CN220435027U - 一种多级干式真空泵机组循环冷却结构 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种多级干式真空泵机组循环冷却结构，包括底板，所述底板上设置有多级干式真空泵机组主体、冷却组件以及散热组件；冷却组件包括固定在底板上表面的冷却箱、第一水泵、第二水泵以及储水箱；第一水泵的进水端设置有与冷却箱连通的抽水管，所述第一水泵的出水端固定连通有与多级干式真空泵机组主体连接并与第二水泵的进水端连通的排水管，所述第二水泵的出水端固定连通有连接管，连接管穿设储水箱与冷却箱内部连通；冷却箱内设置有冷却液，储水箱内设置有水溶液；所述冷却箱上固定连通有注水管，储水箱的上固定连通有出水管；本申请通过储水箱内的连接管与储水箱内的水溶液进行热交换，达到对热量进行利用实现循环冷却的目的。

Description

一种多级干式真空泵机组循环冷却结构

技术领域

本申请涉及多级干式真空泵机组技术领域，尤其涉及了一种多级干式真空泵机组循环冷却结构。

背景技术

多级干式真空泵具有工作腔内无油，可以获得洁净真空，适用于半导体行业、化学工业、制药工业及食品行业等需要无油清洁真空环境的工艺场合，随着半导体工业和电子工业的蓬勃兴起，对于真空环境的要求越来越多且越来越严格，干式真空泵不需要润滑油来润滑密封，做到了无油蒸汽污染，而且对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感，所以，由干式真空泵组成的真空系统得到了广泛的应用，并在半导体工业和电子工业的发展过程中起到了推动的作用，现有的多级干式真空泵机组在使用时会产生大量热，需要对其进行降温。

经检索，中国专利CN216812078U中公开了一种多级干式真空泵机组循环冷却结构，包括真空泵，所述真空泵的上下两端连通有循环冷却管，所述循环冷却管的外侧壁安装有第一水泵，所述第一水泵位于真空泵的上方；循环冷却装置，所述循环冷却装置设置于真空泵的右侧。

上述技术方案中，还存在一定的不足，其虽通过设置第一水泵，用第一水泵使得循环冷却管内的介质在循环冷却管和真空泵内部不停的循环，当介质在循环时，以热传导的形式，通过冷水罐内的冷水对介质降温，从而使得介质始终保持低温状态，降温后的介质通过真空泵时，通过冷介质对真空泵进行降温，但是当介质流动时，其带走的热量被热传递所降温，热量并未进行再利用，造成了能量的损耗，因此本申请提出一种多级干式真空泵机组循环冷却结构来解决上述问题。

实用新型内容

为了解决上述问题，本申请提供了一种多级干式真空泵机组循环冷却结构，来解决该问题。

为达到上述目的，本申请提供如下技术方案：

一种多级干式真空泵机组循环冷却结构，包括底板，所述底板上设置有多级干式真空泵机组主体、冷却组件以及散热组件；所述冷却组件包括固定在底板上表面的冷却箱、第一水泵、第二水泵以及储水箱；所述第一水泵的进水端设置有与冷却箱连通的抽水管，所述第一水泵的出水端固定连通有与多级干式真空泵机组主体连接并与第二水泵的进水端连通的排水管，所述第二水泵的出水端固定连通有连接管，所述连接管穿设储水箱与冷却箱内部连通；冷却箱内设置有冷却液，储水箱内设置有水溶液；所述冷却箱上固定连通有注水管，所述储水箱的上固定连通有出水管。

优选地，所述散热组件包括固定在底板上表面的保护箱，所述多级干式真空泵机组主体设置在保护箱内部，且其上表面固定有多个散热翅片，在保护箱的两侧开设有通槽，两个所述通槽背的一侧均固定有散热风扇。

优选地，所述冷却箱的外壁上安装有制冷片。

优选地，所述排水管的一端与第一水泵的出水端固定连通，另一端穿设多级干式真空泵机组主体，并沿着多级干式真空泵机组主体内部的顶壁穿出多级干式真空泵机组主体，最终与第二水泵的进水端连通，且所述排水管与多级干式真空泵机组主体的内部顶壁固定贴合。

优选地，所述连接管位于储水箱内部的部分呈多段弯折的形状。

优选地，所述冷却箱上固定有第一温度传感器，所述储水箱上固定有第二温度传感器，冷却箱内部侧壁固定有液面传感器，且所述液面传感器位于冷却箱的顶端。

优选地，所述注水管与出水管的内部均安装有阀门。

优选地，两个所述通槽处分别设置有防尘网。

本申请的优点在于：本申请通过第一水泵将冷却箱内的冷却液抽出，并通过排水管进入多级干式真空泵机组主体内，利用冷却液将多级干式真空泵机组主体内的大量热量进行热交换，利用位于储水箱内弯折的连接管与储水箱内的水溶液进行热交换，使储水箱内的水溶液温度升高，并使冷却液的温度降低，达到对热量进行利用且对多级干式真空泵机组主体进行循环冷却的目的，通过散热翅片能够将多级干式真空泵机组主体的热量进行传递，随后通过散热风扇将热量进行散热，利用两个防尘网能够防止灰尘进入保护箱内。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本申请的进一步理解，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1是本实用新型的俯视图；

图2是本实用新型的俯面剖视图；

图3是本实用新型旨在强调散热组件的结构示意图。

附图标记说明：

1、底板；2、冷却组件；21、冷却箱；22、第一水泵；23、抽水管；24、排水管；25、第二水泵；26、连接管；27、储水箱；28、第一温度传感器；29、液面传感器；210、注水管；211、第二温度传感器；212、出水管；3、多级干式真空泵机组主体；4、散热组件；41、保护箱；42、散热翅片；43、防尘网；44、散热风扇。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

实施例一，结合图1与图2进行说明：

一种多级干式真空泵机组循环冷却结构，包括底板1，底板1的上表面固定有多级干式真空泵机组主体3、冷却组件2以及散热组件4。

冷却组件2包括冷却箱21、第一水泵22、抽水管23、排水管24、第二水泵25、连接管26、储水箱27以及设置在冷却箱1外壁上的制冷片；其中，冷却箱21的内部填充有冷却液，储水箱27的内部填充有水溶液；冷却箱21、第一水泵22、第二水泵25以及储水箱27四者固定设置在底板1的上表面，抽水管23的一端与冷却箱21内部连通，另一端与第一水泵22的进水端连通，排水管24的一端与第一水泵22的出水端固定连通，排水管24另一端穿设多级干式真空泵机组主体3，并沿着多级干式真空泵机组主体3的内部顶壁穿出多级干式真空泵机组主体3，最终与第二水泵25的进水端连通，且排水管24与多级干式真空泵机组主体3的内部顶壁固定贴合；连接管26的一端与第二水泵25的出水端固定连通，连接管26的另一端贯穿储水箱27最终与冷却箱1内部连通，且连接管26位于储水箱27内部的部分呈多段弯折的形状，让连接管26充分与储水箱27内的水溶液接触。

冷却箱21内部侧壁固定有第一温度传感器28，储水箱27一侧内壁固定有第二温度传感器211，冷却箱21内部侧壁固定有液面传感器29，且液面传感器29位于冷却箱21的顶端，冷却箱21的一侧固定连通有注水管210，储水箱27的上固定连通有出水管212；且注水管210与出水管212的内部均安装有阀门。

实施例二，在实施例一的基础上，结合图3进行说明：

散热组件4包括保护箱41、散热翅片42以及散热风扇44，保护箱41固定在底板1上表面，多级干式真空泵机组主体3设置在保护箱41内，在保护箱41的两侧均开设有通腔，通腔以用于使多级干式真空泵机组主体3与排水管24相连接，散热翅片42设置有多个，多个散热翅片42均固定固定在多级干式真空泵机组主体3的上表面，保护箱41的两侧均开设有通槽，散热风扇44设置有两个，两个散热风扇44分别固定设置在两个通槽相背的端面；

进一步的，在两个通槽处分别固定防尘网43，两个防尘网43阻止灰尘进入保护箱41内；通过散热翅片42能够将多级干式真空泵机组主体3的热量进行传递，随后通过散热风扇44将热量进行散热。

工作原理：本申请在使用时，通过第一水泵22将冷却箱21内的冷却液抽出，并冷却液通过进入多级干式真空泵机组主体3内的排水管24，对多级干式真空泵机组主体3进行冷却降温，在经过热传递后，冷却液吸收多级干式真空泵机组主体3的热量，自身温度升高，温度升高的冷却液通过第二水泵25进入连接管26的内部，利用位于储水箱27内弯折的连接管26与储水箱27内的水溶液进行热交换，使储水箱27内的水溶液温度升高，并使冷却液的温度降低，随后冷却液进入冷却箱21的内部，利用冷却箱21内的第一温度传感器28对冷却液的温度进行监测，当温度较高时，利用制冷片对冷却液进行降温；值得提出的是：制冷片，也叫热电制冷片，是一种热泵，在当直流电通过两种不同半导体材料串联成的电偶时，在电偶的两端即可分别吸收热量和放出热量，可以实现制冷的目的，此为公知常识不在详细赘述；本申请中的制冷片能够对冷却液进行制冷，使得冷却液能够保持低温状态，使其实现对多级干式真空泵机组主体3进行循环冷却；

而储水箱27内的水溶液在与冷却液经过热交换之后，其温度升高，通过出水管212能够将加热后的水溶液进行输送，用在其他需要热水溶液的工序上。

对于本领域技术人员而言，本申请不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本申请的精神或基本特征的情况下，能够以其它的具体形式实现本申请；因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本申请的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本申请内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

以上所述，仅为本申请的较佳实施例，并不用以限制本申请，凡是依据本申请的技术实质对以上实施例所作的任何细微修改、等同替换和改进，均应包含在本申请技术方案的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种多级干式真空泵机组循环冷却结构，其特征在于，包括底板(1)，所述底板(1)上设置有多级干式真空泵机组主体(3)、冷却组件(2)以及散热组件(4)；所述冷却组件(2)包括固定在底板(1)上表面的冷却箱(21)、第一水泵(22)、第二水泵(25)以及储水箱(27)；所述第一水泵(22)的进水端设置有与冷却箱(21)连通的抽水管(23)，所述第一水泵(22)的出水端固定连通有与多级干式真空泵机组主体(3)连接并与第二水泵(25)的进水端连通的排水管(24)，所述第二水泵(25)的出水端固定连通有连接管(26)，所述连接管(26)穿设储水箱(27)与冷却箱(21)内部连通；冷却箱(21)内设置有冷却液，储水箱(27)内设置有水溶液；所述冷却箱(21)上固定连通有注水管(210)，所述储水箱(27)的上固定连通有出水管(212)。

2.根据权利要求1所述的一种多级干式真空泵机组循环冷却结构，其特征在于，所述散热组件(4)包括固定在底板(1)上表面的保护箱(41)，所述多级干式真空泵机组主体(3)设置在保护箱(41)内部，且其上表面固定有多个散热翅片(42)，在保护箱(41)的两侧开设有通槽，两个所述通槽背的一侧均固定有散热风扇(44)。

3.根据权利要求1所述的一种多级干式真空泵机组循环冷却结构，其特征在于，所述冷却箱(21)的外壁上安装有制冷片。

4.根据权利要求1所述的一种多级干式真空泵机组循环冷却结构，其特征在于，所述排水管(24)的一端与第一水泵(22)的出水端固定连通，另一端穿设多级干式真空泵机组主体(3)，并沿着多级干式真空泵机组主体(3)内部的顶壁穿出多级干式真空泵机组主体(3)，最终与第二水泵(25)的进水端连通，且所述排水管(24)与多级干式真空泵机组主体(3)的内部顶壁固定贴合。

5.根据权利要求1所述的一种多级干式真空泵机组循环冷却结构，其特征在于，所述连接管(26)位于储水箱(27)内部的部分呈多段弯折的形状。

6.根据权利要求1所述的一种多级干式真空泵机组循环冷却结构，其特征在于，所述冷却箱(21)上固定有第一温度传感器(28)，所述储水箱(27)上固定有第二温度传感器(211)，冷却箱(21)内部侧壁固定有液面传感器(29)，且所述液面传感器(29)位于冷却箱(21)的顶端。

7.根据权利要求1所述的一种多级干式真空泵机组循环冷却结构，其特征在于，所述注水管(210)与出水管(212)的内部均安装有阀门。

8.根据权利要求2所述的一种多级干式真空泵机组循环冷却结构，其特征在于，两个所述通槽处分别设置有防尘网(43)。