CN220439583U - 角度调节组件及具有其的检测设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种角度调节组件及具有其的检测设备，所述角度调节组件包括：侧基板；承载架，滑动设于侧基板上，所述承载架在所述侧基板上的滑动轨迹为一弧形线，所述承载架被配置为安装所述电子元器件；驱动结构，与所述承载架连接，用于驱使所述承载架沿所述滑动轨迹滑动；其中，所述侧基板上设有导向单元，所述承载架通过所述导向单元滑动设于侧基板上，所述导向单元被配置为限定所述承载架在所述侧基板上的滑动轨迹。

Description

角度调节组件及具有其的检测设备

技术领域

本实用新型属于检测设备技术领域，具体涉及一种角度调节组件及具有其的检测设备。

背景技术

晶圆是指制作半导体电路所用的硅晶片，主要是由硅晶棒在经过研磨、抛光、切片后形成。晶圆在加工生产过程中需要进行性能测试，以保证晶圆的质量。现有技术中，晶圆检测设备上的电子元器件，例如，相机模组和光源模组相对晶圆上的检测目标的角度既定，无法进行适应性的调节。当晶圆的尺寸变化时，则无法适用，需要定制新的检测设备，通用性差。因此，有必要对现有技术予以改良以克服现有技术中的所述缺陷。

实用新型内容

因此，本实用新型所要解决的技术问题是提供一种调节方便的角度调节组件及具有其的检测设备。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种角度调节组件，用于调节电子元器件的角度位置，包括：侧基板；承载架，滑动设于侧基板上，所述承载架在所述侧基板上的滑动轨迹为一弧形线，所述承载架被配置为安装所述电子元器件；驱动结构，与所述承载架连接，用于驱使所述承载架沿所述滑动轨迹滑动；其中，所述侧基板上设有导向单元，所述承载架通过所述导向单元滑动设于侧基板上，所述导向单元被配置为限定所述承载架在所述侧基板上的滑动轨迹。

优选地，所述滑动轨迹为开口朝上的弧形线。

优选地，所述导向单元包括弧形滑轨和弧形滑块，所述弧形滑块与所述弧形滑轨滑动配合；

其中，所述弧形滑轨固设于所述侧基板上，用于限定所述承载架在所述侧基板上的滑动轨迹。

优选地，所述侧基板安装有所述弧形滑轨的壁面上设有机械限位结构，所述机械限位结构与所述弧形滑块碰撞配合，用于限定所述弧形滑块的极限位置；和/或，

所述的角度调节组件还包括光电传感器单元，所述光电传感器单元包括沿所述滑动轨迹分布的多个光电传感器、与多个所述光电传感器配合的感测片，其中，多个所述光电传感器相对所述弧形滑轨固定，所述感测片设于所述弧形滑块上，以与所述弧形滑块同步运动，所述感测片响应于所述弧形滑块的滑动而逐一与多个所述光电传感器配合。

优选地，所述机械限位结构设于所述弧形滑块的上下游处，用于限定所述弧形滑块的第一极限位置和第二极限位置；其中，所述机械限位结构为硅胶块。

优选地，所述硅胶块呈中空圆柱状。

优选地，所述驱动结构包括步进电机、齿轮和齿条，所述步进电机的输出轴设有所述齿轮，所述齿条固设于所述承载架上，所述齿轮与所述齿条相啮合；

其中，所述齿条具有与所述齿轮啮合的齿形面，所述齿形面呈弧形状。

优选地，所述齿形面的圆心角的取值范围为30°~60°。

优选地，所述侧基板设有一对，所述承载架分布于一对所述侧基板之间，所述导向单元与所述侧基板一一对应设置。

本实用新型还提供一种检测设备，包括如前所述的角度调节组件。

本实用新型提供的技术方案，具有以下优点：

在本实施例中，承载架的滑动轨迹为弧形线，安装于承载架上的电子元器件能够进行角度位置的调节，从而能够适用于不同的检测环境，具有调节方便的优点；所述角度调节组件还能够使得检测设备具有较好的通用性，减小检测设备的定制数量，降低生产成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型提供的角度调节组件的立体结构示意图；

图2为导向单元与光电传感器单元之间的位置关系示意图；

图3为本实用新型提供的角度调节组件在后视方向上的示意图；

图4为图3的部分结构分解示意图。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。下文中将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

需要说明的是，本实用新型的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。

在本实用新型中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下、顶、底”通常是针对附图所示的方向而言的，或者是针对部件本身在竖直、垂直或重力方向上而言的；同样地，为便于理解和描述，“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内、外，但上述方位词并不用于限制本实用新型。

实施例一

请参阅图1所示，本实用新型提供了一种角度调节组件，所述角度调节组件用于调节电子元器件100的角度位置。上述“电子元器件100”可以为相机模组，也可以为光源模组。当然，电子元器件100包括但不限于相机模组和光源模组，还可以为其他类型的元器件，在此不做一一赘述。下文以电子元器件100为光源模组为例进行阐述，但基于上文可知，本实用新型的保护范围并不因此而受到限定。

请参阅图1至图4所示，所述角度调节组件包括侧基板200、承载架400和驱动结构500。侧基板200可以看作为安装板，用于支撑承载架400。承载架400用于安装光源模组。驱动结构500用于驱使承载架400运动，从而实现调节光源模组的角度位置的目的。

在本实施例中，承载架400滑动设于侧基板200上，具体而言，侧基板200上设有导向单元300，承载架400通过导向单元300滑动设于侧基板200。导向单元300用于限定承载架400在侧基板200上的滑动轨迹。

其中，承载架400在侧基板200上的滑动轨迹为一弧形线。滑动轨迹可以为开口朝上的弧形线，也可以为开口朝下的弧形线。附图中展示的是滑动轨迹为开口朝上的弧形线。

将滑动轨迹设置为弧形线后，能够调节承载架400的俯仰角度，从而实现光源模组的角度位置调节，调节方便，有效扩大了光源模组的适用范围。

导向单元300可以为弧形滑轨单元，也可以为滑槽单元（图未示）。优选地，导向单元300为弧形滑轨单元。导向单元300包括弧形滑轨310和弧形滑块320，弧形滑块320与弧形滑轨310之间滑动配合。

弧形滑轨310固设于侧基板200上，弧形滑轨310限定了承载架400在侧基板200上的滑动轨迹。在本实施例中，弧形滑轨310利用紧固件，例如，螺栓、螺钉等固设于侧基板200上。弧形滑块320滑动设于弧形滑轨310上。

为了限定弧形滑块320在弧形滑轨310上的滑移区域，侧基板200安装有弧形滑轨310的壁面上设有机械限位结构340。机械限位结构340与弧形滑块320碰撞配合，用于限定弧形滑块320的极限位置，通过对弧形滑块320的极限位置的限定，从而实现弧形滑块320的滑移区域的确定。

在本实施例中，机械限位结构340设于弧形滑块320的上下游处，用于限定弧形滑块320的第一极限位置和第二极限位置。考虑到弧形滑块320在弧形滑轨310上往复运动，为了便于说明第一极限位置和第二极限位置，以弧形滑块320在弧形滑轨310沿第一方向滑动为例进行阐述，第一方向为顺时针方向或是逆时针方向。其中，第一极限位置为沿第一方向滑动时的起始位置，第二极限位置为沿第一方向滑动时的终点位置。

为了减小弧形滑块320与机械限位结构340之间的瞬时撞击力，机械限位结构340为硅胶块，硅胶的材质具有一定弹性形变能力，可通过弹性形变吸收部分撞击力，以起到缓冲减震的目的。

关于机械限位结构340的形状，在本实施例中，硅胶块呈中空圆柱状，采用中空的结构便于将硅胶块安装于侧基板200上。安装时，硅胶块的中空孔能够收容螺钉的部分结构，安装方便。

除了采用机械限位结构340对弧形滑块320进行限位的方式之外，还可以采用光电传感器单元600。机械限位结构340和光电传感器单元600可以择一选用，也可以同时设有机械限位结构340和光电传感器单元600。上述“择一选用”是指：选用机械限位结构340或是光电传感器单元600。在本实施例中，优选地，侧基板200上设有机械限位结构340和光电传感器单元600。

进一步地，光电传感器单元600包括沿滑动轨迹分布的多个光电传感器610、与多个光电传感器610配合的感测片620。光电传感器610上设有感应槽，光电传感器610为现有技术，在此不对其结构进行具体描述。

多个光电传感器610相对弧形滑轨310固定，多个光电传感器610和弧形滑轨310分布于侧基板200的同一侧。多个光电传感器610可以直接固设于侧基板200上，也可以通过连接板210固设于侧基板200上。

请参阅图2所示，当多个光电传感器610通过连接板210固设于侧基板200上时，多个光电传感器610沿承载架400的滑动轨迹的方向固设于连接板210上，连接板210固设于侧基板200上。

感测片620设于弧形滑块320上，以与弧形滑块320同步运动，感测片620响应于弧形滑块320的滑动而逐一与多个光电传感器610配合，从而实现承载架400位置的感测。

在本实施例中，光电传感器610的数量为三个，三个光电传感器610之间间隔15°分布。位于中间的光电传感器610限定了弧形滑块320的原点位置，两侧的光电传感器610分别限定了弧形滑块320的两个极限位置。

进一步地，弧形滑块320上固设有连接座330，承载架400通过连接座330与弧形滑块320连接。承载架400包括底板410和固设于底板410上的多个支撑柱420，支撑柱420垂直设于底板410上。光源模组设于支撑柱420上，当光源模组安装于支撑柱420上后，光源模组位于侧基板200的上方。

感测片620固设于连接座330上。感测片620呈直角结构，包括与连接座330连接的第一片部621、与第一片部621一体成型的第二片部622，第一片部621垂直于第二片部622。

其中，第二片部622设有能够穿过光电传感器610的感应槽的触发片端6221。触发片端6221在承载架400滑移方向方上的尺寸与感应槽在承载架400滑移方向方上的尺寸基本一致。应予说明，在本说明书中，“基本”可以理解为接近、近似，或者是与目标值相差在预定范围内。

第一片部621上还设有调节孔6211，调节孔6211为腰型孔，通过调节孔6211能够调节触发片端6221的位置，使得触发片端6221能够从感应槽的中央通过。

关于驱动结构500，驱动结构500与承载架400连接，用于驱使承载架400沿所述滑动轨迹滑动。也就是说，驱动结构500为动力源，用于提供承载架400运动的驱动力。

在一实施例中，请参阅图4所示，驱动结构500包括步进电机510、齿轮520和齿条530。步进电机510相对侧基板200固定，步进电机510的输出轴设有齿轮520，齿条530固设于承载架400上。齿轮520与步进电机510的输出轴之间传动连接，齿轮520的外周罩设有防护罩521，防护罩521可拆卸设于步进电机510的电机座540上。

齿轮520与齿条530相啮合，形成齿轮、齿条结构。其中，齿条530具有与齿轮520啮合的齿形面531，齿形面531呈弧形状。具有弧形状齿形面531的齿条530能够提供弧形往复运动。

进一步地，齿形面531的圆心角的取值范围为30°~60°。齿形面531的圆心角的取值可以为30°、35°、40°、45°、50°、55°、60°等，也可以是数值在30°~60°之间以1°为间隔单位的增长。优选地，齿形面531的圆心角的取值为40°。

在本实施例中，驱动结构500除了采用上述结构外，还可以采用驱动电机（图未示）和悬臂（图未示）的组合。将驱动电机放到承载架400的旋转中心，悬臂的一端与驱动电机的输出轴传动连接、另一端与承载架400固连，驱动电机驱使悬臂转动，进而带动承载架400运动。

在本实施例中，侧基板200设有一对，承载架400分布于一对侧基板200之间，导向单元300与侧基板200一一对应设置。一对侧基板200能够从承载架400的相对两侧支撑承载架400，支撑效果好。

实施例二

本实用新型还提供了一种检测设备，在一应用场景中，所述检测设备用于晶圆外观的检测。当然，所述检测设备包括但不限于晶圆检测设备，还可以用于电池、显示屏等的外观检测。在本实施例中，所述检测设备包括实施例一所述的角度调节组件。所述角度调节组件能够使得检测设备具有较好的通用性，减小检测设备的定制数量，降低生产成本。

显然，上述所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下，可以做出其它不同形式的变化或变动，都应当属于本实用新型保护的范围。

Claims (10)

1.一种角度调节组件，用于调节电子元器件（100）的角度位置，其特征在于，包括：

侧基板（200）；

承载架（400），滑动设于侧基板（200）上，所述承载架（400）在所述侧基板（200）上的滑动轨迹为一弧形线，所述承载架（400）被配置为安装所述电子元器件（100）；

驱动结构（500），与所述承载架（400）连接，用于驱使所述承载架（400）沿所述滑动轨迹滑动；

其中，所述侧基板（200）上设有导向单元（300），所述承载架（400）通过所述导向单元（300）滑动设于侧基板（200）上，所述导向单元（300）被配置为限定所述承载架（400）在所述侧基板（200）上的滑动轨迹。

2.如权利要求1所述的角度调节组件，其特征在于，

所述滑动轨迹为开口朝上的弧形线。

3.如权利要求1所述的角度调节组件，其特征在于，

所述导向单元（300）包括弧形滑轨（310）和弧形滑块（320），所述弧形滑块（320）与所述弧形滑轨（310）滑动配合；

其中，所述弧形滑轨（310）固设于所述侧基板（200）上，用于限定所述承载架（400）在所述侧基板（200）上的滑动轨迹。

4.如权利要求3所述的角度调节组件，其特征在于，

所述侧基板（200）安装有所述弧形滑轨（310）的壁面上设有机械限位结构（340），所述机械限位结构（340）与所述弧形滑块（320）碰撞配合，用于限定所述弧形滑块（320）的极限位置；和/或，

所述的角度调节组件还包括光电传感器单元（600），所述光电传感器单元（600）包括沿所述滑动轨迹分布的多个光电传感器（610）、与多个所述光电传感器（610）配合的感测片（620），其中，多个所述光电传感器（610）相对所述弧形滑轨（310）固定，所述感测片（620）设于所述弧形滑块（320）上，以与所述弧形滑块（320）同步运动，所述感测片（620）响应于所述弧形滑块（320）的滑动而逐一与多个所述光电传感器（610）配合。

5.如权利要求4所述的角度调节组件，其特征在于，

所述机械限位结构（340）设于所述弧形滑块（320）的上下游处，用于限定所述弧形滑块（320）的第一极限位置和第二极限位置；

其中，所述机械限位结构（340）为硅胶块。

6.如权利要求5所述的角度调节组件，其特征在于，

所述硅胶块呈中空圆柱状。

7.如权利要求1所述的角度调节组件，其特征在于，

所述驱动结构（500）包括步进电机（510）、齿轮（520）和齿条（530），所述步进电机（510）的输出轴设有所述齿轮（520），所述齿条（530）固设于所述承载架（400）上，所述齿轮（520）与所述齿条（530）相啮合；

其中，所述齿条（530）具有与所述齿轮（520）啮合的齿形面（531），所述齿形面（531）呈弧形状。

8.如权利要求7所述的角度调节组件，其特征在于，

所述齿形面（531）的圆心角的取值范围为30°~60°。

9.如权利要求1所述的角度调节组件，其特征在于，

所述侧基板（200）设有一对，所述承载架（400）分布于一对所述侧基板（200）之间，所述导向单元（300）与所述侧基板（200）一一对应设置。

10.一种检测设备，其特征在于，包括如权利要求1至9中任一项所述的角度调节组件。