CN220525627U - 光束处理装置及光学检测设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及光束处理装置及光学检测设备。光束处理装置，包括：壳体，壳体具有内腔；多个光学模块，光学模块包括元件座和光学元件，元件座固定在壳体上，光学元件设于元件座上并位于内腔中；至少一个光学模块靠近内腔的腔壁布置，靠近腔壁布置的光学模块的元件座包括调节结构，调节结构用于调节光学元件的位置，调节结构具有操控部，操控部的至少部分位于壳体外部；以及至少一处吹气部件，吹气部件包括吹气管路，吹气管路具有进气端和吹气端，吹气端固定在靠近腔壁布置的光学模块的元件座上，吹气端用于向光学元件吹气，进气端用于连通壳体外部的气源。本实用新型主要解决光束处理装置的光学元件容易被污染的问题。

Description

光束处理装置及光学检测设备

技术领域

本实用新型涉及光束处理装置及光学检测设备。

背景技术

晶圆检测设备作为一种对精度要求比较严格的光学检验设备，需要定期地进行维护，而在维护过程中，晶圆检测设备的光机部分是维护的重点。光机部分是一种对洁净度要求很高的光束处理装置，为了保证其洁净度，通常需要将光机部分的腔体封闭，并且通常需要通过吹气装置对光机部分内的光学元件进行吹气，从而避免外部环境对光机部分造成污染。

在维护时，为了调整光机部分内的光学元件，需要打开光机部分的腔体并对光学元件进行校正，但是这样操作容易使腔体内的光学元件出现污染问题。同时，在实际使用时，由于光机部分内的吹气装置的位置固定，而根据光路设计光机腔体内每个光学元件的放置方向不一致，因此不易对全部的光学元件进行吹气，也会导致内部的光学元件出现污染问题。

实用新型内容

本实用新型主要解决的技术问题是光束处理装置的光学元件容易被污染的问题。

第一方面，本实用新型提供了一种光束处理装置。

光束处理装置，包括：

壳体，所述壳体具有内腔；

多个光学模块，所述光学模块包括元件座和光学元件，所述元件座固定在所述壳体上，所述光学元件设于所述元件座上并位于所述内腔中；至少一个所述光学模块靠近所述内腔的腔壁布置，靠近腔壁布置的所述光学模块的所述元件座包括调节结构，所述调节结构用于调节所述光学元件的位置，所述调节结构具有操控部，所述操控部的至少部分位于所述壳体外部；

以及至少一处吹气部件，所述吹气部件包括吹气管路，所述吹气管路具有进气端和吹气端，所述吹气端固定在靠近腔壁布置的所述光学模块的所述元件座上，所述吹气端用于向所述光学元件吹气，所述进气端用于连通所述壳体外部的气源。

在一种技术方案中，所述元件座上设有气管接头，所述吹气部件贯穿并密封连接所述元件座。

在一种技术方案中，所述元件座包括壳体连接部和元件连接部，所述元件连接部与所述壳体连接部活动连接，所述壳体上开设有第一窗口，所述壳体连接部覆盖并密封所述第一窗口，所述光学元件固定在所述元件连接部上。

在一种技术方案中，所述吹气管路的进气端设于所述壳体连接部上。

在一种技术方案中，所述元件连接部上设有管路固定结构，所述管路固定结构用于将所述吹气管路沿所述元件连接部的表面固定。

在一种技术方案中，所述壳体至少包括第一壳体和第二壳体，所述第一壳体与所述第二壳体相互分离，每个壳体上均设有通孔，相邻壳体上的通孔用于供光束从一个壳体进入相邻的另一个壳体。

在一种技术方案中，相邻壳体之间设有围绕所述通孔布置的密封件，所述密封件用于密封相邻两所述通孔之间的缝隙。

在一种技术方案中，所述光学元件包括两个供光束射出所述光束处理装置的出光元件，所述壳体包括第一独立腔体和第二独立腔体，所述第一独立腔体和第二独立腔体分别用于容纳两个所述出光元件。

在一种技术方案中，所述第二壳体具有至少三处腔体，所述三处腔体包括所述第一独立腔体、第二独立腔体，以及与所述第一独立腔体、第二独立腔体通过通孔连通的第三独立腔体。

第二方面，本实用新型提供了一种光学检测设备。

一种光学检测设备，包括：

光源；

光束处理装置，所述光束处理装置用于对所述光源发出的光束进行处理以满足检测要求；

以及检测装置，所述检测装置用于对被检物进行检测；

所述光束处理装置包括：

壳体，所述壳体具有内腔；

多个光学模块，所述光学模块包括元件座和光学元件，所述元件座固定在所述壳体上，所述光学元件设于所述元件座上并位于所述内腔中；至少一个所述光学模块靠近所述内腔的腔壁布置，靠近腔壁布置的所述光学模块的所述元件座包括调节结构，所述调节结构用于调节所述光学元件的位置，所述调节结构具有操控部，所述操控部的至少部分位于所述壳体外部；

以及至少一处吹气部件，所述吹气部件包括吹气管路，所述吹气管路具有进气端和吹气端，所述吹气端固定在靠近腔壁布置的所述光学模块的所述元件座上，所述吹气端用于向所述光学元件吹气，所述进气端用于连通所述壳体外部的气源。

在一种技术方案中，所述元件座上设有气管接头，所述吹气部件贯穿并密封连接所述元件座。

在一种技术方案中，所述元件座包括壳体连接部和元件连接部，所述元件连接部与所述壳体连接部活动连接，所述壳体上开设有第一窗口，所述壳体连接部覆盖并密封所述第一窗口，所述光学元件固定在所述元件连接部上。

在一种技术方案中，所述吹气管路的进气端设于所述壳体连接部上。

在一种技术方案中，所述元件连接部上设有管路固定结构，所述管路固定结构用于将所述吹气管路沿所述元件连接部的表面固定。

在一种技术方案中，所述壳体至少包括第一壳体和第二壳体，所述第一壳体与所述第二壳体相互分离，每个壳体上均设有通孔，相邻壳体上的通孔用于供光束从一个壳体进入相邻的另一个壳体。

在一种技术方案中，相邻壳体之间设有围绕所述通孔布置的密封件，所述密封件用于密封相邻两所述通孔之间的缝隙。

在一种技术方案中，所述光学元件包括两个供光束射出所述光束处理装置的出光元件，所述壳体包括第一独立腔体和第二独立腔体，所述第一独立腔体和第二独立腔体分别用于容纳两个所述出光元件。

所述第二壳体具有至少三处腔体，所述三处腔体包括所述第一独立腔体、第二独立腔体，以及与所述第一独立腔体、第二独立腔体通过通孔连通的第三独立腔体。

本实用新型的有益效果：

据上述光束处理装置，通过使至少一个光学模块靠近壳体内腔的腔壁布置，能够方便地使对应光学模块的调节结构的操控部暴露于壳体的外部，从而能够在不拆卸壳体的情况下实现光学元件的调节，实现免拆维护，避免由于拆开壳体进行维护作业时使光学元件受到污染；并且，光学模块靠近壳体内腔的腔壁布置，便于将吹气管路的进气端暴露于壳体外部以连接气源，同时吹气管路的吹气端固定在元件座上，能够直接向光学元件吹气，避免部分光学元件无法被吹到；这样，整体上能够更好地保证光束处理装置的抗污染能力，提高光束处理装置的性能。

附图说明

图1为本实用新型中光束处理装置的一个实施例的立体示意图；

图2为图1中光束处理装置的主视图，图中的双点划线表示光路走向；

图3是其中一个光学模块的结构示意图；

图4是图3中光学模块的另一视角的示意图；

图5是图3中光学模块的又一视角的示意图；

图中附图标记对应的特征名称列表：

11、壳体；12、内腔；13、第一壳体；14、第二壳体；15、通孔；

21、光学模块；22、元件座；221、壳体连接部；222、元件连接部；23、光学元件；24、气管夹；25、操控部；26、管路固定结构；27、气管接头；

41、第一反射镜；42、第二反射镜；43、第一分光镜；44、半波片；45、偏振分束镜；46、起偏器；47、第二分光镜；48、第三反射镜；49、第四反射镜；410、第五反射镜；411、第六反射镜；412、第一出光元件；413、第二出光元件；

51、外部电机；52、驱动气缸；53、光阱；

61、第一相机；62、第二相机。

具体实施方式

下面通过具体实施方式结合附图对本实用新型作进一步详细说明。其中不同实施方式中类似元件采用了相关联的类似的元件标号。在以下的实施方式中，很多细节描述是为了使得本申请能被更好的理解。然而，本领域技术人员可以毫不费力的认识到，其中部分特征在不同情况下是可以省略的，或者可以由其他元件、材料、方法所替代。在某些情况下，本申请相关的一些操作并没有在说明书中显示或者描述，这是为了避免本申请的核心部分被过多的描述所淹没，而对于本领域技术人员而言，详细描述这些相关操作并不是必要的，他们根据说明书中的描述以及本领域的一般技术知识即可完整了解相关操作。

另外，说明书中所描述的特点、操作或者特征可以以任意适当的方式结合形成各种实施方式。同时，方法描述中的各步骤或者动作也可以按照本领域技术人员所能显而易见的方式进行顺序调换或调整。因此，说明书和附图中的各种顺序只是为了清楚描述某一个实施例，并不意味着是必须的顺序，除非另有说明其中某个顺序是必须遵循的。

本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接(联接)。

为了便于清楚地说明本实用新型的具体实施方式和技术方案，下文中，以图1所示的方位进行描述，光束处理装置具有如图1所示的上侧、下侧、左侧、右侧，以及前侧、后侧。当然，上述方位并不限定本实用新型的技术方案必须照此布置。

请参考图1，在一种实施方式中，光束处理装置为晶圆检测设备的光机部分，光机部分设置于光源和检测装置之间，用于对光源发出的光束进行处理以满足检测要求。光机部分作为一种对精度要求比较严格的光学检验设备，需要避免其内部的光学元件23被污染。本实用新型中，通过合理布置光学模块21的设置位置，能够从壳体11外部进行光学元件23的调节，避免拆开壳体11调节时造成的污染，并且便于对各光学元件23单独吹气，保证各光学元件23的吹气效果，从而有效改善光学元件23被污染的问题，提升光束处理装置的抗污染能力。

需要说明，在其他实施例中，光束处理装置也可以用于检测芯片、掩膜版、玻璃屏幕等，根据光束处理需求设置对应的光学元件23和光路即可。

在一种实施例中，光束处理装置包括：壳体11，壳体11具有内腔12；多个光学模块21，光学模块21包括元件座22和光学元件23，元件座22固定在壳体11上，光学元件23设于元件座22上并位于内腔12中；至少一个光学模块21靠近内腔12的腔壁布置，靠近腔壁布置的光学模块21的元件座22包括调节结构，调节结构用于调节光学元件23的位置，调节结构具有操控部25，操控部25的至少部分位于壳体11外部；以及至少一处吹气部件，吹气部件包括吹气管路，吹气管路具有进气端和吹气端，吹气端固定在靠近腔壁布置的光学模块21的元件座22上，吹气端用于向光学元件23吹气，进气端用于连通壳体11外部的气源。

在一种实施例中，光学元件23包括第一反射镜41、第二反射镜42、第一分光镜43、半波片44、偏振分束镜45、起偏器46、第二分光镜47、第三反射镜48、第四反射镜49、第五反射镜410和第六反射镜411等，还包括两个供光束射出光束处理装置的出光元件，两个出光元件分别为第一出光元件、第二出光元件。

在一种实施方式中，壳体11至少包括第一壳体13和第二壳体14，第一壳体13与第二壳体14相互分离，每个壳体11上均设有通孔15，相邻壳体11上的通孔15用于供光束从一个壳体11进入相邻的另一个壳体11。在一种具体的实施例中，光束处理装置的壳体11包括第一壳体13和第二壳体14两处壳体，第一壳体13内和第二壳体14具有各自的内腔12，分别用于布置对应的光学元件23。第一壳体13和第二壳体14均包括具有朝前的开口的底壳，还具有封盖在底壳的前侧开口处的封盖(图1中省略了第一壳体13的封盖)，内腔12由底壳和封盖共同围成。其中，第一壳体13具有一个内腔12，用于安装第一反射镜41、第二反射镜42、第一分光镜43、半波片44、偏振分束镜45、起偏器46；第二壳体14具有三个相互独立的内腔12，第一个内腔用于安装第二分光镜47、第三反射镜48、第四反射镜49、第五反射镜410和第六反射镜411，第二个内腔和第三个内腔分为形成第一独立腔体和第二独立腔体(位于图1和图2的左下角)，第一独立腔体和第二独立腔体分别用于容纳两个出光元件。为了实现光束的传输，第二壳体14的第一个内腔与上述的第二个内腔、第三个内腔之间分别设有通孔，能够分别通过对应的通孔连通。当然，在一些其他实施例中，光束处理装置还可以包括第三壳体和第四壳体，第三壳体和第四壳体各自独立，分别与一个上述出光元件对应，第三壳体和第四壳体的内腔中仅分别用于安装一个上述出光元件。壳体11采用第一壳体13和第二壳体14分开的结构形式，能够避免壳体11的尺寸过大而导致的加工困难，有利于降低加工成本。

在一种实施例中，相邻壳体11之间设有围绕通孔15布置的密封件，密封件用于密封相邻两通孔15之间的缝隙。设置密封件能够避免异物进入，从而更好地保证内腔12的清洁。密封件可以是密封圈、环形的密封垫等。

在一种具体实施例中，第一反射镜41与壳体11外部的激光器对应，用于将激光器射出的光束向图1下方反射(光路走向可参考图2中的双点划线)，然后，光束经第二反射镜42反射至第一分光镜43，一部分光束经第一分光镜43透射进入第一相机61，一部分光束经第一分光镜43反射后依次通过半波片44和偏振分束镜45。半波片44可在外部电机51的驱动下旋转，满足不同的衰减需求；偏振分束镜45允许特定偏振光通过，可在驱动气缸52(图中仅示出了驱动气缸52的伸缩头，其主体部分位于偏振分束镜45右侧的区域，由盖体封盖)的带动下沿图1中的左右方向移动(图中驱动气缸52与偏振分束镜45处于分离状态，仅为示意，实际上驱动气缸52的左端与偏振分束镜45是固定连接)。对于线偏振光束，使用半波片44和偏振分束镜45能构造可调偏振分束器/衰减器，通过半波片44的旋转，偏振分束镜45可连续改变s光和p光的比例，实现连续衰减的目的，这种效应常用于全息和干涉测量。上述半波片44与偏振分束镜45组合起来即可依靠上述原理实现对光的衰减作用。经过半波片44和偏振分束镜45的光束进入起偏器46，起偏器46用于起到改变偏振态或在没有偏振光时形成偏振光的效果，起偏器46可以采用已有结构，包括起偏转轮和不同的玻片。

经过起偏器46的光束进入第二壳体14内的第二分光镜47，一部分光束经第二分光镜47透射再经过第三反射镜48进入第二相机62，一部分光束经第二分光镜47反射后，再依次经过第四反射镜49进入第一出光元件，或者再依次经过第四反射镜49、第五反射镜410和第六反射镜411进入第二出光元件，最终从光束处理装置中射出。上述第一相机61和第二相机62能够实现对光束稳定的检测。经第二分光镜47反射后的光束可以选择性地从第一出光元件射出或者从第二出光元件射出，该选择是由第五反射镜410的位置决定的，第五反射镜410能够沿图1的前后方向移动，其在移动行程上具有避让位置和工作位置，第五反射镜410处于避让位置时光束能够从第四反射镜49直接进入第一出光元件，第五反射镜410处于工作位置时能够参与光路处理，对光束朝向第六反射镜411反射，再由第六反射镜411将光束反射到第二出光元件。上述出光元件也为反射镜，正常工作时，仅有一个出光元件工作。在一些其他实施例中，第五反射镜410也可以通过左右移动来切入和切出光路。

另外，在一种实施例中，如图1，第一壳体13的右侧壁上设有光阱53，光阱53作为本领域的一种公知部件，其能够吸收多余光线，防止光线逸散而影响检测。本实施例中，光阱53处还设有排气接头，也能够实现气体的排出。

光学元件23与各自对应的元件座22共同形成一处光学模块21，在一种实施例中，对于需要进行位置调节的光学元件23，例如第一反射镜41、第二反射镜42、第一分光镜43、第二分光镜47、第三反射镜48、第四反射镜49等，对应的元件座22包括壳体连接部221和元件连接部222，元件连接部222与壳体连接部221活动连接，壳体11上开设有第一窗口(可以是设置在壳体11的对应壁体上的开孔)，壳体连接部221覆盖并密封第一窗口，光学元件23固定在元件连接部222上。需要说明的是，根据实际需要，可以仅将其中一个光学元件23设置为位置可调，也可以将其中一部分光学元件23设置为位置可调，还可以将全部光学元件23设置为位置可调，此处示意性地对个别位置可调的光学元件23进行说明。对于不需调节的光学元件23，其元件座22可以不再设置调节结构，也可以是一体式结构，可以不再区分元件连接部222与壳体连接部221。

在一种实施例中，供第一反射镜41、第一分光镜43安装的第一窗口均设置于第一壳体13的顶部侧壁上，第一反射镜41、第一分光镜43所对应的光学模块21均能够从上向下安装到壳体11上；供第二反射镜42、第二分光镜47安装的第一窗口分别设置于第一壳体13的右侧壁和第二壳体14的右侧壁上，第二反射镜42、第二分光镜47所对应的光学模块21均能够从右向左安装到壳体11上。光学模块21所对应的第一窗口的位置可以根据需要设置，例如，对于靠近左侧边缘的光学模块21，也可以将第一窗口设置在壳体11的左侧壁上；再如，对于靠近壳体11前侧壁的光学模块21或者满足设置位置要求的光学模块(例如第二出光元件)，也可以将第一窗口设置在壳体11的前侧壁上；又如，对于靠近壳体11的后侧壁光学模块21，也可以将第一窗口设置在壳体11的后侧壁上。

在一种具体实施例中，请参考图3、图4和图5，以第一分光镜43所对应的元件座22为例，该元件座22的壳体连接部221为板体结构，板体结构能够覆盖第一窗口，板体结构的四角设有螺栓孔，螺栓孔供螺钉穿过并将壳体连接部221固定到壳体11上。壳体连接部221内侧面处设有密封圈槽，能够安装密封圈来与壳体11实现密封。元件连接部222上设有元件固定斜面，元件固定斜面呈45度倾斜，能够实现将半透半反的分光片通过环形压片压装固定在元件固定斜面上。壳体连接部221与元件连接部222之间的调节结构可以采用任意形式，能够实现元件连接部222与壳体连接部221的活动连接以实现元件连接部222的活动调节即可。例如，在一种实施例中，壳体连接部221与元件连接部222之间可以设置球铰，并在壳体连接部221上围绕球铰螺纹连接若干顶推螺钉，顶推螺钉的头部暴露于壳体11外部作为操控部25、末端支撑在元件连接部222上，通过调节各顶推螺钉对元件连接部222的顶推量，即可实现元件连接部222及其上光学元件23的调节，顶推螺钉的头部即操控部。又如，在一些其他实施例中，对于需要实现绕固定轴线进行摆动调节的光学元件23，元件连接部222也可以采用绕设定轴线铰接的方式装配到壳体连接部221上，然后在垂直于设定轴线的方向上于设定轴线的两侧分别设置顶推螺钉，顶推螺钉的头部即操控部。再如，在一些其他实施例中，调节结构用于对光学元件沿壳体连接部221与元件连接部222的排列方向进行升降调节，调节结构可以包括对应于元件连接部222的其中一个角落设置的导向件(导向件的导向方向沿升降调节方向)，以及对应于元件连接部222的另外两个对角设置的推拉驱动件，推拉驱动件可以包括螺杆和调节手轮，螺杆穿过壳体连接部221并螺纹连接在壳体连接部221上，螺杆位于壳体内的一端固定到元件连接部222上；调节手轮转动装配在壳体连接部221的外部，并与螺杆位于壳体外的一端螺纹连接；调节时，转动调节手轮即可实现元件连接部222的升降调节，调节手轮即操控部。

需要说明的是，在一些其他实施例中，元件座22自身也可以以可调方式装配到壳体11上，即调节结构直接与壳体11配合，同样能够实现光学元件23的调节；例如，元件座22导向装配到壳体11上并通过紧定螺钉锁紧，需要调节光学元件23的位置时，松开紧定螺钉，调节完毕后锁紧紧定螺钉即可。另外，调节结构的操控部25的至少部分位于壳体11外部即可实现外部操作，不一定完全位于壳体11外部。再者，调节结构可以为机械调节形式，也可以是采用电控按钮、电控旋钮控制的电动调节形式；对于电控按钮、电控旋钮控制等电动调节形式，电控按钮、电控旋钮可以位于壳体11的外部作为操控部25。

对于需要进行吹气的光学元件23，在一种实施方式中，吹气管路的进气端设于壳体连接部221上。在一种具体实施例中，元件座22上设有气管接头27，吹气部件贯穿并密封连接元件座22。在一种具体实施例中，吹气管路可以包括软管31和气管接头27，气管接头27设置于壳体连接部221的中心，形成吹气管路的进气端，用于连通壳体11外部的气源。元件座22上设有用于连通元件座22的内外两侧的开孔，气管接头27密封连接在开孔处，例如可以通过螺纹方式连接。在一种其他实施例中，吹气管路的进气端也可以避开光学模块21设置于壳体11的侧壁上，或者设置于壳体连接部221的边缘位置。

在一种实施例中，元件连接部222上设有气管夹24，气管夹24用于固定软管31的其中一端端头以使吹气管路的吹气端准确地朝向光学元件23，从而能够实现较好的吹气效果。在一种实施例中，元件连接部222上设有管路固定结构26，管路固定结构用于将吹气管路沿元件连接部222的表面固定，保证气管不会对光机部分的内腔12造成干扰。管路固定结构26可以采用不同的形式，例如采用带有开放的卡槽的夹体，软管31嵌入卡槽内即可实现固定，再如采用压块，将软管31压装到元件连接部222上。在其他实施例中，吹气管路也可以仅两端固定，中间部分处于无约束状态。软管31的具体走向不限，通常情况下，沿元件连接部222的表面布置有利于避免对腔体内气流和光路的影响。例如，软管31从气管接头27的内端引出后直接向气管接头27侧向弯曲，再通过管路固定结构26沿元件连接部222的表面布置，最后将软管31的吹气端固定到气管夹24上即可。

由于对应的光学模块21靠近内腔12的腔壁布置，因此也可以使内腔12中部的空间较充足、增加内腔12中气流的流通，并且可以使光学模块21的操控部25和吹气管路尽量地靠近壳体11的外侧，便于操控部25的布置和吹气管路的铺设。

由于出光方向朝向图1的后侧，因此需要出光元件的反射面朝向后上方倾斜；为了在安装两个出光元件所对应的光学模块21时便于光学模块21与壳体11形成密封，第二壳体14上设置了上述第一独立腔体和第二独立腔体，分别安装两个出光元件所对应的光学模块21。第二壳体14的底部后侧设有与两个出光元件分别对应的开孔作为出光孔，出光孔不但能够供光束射出，还能够供吹气部件吹入壳体11内腔12的气体排出。

本实用新型中，至少一个光学模块21靠近内腔12的腔壁布置，因此能够方便地使调节结构的操控部25暴露于壳体11的外部，并且便于将吹气管路的进气端暴露于壳体11外部以连接气源。对光束处理装置进行维护时，由于调节结构的操控部25的至少部分位于壳体11外部，因此可以在壳体11外部实现对相应光学模块21的调节，不需要打开光机部分的腔体，避免拆开壳体11而使光学元件23受到污染；同时，吹气管路的吹气端能够直接向光学元件23吹气，能够避免部分光学元件23无法被吹到，从而整体上更好地保证光束处理装置的抗污染能力。

本实用新型中光学检测设备的实施例：

光学检测设备，包括：光源；光束处理装置，光束处理装置用于对光源发出的光束进行处理以满足检测要求，光束处理装置采用上述实施例中的光束处理装置，具体结构此处不再赘述；以及检测装置，检测装置用于对被检物进行检测；上述光源和检测装置可以采用已有结构。

以上应用了具体个例对本实用新型进行阐述，只是用于帮助理解本实用新型，并不用以限制本实用新型。对于本实用新型所属技术领域的技术人员，依据本实用新型的思想，还可以做出若干简单推演、变形或替换。

Claims (10)

1.光束处理装置，其特征在于，包括：

壳体，所述壳体具有内腔；

多个光学模块，所述光学模块包括元件座和光学元件，所述元件座固定在所述壳体上，所述光学元件设于所述元件座上并位于所述内腔中；至少一个所述光学模块靠近所述内腔的腔壁布置，靠近腔壁布置的所述光学模块的所述元件座包括调节结构，所述调节结构用于调节所述光学元件的位置，所述调节结构具有操控部，所述操控部的至少部分位于所述壳体外部；

以及至少一处吹气部件，所述吹气部件包括吹气管路，所述吹气管路具有进气端和吹气端，所述吹气端固定在靠近腔壁布置的所述光学模块的所述元件座上，所述吹气端用于向所述光学元件吹气，所述进气端用于连通所述壳体外部的气源。

2.如权利要求1所述的光束处理装置，其特征在于，所述元件座上设有气管接头，所述吹气部件贯穿并密封连接所述元件座。

3.如权利要求1所述的光束处理装置，其特征在于，所述元件座包括壳体连接部和元件连接部，所述元件连接部与所述壳体连接部活动连接，所述壳体上开设有第一窗口，所述壳体连接部覆盖并密封所述第一窗口，所述光学元件固定在所述元件连接部上。

4.如权利要求3所述的光束处理装置，其特征在于，所述吹气管路的进气端设于所述壳体连接部上。

5.如权利要求1-4任一项所述的光束处理装置，其特征在于，所述元件连接部上设有管路固定结构，所述管路固定结构用于将所述吹气管路沿所述元件连接部的表面固定。

6.如权利要求1-4任一项所述的光束处理装置，其特征在于，所述壳体至少包括第一壳体和第二壳体，所述第一壳体与所述第二壳体相互分离，每个壳体上均设有通孔，相邻壳体上的通孔用于供光束从一个壳体进入相邻的另一个壳体。

7.如权利要求6所述的光束处理装置，其特征在于，相邻壳体之间设有围绕所述通孔布置的密封件，所述密封件用于密封相邻两所述通孔之间的缝隙。

8.如权利要求6所述的光束处理装置，其特征在于，所述光学元件包括两个供光束射出所述光束处理装置的出光元件，所述壳体包括第一独立腔体和第二独立腔体，所述第一独立腔体和第二独立腔体分别用于容纳两个所述出光元件。

9.如权利要求8所述的光束处理装置，其特征在于，所述第二壳体具有至少三处腔体，所述三处腔体包括所述第一独立腔体、第二独立腔体，以及与所述第一独立腔体、第二独立腔体通过通孔连通的第三独立腔体。

10.光学检测设备，其特征在于，包括：

光源；

光束处理装置，所述光束处理装置用于对所述光源发出的光束进行处理以满足检测要求，所述光束处理装置为权利要求1至9中任一项所述的光束处理装置；

以及检测装置，所述检测装置用于对被检物进行检测。