CN220454019U - 多种流量输出的冷却水系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种多种流量输出的冷却水系统，用于同时满足不同设备的冷却水需求，包含：入口组件、分配装置、管路组件和出口组件。入口组件与分配装置相连接，为分配装置提供冷却水；管路组件用于连接入口组件与分配装置，并且连接分配装置与设备，分配装置用于将冷却水通过管路组件分配至不同的设备；出口组件与分配装置相连接，用于排出换热后的冷却水。本实用新型能满足不同设备对冷却水流量、纯度的不同需求，实现流量的精确调节，保证每台设备在不同工作状态下都能获得所需的恰到好处的冷却效果，又能在设备组装时少用管路、接头，降低了系统的复杂性，优化了设备运行过程中的冷却管理，提高了生产效率和质量控制。

Description

多种流量输出的冷却水系统

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，特别涉及一种多种流量输出的冷却水系统。

背景技术

半导体领域功能水设备中通常会使用到离心泵、气体发生器，这些装置在运转过程中会产生大量的热量。离心泵内热量集聚会引发被输送流体的温升，更严重则会导致管路破裂而发生液体泄漏事故；气体发生器内热量集聚会导致发生器的效率下降、功耗增加，进而引发设备停机。这些高负荷、高转速的装置需要采取冷却降温手段来抑制温升，一般会采用强迫水冷的方式来降温。由于离心泵、气体发生器对冷却水的流量、冷却水的纯净度各不相同；同时，功能水设备中存在多个冷却水使用接驳点，需要管路系统中有多个支路和接头，从而也到导致了组装设备时的繁琐。

发明内容

根据本实用新型实施例，提供了一种多种流量输出的冷却水系统，用于同时满足不同设备的冷却水需求，包含：入口组件、分配装置、管路组件和出口组件。

入口组件与分配装置相连接，为分配装置提供冷却水；

管路组件用于连接入口组件与分配装置，并且连接分配装置与设备，分配装置用于将冷却水通过管路组件分配至不同的设备；

出口组件与分配装置相连接，用于排出换热后的冷却水。

进一步，入口组件包含：控制阀和调节阀；

控制阀用于控制冷却水的流动；

调节阀用于调节冷却水的流量和压力。

进一步，控制阀为截止阀和/或第一气动阀。

进一步，调节阀为减压阀。

进一步，分配装置包含：阀体、接入口和若干接出口；

接入口和若干接出口分别与阀体相连接，接入口通过管路组件与入口组件相连接，若干接出口分别通过管路组件与不同的设备和出口组件相连接。

进一步，若干接出口的口径不同。

进一步，管路组件采用PFA材料。

进一步，出口组件为第二气动阀。

进一步，还包含过滤器；过滤器设置在管路组件上，在分配装置与设备之间。

根据本实用新型实施例的多种流量输出的冷却水系统，能满足不同设备对冷却水流量、纯度的不同需求，实现流量的精确调节，保证每台设备在不同工作状态下都能获得所需的恰到好处的冷却效果，又能在设备组装时少用管路、接头，降低了系统的复杂性，优化了设备运行过程中的冷却管理，提高了生产效率和质量控制。

要理解的是，前面的一般描述和下面的详细描述两者都是示例性的，并 且意图在于提供要求保护的技术的进一步说明。

附图说明

图1为根据本实用新型实施例多种流量输出的冷却水系统的整体示意图；

图2为根据本实用新型实施例多种流量输出的冷却水系统的分配装置示意图。

具体实施方式

以下将结合附图，详细描述本实用新型的优选实施例，对本实用新型做进一步阐述。

首先，将结合图1~2描述根据本实用新型实施例的多种流量输出的冷却水系统，在用于对不同的高负荷、高转速的装置采取冷却降温手段的应用场景很广。

如图1~2所示，本实用新型实施例的多种流量输出的冷却水系统，用于同时满足不同设备5的冷却水需求，具有入口组件1、分配装置2、管路组件3和出口组件4。

具体地，如图1所示，入口组件1与分配装置2相连接，为分配装置2提供冷却水；管路组件3用于连接入口组件1与分配装置2，并且连接分配装置2与设备5，分配装置2用于将冷却水通过管路组件3分配至不同的设备5；出口组件4与分配装置2相连接，用于排出换热后的冷却水，此系统能满足不同的设备5对冷却水流量、纯度的不同需求，实现流量的精确调节，保证每台设备5在不同工作状态下都能获得所需的恰到好处的冷却效果，又能在设备5组装时少用管路、接头，降低了系统的复杂性，优化了设备5运行过程中的冷却管理，提高了生产效率和质量控制。

进一步，如图1所示，入口组件1包含：控制阀和调节阀；控制阀用于控制冷却水的流动；调节阀用于调节冷却水的流量和压力，在本实施例中，优选地，控制阀为截止阀11和/或第一气动阀12，截止阀11起通断作用，可以有效保证在紧急情况下及时切断系统水源。第一气动阀12可配合电磁阀使用实现该第一气动阀12自动控制的功能；调节阀为减压阀13，冷却水压力在减压阀13处被调节至合适的压力；为系统提供稳定的压力、流量以及在必要时及时切断水源，其中，截止阀11、第一气动阀12和减压阀13的所有阀件均采用316L材料，有着良好的耐腐蚀性和抗氧化性，防止冷却水系统发生二次污染。

进一步，如图2所示，在本实施例中分配装置2包含：阀体21、接入口22和若干接出口23；接入口22和若干接出口23分别与阀体21相连接，接入口22通过管路组件3与入口组件1相连接，若干接出口23分别通过管路组件3与不同的设备5和出口组件4相连接，汇流的结构，有效减少了三通接头和管路的使用，阀体21采用316L材料，接入口22和若干接出口23均采用卡套形式。

进一步，如图2所示，在本实施例中，若干接出口23的口径不同，冷却水经第一气动阀12后，在分配装置2处被分配成各个流量大小的支流到各个设备5的冷却水使用点，满足每个设备5使用点的需求。

进一步，如图1所示，在本实施例中，管路组件3采用PFA材料。

进一步，如图1所示，在本实施例中，出口组件4为第二气动阀41，冷却水经过管路组件3到达设备5使用点后回到分配装置2处，完成换热后的冷却水经第二气动阀41流出冷却水系统，第二气动阀41配合电磁阀使用可实现自动控制的功能。

进一步，如图1所示，在本实施例中，根据冷却水设备5使用点对水质的需求，在冷却水设备5使用点的上游、分配装置2的下游添加过滤器6。

工作原理：从厂务供给的冷却水首先经过截止阀11，在减压阀13处被调节至合适的压力，再流经第一气动阀12后，在分配装置2处被分配成各个流量大小的支流到设备5的冷却水使用点，冷却水经过过滤器6、以及大小不同的管路组件3到达设备5冷却水使用点后回到分配装置2处，完成换热后的冷却水经第二气动阀41流出冷却水系统。

以上，参照图1~2描述了根据本实用新型实施例的多种流量输出的冷却水系统，能满足不同设备5对冷却水流量、纯度的不同需求，实现流量的精确调节，保证每台设备5在不同工作状态下都能获得所需的恰到好处的冷却效果，又能在设备5组装时少用管路、接头，降低了系统的复杂性，优化了设备5运行过程中的冷却管理，提高了生产效率和质量控制。

需要说明的是，在本说明书中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包含……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管本实用新型的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍，但应当认识到上述的描述不应被认为是对本实用新型的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后，对于本实用新型的多种修改和替代都将是显而易见的。因此，本实用新型的保护范围应由所附的权利要求来限定。

Claims (9)

1.一种多种流量输出的冷却水系统，用于同时满足不同设备的冷却水需求，其特征在于，包含：入口组件、分配装置、管路组件和出口组件；

所述入口组件与所述分配装置相连接，为所述分配装置提供冷却水；

所述管路组件用于连接所述入口组件与所述分配装置，并且连接所述分配装置与所述设备，所述分配装置用于将所述冷却水通过管路组件分配至不同的所述设备；

所述出口组件与所述分配装置相连接，用于排出换热后的所述冷却水。

2.如权利要求1所述多种流量输出的冷却水系统，其特征在于，所述入口组件包含：控制阀和调节阀；

所述控制阀用于控制所述冷却水的流动；

所述调节阀用于调节所述冷却水的流量和压力。

3.如权利要求2所述多种流量输出的冷却水系统，其特征在于，所述控制阀为截止阀和/或第一气动阀。

4.如权利要求2所述多种流量输出的冷却水系统，其特征在于，所述调节阀为减压阀。

5.如权利要求1所述多种流量输出的冷却水系统，其特征在于，所述分配装置包含：阀体、接入口和若干接出口；

所述接入口和所述若干接出口分别与所述阀体相连接，所述接入口通过管路组件与所述入口组件相连接，所述若干接出口分别通过管路组件与不同的所述设备和所述出口组件相连接。

6.如权利要求5所述多种流量输出的冷却水系统，其特征在于，所述若干接出口的口径不同。

7.如权利要求1所述多种流量输出的冷却水系统，其特征在于，所述管路组件采用PFA材料。

8.如权利要求1所述多种流量输出的冷却水系统，其特征在于，所述出口组件为第二气动阀。

9.如权利要求1所述多种流量输出的冷却水系统，其特征在于，还包含过滤器；

所述过滤器设置在所述管路组件上，在所述分配装置与所述设备之间。