CN212713742U - 一种溅射镀膜冷却水循环系统 - Google Patents
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Abstract
为了克服已有技术的问题，本实用新型提出一种溅射镀膜冷却水循环系统，通过将第二水箱3底端出水管道4的水依次经过第一电动调节阀12、第二水泵8和第二电动调节阀13，连接到真空镀膜机9的冷却水进水口，通过第一水泵7为冷却水提供驱动力，因而冷却水就可以从第二水箱3中进入真空镀膜设备，流经真空镀膜设备的内置冷却管道，对真空镀膜设备需要降温的部位进行去热降温；由于第一水箱2的顶部回水管道5经过第三电动调节阀14连接到真空镀膜设备的出水口，故冷却水就可以从真空镀膜设备的内置冷却管道通过第一水箱2再流回到第二水箱3中，形成循环通路，避免了水的浪费，简化制冷的设备的复杂度，减少环境污染。
Description
技术领域
本实用新型涉及溅射镀膜技术领域，较为具体的，涉及到一种溅射镀膜冷却水循环系统。
背景技术
在使用真空镀膜设备制备薄膜材料时，由于必须达到一定的真空度时才可进行镀膜过程，普遍采用油扩散泵来实现真空镀膜的真空条件。冷却系统是保证油扩散泵正常工作的重要条件，在真空镀膜装置上也是一个极为重要的系统。
用于实验室真空镀膜的冷却系统通常采用两种方式：一种是真空镀膜设备直接与自来水管连接，水管中的水通过自压进入真空镀膜设备冷却系统，经过镀膜设备冷却用后的水通入实验室排水管道；另一种是采用有制冷功能的制冷机冷却设备，冷却装置需有定量的去离子水。冷却设备具有制冷功能，可以对水进行强制降温处理，可以保证使用的水处于某一设定的温度。使用时冷却设备中一定温度的水进入真空镀膜设备的需要散热降温部分，完成降温任务后进入冷却设备，制冷机对返回的水进行强制降温。前一种方式无外设冷却设备，使用方便，但水的浪费极大；后一种方式水的用量少，反复循环使用，没有水的浪费，但有外设制冷装置，制冷机由室内设备与室外机组成，制冷设备复杂，同时专用的制冷机由于要使用大量的氟利昂作为冷却剂，会对环境造成污染。
实用新型内容
有鉴于此，为了克服已有技术的问题，本实用新型提出一种溅射镀膜冷却水循环系统，通过将第二水箱3底端出水管道4的水依次经过第一电动调节阀12、第二水泵8和第二电动调节阀13，连接到真空镀膜机9的冷却水进水口，通过第一水泵7为冷却水提供驱动力，因而冷却水就可以从第二水箱 3中进入真空镀膜设备，流经真空镀膜设备的内置冷却管道，对真空镀膜设备需要降温的部位进行去热降温；由于第一水箱2的顶部回水管道5经过第三电动调节阀14连接到真空镀膜设备的出水口，故冷却水就可以从真空镀膜设备的内置冷却管道通过第一水箱2再流回到第二水箱3中，形成循环通路，避免了水的浪费，简化制冷的设备的复杂度，减少环境污染。
一种溅射镀膜冷却水循环系统，其特征在于：包括存储容器1、出水管道4、回水管道5、水泵6和真空镀膜机9，水泵6包括：第一水泵7和第二水泵8，存储容器1包括：第一水箱2和第二水箱3，第一水箱2下端的第一出水口通过出水管道4连接第一水泵7后连接至第二水箱3上端的进水口，第一水箱2下端的第二出水口和第二水箱3下端的第二出水口通过出水管道 4相连接，第二水箱3下端的第一出水口通过出水管道4连接第二水泵8后连接至真空镀膜机9内部的冷却系统的冷却水进水口，真空镀膜机9内部的冷却水出水口通过回水管道5连接至第一水箱2的进水口，第一水箱2下端的第二出水口和第二水箱3下端的第二出水口连接的进水管道上连接有地下水管道10，地下水管道10用于将冷却循环系统中多余的水即时排出，通过第二水泵8泵入真空镀膜机9内部的冷却系统，再由第一水泵7抽回第一水箱2内，实现水的循环利用并起到对真空镀膜机9内部散热降温的目的。
进一步的，第二水泵8的上端连接有第一电动调节阀12，第二水泵8的下端连接有第二电动调节阀13，第一电动调节阀12和第二电动调节阀13均连接在第二水箱3和真空镀膜机9处的进水管道上，通过调节第一电动调节阀12和第二电动调节阀13得到满足真空镀膜机9内设备的散热的合适流速。
进一步的，第二水泵8和第二电动调节阀13中间的进水管道上连通有应急进水管道11，应急进水管道11的自由端连接在自来水管处，应急进水管道11用于维持溅射镀膜冷却水循环系统的水流稳定。
进一步的，应急进水管道11上设有第五电动调节阀16，第五电动调节阀16用来调节应急进水管道11中的水流流量。
进一步的，真空镀膜机9与第一水箱2的回水管道5处连接有第三电动调节阀14，通过调节第三电动调节阀14来调节回水管道5的水流通路。
进一步的，第一水箱2与第二水箱3的进水管道上还连接有第四电动调节阀15，通过调节第四电动调节阀15来调节第一水箱2和第二水箱3的水流通路。
进一步的，应急进水管道11上设有第六电动调节阀17，第六电动调节阀17用来调节应急进水管道11中的水流流量。
进一步的，第一电动调节阀12、第二电动调节阀13、第三电动调节阀 14、第四电动调节阀15、第五电动调节阀16和第六电动调节阀17均与真空镀膜机9上的控制器电性连接，通过控制器控制第一电动调节阀12、第二电动调节阀13、第三电动调节阀14、第四电动调节阀15、第五电动调节阀16 和第六电动调节阀17的开度。
本实用新型的有益效果：本实用新型由于将第二水箱3底端出水管道4 的水依次经过第一电动调节阀12、第二水泵8和第二电动调节阀13，连接到真空镀膜机9的冷却水进水口，通过第一水泵7为冷却水提供驱动力，因而冷却水就可以从第二水箱3中进入真空镀膜设备，流经真空镀膜设备的内置冷却管道，对真空镀膜设备需要降温的部位进行去热降温；由于第一水箱2 的顶部回水管道5经过第三电动调节阀14连接到真空镀膜设备的出水口，故冷却水就可以从真空镀膜设备的内置冷却管道通过第一水箱2再流回到第二水箱3中，形成循环通路，避免了水的浪费；为了应对突发停电问题，在第二水泵8与第二电动调节阀13的管道之间通过三通接口来连接自来水管道，用于应急进水，保证了突发断电情况下镀膜设备去热不间断；在第一水箱2 出水管道4与第二水箱3出水管道4之间通过三通接口接到下水管道，可以方便地将冷却循环系统中多余的水即时排出。
附图说明
图1为本实用新型的溅射镀膜冷却水循环系统的系统结构示意图。
主要元件符号说明
如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本实用新型。
具体实施方式
如图1所示，为本实用新型的溅射镀膜冷却水循环系统的系统结构示意图。
一种溅射镀膜冷却水循环系统，其特征在于：包括存储容器1、出水管道4、回水管道5、水泵6和真空镀膜机9，水泵6包括：第一水泵7和第二水泵8，存储容器1包括：第一水箱2和第二水箱3，第一水箱2下端的第一出水口通过出水管道4连接第一水泵7后连接至第二水箱3上端的进水口，第一水箱2下端的第二出水口和第二水箱3下端的第二出水口通过出水管道4相连接，第二水箱3下端的第一出水口通过出水管道4连接第二水泵8后连接至真空镀膜机9内部的冷却系统的冷却水进水口，真空镀膜机9内部的冷却水出水口通过回水管道5连接至第一水箱2的进水口，第一水箱2下端的第二出水口和第二水箱3下端的第二出水口连接的进水管道上连接有地下水管道10，地下水管道10用于将冷却循环系统中多余的水即时排出，通过第二水泵8泵入真空镀膜机9内部的冷却系统，再由第一水泵7抽回第一水箱2内，实现水的循环利用并起到对真空镀膜机9内部散热降温的目的。
所述第二水泵8的上端连接有第一电动调节阀12，第二水泵8的下端连接有第二电动调节阀13，第一电动调节阀12和第二电动调节阀13均连接在第二水箱3和真空镀膜机9处的进水管道上，通过调节第一电动调节阀12和第二电动调节阀13得到满足真空镀膜机9内设备的散热的合适流速。
所述第二水泵8和第二电动调节阀13中间的进水管道上连通有应急进水管道11，应急进水管道11的自由端连接在自来水管处，应急进水管道11用于维持溅射镀膜冷却水循环系统的水流稳定。
所述应急进水管道11上设有第五电动调节阀16，第五电动调节阀16用来调节应急进水管道11中的水流流量。
所述真空镀膜机9与第一水箱2的回水管道5处连接有第三电动调节阀14，通过调节第三电动调节阀14来调节回水管道5的水流通路。
所述第一水箱2与第二水箱3的进水管道上还连接有第四电动调节阀15，通过调节第四电动调节阀15来调节第一水箱2和第二水箱3的水流通路。
所述应急进水管道11上设有第六电动调节阀17，第六电动调节阀17用来调节应急进水管道11中的水流流量。
所述第一电动调节阀12、第二电动调节阀13、第三电动调节阀14、第四电动调节阀15、第五电动调节阀16和第六电动调节阀17均与真空镀膜机 9上的控制器电性连接，通过控制器控制第一电动调节阀12、第二电动调节阀13、第三电动调节阀14、第四电动调节阀15、第五电动调节阀16和第六电动调节阀17的开度。
本实用新型的有益效果：本实用新型由于将第二水箱3底端出水管道4 的水依次经过第一电动调节阀12、第二水泵8和第二电动调节阀13，连接到真空镀膜机9的冷却水进水口，通过第一水泵7为冷却水提供驱动力，因而冷却水就可以从第二水箱3中进入真空镀膜设备，流经镀膜设备的内置冷却管道，对镀膜设备需要降温的部位进行去热降温；由于第一水箱2的顶部回水管道5经过第三电动调节阀14连接到真空镀膜设备的出水口，故冷却水就可以从真空镀膜设备的内置冷却管道通过第一水箱2再流回到第二水箱3中，形成循环通路，避免了水的浪费；为了应对突发停电问题，在第二水泵8与第二电动调节阀13的管道之间通过三通接口来连接自来水管道，用于应急进水，保证了突发断电情况下镀膜设备去热不间断；在第一水箱2出水管道4 与第二水箱3出水管道4之间通过三通接口接到下水管道，可以方便地将冷却循环系统中多余的水即时排出。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (8)
1.一种溅射镀膜冷却水循环系统，其特征在于：包括存储容器(1)、出水管道(4)、回水管道(5)、水泵(6)和真空镀膜机(9)，水泵(6)包括：第一水泵(7)和第二水泵(8)，存储容器(1)包括：第一水箱(2)和第二水箱(3)，第一水箱(2)下端的第一出水口通过出水管道(4)连接第一水泵(7)后连接至第二水箱(3)上端的进水口，第一水箱(2)下端的第二出水口和第二水箱(3)下端的第二出水口通过出水管道(4)相连接，第二水箱(3)下端的第一出水口通过出水管道(4)连接第二水泵(8)后连接至真空镀膜机(9)内部的冷却系统的冷却水进水口，真空镀膜机(9)内部的冷却水出水口通过回水管道(5)连接至第一水箱(2)的进水口，第一水箱(2)下端的第二出水口和第二水箱(3)下端的第二出水口连接的进水管道上连接有地下水管道(10)。
2.如权利要求1所述的溅射镀膜冷却水循环系统，其特征在于：第二水泵(8)的上端连接有第一电动调节阀(12)，第二水泵(8)的下端连接有第二电动调节阀(13)，第一电动调节阀(12)和第二电动调节阀(13)均连接在第二水箱(3)和真空镀膜机(9)处的进水管道上。
3.如权利要求1所述的溅射镀膜冷却水循环系统，其特征在于：第二水泵(8)和第二电动调节阀(13)中间的进水管道上连通有应急进水管道(11)。
4.如权利要求1所述的溅射镀膜冷却水循环系统，其特征在于：应急进水管道(11)上设有第五电动调节阀(16)。
5.如权利要求1所述的溅射镀膜冷却水循环系统，其特征在于：真空镀膜机(9)与第一水箱(2)的回水管道(5)处连接有第三电动调节阀(14)。
6.如权利要求1所述的溅射镀膜冷却水循环系统，其特征在于：第一水箱(2)与第二水箱(3)的进水管道上还连接有第四电动调节阀(15)。
7.如权利要求1所述的溅射镀膜冷却水循环系统，其特征在于：应急进水管道(11)上设有第六电动调节阀(17)。
8.如权利要求1所述的溅射镀膜冷却水循环系统，其特征在于：第一电动调节阀(12)、第二电动调节阀(13)、第三电动调节阀(14)、第四电动调节阀(15)、第五电动调节阀(16)和第六电动调节阀(17)均与真空镀膜机(9)上的控制器电性连接。
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| CN202020991823.6U CN212713742U (zh) | 2020-06-03 | 2020-06-03 | 一种溅射镀膜冷却水循环系统 |
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN115627446A (zh) * | 2022-10-26 | 2023-01-20 | 卢成 | 一种镀膜机及方法 |
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- 2020-06-03 CN CN202020991823.6U patent/CN212713742U/zh not_active Expired - Fee Related
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