CN220526869U - 一种晶圆洗边系统 - Google Patents
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- 238000005406 washing Methods 0.000 title claims abstract description 56
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 143
- 239000003814 drug Substances 0.000 claims abstract description 89
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 17
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 17
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 5
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 3
- 239000008155 medical solution Substances 0.000 description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 description 3
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 2
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229940079593 drug Drugs 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000008676 import Effects 0.000 description 1
- 210000001503 joint Anatomy 0.000 description 1
- 230000037452 priming Effects 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 1
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- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种晶圆洗边系统，用于半导体制造，包括：承载台、药液系统和防反溅机构，承载台用于支撑晶圆；药液系统包括洗边针头，所述洗边针头设置在所述承载台的上方并位于所述承载台的边缘；防反溅机构包括具有腔室的防护罩和与所述腔室连通的抽吸装置，所述防护罩罩设在所述洗边针头外。本实用新型通过抽吸装置的设置能够不断的对防护罩内的腔室进行抽取，在从洗边针头向外喷出药液后，雾化或反溅的药液能够及时的被抽吸装置抽走，从而避免了药液滴落在晶圆表面，从而造成对晶圆的污染，影响产品的品质。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体制造领域，特别是一种晶圆洗边系统。
背景技术
在集成电路制造工艺中要进行多次光刻步骤，一般的光刻工艺要经历晶圆表面清洗烘干、涂底、涂胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等工序。在晶圆的涂胶过程中，由于旋转产生的离心力的作用，使得晶圆上的光刻胶逐渐向晶圆边缘散布，导致光刻胶累积在晶圆的边缘形成突起残留，进而导致后续工艺的污染状况。
为了去除累积于晶圆边缘的光刻胶残留，通常在涂胶工艺后加入洗边(Edge BeanRemoval，EBR)工艺，也称作边缘球状物去除工艺、边胶去除工艺，以去除晶圆边缘的光刻胶残留。
在洗边工艺过程中，从洗边针头喷出的用于清洗的药液会作用到晶圆边缘的胶体上，进而使胶体去除。用于清洗的药液在作用到胶体后，部分药液会反溅到晶圆上，进而影响晶圆的品质。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种晶圆洗边系统，以解决现有技术中的不足，它能够不断的对防护罩内的腔室进行抽取，在从洗边针头向外喷出药液后，雾化或反溅的药液能够及时的被抽吸装置抽走，从而避免了药液滴落在晶圆表面，从而造成对晶圆的污染，影响产品的品质。
本实用新型提供的晶圆洗边系统，包括：
承载台，用于支撑晶圆；
药液系统，包括洗边针头，所述洗边针头设置在所述承载台的上方并位于所述承载台的边缘；
防反溅机构，包括具有腔室的防护罩和与所述腔室连通的抽吸装置，所述防护罩罩设在所述洗边针头外。
进一步的，所述防反溅机构还具有设置在所述防护罩上的连接管，所述连接管内具有连通所述腔室与所述抽吸装置的连接通道。
进一步的，所述连接管具有设置在所述防护罩侧壁上的进口，且在竖向方向上所述进口的位置高于所述洗边针头的出口。
进一步的，所述洗边针头具有沿竖向方向延伸设置的直线针头和沿斜交所述直线针头方向延伸设置的斜向针头，所述斜向针头朝背离所述承载台中心的方向延伸。
进一步的，在竖向方向上所述斜向针头的出口位于所述防护罩的底部。
进一步的，所述药液系统包括并列设置的第一供液通路、第二供液通路和连接通路，所述第一供液通路通过连接通路与所述洗边针头连通；所述第二供液通路通过所述连接通路与所述洗边针头连通；
所述连接通路包括与所述洗边针头连通的连接管和设置在连接管远离洗边针头一端的三通管，所述三通管的两个开口分别与第一供液通路、第二供液通路连通。
进一步的，所述第一供液通路上设置有第一阀体，所述第二供液通路上设置有第二阀体；所述连接通路上设置有总阀体；所述总阀体设置在所述连接管上并位于相对靠近所述洗边针头的位置。
进一步的，所述药液系统还具有第一药液桶和第二药液桶，所述第一供液通路与第一药液桶连通；所述第二供液通路与第二药液桶连通。
进一步的，所述第一药液桶并列设置有两个；所述第二药液桶也并列设置有两个；所述药液系统还具有第一药液桶连接组件和第二药液桶连接组件；
所述第一药液桶连接组件包括一对第一管道和第一三通管；一对所述第一管道设置在所述第一三通管的两个开口，所述第一三通管的另一开口与所述第一供液通路连通；
所述第二药液桶连接组件包括一对第二管道和第二三通管；一对所述第二管道设置在所述第二三通管的两个开口，所述第二三通管的另一开口与所述第二供液通路连通。
进一步的，所述第一药液桶和第二药液桶内均设置有液位监测器。
与现有技术相比，本实用新型通过抽吸装置的设置能够不断的对防护罩内的腔室进行抽取，在从洗边针头向外喷出药液后，雾化或反溅的药液能够及时的被抽吸装置抽走，从而避免了药液滴落在晶圆表面，从而造成对晶圆的污染，影响产品的品质。
附图说明
图1是本实用新型公开的晶圆洗边系统的结构示意图；
图2是本实用新型公开的晶圆洗边系统中防反溅机构与药液系统的第一安装结构示意图；
图3是本实用新型公开的晶圆洗边系统中防反溅机构与药液系统的第二安装结构示意图；
附图标记说明： 1-药液系统，11-洗边针头，111-直线针头，112-斜向针头，12-第一供液通路，121-第一阀体，13-第二供液通路，131-第二阀体，
14-连接通路，141-连接管，142-三通管，143-总阀体，15-第一药液桶，16-第二药液桶，17-第一药液桶连接组件，171-第一管道，172-第一三通管，
18-第二药液桶连接组件，181-第二管道，182-第二三通管，2-防反溅机构，20-腔室，21-防护罩，22-抽吸装置，23-连接管。
具体实施方式
下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能解释为对本实用新型的限制。
本实用新型的实施例：如图1-3所示，公开了一种晶圆洗边系统包括：承载台、药液系统1和防反溅机构2；
所述承载台用于支撑晶圆；所述药液系统1包括洗边针头11，所述洗边针头11设置在所述承载台的上方并位于所述承载台的边缘；
所述防反溅机构2包括具有腔室20的防护罩21和与所述腔室20连通的抽吸装置22，所述防护罩21罩设在所述洗边针头11外。
本实用新型通过抽吸装置22的设置能够不断的对防护罩21内的腔室20进行抽取，在从洗边针头11向外喷出药液后，雾化或反溅的药液能够及时的被抽吸装置22抽走，从而避免了药液滴落在晶圆表面，从而造成对晶圆的污染，影响产品的品质。
本实施例中，为了方便实现抽吸装置22对腔室20的抽取，所述防反溅机构2还具有设置在所述防护罩21上的连接管23，所述连接管23内具有连通所述腔室20与所述抽吸装置22的连接通道。
所述连接管23具有设置在所述防护罩21侧壁上的进口，且在竖向方向上所述进口的位置高于所述洗边针头11的出口。
通过连接管23的设置更方便防护罩21与抽吸装置22的对接，将连接管23的进口设置在防护罩21内壁上并位于洗边针头11出口的上侧则能够避免抽吸装置22对洗边针头11喷出的药液直接抽吸，避免对洗边针头11洗边效果的影响。
所述洗边针头11具有沿竖向方向延伸设置的直线针头111和沿斜交所述直线针头111方向延伸设置的斜向针头112，所述斜向针头112朝背离所述承载台中心的方向延伸。
斜向针头112设置成朝背离承载台中心的方向延伸，从而使斜向针头112喷出的药液是斜着喷射在晶圆表面的，并且斜向方向的喷射能够使晶圆边缘的胶体更好的脱落，从而实现更高效的洗边。
需要说明的是，在本实施例中斜向针头112与直线针头111是一体弯折成型的。在其他实施例中所述洗边针头11还可以整体呈弧形弯折。
在竖向方向上所述斜向针头112的出口位于所述防护罩21的底部。将斜向针头112的出口设置在防护罩21的底部在不影响药液出射的同时，也能够更少的避免药液在腔室20外的挥发，从而达到更好的抽吸效果。
在实用新型中所述药液系统1包括并列设置的第一供液通路12、第二供液通路13和连接通路14，所述第一供液通路12通过连接通路14与所述洗边针头11连通；所述第二供液通路13通过所述连接通路14与所述洗边针头11连通。
需要说明的是本实施例只是用到了两个供液通路为例进行描述，可以理解的是，在其他实施例中，可以根据实际需要设置供液通路的数量，每一个供液通路可以与不同类型的药液连通，从而使该洗边针头11具有更好的适配性，可以兼容不同的洗边工艺，能够节约成本并提升产能。
本实施例中，所述连接通路14包括与所述洗边针头11连通的连接管141和设置在连接管141远离洗边针头11一端的三通管142，所述三通管142的两个开口分别与第一供液通路12、第二供液通路13连通。
为了方便控制第一供液通路12、第二供液通路13的导通与关闭，所述第一供液通路12上设置有第一阀体121，所述第二供液通路13上设置有第二阀体131；所述连接通路14上设置有总阀体143；所述总阀体143设置在所述连接管141上并位于相对靠近所述洗边针头11的位置。
本实施例中同时设置第一阀体121、第二阀体131及总阀体143能够避免，连接通路14内的药液从洗边针头11滴落，以实现类似保压效果。
如果只在第一供液通路12上设置第一阀体121，在第二供液通路13上设置第二阀体131不设置总阀体143，由于各种连接件及管路的设计使第一阀体121和第二阀体131距离洗边针头11的位置都相对较远，这样在第一阀体121及第二阀体131关闭后洗边针头11内残留的药液会滴落，从而影响晶圆。
本实施例中将总阀体143设置在相对靠近洗边针头11的位置，作为优选的方案，洗边针头11直接连接在总阀体143的阀体出口，这样才能减少阀体与洗边针头11出口之间的距离，从而更好的避免洗边针头11内药液的滴落。
所述药液系统1还具有第一药液桶15和第二药液桶16，所述第一供液通路12与第一药液桶15连通；所述第二供液通路13与第二药液桶16连通。药液桶内存放待使用药液，且药液桶的设置也能够方便更换药液或者及时的对药液补充。
所述第一药液桶15并列设置有两个；所述第二药液桶16也并列设置有两个；所述药液系统1还具有第一药液桶连接组件17和第二药液桶连接组件18；
所述第一药液桶连接组件17包括一对第一管道171和第一三通管172；一对所述第一管道171设置在所述第一三通管172的两个开口，所述第一三通管172的另一开口与所述第一供液通路12连通；
所述第二药液桶连接组件18包括一对第二管道181和第二三通管182；一对所述第二管道181设置在所述第二三通管182的两个开口，所述第二三通管182的另一开口与所述第二供液通路13连通。
设置两个第一药液桶15能够在一个第一药液桶15使用完毕后及时的切换到另一个，在更换药液的时候可以实现不停机。
所述第一药液桶15内设置有液位监测器，所述第一三通管172上设置有阀体用以控制第一供液通路12与那个第一药液桶15连通；
所述第二药液桶16内也设置有液位监测器，所述第二三通管182上设置有阀体用以控制第二供液通路13与哪个第二药液桶16连通。
需要说明的是所述药液系统1还具有控制单元，所述控制单元用于收集液位监测器的数据，并根据数据控制阀体的开启或关闭。
在其他实施例中还可以在一对第一管道171上分别设置阀体以控制第一供液通路12与那个第一药液桶15连通；在一对第二管道181上分别设置阀体以控制第二供液通路13与哪个第二药液桶16连通。
以上依据图式所示的实施例详细说明了本实用新型的构造、特征及作用效果，以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，但本实用新型不以图面所示限定实施范围，凡是依照本实用新型的构想所作的改变，或修改为等同变化的等效实施例，仍未超出说明书与图示所涵盖的精神时，均应在本实用新型的保护范围内。
Claims (10)
1.一种晶圆洗边系统，其特征在于，包括：
承载台，用于支撑晶圆；
药液系统，包括洗边针头，所述洗边针头设置在所述承载台的上方并位于所述承载台的边缘；
防反溅机构，包括具有腔室的防护罩和与所述腔室连通的抽吸装置，所述防护罩罩设在所述洗边针头外。
2.根据权利要求1所述的晶圆洗边系统，其特征在于：所述防反溅机构还具有设置在所述防护罩上的连接管，所述连接管内具有连通所述腔室与所述抽吸装置的连接通道。
3.根据权利要求2所述的晶圆洗边系统，其特征在于：所述连接管具有设置在所述防护罩侧壁上的进口，且在竖向方向上所述进口的位置高于所述洗边针头的出口。
4.根据权利要求3所述的晶圆洗边系统，其特征在于：所述洗边针头具有沿竖向方向延伸设置的直线针头和沿斜交所述直线针头方向延伸设置的斜向针头，所述斜向针头朝背离所述承载台中心的方向延伸。
5.根据权利要求4所述的晶圆洗边系统，其特征在于：在竖向方向上所述斜向针头的出口位于所述防护罩的底部。
6.根据权利要求5所述的晶圆洗边系统，其特征在于：所述药液系统包括并列设置的第一供液通路、第二供液通路和连接通路，所述第一供液通路通过连接通路与所述洗边针头连通；所述第二供液通路通过所述连接通路与所述洗边针头连通；
所述连接通路包括与所述洗边针头连通的连接管和设置在连接管远离洗边针头一端的三通管，所述三通管的两个开口分别与第一供液通路、第二供液通路连通。
7.根据权利要求6所述的晶圆洗边系统，其特征在于：所述第一供液通路上设置有第一阀体，所述第二供液通路上设置有第二阀体；所述连接通路上设置有总阀体；所述总阀体设置在所述连接管上并位于相对靠近所述洗边针头的位置。
8.根据权利要求7所述的晶圆洗边系统，其特征在于：所述药液系统还具有第一药液桶和第二药液桶，所述第一供液通路与第一药液桶连通；所述第二供液通路与第二药液桶连通。
9.根据权利要求8所述的晶圆洗边系统，其特征在于：所述第一药液桶并列设置有两个；所述第二药液桶也并列设置有两个；所述药液系统还具有第一药液桶连接组件和第二药液桶连接组件；
所述第一药液桶连接组件包括一对第一管道和第一三通管；一对所述第一管道设置在所述第一三通管的两个开口，所述第一三通管的另一开口与所述第一供液通路连通；
所述第二药液桶连接组件包括一对第二管道和第二三通管；一对所述第二管道设置在所述第二三通管的两个开口，所述第二三通管的另一开口与所述第二供液通路连通。
10.根据权利要求9所述的晶圆洗边系统，其特征在于：所述第一药液桶和第二药液桶内均设置有液位监测器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202321433276.XU CN220526869U (zh) | 2023-06-07 | 2023-06-07 | 一种晶圆洗边系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202321433276.XU CN220526869U (zh) | 2023-06-07 | 2023-06-07 | 一种晶圆洗边系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN220526869U true CN220526869U (zh) | 2024-02-23 |
Family
ID=89932440
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202321433276.XU Active CN220526869U (zh) | 2023-06-07 | 2023-06-07 | 一种晶圆洗边系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN220526869U (zh) |
-
2023
- 2023-06-07 CN CN202321433276.XU patent/CN220526869U/zh active Active
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |