CN101831609B - 真空镀膜机扩散泵的循环冷却水系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种真空镀膜机扩散泵的冷却系统。它包括两个水箱、水泵、真空镀膜设备及控制水阀，该一号水箱底端出水管道a依次经过第一水阀(1)、第一水泵M1和第二水阀(2)，接到真空镀膜机的冷却水进水口，形成真空镀膜机的冷却水进水管路，一号水箱底端出水管道b接到二号水箱底端出水管道c，形成排水管路，一号水箱的进水管道f依次经过第四水阀(4)和第二水泵M2，接到二号水箱的底端出水管道d，形成从二号水箱到一号水箱的水流通路；该二号水箱的顶部入水管道e经过第三水阀(3)接到设备的出水口，形成从真空镀膜机到二号水箱的水流通路，实现水的循环。本发明避免了水浪费和环境污染，可用于高等学校实验室的真空镀膜实验。

Description

真空镀膜机扩散泵的循环冷却水系统

技术领域

本发明属于电子设备技术领域，特别涉及真空镀膜机油扩散泵的冷却系统，可用于高等学校实验室的真空镀膜实验。

背景技术

在使用真空镀膜设备制备薄膜材料时，由于必须达到一定的真空度时才可进行镀膜过程，普遍采用油扩散泵来实现真空镀膜的真空条件。冷却系统是保证油扩散泵正常工作的重要条件，在真空镀膜装置上也是一个极为重要的系统。

用于实验室真空镀膜的冷却系统通常采用两种方式：一种是真空镀膜设备直接与自来水管连接，水管中的水通过自压进入真空镀膜设备冷却系统，经过镀膜设备冷却用后的水通入实验室排水管道；另一种是采用有制冷功能的制冷机冷却设备，冷却装置需有定量的去离子水。冷却设备具有制冷功能，可以对水进行强制降温处理，可以保证使用的水处于某一设定的温度。使用时冷却设备中一定温度的水进入真空镀膜设备的需要散热降温部分，完成降温任务后进入冷却设备，制冷机对返回的水进行强制降温。前一种方式无外设冷却设备，使用方便，但水的浪费极大；后一种方式水的用量少，反复循环使用，没有水的浪费，但有外设制冷装置，制冷机由室内设备与室外机组成，制冷设备复杂，同时专用的制冷机由于要使用大量的氟利昂作为冷却剂，会对环境造成污染。

发明内容

本发明的目的在于克服上述已有技术的不足，提供一种真空镀膜机扩散泵的循环冷却水系统，以节约用水，简化制冷的设备的复杂度，减少环境污染。

实现本发明的目的技术方案是：将水箱中的水，通过水泵泵入真空冷却系统，再由另一水泵抽回水箱内，实现水的循环利用并起到对真空设备散热降温的目的。整个系统包括：循环水存储容器、水流回路管道、水泵、设备以及控制水阀，其中循环水存储容器采用两个水箱，该一号水箱底端出水管道a依次经过第一水阀、第一水泵M₁和第二水阀，连接到真空镀膜机的冷却水进水口，形成真空镀膜机的冷却水进水管路，一号水箱底端出水管道b连接到二号水箱底端出水管道c，形成排水管路，一号水箱的进水管道f依次经过第四水阀和第二水泵M₂，连接到二号水箱的底端出水管道d，形成从二号水箱到一号水箱的水流通路；该二号水箱的顶部入水管道e经过第三水阀连接到设备的出水口，形成从真空镀膜机到二号水箱的水流通路。

所述的第一水泵M₁与第二水阀的管道之间连接有三通接口，该三通接口的直角端经第六水阀接到自来水接口，用于应急进水。

所述的一号水箱出水管道b与二号水箱出水管c的管道之间连接有三通接口，该三通接口的直角端经第五水阀接到下水管道，用于应急出水。本发明具有如下优点：

1)本发明由于将一号水箱底端出水管道a依次经过第一水阀、第一水泵M₁和第二水阀，连接到真空镀膜机的冷却水进水口，通过第一水泵M₁为冷却水提供驱动力，因而冷却水就可以从一号水箱中进入真空镀膜设备，流经镀膜设备的内置冷却管道，对镀膜设备需要降温的部位进行去热降温；

2)本发明由于二号水箱的顶部入水管道e经过第三水阀连接到真空镀膜设备的出水口，故冷却水就可以从真空镀膜设备的内置冷却管道通过二号水箱再流回到一号水箱中，形成循环通路，避免了水的浪费；

3)本发明由于为了应对突发停电问题，在第一水泵M₁与第二水阀的管道之间通过三通接口来连接自来水管道，用于应急进水，保证了突发断电情况下镀膜设备去热不间断；

4)本发明由于在一号水箱出水管道b与二号水箱出水管c的管道之间通过三通接口接到下水管道，可以方便地将冷却循环系统中多余的水即时排出。

附图说明

图1是本发明的冷却水循环系统结构示意图，其中数字1、2、3、4、5和6表示六个水阀，7和8为两个三通接头，9为真空镀膜设备，M₁、M₂表示两个水泵，a、b、c、d、e、f表示一号和二号水箱的进出水口，箭头代表正常工作时冷却水的流动方向。

具体实施方式

参照图1，本发明的循环冷却水系统主要由两个储水水箱，六个水阀，两个水泵，以及真空镀膜设备组成，各组成部分通过管道按以下方式进行连接，首先用管道将第一水箱底端出水口a和第一水阀1连接起来，再将第一水阀1和第一水泵M₁、第一水泵M₁和真空镀膜设备的冷却水进水口相连接，形成真空镀膜机的冷却水进水管路；从真空镀膜设备的冷却水出水口接管道，并通过第三水阀3接到二号水箱的顶端入水口e，形成从真空镀膜机到二号水箱的水流通路；从二号水箱的底端出水口d依次通过第二水泵M₂和第四水阀4接到一号水箱的顶端入水口f，形成从二号水箱到一号水箱的水流通路；连接一号和二号水箱的底端出水口b和c，在该段管道之间接一个三通接口7，并通过第五水阀5连接到下水管道，形成排水管路；在第一水泵M₁和第二水阀2的管道之间用一个三通接口8通过第六水阀6连接到自来水接口，形成应急进水管路。

本发明的冷却水循环系统工作原理如下：

本发明为一种循环水冷系统，在镀膜设备开启之前，先在两个水箱中注入适量的冷却用水，依次打开第一水阀1、第二水阀2、第三水阀3和第四水阀4，而第五水阀5和第六水阀6处于关闭状态，开启第一水泵M₁和第二水泵M₂，此时形成从一号水箱、水泵、镀膜设备、二号水箱、水泵到一号水箱的冷却水循环回路，通过调节一号阀门得到满足真空镀膜设备散热的合适流速，二号水箱中的水由第二水泵M₂抽回一号水箱，调节第四水阀4使一号水箱的进出水量达到平衡；然后再开启真空镀膜设备，真空镀膜设备属于需要冷却而散热量又不大的设备，冷却水可以在管道以及水箱的循环流动过程中自然冷却，而对散热量大的设备，可以通过外加循环水冷却装置来强制冷却。

如突遇停电，此时循环水泵不能工作，则关闭第一水阀1，并打开第五水阀5和第六水阀6，此时使用的自来水可以从第六水阀6进入系统，流经第二水阀2、真空镀膜设备、第三水阀3最后从第五水阀5排出，这样就保证了镀膜设备在停电情况下的临时去热，保障了设备的安全。

Claims (3)

1.一种真空镀膜机扩散泵的循环冷却水系统，包括：循环水存储容器、水流回路管道、水泵、真空镀膜设备以及控制水阀，其特征在于循环水存储容器采用两个水箱，该一号水箱底端出水管道a依次经过第一水阀(1)、第一水泵M₁和第二水阀(2)，连接到真空镀膜机的冷却水进水口，形成真空镀膜机的冷却水进水管路，一号水箱底端出水管道b连接到二号水箱底端出水管道c，形成排水管路，一号水箱的进水管道f依次经过第四水阀(4)和第二水泵M₂，连接到二号水箱的底端出水管道d，形成从二号水箱到一号水箱的水流通路；该二号水箱的顶部入水管道e经过第三水阀(3)连接到设备的出水口，形成从真空镀膜机到二号水箱的水流通路。

2.根据权利要求1所述的循环冷却水系统，其特征在于在第一水泵M₁与第二水阀(2)的管道之间连接有三通接口(8)，该三通接口(8)的直角端经第六水阀(6)接到自来水接口，用于应急进水。

3.根据权利要求1所述的循环冷却水系统，其特征在于一号水箱出水管道b与二号水箱出水管c的管道之间连接有三通接口(7)，该三通接口(7)的直角端经第五水阀(5)接到下水管道，用于应急出水。

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