CN220399711U - 一种调节装置以及光机系统 - Google Patents

Abstract

一种调节装置以及光机系统，调节装置包括：偏转调节机构和转动调节机构。偏转调节机构用于装配待调节件，偏转调节机构用于绕第一轴线和/或第二轴线转动以改变待调节件的角度，第一轴线和第二轴线在空间上相交。转动调节机构包括转动调节座，转动调节座上装配偏转调节机构，转动调节座用于绕第三轴线和/或第四轴线转动以改变偏转调节机构上待调节件的角度。其中，第一轴线和第三轴线在空间内重合或平行，第二轴线和第四轴线在空间内重合或平行。当转动调节座动作时，能够带动偏转调节座上的待调节件进行角度调节，同时偏转调节机构在转动调节座动作的基础上也可以进行动作，这样既能进行转动自由度的叠加，又能提高待调节件的调节精度。

Description

一种调节装置以及光机系统

技术领域

本申请涉及光学检测设备技术领域，具体涉及一种调节装置以及光机系统。

背景技术

在光学检测设备中往往需要布置非常复杂的照明光路和成像光路，光路中设置的各种光学元件(如透镜、反射镜、滤光片、偏振片、波片等)的位置布设精度将直接影响最终的光学检测效果。原则是调节自由度越多越好，调节精度越高越好。但现有的光学元件调节方式多局限于位移调节，而且可调的自由度和精度都受限于调节装置的结构，还无法满足更高要求的光机。

实用新型内容

本申请提供一种调节装置以及光机系统，其主要目的在于增加待调节件的可调节自由度，提高待调节件的调节精度。

根据本申请的第一方面，提供一种调节装置，包括：偏转调节机构和转动调节机构；

所述偏转调节机构用于装配待调节件，所述偏转调节机构用于绕第一轴线和/或第二轴线转动以改变待调节件的角度，所述第一轴线和所述第二轴线在空间上相交；

所述转动调节机构包括转动调节座，所述转动调节座上装配所述偏转调节机构，所述转动调节座用于绕第三轴线和/或第四轴线转动以改变所述偏转调节机构上待调节件的角度；其中，所述第一轴线和所述第三轴线在空间内重合或平行，所述第二轴线和所述第四轴线在空间内重合或平行。

一种实施例中，所述转动调节座包括支撑板、转动板以及柔性臂，所述柔性臂的一端和所述支撑板连接，所述柔性臂的另一端和所述转动板连接；所述偏转调节机构装配于所述转动板上远离所述支撑板的一侧；所述柔性臂用于通过自身形变调整所述转动板的倾斜度，所述转动板用于绕所述第三轴线转动以改变所述偏转调节机构上待调节件的角度，所述支撑板用于绕所述第四轴线转动以改变所述偏转调节机构上待调节件的角度；所述第三轴线的方向和所述第四轴线的方向在空间中相垂直。

一种实施例中，所述转动调节机构还包括第一锁紧组件，所述柔性臂沿第五轴线的方向设置于所述支撑板和所述转动板的一侧，所述第一锁紧组件设置于所述支撑板和所述转动板的另一侧；所述第一锁紧组件用于锁定所述转动板相对所述支撑板的倾斜程度；所述第五轴线与所述第三轴线或所述第四轴线在空间上相垂直。

一种实施例中，所述第一锁紧组件包括第一锁紧板和第一锁紧件，所述第一锁紧板上开设第一腰型孔；所述第一锁紧板固定于所述支撑板和所述转动板中的任意一个；所述第一腰型孔适配所述转动板的倾斜活动范围，用于配合所述第一锁紧件对所述支撑板和所述转动板中的另一个进行位置锁定。

一种实施例中，所述支撑板上开设有弧形孔，所述弧形孔用于限制所述支撑板相对预设载体的位置。

一种实施例中，所述偏转调节机构包括偏转调节器和调节器安装座，所述调节器安装座装配于所述转动调节座，所述偏转调节器设置于所述调节器安装座，所述偏转调节器用于装配待调节件，以及执行待调节件绕所述第一轴线和/或所述第二轴线的转动。

一种实施例中，所述偏转调节器包括压电式偏转器，所述压电式偏转器的转动精度高于所述转动调节座的转动精度。

一种实施例中，所述偏转调节器上设置有调节器控制线，所述调节器控制线用于和控制器连接，所述偏转调节器用于通过控制器的控制来实现转动。

一种实施例中，还包括固定件，所述固定件包括转接板和安装板，所述转接板设置于所述偏转调节机构，所述安装板设置于所述转接板，所述安装板上设置有安装部，所述安装部用于固定待调节件。

一种实施例中，还包括支架，所述支架连接在所述转动调节座上，所述偏转调节机构装配在所述支架。

一种实施例中，还包括第一位移调节机构，所述第一位移调节机构包括线性滑动或滚动连接的位移支撑座和位移调节座，所述位移支撑座远离所述位移调节座的一侧吊装于所述支架上，所述位移调节座远离所述位移支撑座的一侧和所述偏转调节机构连接；所述位移调节座沿着第五轴线的方向相对所述位移支撑座线性滑动或滚动，所述第一轴线、第二轴线以及所述第五轴线在空间内相互垂直。

一种实施例中，所述第一位移调节机构还包括抵接件和第二锁紧组件；所述抵接件和所述第二锁紧组件分别位于所述第一位移调节机构的两侧；所述位移支撑座和所述位移调节座中的任意一个设置有抵接部，所述位移支撑座和所述位移调节座中的另一个设置所述抵接件，所述抵接件和所述抵接部相接触，所述抵接件用于通过转动或移动以使得所述位移调节座沿着所述第五轴线的方向相对所述位移支撑座线性滑动或滚动；所述第二锁紧组件用于锁定所述位移调节座相对所述位移支撑座的位置。

一种实施例中，所述第二锁紧组件包括第二锁紧板和第二锁紧件；所述第二锁紧板上开设有第二限位孔，所述第二锁紧板固定在所述位移支撑座和所述位移调节座中的任意一个，所述第二限位孔为条状孔，所述第二限位孔的长度方向和所述第五轴线的方向相平行，所述第二锁紧件用于穿过所述第二限位孔固定在所述位移支撑座和所述位移调节座中的另一个。

一种实施例中，还包括至少一对第二位移调节机构，每对所述第二位移调节机构均正对设置于所述转动调节机构的两侧；所述第二位移调节机构包括支撑体和调节件，所述支撑体固定在预设载体上，所述调节件与所述支撑体活动连接，所述调节件的一端和所述转动调节机构相抵接；所述调节件用于推动所述转动调节机构以进行线性移动。

根据本申请的第二方面，提供一种光机系统，包括上述调节装置，所述偏转调节机构装配的待调节件为光学元件。

依据上述实施例中的调节装置，通过偏转调节机构能够实现其上装配待调节件绕第一轴线和/或第二轴线转动以进行角度调节，增加待调节件能够调节的自由度。通过转动调节机构能够实现其上装配待调节件绕第三轴线和/或第四轴线转动以进行角度调节，增加待调节件能够调节的自由度。其中，第一轴线和第三轴线在空间内重合或平行，第二轴线和第四轴线在空间内重合或平行。待调节件装配在偏转调节机构上，转动调节座上装配偏转调节机构，当转动调节座动作时，能够带动偏转调节座上的待调节件进行角度调节，同时偏转调节机构在转动调节座动作的基础上也可以进行动作，这样待调节件在偏转调节机构和转动调节机构的配合下既能够进行转动自由度的叠加，以提高待调节件的调节效率，又能进行角度范围的叠加，使得调节装置具有更大的角度调节范围，以提高待调节件的调节精度。

附图说明

图1为本申请一种实施例中调节装置立体结构示意图；

图2为本申请一种实施例中调节装置另一视角立体结构示意图；

图3为本申请一种实施例中调节装置主视图；

图4为本申请一种实施例中调节装置后视图；

图5为本申请一种实施例中调节装置仰视图；

图6为本申请一种实施例中调节装置爆炸结构示意图；

图7为本申请一种实施例中调节装置使用状态下立体结构示意图；

图8为本申请一种实施例中调节装置使用状态下爆炸结构示意图。

附图标记说明：10.偏转调节机构、11.偏转调节器、12.调节器安装座、13.调节器控制线、20.转动调节机构、21.转动调节座、211.支撑板、2111.弧形孔、2112.转动孔、212.转动板、213.柔性臂、22.第一锁紧组件、221.第一锁紧板、2211.第一连接孔、2212.第一腰型孔、30.待调节件、40.固定件、41.转接板、42.安装板、421.安装部、50.支架、60.第一位移调节机构、61.位移支撑座、611.第一连接部、62.位移调节座、621.第二连接部、622.抵接部、63.抵接件、64.第二锁紧组件、641.第二锁紧板、6411.第二连接孔、6412.第二限位孔、642.第二锁紧件、70.第二位移调节机构、71.支撑体、72.调节件。

具体实施方式

下面通过具体实施方式结合附图对本申请作进一步详细说明。其中不同实施方式中类似元件采用了相关联的类似的元件标号。在以下的实施方式中，很多细节描述是为了使得本申请能被更好的理解。然而，本领域技术人员可以毫不费力的认识到，其中部分特征在不同情况下是可以省略的，或者可以由其他元件、材料、方法所替代。在某些情况下，本申请相关的一些操作并没有在说明书中显示或者描述，这是为了避免本申请的核心部分被过多的描述所淹没，而对于本领域技术人员而言，详细描述这些相关操作并不是必要的，他们根据说明书中的描述以及本领域的一般技术知识即可完整了解相关操作。

另外，说明书中所描述的特点、操作或者特征可以以任意适当的方式结合形成各种实施方式。同时，方法描述中的各步骤或者动作也可以按照本领域技术人员所能显而易见的方式进行顺序调换或调整。因此，说明书和附图中的各种顺序只是为了清楚描述某一个实施例，并不意味着是必须的顺序，除非另有说明其中某个顺序是必须遵循的。

本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接(联接)。

请参阅图1-图8，本申请一种实施例中提供一种调节装置，包括：偏转调节机构10和转动调节机构20。偏转调节机构10用于装配待调节件30，偏转调节机构10用于绕第一轴线和/或第二轴线转动以改变待调节件30的角度，第一轴线和第二轴线在空间上相交。转动调节机构20包括转动调节座21，转动调节座21上装配偏转调节机构10，转动调节座21用于绕第三轴线和/或第四轴线转动以改变偏转调节机构10上待调节件30的角度。其中，第一轴线和第三轴线在空间内重合或平行，第二轴线和第四轴线在空间内重合或平行。

采用上述实施例中的调节装置，通过偏转调节机构10能够实现其上装配待调节件30绕第一轴线和/或第二轴线转动以进行角度调节，增加待调节件30能够调节的自由度。通过转动调节机构20能够实现其上装配待调节件30绕第三轴线和/或第四轴线转动以进行角度调节，增加待调节件30能够调节的自由度。其中，第一轴线和第三轴线在空间内重合或平行，第二轴线和第四轴线在空间内重合或平行。待调节件30装配在偏转调节机构10上，转动调节座21上装配偏转调节机构10，当转动调节座21动作时，能够带动偏转调节机构10上的待调节件30进行角度调节，同时偏转调节机构10在转动调节座21动作的基础上也可以进行动作，这样待调节件30在偏转调节机构10和转动调节机构20的配合下既能够进行转动自由度的叠加，以提高待调节件30的调节效率，又能进行角度范围的叠加，使得调节装置具有更大的角度调节范围，以提高待调节件30的调节精度。

请参阅图1-图2，转动调节座21包括支撑板211、转动板212以及柔性臂213，柔性臂213的一端和支撑板211连接，柔性臂213的另一端和转动板212连接。偏转调节机构10装配于转动板212上远离支撑板211的一侧。柔性臂213用于通过自身形变调整转动板212的倾斜度，转动板212用于绕第三轴线转动以改变偏转调节机构10上待调节件30的角度，支撑板211用于绕第四轴线转动以改变偏转调节机构10上待调节件30的角度。第三轴线的方向和第四轴线的方向在空间中相垂直。以图1为例，转动板212和支撑板211在第四轴线的方向上间隔分布。柔性臂213例如选择金属薄壁，可同转动板212和支撑板211一体化加工而成，当然可以采用硅胶、可形变的塑料等材质制作，当转动板212相对支撑板211转动时，柔性臂213可发生弯曲、压缩等形变，当支撑板211和转动板212相平行分布时，柔性臂213可处于初始状态。当转动板212绕第三轴线转动改变相对支撑板211的倾斜度时，改变待调节件30绕第三轴线的偏转角度。当支撑板211绕第四轴线转动时带动转动板212、偏转调节机构10以及待调节件30同步转动，改变待调节件30绕第四轴线的偏转角度。具体根据待调节件30的实际调节需求来调整支撑板211和/或转动板212。

请参阅图1，转动调节机构20还包括第一锁紧组件22，柔性臂213沿第五轴线的方向设置于支撑板211和转动板212的一侧，第一锁紧组件22沿第五轴线的方向设置于支撑板211和转动板212的另一侧。第一锁紧组件22用于锁定转动板212相对支撑板211的倾斜程度。第五轴线与第三轴线或第四轴线在空间上相垂直。具体的，第一锁紧组件22包括第一锁紧板221和第一锁紧件，第一锁紧板221上开设第一腰型孔2212。第一锁紧板221固定于支撑板211和转动板212中的任意一个。第一腰型孔2212适配转动板212的倾斜活动范围，用于配合第一锁紧件对支撑板211和转动板212中的另一个进行位置锁定。例如第一锁紧板221固定在支撑板211的一侧面上，第一锁紧板221可以和支撑板211为一体结构，或者第一锁紧板221以可拆卸或不可拆卸方式固定在支撑板211上。当第一锁紧板221可拆卸方式固定在支撑板211上时，例如在第一锁紧板221上开设对应的第一连接孔2211，在支撑板211上开设对应的第一安装孔，通过螺丝、螺栓、螺钉等结构实现第一锁紧板221固定在支撑板211上。当第一锁紧板221以不可拆卸方式固定在支撑板211上时，可采用焊接、粘接等方式。第一腰型孔2212的形状便于灵活适配转动板212的倾斜活动范围。第一锁紧件例如螺钉，在转动板212的对应位置上也开设对应的孔，通过第一锁紧件实现转动板212相对支撑板211的位置锁定。第一腰型孔2212还可以为腰型沉孔的方式，这样便于第一锁紧件的端部置于第一腰型孔2212内，使得调节装置的结构更加紧凑、尺寸能更小一些。通过设置的第一锁紧组件22，有效锁定转动板212相对支撑板211的倾斜程度，防止待调节件30在调节好绕第三轴线的转动角度后发生偏转，便于保障待调节件30的位置锁定和后续稳定的使用环境。在其他实施例中，第一腰型孔2212还可以为替换为条形的其他孔，例如矩形孔，只要孔的长度方向沿着第四轴线的方向即可。

如图1所示，在本申请实施例中，支撑板211上开设有弧形孔2111，弧形孔2111用于限制支撑板211相对预设载体的位置。支撑板211的形状可以为矩形、方形、圆形、椭圆或其他异形等，以方形的支撑板211为例，在支撑板211的四角上各开设一个弧形孔2111，通过螺钉穿过弧形孔2111将支撑板211固定在预设载体上，预设载体例如光机系统的基座。通过弧形孔2111有效限制支撑板211相对预设载体的位置，进而保障调节装置上待调节件30在绕第四轴线方向上的角度的固定，防止待调节件30在调节好绕第四轴线的转动角度后发生偏转。其中，支撑板211上开设弧形孔2111的个数越多，越能保障支撑板211相对预设载体位置的稳固性，具体根据实际需要灵活选择。

请参阅图5，在支撑板211上还开设有转动孔2112，转动孔2112上可设置转动轴用于带动支撑板211以及其上的结构绕第四轴线转动。转动孔2112的开设位置具体可以根据调节装置整体的重心分布去设置，以便于通过转动轴稳定的带动支撑板211进行转动。

请参阅图1-图2，偏转调节机构10包括偏转调节器11和调节器安装座12，调节器安装座12装配于转动调节座21，偏转调节器11设置于调节器安装座12，偏转调节器11用于装配待调节件30，以及执行待调节件30绕第一轴线和/或第二轴线的转动。具体的，偏转调节器11包括压电式偏转器，压电式偏转器的转动精度高于转动调节座21的转动精度。通过压电式偏转器可以实现其上待调节件30在两个方向上的精准转动角度调节。在其他实施例中，偏转调节器11还可以为其他电动执行器件，例如偏转调节器11通过电机以及其上的动力轴来实现。

请参阅图2，在本申请实施例中，偏转调节器11上设置有调节器控制线13，调节器控制线13用于和控制器连接，偏转调节器11用于通过控制器的控制来实现转动。通过控制器可以控制偏转调节器11上的压电执行部件，可进行微米级的转动调节，更好的保障调节装置上待调节件30的角度调节精度。

请参阅图2、图4以及图6-图8，调节装置还包括固定件40，固定件40包括转接板41和安装板42，转接板41设置于偏转调节机构10，安装板42设置于转接板41，安装板42上设置有安装部421，安装部421用于固定待调节件30。具体的，转接板41设置于偏转调节器11的一端面上，例如通过螺钉固定、焊接固定等方式将转接板41设置于偏转调节器11上。转接板41远离偏转调节器11的一侧设置安装板42，安装板42远离转接板41的一侧上设置安装部421。安装部421为卡槽、卡块等形式，只要能固定待调节件30即可。待调节件30例如需要进行位置调节的光学元件，光学元件如透镜、反射镜、滤光片、偏振片、波片等。其中，所设计的转接板41相当于适配座，可以为安装板42提供良好的安装平面，便于保障安装板42的安装精度，进而也便于保障待调节件30在调节装置上的安装精度。安装板42上设置的安装部421，便于实现对待调节件30的安装固定。更佳的，安装板42和转接板41之间为可拆卸连接，例如通过螺钉将安装板42可拆卸固定在转接板41上。安装板42上的安装部421和待安装的待调节件30形状相适配，当对不同的待调节件30进行位置调节时，由于不同的待调节件30结构、尺寸的变化，导致需要更换不同的安装部421。此时，只需要更换设有对应安装部421的安装板42即可，转接板41可以和不同的安装板42之间进行通用，这样既简化的了调节装置的操作步骤，又降低了调节装置的成本。

请参阅图1-图2，调节装置还包括支架50，支架50连接在转动调节座21上，偏转调节机构10装配在支架50。具体的，支架50连接固定在转动板212远离支撑板211的一侧上。通过支架50实现偏转调节机构10间接固定在转动调节机构20上。

请参阅图1-图2，调节装置还包括第一位移调节机构60，第一位移调节机构60包括线性滑动或滚动连接的位移支撑座61和位移调节座62，位移支撑座61远离位移调节座62的一侧吊装于支架50上，位移调节座62远离位移支撑座61的一侧和偏转调节机构10连接。位移调节座62沿着第五轴线的方向相对位移支撑座61线性滑动或滚动，第一轴线、第二轴线以及第五轴线在空间内相互垂直。通过第一位移调节机构60中的位移支撑座61提供安装支撑作用，位移调节座62和位移支撑座61线性滑动或滚动连接，同时位移调节座62远离位移支撑座61的一侧和偏转调节机构10连接。这样，当位移调节座62沿着第五轴线的方向相对位移支撑座61线性滑动或滚动时，能够同步带动偏转调节机构10以及其上的待调节件30沿着第五轴线的方向进行线性移动，使得调节装置不仅能够对其上的待调节件30进行角度调节还能进行位移调节，增加对于待调节件30的位置调节灵活度。

具体的，在位移支撑座61朝向位移调节座62的一侧设置第一连接部611，在位移调节座62朝向位移支撑座61的一侧设置第二连接部621。若位移调节座62和位移支撑座61之间滚动连接，第一连接部611和第二连接部621均为开设有半圆柱状的滑槽结构，在第一连接部611和第二连接部621之间设置若干个滚珠，以实现位移调节座62和位移支撑座61之间进行滚动连接。若位移调节座62和位移支撑座61之间滑动连接，第一连接部611和第二连接部621中的任意一个可以为滑杆结构，第一连接部611和第二连接部621中的另一个为滑块结构，滑块穿过滑杆滑动连接。

请参阅图1-图2，第一位移调节机构60还包括抵接件63和第二锁紧组件64。抵接件63和第二锁紧组件64分别位于第一位移调节机构60的两侧。例如抵接件63和第二锁紧组件64沿着第一轴线的方向分别位于第一位移调节机构60的两侧。位移支撑座61和位移调节座62中的任意一个设置有抵接部622，位移支撑座61和位移调节座62中的另一个设置抵接件63，抵接件63和抵接部622相接触，抵接件63用于通过转动或移动以使得位移调节座62沿着第五轴线的方向相对位移支撑座61线性滑动或滚动。第二锁紧组件64用于锁定位移调节座62相对位移支撑座61的位置。以在位移支撑座61上设置抵接件63，在位移调节座62上设置抵接部622为例。其中，抵接件63可以为旋钮、微分头或推杆等结构，抵接部622为块状、板状、凸起等结构。在本申请实施例中，抵接件63为微分头。使用抵接件63时，通过转动微分头上的旋转部带动杆部线性移动，微分头上的杆部和抵接部622抵接，推动位移调节座62相对位移支撑座61线性移动。并且当抵接部622为微分头时，能够精准的实现位移调节座62沿着第五轴线的方向相对位移支撑座61进行线性移动。当位移调节座62调节好相对位移支撑座61的位置时，也即调节好待调节件30在第五轴线方向上的位置，此时，通过第二锁紧组件64锁定位移调节座62相对位移支撑座61的位置，能够保障待调节件30在第五轴线方向上位置调节的准确性，避免由于位移调节座62位置固定不稳改变待调节件30位置的现象发生。

请参阅图1和图8，第二锁紧组件64包括第二锁紧板641和第二锁紧件642。第二锁紧板641上开设有第二限位孔6412，第二锁紧板641固定在位移支撑座61和位移调节座62中的任意一个，第二限位孔6412为条状孔，第二限位孔6412的长度方向和第五轴线的方向相平行，第二锁紧件642用于穿过第二限位孔6412固定在位移支撑座61和位移调节座62中的另一个。以第二锁紧板641固定在位移支撑座61，第二锁紧件642固定在位移调节座62上为例。第二锁紧板641可以和位移支撑板211为一体结构，或者第二锁紧板641以可拆卸或不可拆卸的方式固定在位移支撑板211上。例如在第二锁紧板641上开设第二连接孔6411，在位移支撑板211上也开设对应的孔，通过螺钉将第二锁紧板641固定在位移支撑板211上。第二锁紧件642例如为螺钉、螺栓等结构，当位移调节座62调整好相对位移支撑座61的位置时，通过第二锁紧件642能够有效锁定位移调节座62相对位移支撑座61的位置，保障调节装置上待调节件30调节位置的稳固性。

请参阅图1-图2，支架50为矩形框体结构，支架50的底部固定在转动板212上。偏转调节机构10和第一位移调节机构60均设置于支架50的框体内，第一位移调节机构60中的位移支撑座61吊装固定在支架50顶部的内壁上。通过框体结构的支架50，首先，便于对其内的偏转调节机构10和第一位移调节机构60进行保护，例如避免外界的触碰、灰尘等。其次，便于将偏转调节机构10悬空设置于转动板212的上方，避免二者接触，有效保障偏转调节机构10的转动环境。在其他实施例中，支架50还可以为杆状结构，只要能够为位移支撑座61提供安装固定作用即可。

请参阅图1-图2，在本申请实施例中，调节装置还包括至少一对第二位移调节机构70，每对第二位移调节机构70均正对设置于转动调节机构20的两侧。第二位移调节机构70包括支撑体71和调节件72，支撑体71固定在预设载体上，调节件72与支撑体71活动连接，调节件72的一端和转动调节机构20相抵接。调节件72用于推动转动调节机构20以进行线性移动。调节件72推动转动调节机构20进行线性移动的方向可以和第五轴线的方向在空间上相平行或相交。若调节件72推动转动调节机构20进行线性移动的方向和第五轴线的方向在空间上相平行，此时可以拓展调节装置上待调节件30在第五轴线方向上移动的范围。若调节件72推动转动调节机构20进行线性移动的方向和第五轴线的方向在空间上相交，此时可以增加调节装置上待调节件30位移移动的方向。具体的，以调节件72沿着第三轴线的方向推动转动调节机构20进行线性移动为例，此时每对第二位移调节机构70沿着第三轴线的方向正对设置于转动调节机构20的两侧。调节件72例如为螺栓，调节件72和支撑板211螺纹连接，通过转动调节件72调整支撑体71和支撑板211之间的相对距离。调节件72和支撑板211接触的一端为圆头或具有一定弧度的曲面，这样能够有效降低调节件72对支撑板211的转动损伤。在其他实施例中，也可以只保留第一位移调节机构60和第二位移调节机构70中的任意一个，但被保留的位移调节机构可以进行两个方向上的位移调节。例如调节装置不设置第一位移调节机构60，但设置两对第二位移调节机构70，一对第二位移调节机构70沿着第三轴线的方向设置于转动调节机构20正对的两侧，另一对第二位移调节机构70沿着第五轴线的方向设置于转动调节机构20正对的两侧。

本申请所设计上述实施例中的调节装置，通过偏转调节机构10能够对调节装置上的待调节件30进行两个方向的精准转动调节。通过转动调节机构20能够对调节装置上的待调节件30进行两个方向的粗略转动调节。通过第一位移调节机构60能够对调节装置上的待调节件30进行一个方向上的精准位移调节。通过第二位移调节机构70能够对调节装置上的待调节件30进行一个方向上的粗略位移调节。偏转调节机构10、转动结构机构、第一位移调节机构60和第二位移调节机构70相配合，能够实现调节装置上待调节件30多角度、多方向的位置调节，增加待调节件30的可调节自由度，提高待调节件30的调节精度。并且设计的调节装置结构紧凑、占用空间小，容易装配在光机上使用。其中，各个位置调节结构(角度调节或位置调节)的调节精准度，可以根据实际需要更换，本申请实施例中仅为列举，不应理解为对本申请的限制。例如将第一位移调节机构设置为粗调的结构，将第二位移调节机构设置为精调的结构。

本申请再一种实施例中提供一种光机系统，包括上述调节装置，偏转调节机构10装配的待调节件30为光学元件。由于光机系统包括上述实施例中的调节装置，因此也具有上述实施例中调节装置的优势和效果，此处不再赘述。

以上应用了具体个例对本申请进行阐述，只是用于帮助理解本申请，并不用以限制本申请。对于本申请所属技术领域的技术人员，依据本申请的思想，还可以做出若干简单推演、变形或替换。

Claims (15)

1.一种调节装置，其特征在于，包括：偏转调节机构(10)和转动调节机构(20)；

所述偏转调节机构(10)用于装配待调节件(30)，所述偏转调节机构(10)用于绕第一轴线和/或第二轴线转动以改变待调节件(30)的角度，所述第一轴线和所述第二轴线在空间上相交；

所述转动调节机构(20)包括转动调节座(21)，所述转动调节座(21)上装配所述偏转调节机构(10)，所述转动调节座(21)用于绕第三轴线和/或第四轴线转动以改变所述偏转调节机构(10)上待调节件(30)的角度；其中，所述第一轴线和所述第三轴线在空间内重合或平行，所述第二轴线和所述第四轴线在空间内重合或平行。

2.如权利要求1所述的调节装置，其特征在于，所述转动调节座(21)包括支撑板(211)、转动板(212)以及柔性臂(213)，所述柔性臂(213)的一端和所述支撑板(211)连接，所述柔性臂(213)的另一端和所述转动板(212)连接；所述偏转调节机构(10)装配于所述转动板(212)上远离所述支撑板(211)的一侧；所述柔性臂(213)用于通过自身形变调整所述转动板(212)的倾斜度，所述转动板(212)用于绕所述第三轴线转动以改变所述偏转调节机构(10)上待调节件(30)的角度，所述支撑板(211)用于绕所述第四轴线转动以改变所述偏转调节机构(10)上待调节件(30)的角度；所述第三轴线的方向和所述第四轴线的方向在空间中相垂直。

3.如权利要求2所述的调节装置，其特征在于，所述转动调节机构(20)还包括第一锁紧组件(22)，所述柔性臂(213)沿第五轴线的方向设置于所述支撑板(211)和所述转动板(212)的一侧，所述第一锁紧组件(22)设置于所述支撑板(211)和所述转动板(212)的另一侧；所述第一锁紧组件(22)用于锁定所述转动板(212)相对所述支撑板(211)的倾斜程度；所述第五轴线与所述第三轴线或所述第四轴线在空间上相垂直。

4.如权利要求3所述的调节装置，其特征在于，所述第一锁紧组件(22)包括第一锁紧板(221)和第一锁紧件，所述第一锁紧板(221)上开设第一腰型孔(2212)；所述第一锁紧板(221)固定于所述支撑板(211)和所述转动板(212)中的任意一个；所述第一腰型孔(2212)适配所述转动板(212)的倾斜活动范围，用于配合所述第一锁紧件对所述支撑板(211)和所述转动板(212)中的另一个进行位置锁定。

5.如权利要求2所述的调节装置，其特征在于，所述支撑板(211)上开设有弧形孔(2111)，所述弧形孔(2111)用于限制所述支撑板(211)相对预设载体的位置。

6.如权利要求1所述的调节装置，其特征在于，所述偏转调节机构(10)包括偏转调节器(11)和调节器安装座(12)，所述调节器安装座(12)装配于所述转动调节座(21)，所述偏转调节器(11)设置于所述调节器安装座(12)，所述偏转调节器(11)用于装配待调节件(30)，以及执行待调节件(30)绕所述第一轴线和/或所述第二轴线的转动。

7.如权利要求6所述的调节装置，其特征在于，所述偏转调节器(11)包括压电式偏转器，所述压电式偏转器的转动精度高于所述转动调节座(21)的转动精度。

8.如权利要求6所述的调节装置，其特征在于，所述偏转调节器(11)上设置有调节器控制线(13)，所述调节器控制线(13)用于和控制器连接，所述偏转调节器(11)用于通过控制器的控制来实现转动。

9.如权利要求1所述的调节装置，其特征在于，还包括固定件(40)，所述固定件(40)包括转接板(41)和安装板(42)，所述转接板(41)设置于所述偏转调节机构(10)，所述安装板(42)设置于所述转接板(41)，所述安装板(42)上设置有安装部(421)，所述安装部(421)用于固定待调节件(30)。

10.如权利要求1所述的调节装置，其特征在于，还包括支架(50)，所述支架(50)连接在所述转动调节座(21)上，所述偏转调节机构(10)装配在所述支架(50)。

11.如权利要求10所述的调节装置，其特征在于，还包括第一位移调节机构(60)，所述第一位移调节机构(60)包括线性滑动或滚动连接的位移支撑座(61)和位移调节座(62)，所述位移支撑座(61)远离所述位移调节座(62)的一侧吊装于所述支架(50)上，所述位移调节座(62)远离所述位移支撑座(61)的一侧和所述偏转调节机构(10)连接；所述位移调节座(62)沿着第五轴线的方向相对所述位移支撑座(61)线性滑动或滚动，所述第一轴线、第二轴线以及所述第五轴线在空间内相互垂直。

12.如权利要求11所述的调节装置，其特征在于，所述第一位移调节机构(60)还包括抵接件(63)和第二锁紧组件(64)；所述抵接件(63)和所述第二锁紧组件(64)分别位于所述第一位移调节机构(60)的两侧；所述位移支撑座(61)和所述位移调节座(62)中的任意一个设置有抵接部(622)，所述位移支撑座(61)和所述位移调节座(62)中的另一个设置所述抵接件(63)，所述抵接件(63)和所述抵接部(622)相接触，所述抵接件(63)用于通过转动或移动以使得所述位移调节座(62)沿着所述第五轴线的方向相对所述位移支撑座(61)线性滑动或滚动；所述第二锁紧组件(64)用于锁定所述位移调节座(62)相对所述位移支撑座(61)的位置。

13.如权利要求12所述的调节装置，其特征在于，所述第二锁紧组件(64)包括第二锁紧板(641)和第二锁紧件(642)；所述第二锁紧板(641)上开设有第二限位孔(6412)，所述第二锁紧板(641)固定在所述位移支撑座(61)和所述位移调节座(62)中的任意一个，所述第二限位孔(6412)为条状孔，所述第二限位孔(6412)的长度方向和所述第五轴线的方向相平行，所述第二锁紧件(642)用于穿过所述第二限位孔(6412)固定在所述位移支撑座(61)和所述位移调节座(62)中的另一个。

14.如权利要求1所述的调节装置，其特征在于，还包括至少一对第二位移调节机构(70)，每对所述第二位移调节机构(70)均正对设置于所述转动调节机构(20)的两侧；所述第二位移调节机构(70)包括支撑体(71)和调节件(72)，所述支撑体(71)固定在预设载体上，所述调节件(72)与所述支撑体(71)活动连接，所述调节件(72)的一端和所述转动调节机构(20)相抵接；所述调节件(72)用于推动所述转动调节机构(20)以进行线性移动。

15.一种光机系统，其特征在于，包括权利要求1-14中任一项所述的调节装置，所述偏转调节机构(10)装配的待调节件(30)为光学元件。