CN220495876U - 一种等离子刻蚀机的排气设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种等离子刻蚀机的排气设备，包括底座，所述底座下端左部和下端右部均固定安装有一组支撑柱，两组所述支撑柱呈左右对称分布且每组设置为两个，所述底座上端固定安装有主体，所述主体上端左部固定安装有抽吸泵，所述主体上端后部固定安装有储存箱，所述储存箱上端中部固定安装有注入管。本实用新型所述的一种等离子刻蚀机的排气设备，通过设置盖板，使过滤网便于拆卸清理，由于操作过程简洁明了，使过滤网拆卸时避免复杂的操作而对过滤网而造成一定的损坏；通过设置抽吸泵和消毒箱，可以加强消毒效果，并在抽吸泵的作用下，使消毒液通过喷洒罩喷洒出来，并由马达带动转动柱和扇叶，并在扇叶的转动下，可以加强废气的排放效果。

Description

一种等离子刻蚀机的排气设备

技术领域

本实用新型涉及离子刻蚀机技术领域，特别涉及一种等离子刻蚀机的排气设备。

背景技术

等离子刻蚀是利用射频电源使反应气体生成反应活性高的离子和电子，对二氧化硅晶片进行物理轰击及化学反应，以选择性的去除部分区域，被刻蚀的物质变成挥发性的气体；等离子刻蚀产生的尾气中包含未反应气体，反应中间产物及反应产生物质等，直接排入大气会造成污染，需要经过尾气处理装置处理后才可以排入大气。

现有技术(专利号：CN216149412U)公开了一种等离子刻蚀机排气装置，包括排气主体；所述排气主体设置为圆筒形结构，且排气主体底部固定设置有过滤机构；所述排气主体顶部固定设置有辅助机构，且排气主体内部转动设置有转动机构；所述排气主体顶部固定设置有排气机构；辅助机构，所述辅助机构顶部固定设置有进气装置，所述排气主体包括进气管，进气管固定设置于排气主体顶侧内部；排气管，排气管固定设置于排气主体顶侧内部；集液管，集液管固定设置于排气主体顶侧内部，且集液管数量设置为两组。本实用新型的有益效果在于：通过设置有液泵和连接管以及横管和喷头，实现了将过滤液进行雾化的效果，起到了使过滤液充分与尾气进行反应净化的作用；利用锥形齿轮A配合转动轴顶端锥形齿轮，达到了带动固定板以及转动轴转动的目的，实现了使排气主体内部气体滚动的效果；起到了加快净化效率的作用；相比现有的离子刻蚀机排气装置能够更简便的实现有效去除尾气中的污染气体的效果，有利于增强排气装置的净化效果。

现有的等离子刻蚀机的排气设备存在以下弊端，由于现有的排气设备长时间使用下，过滤设备上容易堆积较多的杂质，而过滤设备拆卸过程较为繁琐，从而影响过滤设备的清理，使得该设备存在一定局限性，故此，我们提出一种新型的等离子刻蚀机的排气设备。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种等离子刻蚀机的排气设备，可以有效解决过滤设备便于拆卸清理的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种等离子刻蚀机的排气设备，包括底座，所述底座下端左部和下端右部均固定安装有一组支撑柱，两组所述支撑柱呈左右对称分布且每组设置为两个，所述底座上端固定安装有主体，所述主体上端左部固定安装有抽吸泵，所述主体上端后部固定安装有储存箱，所述储存箱上端中部固定安装有注入管，所述主体上端右部固定安装有消毒箱，所述主体前端左部卡接有盖板，所述主体左端固定连接有进气罩，所述主体右端固定安装有排气罩，所述排气罩右端前部和右端后部均固定安装有排气组件。

优选的，所述主体上端右部开设有安装槽，所述主体前端左部开设有卡槽，所述卡槽内部上侧和内部下侧均固定连接有连接板，两个所述连接板之间上侧和之间下侧均开设有衔接槽，所述盖板前端中部固定连接有把手，所述盖板后端固定连接有连接块，所述连接块后端左部和后端右部均固定连接有过滤网。

优选的，所述盖板卡接在卡槽内，两个所述过滤网均滑动连接在衔接槽内。

优选的，所述排气组件包括固定架，所述固定架左端开设有多个左右穿通的进气孔，所述固定架内部固定连接有马达，所述马达输出端固定连接有转动柱，所述转动柱右端固定连接有多个扇叶，所述固定架固定连接在排气罩上。

优选的，所述抽吸泵输出端固定连接有辅助盒，所述辅助盒外圆柱面后侧和储存箱前端共同固定连接有连接管，所述辅助盒外圆柱面右侧和消毒箱左端共同固定连接有输送管，所述消毒箱下端固定连接有连接座，所述连接座下端固定连接有支板，所述支板下端固定连接有多个喷洒罩。

优选的，所述消毒箱卡接在安装槽内，多个所述喷洒罩呈等距离分布，多个所述喷洒罩与主体内壁之间存在空隙。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1、本实用新型中，通过设置盖板，使过滤网便于拆卸清理，在使用时，当过滤网需要拆卸清理时，首先通过把手的拉动下，使盖板与主体分离，并由连接块带动过滤网从衔接槽内取出即可，由于操作过程简洁明了，使过滤网拆卸时避免复杂的操作而对过滤网而造成一定的损坏；

2、本实用新型中，通过设置抽吸泵和消毒箱，可以加强消毒效果，在使用时，当废气过滤后，首先将消毒液从注入管注入储存箱内，并通过抽吸泵的作用下，使消毒液通过连接管和辅助盒以及输送管输送至消毒箱内，并在抽吸泵的作用下，使消毒液通过喷洒罩喷洒出来，并由马达带动转动柱和扇叶，并在扇叶的转动下，可以加强废气的排放效果。

附图说明

图1为本实用新型一种等离子刻蚀机的排气设备的整体结构示意图；

图2为本实用新型一种等离子刻蚀机的排气设备的盖板的整体结构示意图；

图3为本实用新型一种等离子刻蚀机的排气设备的排气组件的整体结构示意图；

图4为本实用新型一种等离子刻蚀机的排气设备的抽吸泵的整体结构示意图。

图中：1、底座；2、支撑柱；3、主体；4、进气罩；5、盖板；6、排气罩；7、排气组件；8、抽吸泵；9、储存箱；10、注入管；11、消毒箱；31、安装槽；32、卡槽；33、连接板；34、衔接槽；51、把手；52、连接块；53、过滤网；71、固定架；72、进气孔；73、马达；74、转动柱；75、扇叶；81、辅助盒；82、输送管；83、连接管；1101、连接座；1102、支板；1103、喷洒罩。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1-4所示，一种等离子刻蚀机的排气设备，包括底座1，底座1下端左部和下端右部均固定安装有一组支撑柱2，两组支撑柱2呈左右对称分布且每组设置为两个，底座1上端固定安装有主体3，主体3上端左部固定安装有抽吸泵8，主体3上端后部固定安装有储存箱9，储存箱9上端中部固定安装有注入管10，主体3上端右部固定安装有消毒箱11，主体3前端左部卡接有盖板5，主体3左端固定连接有进气罩4，主体3右端固定安装有排气罩6，排气罩6右端前部和右端后部均固定安装有排气组件7。

主体3上端右部开设有安装槽31，主体3前端左部开设有卡槽32，卡槽32内部上侧和内部下侧均固定连接有连接板33，两个连接板33之间上侧和之间下侧均开设有衔接槽34，盖板5前端中部固定连接有把手51，盖板5后端固定连接有连接块52，连接块52后端左部和后端右部均固定连接有过滤网53；盖板5卡接在卡槽32内，两个过滤网53均滑动连接在衔接槽34内；当过滤网53需要拆卸清理时，首先通过把手51的拉动下，使盖板5与主体3分离，并由连接块52带动过滤网53从衔接槽34内取出即可，由于操作过程简洁明了，使过滤网53拆卸时避免复杂的操作而对过滤网53而造成一定的损坏。

排气组件7包括固定架71，固定架71左端开设有多个左右穿通的进气孔72，固定架71内部固定连接有马达73，马达73输出端固定连接有转动柱74，转动柱74右端固定连接有多个扇叶75，固定架71固定连接在排气罩6上；抽吸泵8输出端固定连接有辅助盒81，辅助盒81外圆柱面后侧和储存箱9前端共同固定连接有连接管83，辅助盒81外圆柱面右侧和消毒箱11左端共同固定连接有输送管82，消毒箱11下端固定连接有连接座1101，连接座1101下端固定连接有支板1102，支板1102下端固定连接有多个喷洒罩1103；消毒箱11卡接在安装槽31内，多个喷洒罩1103呈等距离分布，多个喷洒罩1103与主体3内壁之间存在空隙；当废气过滤后，首先将消毒液从注入管10注入储存箱9内，并通过抽吸泵8的作用下，使消毒液通过连接管83和辅助盒81以及输送管82输送至消毒箱11内，并在抽吸泵8的作用下，使消毒液通过喷洒罩1103喷洒出来，并由马达73带动转动柱74和扇叶75，并在扇叶75的转动下，可以加强废气的排放效果。

需要说明的是，本实用新型为一种等离子刻蚀机的排气设备，通过设置盖板5，使过滤网53便于拆卸清理，在使用时，当过滤网53需要拆卸清理时，首先通过把手51的拉动下，使盖板5与主体3分离，并由连接块52带动过滤网53从衔接槽34内取出即可，由于操作过程简洁明了，使过滤网53拆卸时避免复杂的操作而对过滤网53而造成一定的损坏；通过设置抽吸泵8和消毒箱11，可以加强消毒效果，在使用时，当废气过滤后，首先将消毒液从注入管10注入储存箱9内，并通过抽吸泵8的作用下，使消毒液通过连接管83和辅助盒81以及输送管82输送至消毒箱11内，并在抽吸泵8的作用下，使消毒液通过喷洒罩1103喷洒出来，并由马达73带动转动柱74和扇叶75，并在扇叶75的转动下，可以加强废气的排放效果。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (6)

1.一种等离子刻蚀机的排气设备，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)下端左部和下端右部均固定安装有一组支撑柱(2)，两组所述支撑柱(2)呈左右对称分布且每组设置为两个，所述底座(1)上端固定安装有主体(3)，所述主体(3)上端左部固定安装有抽吸泵(8)，所述主体(3)上端后部固定安装有储存箱(9)，所述储存箱(9)上端中部固定安装有注入管(10)，所述主体(3)上端右部固定安装有消毒箱(11)，所述主体(3)前端左部卡接有盖板(5)，所述主体(3)左端固定连接有进气罩(4)，所述主体(3)右端固定安装有排气罩(6)，所述排气罩(6)右端前部和右端后部均固定安装有排气组件(7)。

2.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀机的排气设备，其特征在于：所述主体(3)上端右部开设有安装槽(31)，所述主体(3)前端左部开设有卡槽(32)，所述卡槽(32)内部上侧和内部下侧均固定连接有连接板(33)，两个所述连接板(33)之间上侧和之间下侧均开设有衔接槽(34)，所述盖板(5)前端中部固定连接有把手(51)，所述盖板(5)后端固定连接有连接块(52)，所述连接块(52)后端左部和后端右部均固定连接有过滤网(53)。

3.根据权利要求2所述的一种等离子刻蚀机的排气设备，其特征在于：所述盖板(5)卡接在卡槽(32)内，两个所述过滤网(53)均滑动连接在衔接槽(34)内。

4.根据权利要求3所述的一种等离子刻蚀机的排气设备，其特征在于：所述排气组件(7)包括固定架(71)，所述固定架(71)左端开设有多个左右穿通的进气孔(72)，所述固定架(71)内部固定连接有马达(73)，所述马达(73)输出端固定连接有转动柱(74)，所述转动柱(74)右端固定连接有多个扇叶(75)，所述固定架(71)固定连接在排气罩(6)上。

5.根据权利要求4所述的一种等离子刻蚀机的排气设备，其特征在于：所述抽吸泵(8)输出端固定连接有辅助盒(81)，所述辅助盒(81)外圆柱面后侧和储存箱(9)前端共同固定连接有连接管(83)，所述辅助盒(81)外圆柱面右侧和消毒箱(11)左端共同固定连接有输送管(82)，所述消毒箱(11)下端固定连接有连接座(1101)，所述连接座(1101)下端固定连接有支板(1102)，所述支板(1102)下端固定连接有多个喷洒罩(1103)。

6.根据权利要求5所述的一种等离子刻蚀机的排气设备，其特征在于：所述消毒箱(11)卡接在安装槽(31)内，多个所述喷洒罩(1103)呈等距离分布，多个所述喷洒罩(1103)与主体(3)内壁之间存在空隙。