CN220300922U - 一种扩散炉尾排改善机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及扩散炉技术领域，具体为一种扩散炉尾排改善机构，包括第一连接管、第二连接管、安装头和尾排接管，所述第一连接管和第二连接管相互连通设置，且第一连接管的端部和第二连接管的端部均设置有安装头，安装头上连接有尾排接管，连接尾排气体，所述第一连接管和第二连接管相互垂直设置，形成三通管结构，且第二连接管位于第一连接管的中部。该扩散炉尾排改善机构通过第一连接管和第二连接管的组合替换原有尾排机构上的三通阀，且第一连接管和第二连接管内设置有可移动的清理圈，方便对第一连接管和第二连接管内的堵塞物进行清理，并且第一连接管和第二连接管可选用比尾排管内径较大的管体，保证气体的顺利通过。

Description

一种扩散炉尾排改善机构

技术领域

本实用新型涉及扩散炉技术领域，具体为一种扩散炉尾排改善机构。

背景技术

扩散炉是一种半导体的生产加工用具，是太阳能行业的主要设备之一，太阳能电池的制造需要经过制绒、扩散、刻蚀、氧化、镀膜、丝网印刷和烧结测试这七大工序，高温扩散炉的尾排反应腔室内反应的气体和产生的一些固态颗粒随尾排一起通过真空泵经冷却瓶抽出，由于尾排抽出气体在管道中冷却、冷凝会产生固态物质，在尾排三通接头中很容易发生堵塞，尾排接头堵塞极易造成泵速异常，容易造成后续返工，现有且尾排结构在堵塞后需要将其拆下进行清理维护，操作较为繁琐。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种扩散炉尾排改善机构，以解决上述背景技术提出的温扩散炉的尾排反应腔室内反应的气体和产生的一些固态颗粒随尾排一起通过真空泵经冷却瓶抽出，由于尾排抽出气体在管道中冷却、冷凝会产生固态物质，在尾排三通接头中很容易发生堵塞，尾排接头堵塞极易造成泵速异常，容易造成后续返工，现有且尾排结构在堵塞后需要将其拆下进行清理维护的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种扩散炉尾排改善机构，包括第一连接管、第二连接管、安装头和尾排接管，所述第一连接管和第二连接管相互连通设置，且第一连接管的端部和第二连接管的端部均设置有安装头，安装头上连接有尾排接管，连接尾排气体，所述第一连接管和第二连接管相互垂直设置，形成三通管结构，且第二连接管位于第一连接管的中部，并且第二连接管的下方设置有辅助罩，所述辅助罩固定在第一连接管的下方，且辅助罩的内部和第一连接管的内部相互连通设置，第一连接管和第二连接管内的杂质和堵塞物可通过辅助罩排出，所述辅助罩的下方可拆卸连接有安装块，对辅助罩的下方开口进行封堵，所述第一连接管的端部和第二连接管的端部均设置有清理圈，且清理圈的外侧和第一连接管以及第二连接管的内壁贴合，在移动时可对第一连接管和第二连接管进行清理，所述清理圈的内侧固定有连接板，且连接板的中部固定有控制绳，所述控制绳的端部和安装块相连接，通过安装块的移动拉动控制绳移动，所述连接板的外端设置有回拉辅助机构，为连接板和清理圈提供回拉复位力。

进一步优化本技术方案，所述安装块和辅助罩之间构成螺纹连接，且安装块的下端呈正多边形结构设计，用于辅助控制安装块的旋转，后续可通过旋转的方式将安装块从辅助罩上取下。

进一步优化本技术方案，所述第一连接管的内部设置有两组清理圈，两组清理圈关于第一连接管的中心左右对称设置。

进一步优化本技术方案，所述第一连接管的内部安装有引导轴，且引导轴和控制绳相贴合，对控制绳提供转向的支撑。使后续安装块能稳定带动控制绳移动。

进一步优化本技术方案，所述回拉辅助机构包括回拉绳和自动收卷机构；

回拉绳，固定在连接板的外端为连接板提供回拉力；

自动收卷机构，和回拉绳相连接控制回拉绳的收卷。

进一步优化本技术方案，所述自动收卷机构包括固定座、收卷轴和扭力弹簧；

固定座，设置在连接板的外侧，且固定座通过边侧的支撑柱和第一连接管以及第二连接管固定连接；

收卷轴，设置在固定座的内部和固定座之间构成转动连接，且收卷轴的表面缠绕有回拉绳，通过收卷轴的旋转对回拉绳进行收卷和放卷；

扭力弹簧，安装在收卷轴的端部为收卷轴提供旋转复位力。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

该扩散炉尾排改善机构通过第一连接管和第二连接管的组合替换原有尾排机构上的三通阀，且第一连接管和第二连接管内设置有可移动的清理圈，方便对第一连接管和第二连接管内的堵塞物进行清理，并且第一连接管和第二连接管可选用比尾排管内径较大的管体，保证气体的顺利通过；

该扩散炉尾排改善机构在第一连接管和第二连接管内发生堵塞时可通过将安装块拆下拉动安装块控制清理圈的移动，使清理圈能对第一连接管和第二连接管内的杂质进行去除，且清理出的杂质可直接通过辅助罩排出，后续不需要拆卸整个管体，处理更加方便。

附图说明

图1为本实用新型立体结构示意图；

图2为本实用新型安装块取下示意图；

图3为本实用新型第一连接管侧视结构示意图；

图4为本实用新型第一连接管内部结构示意图；

图5为本实用新型固定座俯剖结构示意图。

图中：1、第一连接管；2、第二连接管；3、安装头；4、尾排接管；5、辅助罩；6、安装块；7、固定座；8、清理圈；9、连接板；10、回拉绳；11、收卷轴；12、扭力弹簧；13、控制绳；14、引导轴。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-图5，本实用新型提供一种技术方案：一种扩散炉尾排改善机构，包括第一连接管1、第二连接管2、安装头3和尾排接管4，第一连接管1和第二连接管2相互连通设置，且第一连接管1的端部和第二连接管2的端部均设置有安装头3，安装头3上连接有尾排接管4，连接尾排气体，第一连接管1和第二连接管2相互垂直设置，形成三通管结构，且第二连接管2位于第一连接管1的中部，并且第二连接管2的下方设置有辅助罩5，辅助罩5固定在第一连接管1的下方，且辅助罩5的内部和第一连接管1的内部相互连通设置，第一连接管1和第二连接管2内的杂质和堵塞物可通过辅助罩5排出，辅助罩5的下方可拆卸连接有安装块6，对辅助罩5的下方开口进行封堵，第一连接管1的端部和第二连接管2的端部均设置有清理圈8，且清理圈8的外侧和第一连接管1以及第二连接管2的内壁贴合，在移动时可对第一连接管1和第二连接管2进行清理，清理圈8的内侧固定有连接板9，且连接板9的中部固定有控制绳13，控制绳13的端部和安装块6相连接，通过安装块6的移动拉动控制绳13移动，连接板9的外端设置有回拉辅助机构，为连接板9和清理圈8提供回拉复位力，安装块6和辅助罩5之间构成螺纹连接，且安装块6的下端呈正多边形结构设计，用于辅助控制安装块6的旋转，后续可通过旋转的方式将安装块6从辅助罩5上取下；

将原扩散炉上尾排管和三通管连接的管道通过尾排接管4和安装头3相连接，通过第一连接管1和第二连接管2的组合代替原本的三通管，扩大三通管内径使其不易发生堵塞，后续即使第一连接管1和第二连接管2内发生堵塞，也可通过清理圈8的移动将其进行快速的清理，且清理无需拆下第一连接管1和第二连接管2，使用更加方便。

第一连接管1的内部设置有两组清理圈8，两组清理圈8关于第一连接管1的中心左右对称设置，第一连接管1的内部安装有引导轴14，且引导轴14和控制绳13相贴合，对控制绳13提供转向的支撑。使后续安装块6能稳定带动控制绳13移动，回拉辅助机构包括回拉绳10和自动收卷机构，回拉绳10，固定在连接板9的外端为连接板9提供回拉力，自动收卷机构，和回拉绳10相连接控制回拉绳10的收卷，自动收卷机构包括固定座7、收卷轴11和扭力弹簧12，固定座7，设置在连接板9的外侧，且固定座7通过边侧的支撑柱和第一连接管1以及第二连接管2固定连接，收卷轴11，设置在固定座7的内部和固定座7之间构成转动连接，且收卷轴11的表面缠绕有回拉绳10，通过收卷轴11的旋转对回拉绳10进行收卷和放卷，扭力弹簧12，安装在收卷轴11的端部为收卷轴11提供旋转复位力；

在需要清理第一连接管1和第二连接管2的内部时，可旋转安装块6，解除安装块6和辅助罩5之间的螺纹连接，然后拉动安装块6，使其通过控制绳13拉动连接板9和清理圈8进行移动，使清理圈8对第一连接管1和第二连接管2内的杂质进行处理，且清理出的杂质将通过辅助罩5向外排出，然后将安装块6安装回原位置，扭力弹簧12可带动收卷轴11进行旋转，将回拉绳10进行收卷，使回拉绳10拉动连接板9和清理圈8进行复位，方便进行下一次的清理作业。

本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。

尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种扩散炉尾排改善机构，包括第一连接管（1）、第二连接管（2）、安装头（3）和尾排接管（4），所述第一连接管（1）和第二连接管（2）相互连通设置，且第一连接管（1）的端部和第二连接管（2）的端部均设置有安装头（3），安装头（3）上连接有尾排接管（4），连接尾排气体；

其特征在于：所述第一连接管（1）和第二连接管（2）相互垂直设置，形成三通管结构，且第二连接管（2）位于第一连接管（1）的中部，并且第二连接管（2）的下方设置有辅助罩（5），所述辅助罩（5）固定在第一连接管（1）的下方，且辅助罩（5）的内部和第一连接管（1）的内部相互连通设置，第一连接管（1）和第二连接管（2）内的杂质和堵塞物可通过辅助罩（5）排出，所述辅助罩（5）的下方可拆卸连接有安装块（6），对辅助罩（5）的下方开口进行封堵，所述第一连接管（1）的端部和第二连接管（2）的端部均设置有清理圈（8），且清理圈（8）的外侧和第一连接管（1）以及第二连接管（2）的内壁贴合，在移动时可对第一连接管（1）和第二连接管（2）进行清理，所述清理圈（8）的内侧固定有连接板（9），且连接板（9）的中部固定有控制绳（13），所述控制绳（13）的端部和安装块（6）相连接，通过安装块（6）的移动拉动控制绳（13）移动，所述连接板（9）的外端设置有回拉辅助机构，为连接板（9）和清理圈（8）提供回拉复位力。

2.根据权利要求1所述的一种扩散炉尾排改善机构，其特征在于：所述安装块（6）和辅助罩（5）之间构成螺纹连接，且安装块（6）的下端呈正多边形结构设计，用于辅助控制安装块（6）的旋转。

3.根据权利要求1所述的一种扩散炉尾排改善机构，其特征在于：所述第一连接管（1）的内部设置有两组清理圈（8），两组清理圈（8）关于第一连接管（1）的中心左右对称设置。

4.根据权利要求1或3所述的一种扩散炉尾排改善机构，其特征在于：所述第一连接管（1）的内部安装有引导轴（14），且引导轴（14）和控制绳（13）相贴合，对控制绳（13）提供转向的支撑，使后续安装块（6）能稳定带动控制绳（13）移动。

5.根据权利要求1所述的一种扩散炉尾排改善机构，其特征在于：所述回拉辅助机构包括回拉绳（10）和自动收卷机构；

回拉绳（10），固定在连接板（9）的外端为连接板（9）提供回拉力；

自动收卷机构，和回拉绳（10）相连接控制回拉绳（10）的收卷。

6.根据权利要求5所述的一种扩散炉尾排改善机构，其特征在于：所述自动收卷机构包括固定座（7）、收卷轴（11）和扭力弹簧（12）；

固定座（7），设置在连接板（9）的外侧，且固定座（7）通过边侧的支撑柱和第一连接管（1）以及第二连接管（2）固定连接；

收卷轴（11），设置在固定座（7）的内部和固定座（7）之间构成转动连接，且收卷轴（11）的表面缠绕有回拉绳（10），通过收卷轴（11）的旋转对回拉绳（10）进行收卷和放卷；

扭力弹簧（12），安装在收卷轴（11）的端部为收卷轴（11）提供旋转复位力。