CN220306230U - 铜框架传送装置 - Google Patents
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Abstract
铜框架传送装置，涉及半导体加工技术领域。包括：储料仓，两端分别设有水平进出料口，底部设有顶料口，内腔设有一对用于支撑框架的卡槽；所述储料仓通过设置其顶部的升降直线驱动机构实现上下往返运动；所述升降直线驱动机构通过水平直线驱动机构，实现不同工位之间转换；导料板，水平滑动设置在相应工位台上，顶部设有与顶料口适配的顶料部，所述顶料部的端部设有限位部。具体的，所述卡槽内设有若干与框架适配的定位针。具体的，所述定位针的高度小于卡槽槽口高度的一半。本实用新型解决了吸嘴损坏，导致漏真空，造成框架吸附不上或掉落等问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体加工技术领域，尤其涉及铜框架传送装置。
背景技术
框架加工通常需要经过点底胶—点晶粒—点上胶—打跳线等工序，不同工序之间切换通常采用真空吸盘对框架进行吸取转入相应工位。吸嘴吸取式，需要依靠真空泵，对框架进行吸附传送，长期使用过程中存在以下问题：
1、吸嘴长时间使用过程中，易存在吸嘴损坏，导致漏真空，造成框架吸附不上，导致掉落，此外吸嘴更换增加成本；
2、此传送方式为真空吸附式，在机器长时间运作过程中，真空气压易波动，造成框架吸附不上，导致掉落。
实用新型内容
本实用新型针对以上问题，提供了一种运行稳定、高效的铜框架传送装置。
本实用新型的技术方案是：
铜框架传送装置，包括：
储料仓，两端分别设有水平进出料口，底部设有顶料口，内腔设有一对用于支撑框架的卡槽；所述储料仓通过设置其顶部的升降直线驱动机构实现上下往返运动；所述升降直线驱动机构通过水平直线驱动机构，实现不同工位之间转换；
导料板，水平滑动设置在相应工位台上，顶部设有与顶料口适配的顶料部，所述顶料部的端部设有限位部。
具体的，所述卡槽内设有若干与框架适配的定位针。
具体的，所述定位针的高度小于卡槽槽口高度的一半。
具体的，一对所述卡槽之间设有压料滚轮；
所述储料仓上设有与之固定连接的支撑座，所述支撑座上设有竖向设置的滑槽；
所述压料滚轮通过连接臂上下滑动设置在滑槽内。
具体的，所述升降直线驱动机构为升降气缸、升降油缸或升降电动推杆。
具体的，所述导料板呈板状。
具体的，所述导料板通过底部设置的导料直线驱动机构驱动其在工位台上水平往返滑动。
具体的，所述导料直线驱动机构驱动为导料气缸，固定设置在工位台内，其活塞杆端与导料板的底部固定连接。
具体的，所述导料板的宽度小于顶料口的宽度。
本实用新型储料仓两端分别设有水平进出料口，底部设有顶料口，内腔设有一对用于支撑框架的卡槽；通过设置其顶部的升降直线驱动机构实现上下往返运动；升降直线驱动机构通过水平直线驱动机构，实现不同工位之间转换；卸料时：储料仓下降，使框架与导料板顶部的顶料部贴合后，持续下降，直至将至框架位于定位针上方后，导料板水平滑动，将框架从储料仓内移出，转入相应工位进行制备。储料仓移至上一工位进行待料。解决了吸嘴损坏，导致漏真空，造成框架吸附不上或掉落等问题。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图，
图2是储料仓的立体结构示意图，
图3是本实用新型实用状态立体结构示意图；
图中100是储料仓，110是进出料口，120是顶料口，130是卡槽，140是定位针，150是压料滚轮，
200是升降直线驱动机构，
300是丝杆，
400是导料板，410是限位部，
500是框架。
具体实施方式
下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、 “下”、 “左”、 “右”、 “竖直”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。在本实用新型的描述中，除非另有说明， “多个”的含义是两个或两个以上。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、 “相连”、 “连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接 ；可以是机械连接，也可以是电连接 ；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
本实用新型如图1-3所示；
铜框架传送装置，其特征在于，包括：
储料仓100，两端分别设有水平进出料口110，底部设有顶料口120，内腔设有一对用于支撑框架500的卡槽130；所述储料仓100通过设置其顶部的升降直线驱动机构200实现上下往返运动；所述升降直线驱动机构200通过水平直线驱动机构，实现不同工位之间转换；
本案中水平直线驱动机构采用常规的丝杆300或水平气缸，实现升降直线驱动机构200在水平方向移动，实现两个不同工位衔接即可。
导料板400，水平滑动设置在相应工位台上，顶部设有与顶料口120适配的顶料部，所述顶料部的端部设有限位部410。本案限位部410呈长条形，两端都设置或设置一个均可。
进一步优化，所述卡槽130内设有若干与框架500适配的定位针140。本案选用了四个，分别位于框架500的四个边角处，提高框架500在转送过程中的稳定性。
进一步限定，所述定位针140的高度小于卡槽130槽口高度的一半。设定位针140的高度为h1，设卡槽130槽口的高度为h2，即h2÷2＞h1，便于框架500压设在顶料部后，框架500完全位于定位针140的上方，通过导料板400的水平移动可以快速的从储料仓100内移出。
进一步优化，一对所述卡槽130之间设有压料滚轮150；
所述储料仓100上设有与之固定连接的支撑座，所述支撑座上设有竖向设置的滑槽；
所述压料滚轮150通过连接臂上下滑动设置在滑槽内。
框架500降落至导料板400上时，压料滚轮150通过自重，下滑至于框架500上表面贴合，便于导料板400带动框架500水平移动的稳定性。当框架500在转运过程中，通过压料滚轮150下压框架500，防止框架500抖动错位，与后续工位导料板400接触偏差，影响卸料。
进一步限定，所述升降直线驱动机构200为升降气缸、升降油缸或升降电动推杆。
进一步限定，所述导料板400呈板状。
进一步优化，所述导料板400通过底部设置的导料直线驱动机构驱动其在工位台上水平往返滑动。
进一步优化，所述导料直线驱动机构驱动为导料气缸，固定设置在工位台内，其活塞杆端与导料板400的底部固定连接。
进一步限定，所述导料板400的宽度小于顶料口120的宽度，便于导料板400可进入顶料口120内，将框架500顶起，与储料仓100分离；工位台上部宽度与导料板400的宽度一致，从而方便储料仓100根据所需高度进行升降，提高框架500进出料的便捷性。
本案工作流程为：
卸料时：储料仓100下降，使框架500与导料板400顶部的顶料部贴合后，持续下降，直至将至框架500位于定位针140上方后，导料板400水平滑动，将框架500从储料仓100内移出，转入相应工位进行制备。储料仓100移至上一工位进行待料。
进料时：下一工位的储料仓100转入工位台上，等待进料，通过导料板400的水平移动，滑入对应的卡槽130内，通过储料仓100的上升，将框架500落入四个定位针140之内，持续上升后，转入下一工位加工。
对于本案所公开的内容，还有以下几点需要说明：
（1）、本案所公开的实施例附图只涉及到与本案所公开实施例所涉及到的结构，其他结构可参考通常设计；
（2）、在不冲突的情况下，本案所公开的实施例及实施例中的特征可以相互组合以得到新的实施例；
以上，仅为本案所公开的具体实施方式，但本公开的保护范围并不局限于此，本案所公开的保护范围应以权利要求的保护范围为准。
Claims (9)
1.铜框架传送装置，其特征在于，包括：
储料仓，两端分别设有水平进出料口，底部设有顶料口，内腔设有一对用于支撑框架的卡槽；所述储料仓通过设置其顶部的升降直线驱动机构实现上下往返运动；所述升降直线驱动机构通过水平直线驱动机构，实现不同工位之间转换；
导料板，水平滑动设置在相应工位台上，顶部设有与顶料口适配的顶料部，所述顶料部的端部设有限位部。
2.根据权利要求1所述的铜框架传送装置，其特征在于，所述卡槽内设有若干与框架适配的定位针。
3.根据权利要求2所述的铜框架传送装置，其特征在于，所述定位针的高度小于卡槽槽口高度的一半。
4.根据权利要求1所述的铜框架传送装置，其特征在于，一对所述卡槽之间设有压料滚轮；
所述储料仓上设有与之固定连接的支撑座，所述支撑座上设有竖向设置的滑槽；
所述压料滚轮通过连接臂上下滑动设置在滑槽内。
5.根据权利要求1所述的铜框架传送装置，其特征在于，所述升降直线驱动机构为升降气缸、升降油缸或升降电动推杆。
6.根据权利要求1所述的铜框架传送装置，其特征在于，所述导料板呈板状。
7.根据权利要求1所述的铜框架传送装置，其特征在于，所述导料板通过底部设置的导料直线驱动机构驱动其在工位台上水平往返滑动。
8.根据权利要求7所述的铜框架传送装置，其特征在于，所述导料直线驱动机构驱动为导料气缸，固定设置在工位台内，其活塞杆端与导料板的底部固定连接。
9.根据权利要求1所述的铜框架传送装置，其特征在于，所述导料板的宽度小于顶料口的宽度。
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2023
- 2023-07-25 CN CN202321966245.0U patent/CN220306230U/zh active Active
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