CN220341189U - 一种硅片洗篮 - Google Patents
一种硅片洗篮 Download PDFInfo
- Publication number
- CN220341189U CN220341189U CN202322002412.6U CN202322002412U CN220341189U CN 220341189 U CN220341189 U CN 220341189U CN 202322002412 U CN202322002412 U CN 202322002412U CN 220341189 U CN220341189 U CN 220341189U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- strip
- silicon wafer
- bearing roller
- arc
- shaped hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 27
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 26
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims abstract description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 abstract description 22
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 7
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Abstract
本实用新型涉及洗篮设备技术领域，提供了一种硅片洗篮，包括多个端板和第一承载辊轮围成的顶部敞口的洗篮，端板上开设有弧形槽和条形槽，端板之间至少设置一个悬设于弧形槽内的第三承载辊轮，条形槽内滑动设置有滑块，滑块和第三承载辊轮之间通过连接单元分别铰接，滑块沿条形槽滑移驱动第三承载辊轮在弧形槽内滑移形成不同规格的洗篮。在滑块升降滑移的过程中使得第三承载辊轮在弧形槽内滑动，从而改变第三承载辊轮之间的间距，达到适配不同尺寸硅片的目的。
Description
技术领域
本实用新型涉及洗篮设备技术领域，具体涉及一种硅片洗篮。
背景技术
硅片清洗篮是用于处理和清洗硅片的重要设备，其设计和功能对于保证硅片的质量和生产效率至关重要，然而，传统的硅片清洗篮存在一个限制，即无法调整存放尺寸。
传统的硅片清洗篮通常由固定大小的格栅结构组成，这些格栅用于放置硅片，以便清洗和处理。然而，由于不同尺寸的硅片在生产和制造过程中经常出现，诸如8英寸、12英寸以及更大尺寸的硅片等，传统的清洗篮无法适应不同尺寸的硅片需求，限制了其灵活性和适用性。为此，我们提出一种硅片洗篮。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种硅片洗篮，克服了现有技术的不足，设计合理，结构紧凑，解决了背景技术中提出的问题。
(二)技术方案
为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：
一种硅片洗篮，包括多个端板和第一承载辊轮围成的顶部敞口的洗篮，端板上开设有弧形槽和条形槽，端板之间至少设置一个悬设于弧形槽内的第三承载辊轮，条形槽内滑动设置有滑块，滑块和第三承载辊轮之间通过连接单元分别铰接，滑块沿条形槽滑移驱动第三承载辊轮在弧形槽内滑移形成不同规格的洗篮。
优选的，条形槽内设置有延其自身方向设置的丝杆并延伸至端板的外侧，滑块螺纹套设于丝杆上。
优选的，延伸至端板外侧的丝杆上安装有手轮。
优选的，滑块和第三承载辊轮分别铰接有连接杆。
优选的，弧形槽包括相互连接的第一条形孔和第二条形孔，第二条形孔向端板的两侧延伸并在接近端板侧面处设有与第三承载辊轮辊轴适配的凹槽。
优选的，第一条形孔为劣弧，第二条形孔的弧面积大于第一条形孔的弧面积。
优选的，端板之间还连接有第二承载辊轮，第二承载辊轮位于第一承载辊轮的上两侧处。
(三)有益效果
本实用新型实施例提供了一种硅片洗篮。具备以下有益效果：
1、在滑块升降滑移的过程中使得第三承载辊轮在弧形槽内滑动，从而改变第三承载辊轮之间的间距，达到适配不同尺寸硅片的目的。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型结构正视示意图；
图3为本实用新型左视示意图。
图中：1、端板；11、第一条形孔；12、第二条形孔；2、条形槽；21、丝杆；22、滑块；23、手轮；3、第一承载辊轮；4、第二承载辊轮；5、第三承载辊轮；51、连接杆。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
参照附图1-3，一种硅片洗篮，包括多个端板1、第一承载辊轮3、第二承载辊轮4围成的顶部敞口的洗篮，硅片由顶部放入，端板1上开设有一对弧形槽和一个条形槽2，条形槽2位于端板1的中部，两个弧形槽对称设置并分部在端板1的两侧部，端板1之间还设置有悬设在弧形槽内的第三承载辊轮5，第一承载辊轮3、第二承载辊轮4、第三承载辊轮5均为在其辊轮上套接有等距设置的圆形挡片形成承载硅片的承载辊轮；
条形槽2竖直设置，条形槽2内沿其自身的方向设置有丝杆21，丝杆21向端板1的外侧延伸并连接有手轮23，丝杆21上还螺纹套接有滑块22，通过转动手轮23使丝杆21转动促使滑块22沿条形槽2的方向滑移，滑块22和第三承载辊轮5上分别铰接有连接杆51形成联动配合，在滑块22升降滑移的过程中使得第三承载辊轮5在弧形槽内滑动，从而改变第三承载辊轮5之间的间距，达到适配不同尺寸硅片的目的。
弧形槽包括相互连接的第一条形孔11和第二条形孔12，第一条形孔11和第二条形孔12竖直分布在端板1上，且第一条形孔11为劣弧，第二条形孔12的弧面积大于第一条形孔11的弧面积，第二条形孔12上与第一条形孔11的连接处向端板1的两侧延伸并在接近端板1侧面处设置有与第三承载辊轮5辊轴适配的凹槽，当想要继续扩大硅片尺寸时，将滑块22提升至条形槽2的顶部此时，第三承载辊轮5位于弧形槽的中部，也就是说，第三承载辊轮5位于第一条形孔11和第二条形孔12的连接处，此时通过外力将连接杆51抬升，转动手轮23使得抬升后的第三承载辊轮5的辊轴滑入第二条形孔12的延伸出，继续下压直至与凹槽处抵持，此时第二承载辊轮4托举硅片，反之，通过第三承载辊轮5的自重滑入第一条形孔11内适配硅片。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (7)
1.一种硅片洗篮，包括多个端板(1)和第一承载辊轮(3)围成的顶部敞口的洗篮；
其特征在于：所述端板(1)上开设有弧形槽和条形槽(2)，端板(1)之间至少设置一个悬设于弧形槽内的第三承载辊轮(5)；
所述条形槽(2)内滑动设置有滑块(22)，滑块(22)和第三承载辊轮(5)之间通过连接单元分别铰接，滑块(22)沿条形槽(2)滑移驱动第三承载辊轮(5)在弧形槽内滑移形成不同规格的洗篮。
2.如权利要求1所述的一种硅片洗篮，其特征在于：所述条形槽(2)内设置有延其自身方向设置的丝杆(21)并延伸至端板(1)的外侧，滑块(22)螺纹套设于丝杆(21)上。
3.如权利要求2所述的一种硅片洗篮，其特征在于：延伸至端板(1)外侧的丝杆(21)上安装有手轮(23)。
4.如权利要求1所述的一种硅片洗篮，其特征在于：所述滑块(22)和第三承载辊轮(5)分别铰接有连接杆(51)。
5.如权利要求1所述的一种硅片洗篮，其特征在于：所述弧形槽包括相互连接的第一条形孔(11)和第二条形孔(12)，第二条形孔(12)向端板(1)的两侧延伸并在接近端板(1)侧面处设有与第三承载辊轮(5)辊轴适配的凹槽。
6.如权利要求5所述的一种硅片洗篮，其特征在于：所述第一条形孔(11)为劣弧，第二条形孔(12)的弧面积大于第一条形孔(11)的弧面积。
7.如权利要求1所述的一种硅片洗篮，其特征在于：所述端板(1)之间还连接有第二承载辊轮(4)，第二承载辊轮(4)位于第一承载辊轮(3)的上两侧处。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322002412.6U CN220341189U (zh) | 2023-07-26 | 2023-07-26 | 一种硅片洗篮 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322002412.6U CN220341189U (zh) | 2023-07-26 | 2023-07-26 | 一种硅片洗篮 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN220341189U true CN220341189U (zh) | 2024-01-12 |
Family
ID=89460578
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202322002412.6U Active CN220341189U (zh) | 2023-07-26 | 2023-07-26 | 一种硅片洗篮 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN220341189U (zh) |
-
2023
- 2023-07-26 CN CN202322002412.6U patent/CN220341189U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN111015501B (zh) | 一种芯片硅生产使用的二级研磨设备 | |
| CN108638078B (zh) | 一种智能搬运机器人 | |
| CN220341189U (zh) | 一种硅片洗篮 | |
| CN112387730A (zh) | 一种钢化玻璃用快速清洁设备 | |
| CN208488439U (zh) | 一种钢丝热处理炉炉膛气氛检测装置 | |
| CN110371708B (zh) | 一种西瓜搬运装置 | |
| CN107627207A (zh) | 一种便于搬运板材的数控机床 | |
| CN204523400U (zh) | 一种绝缘纸筒浸油机 | |
| CN213546345U (zh) | 一种晶硅太阳能电池板生产用刻蚀下料台 | |
| CN211871262U (zh) | 用于阳极氧化生产线的升降装置 | |
| CN208556944U (zh) | 一种红木加工用找平工具 | |
| CN113539936A (zh) | 一种芯片晶圆生产用清洗装置 | |
| CN108393671B (zh) | 一种泵室铜套压装一体机用铜套输送装置 | |
| CN211337920U (zh) | 90度转板机构 | |
| CN209489371U (zh) | 一种用于油炸糕点加工的油炸机 | |
| CN218087869U (zh) | 超薄电子玻璃生产导向辊 | |
| CN220846785U (zh) | 一种玻璃纤维布生产表面缺陷检测用验布机 | |
| CN111002723A (zh) | 一种服装生产用商标logo热熔打标装置 | |
| CN218170753U (zh) | 一种木材扒皮设备 | |
| CN218743660U (zh) | 一种太阳能电池镀膜用表面清洁设备 | |
| CN218947044U (zh) | 一种五金件加工用转运装置 | |
| CN209464608U (zh) | 一种高效节能的蒸箱 | |
| CN212945107U (zh) | 一种冲压模具用取件辅助装置 | |
| CN218945982U (zh) | 一种钢板整平用校平机 | |
| CN209168925U (zh) | 一种变压器出厂测试用倾斜工装 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |