轴承223的中间穿过，并与直线轴承223滑动连接。直线轴承223可以包括轴承套和多个滚珠，多个滚珠设置在轴承套内侧，沿轴承套的轴向依次排列，并在周向上形成多列滚珠，滚珠与导向杆2211接触设置。

在本申请的一些实施例中，如图6和图7所示，运送装置10还包括除尘组件300；除尘组件300包括除尘管310和供气装置(图中未示出)；除尘管310具有进气口311和出气口312；除尘管310的进气口311与供气装置连接；除尘管310的出气口312设置在罩体210的第一开口处；供气装置用以将气体通过除尘管310吹入罩体210内，并在罩体210内产生从罩体210的第一开口流向第二开口的气流。如此，除尘管310内的气体可以从罩体210的第一开口向第二开口吹入，使得污染物不会从第二开口进入到罩体210内污染外延片40或衬底60。具体地，除尘管310的数量为两个，分别位于在罩体210的两侧，使得气体可以吹到罩体210的容纳空间的各个角落。

在本申请的一些实施例中，供气装置可以是储气罐，可以将除尘管310的进气口311与储气罐连接，二者之间设置阀门，通过阀门控制气体供应。储气罐内的气体可以为高压气体，如此，打开阀门，高压气体会自动从储气罐内流出，进入罩体210。也可以设置气泵，通过气泵抽取储气罐的气体，使气体流入罩体210内。

罩体210的材质可以为陶瓷或石英。陶瓷和石英都具有耐高温的特点，采用耐高温的轻型材料制备罩体210，可以防止罩体210在外延炉1内由于高温产生形变等情况，利于提高运送装置10的工作稳定性。同时，可以避免由于罩体210损伤产生杂质，杂质进入反应室30，导致反应室30被污染的情况的发生。

本申请的运送装置10尤其适用于单片式CVD法碳化硅外延炉。本申请的外延炉1包括第一方面任一实施例的运送装置10。运送装置10通过设置伸缩框架220实现衬底60或外延片40和运送装置10的分离和启用，在转移过程中，衬底60和外延片40全程处于罩体210的容纳空间内，降低了外延炉1中的污染物与外延片40和衬底60接触的概率，从而提高了外延片40的质量。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用于限定本实用新型的保护范围。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均包含在本实用新型的保护范围内。

Claims (10)

1.一种运送装置，其特征在于，用以运送外延片(40)或衬底(60)，所述运送装置包括：运送机构(100)和防尘结构(200)；

所述防尘结构(200)包括罩体(210)和伸缩框架(220)；

所述罩体(210)内部形成有用以容纳放置有外延片(40)或衬底(60)的托盘(50)的容纳空间，所述罩体(210)相对的两端具有第一开口和第二开口；所述伸缩框架(220)设置在所述罩体(210)的第一开口侧；所述伸缩框架(220)的第一端与所述罩体(210)固定连接，所述伸缩框架(220)的第二端为活动端；

所述运送机构(100)包括夹持结构(110)和推拉杆(120)；所述夹持结构(110)用于夹持所述托盘(50)；

所述推拉杆(120)的第一端与所述夹持结构(110)固定连接，所述推拉杆(120)的第二端穿过所述伸缩框架(220)的活动端，与外部驱动机构连接；所述推拉杆(120)与所述伸缩框架(220)的活动端固定连接；所述推拉杆(120)用于在所述外部驱动机构的带动下，推动所述夹持结构(110)、所述托盘(50)和所述防尘结构(200)向反应室(30)或放料腔(70)移动，在所述罩体(210)被所述反应室(30)或放料腔(70)的入口阻挡后，顶推所述伸缩框架(220)的活动端，并继续推动所述夹持结构(110)将放置有所述衬底(60)或外延片(40)的托盘(50)送入所述反应室(30)或放料腔(70)。

2.根据权利要求1所述的运送装置，其特征在于，所述伸缩框架(220)包括：伸缩组件(221)和连接板(222)；

所述连接板(222)与所述罩体(210)的第一开口相对设置；所述连接板(222)与所述推拉杆(120)固定连接；

所述伸缩组件(221)设置在所述罩体(210)和所述连接板(222)之间；所述伸缩组件(221)的第一端与所述罩体(210)固定连接，第二端与所述连接板(222)滑动连接。

3.根据权利要求2所述的运送装置，其特征在于，所述第一开口和所述第二开口之间的连接线方向为第一方向；

所述伸缩组件(221)包括：导向杆(2211)和弹性件(2212)；

所述导向杆(2211)沿所述第一方向延伸；所述导向杆(2211)的第一端与所述罩体(210)固定连接，第二端与所述连接板(222)滑动连接；所述连接板(222)上设有连接孔，所述导向杆(2211)滑动设置在所述连接孔内；

所述弹性件(2212)套设在所述导向杆(2211)的外部，并位于所述罩体(210)和所述导向杆(2211)之间。

4.根据权利要求3所述的运送装置，其特征在于，所述伸缩框架(220)还包括：直线轴承(223)；

所述直线轴承(223)设置在所述连接板(222)的连接孔内，并与所述连接板(222)固定连接；

所述导向杆(2211)穿设在所述直线轴承(223)内，并与所述直线轴承(223)滑动连接。

5.根据权利要求1所述的运送装置，其特征在于，所述夹持结构(110)的尺寸，小于所述罩体(210)的第二开口的尺寸，且大于所述罩体(210)的第一开口的尺寸。

6.根据权利要求1所述的运送装置，其特征在于，所述罩体(210)的形状为长方体；

所述罩体(210)的材质为陶瓷或石英。

7.根据权利要求2所述的运送装置，其特征在于，所述运送机构(100)为机械手；

所述机械手包括：抓取部和机械臂；该抓取部设置有所述夹持结构(110)，该机械臂设置有所述推拉杆(120)；

所述连接板(222)上设有通孔；所述机械臂穿设在所述通孔内，并与所述连接板(222)固定连接。

8.根据权利要求1至7任一项所述的运送装置，其特征在于，所述运送装置还包括：除尘组件(300)；

所述除尘组件(300)包括除尘管(310)和供气装置；

所述除尘管(310)具有进气口(311)和出气口(312)；所述除尘管(310)的进气口(311)与所述供气装置连接；所述除尘管(310)的出气口(312)设置在所述罩体(210)的第一开口处；

所述供气装置用以将气体通过所述除尘管(310)吹入所述罩体(210)内，并在所述罩体(210)内产生从所述罩体(210)的第一开口流向所述第二开口的气流。

9.一种外延炉，其特征在于，包括权利要求1至8任一项所述的运送装置。

10.根据权利要求9所述的外延炉，其特征在于，还包括：运送装置腔(20)、反应室(30)和放料腔(70)；

所述运送装置腔(20)设置在所述反应室(30)和所述放料腔(70)之间；

所述运送装置设置在所述运送装置腔(20)内；所述运送装置腔(20)具有供所述运送装置伸出的两个开口结构(21)；所述两个开口结构(21)分别与外延炉的反应室(30)的入口和所述放料腔(70)相对设置。