CN220290783U - 一种晶圆夹持操作平台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种晶圆夹持操作平台，涉及晶圆夹持平台技术领域，包括夹持操作平台、左夹持结构和右夹持结构，所述夹持操作平台的上端面中部设置有安装板，且安装板的中部上设置有第一伸缩气缸，并且第一伸缩气缸的上端固定有顶板，所述夹持操作平台的上端面左右两部均固定有多组支撑腿,且支撑腿的上端固定有安装座，并且左右两边的两组安装座上分别安装有左夹持结构和右夹持结构；所述第一伸缩气缸为伸缩结构，且第一伸缩气缸上端的顶板在垂直方向升降活动，所述左夹持结构上设置有固定座,固定座内后部安装有第一电机。本实用新型方便稳定夹持晶圆，方便带动其进行翻转，而且夹持加工安全稳定，有助于保障加工品质，使用更安全可靠。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆夹持平台技术领域，具体涉及一种晶圆夹持操作平台。
背景技术
半导体制造工艺中，晶圆需要被匀胶、光刻，在进行上述工艺前后，需将竖直存放于晶圆储存盒或水平存放于玻璃器皿中的晶圆取出，晶圆大规模生产过程中，需要每一步操作都能快速、节省时间，晶圆由于厚度薄、易碎，普通镊子夹取晶圆过程中常需要慢慢小心夹取。在对比文件“CN110993555A一种晶圆夹持装置”的说明书中提及“所述夹持臂的侧面设有吸气口，所述夹持臂内部安装有与所述吸气口相连的抽气机构；所述连接组件包括与所述夹持臂底部固接的竖轴、与所述竖轴垂直固接的横轴以及设于所述横轴外围的圆环，所述圆环能够以横轴为中心转动；所述晶圆夹钩安装于所述圆环且能够相对圆环移动”，但是对比文件中的晶圆夹持装置采用夹钩结构，导致在进行在对晶圆加工时夹持不够稳固，容易发生滑动，影响加工的质量，并不安全实用。
实用新型内容
为克服现有技术所存在的缺陷，现提供一种晶圆夹持操作平台，以解决对比文件中的晶圆夹持装置采用夹钩结构，导致在进行在对晶圆加工时夹持不够稳固，容易发生滑动，影响加工的质量，并不安全实用的问题。
为实现上述目的，提供一种晶圆夹持操作平台，包括夹持操作平台、左夹持结构和右夹持结构，所述夹持操作平台的上端面中部设置有安装板，且安装板的中部上设置有第一伸缩气缸，并且第一伸缩气缸的上端固定有顶板，所述夹持操作平台的上端面左右两部均固定有多组支撑腿,且支撑腿的上端固定有安装座，并且左右两边的两组安装座上分别安装有左夹持结构和右夹持结构。
进一步的，所述第一伸缩气缸为伸缩结构，且第一伸缩气缸上端的顶板在垂直方向升降活动。
进一步的，所述左夹持结构上设置有固定座,固定座内后部安装有第一电机，且固定座的前部设置有凹槽,并且凹槽内设置有多组滚珠，同时凹槽内中心设置有第二伸缩气缸，且第二伸缩气缸的后端安装在第一电机的前端内。
进一步的，所述第二伸缩气缸的前部设置有导套，且导套内套置有弹簧，并且第二伸缩气缸的前端固定在夹板的后端中心。
进一步的，所述夹板的前侧设置有内贴合弧形板，且内贴合弧形板采用半圆弧结构，并且内贴合弧形板采用PC塑料材质。
进一步的，所述左夹持结构和右夹持结构关于夹持操作平台的中心线呈左右对称，且右夹持结构与左夹持结构的结构设置相同。
本实用新型的有益效果在于：
1.本实用新型中顶板用于放置晶圆，通过第一伸缩气缸将其顶升起来，以便左右两侧的左夹持结构和右夹持结构对顶板上的晶圆进行稳定夹持。
2.本实用新型中通过第一电机可转动第二伸缩气缸，方便翻转第二伸缩气缸和夹板，从而达到翻转晶圆的目的，而且通过第二伸缩气缸的伸缩活动可带动夹板前后移动，方便对顶板上的晶圆进行夹持，适用于夹持不同尺寸的晶圆，更广泛实用。
3.本实用新型中左夹持结构和右夹持结构是左右相配合设置，方便对顶板上的晶圆进行稳定夹持，而且夹板内侧的内贴合弧形板可更好的贴合在晶圆的外环面，夹持更安全稳固，使用安全可靠。
附图说明
图1为本实用新型实施例的正视示意图；
图2为本实用新型实施例的俯视示意图；
图3为本实用新型实施例的剖面示意图；
图4为本实用新型实施例的左夹持结构示意图。
图中：1、夹持操作平台；10、第一伸缩气缸；11、安装板；12、顶板；13、支撑腿；14、安装座；2、左夹持结构；20、第一电机；21、凹槽；22、滚珠；23、第二伸缩气缸；24、导套；25、弹簧；26、夹板；27、固定座；28、内贴合弧形板；3、右夹持结构。
具体实施方式
为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果能更清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进一步详细说明。此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型，提出诸如特定系统结构、技术之类的具体细节，以便更加透彻地理解本实用新型实施例。所描述的实施例是本公开一部分实施例，而不是全部的实施例。然而，本领域的技术人员应当清楚，在没有这些具体细节的其它实施例中也可以实现本实用新型。基于本公开中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。
下面结合附图来详细描述本实用新型的具体实施方式。
图1为本实用新型实施例的正视示意图、图2为本实用新型实施例的俯视示意图、图3为本实用新型实施例的剖面示意图和图4为本实用新型实施例的左夹持结构示意图。
参照图1至图4所示，本实用新型提供了一种晶圆夹持操作平台，包括夹持操作平台1、左夹持结构2和右夹持结构3，夹持操作平台1的上端面中部设置有安装板11，且安装板11的中部上设置有第一伸缩气缸10，并且第一伸缩气缸10的上端固定有顶板12，夹持操作平台1的上端面左右两部均固定有多组支撑腿13,且支撑腿13的上端固定有安装座14，并且左右两边的两组安装座14上分别安装有左夹持结构2和右夹持结构3。
在本实施例中，第一伸缩气缸10为伸缩结构，且第一伸缩气缸10上端的顶板12在垂直方向升降活动。
作为一种较佳的实施方式，本实用新型中顶板12用于放置晶圆，通过第一伸缩气缸10将其顶升起来，以便左右两侧的左夹持结构2和右夹持结构3对顶板12上的晶圆进行稳定夹持。
在本实施例中，左夹持结构2上设置有固定座27,固定座27内后部安装有第一电机20，且固定座27的前部设置有凹槽21,并且凹槽21内设置有多组滚珠22，同时凹槽21内中心设置有第二伸缩气缸23，且第二伸缩气缸23的后端安装在第一电机20的前端内；第二伸缩气缸23的前部设置有导套24，且导套24内套置有弹簧25，并且第二伸缩气缸23的前端固定在夹板26的后端中心。
作为一种较佳的实施方式，本实用新型中通过第一电机20可转动第二伸缩气缸23，方便翻转第二伸缩气缸23和夹板26，从而达到翻转晶圆的目的，而且通过第二伸缩气缸23的伸缩活动可带动夹板26前后移动，方便对顶板12上的晶圆进行夹持，适用于夹持不同尺寸的晶圆，更广泛实用。
在本实施例中，第二伸缩气缸23的前部设置有导套24，且导套24内套置有弹簧25，并且第二伸缩气缸23的前端固定在夹板26的后端中心；左夹持结构2和右夹持结构3关于夹持操作平台1的中心线呈左右对称，且右夹持结构3与左夹持结构2的结构设置相同。
作为一种较佳的实施方式，本实用新型中左夹持结构2和右夹持结构3是左右相配合设置，方便对顶板12上的晶圆进行稳定夹持，而且夹板26内侧的内贴合弧形板28可更好的贴合在晶圆的外环面，夹持更安全稳固，使用安全可靠。
本实用新型可有效解决对比文件中的晶圆夹持装置采用夹钩结构，导致在进行在对晶圆加工时夹持不够稳固，容易发生滑动，影响加工的质量，并不安全实用的问题，本实用新型方便稳定夹持晶圆，方便带动其进行翻转，而且夹持加工安全稳定，有助于保障加工品质，使用更安全可靠。
上述实施例用来解释说明本实用新型，而不是对实用新型进行限制，在本实用新型精神和申请保护权利要求范围内，对本实用新型做出的任何修改和改变，均应包含在本实用新型的保护范围。
Claims (6)
1.一种晶圆夹持操作平台，包括夹持操作平台(1)、左夹持结构(2)和右夹持结构(3)，其特征在于：所述夹持操作平台(1)的上端面中部设置有安装板(11)，且安装板(11)的中部上设置有第一伸缩气缸(10)，并且第一伸缩气缸(10)的上端固定有顶板(12)，所述夹持操作平台(1)的上端面左右两部均固定有多组支撑腿(13),且支撑腿(13)的上端固定有安装座(14)，并且左右两边的两组安装座(14)上分别安装有左夹持结构(2)和右夹持结构(3)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆夹持操作平台，其特征在于，所述第一伸缩气缸(10)为伸缩结构，且第一伸缩气缸(10)上端的顶板(12)在垂直方向升降活动。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆夹持操作平台，其特征在于，所述左夹持结构(2)上设置有固定座(27),固定座(27)内后部安装有第一电机(20)，且固定座(27)的前部设置有凹槽(21),并且凹槽(21)内设置有多组滚珠(22)，同时凹槽(21)内中心设置有第二伸缩气缸(23)，且第二伸缩气缸(23)的后端安装在第一电机(20)的前端内。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆夹持操作平台，其特征在于，所述第二伸缩气缸(23)的前部设置有导套(24)，且导套(24)内套置有弹簧(25)，并且第二伸缩气缸(23)的前端固定在夹板(26)的后端中心。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆夹持操作平台，其特征在于，所述夹板(26)的前侧设置有内贴合弧形板(28)，且内贴合弧形板(28)采用半圆弧结构，并且内贴合弧形板(28)采用PC塑料材质。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆夹持操作平台，其特征在于，所述左夹持结构(2)和右夹持结构(3)关于夹持操作平台(1)的中心线呈左右对称，且右夹持结构(3)与左夹持结构(2)的结构设置相同。
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