CN220288961U - 一种光栅表面衍射周期均一性的快速测量系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种光栅表面衍射周期均一性的快速测量系统，系统包括基材治具、激光器、第一光束转换部件、第二光束转换部件。基材治具置于设定位置，用于放置待测光栅样品；激光器发射单个细光束，单个细光束经第一光束转换部件后变为多个细光束，多个细光束依次经过第二光束转换部件后作为入射光束打在待测光栅样品表面当前区域的测量点位；基材治具转动带动待测光栅样品旋转至特定位置，从而确定待测光栅样品表面当前区域的测量点位的衍射周期。在基材治具上每次移动待测光栅样品后，可以实现光栅表面部分区域内测量点位的衍射周期的测量，满足快速实现对同等条件下光栅表面区域周期进行均一性测试的需求。

Description

一种光栅表面衍射周期均一性的快速测量系统

技术领域

本实用新型属于光栅测量技术领域，具体涉及一种光栅表面衍射周期均一性的快速测量系统。

背景技术

衍射光栅是可以实现对光进行衍射的光学装置。衍射光栅包含周期性结构，可以引起空间振幅或者相位变化。该类光学原件被广泛应用于各类集成光学、光学全息、光学频谱分析、光通信系统、AR/VR等光学显示领域。在衍射光栅的应用场合中，对其光学周期的加工精度有极高的要求，此外，光栅表面衍射周期的一致性也是亟待考量的指标之一。

目前一般选用衍射法进行光栅表面衍射周期的测量。现有的测试方案，一般选用单束激光对光栅表面衍射周期进行点对点测量，即依次将单束激光打在光栅表面的测量点位进行衍射周期的测量，当前测量点位测试完成后需要重新移动光栅样品进行下一个测量点位的测量，现有测试方案无法满足快速实现对同等条件下光栅表面区域周期进行均一性测试的需求。

实用新型内容

为了满足现有技术的需要，本实用新型提供一种光栅表面衍射周期均一性的快速测量系统。

本实用新型提供一种光栅表面衍射周期均一性的快速测量系统，包括基材治具、激光器、第一光束转换部件、第二光束转换部件；

所述基材治具置于设定位置，用于放置待测光栅样品；

所述激光器发射单个细光束，单个细光束经所述第一光束转换部件后变为多个细光束，多个细光束依次经过第二光束转换部件后作为入射光束打在待测光栅样品表面当前区域的测量点位；

所述基材治具转动以带动所述待测光栅样品旋转至特定位置，从而确定所述待测光栅样品表面当前区域的测量点位的衍射周期；

所述特定位置为设定级次的衍射光与当前入射光束重合的位置。

进一步的，所述第一光束转换部件包括扩束镜和第一透光板；

单个所述细光束经过所述扩束镜后变为单个宽光束，单个所述宽光束经所述第一透光板后变为多个所述细光束。

进一步的，所述第一透光板上设置多个第一透光孔；

单个所述宽光束分别入射多个所述第一透光孔后得到与第一透光孔数目对应的多个细光束。

进一步的，所述第二光束转换部件包括驱动部件以及第二透光板，所述驱动部件与所述第二透光板连接；

所述驱动部件带动所述第二透光板旋转，使得多个细光束依次经过第二透光板后作为入射光束打在待测光栅样品表面当前区域的测量点位。

进一步的，所述驱动组件包括驱动电机和从动轴；所述第二透光板上设置一个第二透光孔；

所述驱动电机与所述从动轴连接，所述从动轴与所述第二透光板连接；

所述驱动电机通过从动轴带动所述第二透光板转动，使得多个所述细光束依次经过所述第二透光孔后作为入射光束打在待测光栅样品表面当前区域的测量点位。

进一步的，还包括控制器；

所述驱动电机与所述控制器通信连接；

所述控制器控制驱动电机的转速使得第二透光板以设定速度旋转，确保多个所述细光束依次经过所述第二透光孔后作为入射光束打在待测光栅样品表面当前区域的测量点位。

进一步的，所述基材治具包括转台；

所述转台转动以带动所述待测光栅样品旋转至所述特定位置，通过转台的旋转角度获取待测光栅样品表面当前区域内当前测量点位的衍射角与入射角，并基于光栅方程，确定待测光栅表面当前区域内当前测量点位的衍射周期。

进一步的，所述控制器与所述转台通信连接；

所述控制器控制所述转台转动。

进一步的，所述基材治具还包括角位台；

在所述转台转动以带动所述待测光栅样品旋转至所述特定位置之前，调整所述角位台以及转台对所述待测光栅样品进行姿态调节，使得当前入射光束的反射光与当前入射光束重合。

进一步的，所述基材治具还包括横向滑轨和纵向滑轨；

在所述确定待测光栅样品表面当前区域的测量点位的衍射周期之后，

滑动所述横向滑轨以及纵向滑轨以移动所述待测光栅样品的位置，将多个所述细光束作为入射光束依次打在待测光栅样品表面下一区域的测量点位，

所述转台转动以带动所述待测光栅样品旋转至所述特定位置，从而确定所述待测光栅样品表面下一区域的测量点位的衍射周期。

进一步的，还包括角度感应箱体、信号处理器以及计算机；

所述角度感应箱体与所述信号处理器通信连接，所述信号处理器与所述计算机通信连接；

所述角度感应箱体内放置所述驱动部件、第二透光板以及设置待测光栅样品的基材治具；

所述角度感应箱体靠近第二透光板一侧开设一个第三透光孔；多个所述细光束依次经过所述第三透光孔后入射所述第二透光孔作为入射光束打在待测光栅样品表面当前区域内的测量点位；

在基材治具转动以带动所述待测光栅样品旋转的过程中，所述角度感应箱体感应所述特定位置的衍射角的模拟信号信息，将所述模拟信号信息发送给信号处理器；

所述信号处理器将所述模拟信号处理为数字信号信息，并将数字信号信息发送给计算机；

所述计算机接收所述数字信号信息，解析得到待测光栅样品表面当前区域内当前测量点位的衍射角以及入射角，并基于利用光栅方程构建的衍射周期计算模型确定待测光栅表面当前区域内当前测量点位的衍射周期。

进一步的，所述扩束镜的尺寸不小于所述第一透光板的尺寸。

进一步的，所述第一透光孔在第一透光板上呈圆周分布。

和现有技术比，本实用新型的技术方案具有如下有益效果：

本实用新型提供一种光栅表面衍射周期均一性的快速测量系统，包括基材治具、激光器、第一光束转换部件、第二光束转换部件。基材治具置于设定位置，用于放置待测光栅样品；激光器发射单个细光束，单个细光束经第一光束转换部件后变为多个细光束，多个细光束依次经过第二光束转换部件后作为入射光束打在待测光栅样品表面当前区域的测量点位；基材治具转动带动待测光栅样品旋转至特定位置，从而确定待测光栅样品表面当前区域的测量点位的衍射周期。在基材治具上每次移动待测光栅样品后，可以实现光栅表面部分区域内测量点位的衍射周期的测量，满足快速实现对同等条件下光栅表面区域周期进行均一性测试的需求。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例1的光栅表面衍射周期均一性的快速测量系统的结构示意图；

图2为本实用新型实施例2的光栅表面衍射周期均一性的快速测量系统的结构示意图；

图3为本实用新型实施例2中角度感应箱体、信号处理器以及计算机的通信连接示意图。

其中，1-激光器，2-待测光栅样品，3-扩束镜，4-第一透光板，4-1-第一透光孔，5-第二透光板，6-驱动部件，7-控制器，8-1-转台，8-2-角位台，8-3-横向滑轨，8-4-竖向滑轨，9-角度感应箱体，10-信号处理器，11-计算机。

具体实施方式

下面将结合本实用新型的实施例，对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本文中，术语“第一”、“第二”和其它类似词语并不意在暗示任何顺序、数量和重要性，而是仅仅用于对不同的元件进行区分。在本文中，术语“一”、“一个”和其它类似词语并不意在表示只存在一个所述事物，而是表示有关描述仅仅针对所述事物中的一个，所述事物可能具有一个或多个。在本文中，术语“包含”、“包括”和其它类似词语意在表示逻辑上的相互关系，而不能视作表示空间结构上的关系。例如，“A包括B”意在表示在逻辑上B属于A，而不表示在空间上B位于A的内部。另外，术语“包含”、“包括”和其它类似词语的含义应视为开放性的，而非封闭性的。例如，“A包括B”意在表示B属于A，但是B不一定构成A的全部，A还可能包括C、D、E等其它元素。

在本文中，术语“实施例”、“本实施例”、“优选实施例”、“一个实施例”并不表示有关描述仅仅适用于一个特定的实施例，而是表示这些描述还可能适用于另外一个或多个实施例中。本领域技术人员应理解，在本文中，任何针对某一个实施例所做的描述都可以与另外一个或多个实施例中的有关描述进行替代、组合、或者以其它方式结合，所述替代、组合、或者以其它方式结合所产生的新实施例是本领域技术人员能够容易想到的，属于本实用新型的保护范围。

在本文的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

本实用新型提供一种光栅表面衍射周期均一性的快速测量系统，如图1所示，系统包括基材治具、激光器1、第一光束转换部件、第二光束转换部件。

基材治具置于设定位置，用于放置待测光栅样品2。可先设定基材治具的放置位置，将基材治具放置在设定位置上，然后将待测光栅样品2放置在基材治具上，对于基材治具放置位置的设定，没有特殊要求，本领域技术人员可以根据方便选择设定。

激光器1发射单个细光束。激光器1采用现有激光器，示例性的，可以采用自准直激光器。

第一光束转换部件接收单个细光束，将单个细光束变为多个细光束。示例性的，第一光束转换部件包括扩束镜3和第一透光板4，第一透光板4上设置多个第一透光孔4-1。激光器1发射的单个细光束入射扩束镜3，扩束镜3将单个细光束变为单个宽光束，单个宽光束分别入射多个第一透光孔4-1，得到与第一透光孔4-1数目对应的多个细光束。这里的扩束镜3采用现有扩束镜即可。第一透光板4的尺寸设计，本领域技术人员可以自定义设计，但需要满足第一透光板4的尺寸小于或等于扩束镜3的尺寸。这里的第一透光板4可以采用圆形板材，圆形板材上圆周排布第一透光孔4-1。第一透光孔4-1的数目设计，本领域技术人员可以根据实际需要进行设定，而相邻第一透光孔4-1的间隔，本领域技术人员也可以自定义设计。

第二光束转换部件依次接收多个细光束，将多个细光束作为入射光束依次打在待测光栅样品表面当前区域的测量点位。示例性的，第二光束转换部件包括驱动部件6以及第二透光板5，驱动部件6与第二透光板5连接。驱动部件6带动第二透光板5旋转，使得多个细光束依次经过第二透光板5后作为入射光束打在待测光栅样品表面当前区域的测量点位。具体的，驱动组件6包括驱动电机和从动轴(图中未示出)，第二透光板5上设置一个第二透光孔(图中未示出)；驱动电机与从动轴连接，从动轴与第二透光板5连接；驱动电机通过从动轴带动第二透光板5转动，使得多个细光束依次经过第二透光孔后作为入射光束打在待测光栅样品表面当前区域的测量点位。

而为了提高系统自动化程度，也为了便于控制第二透光板5的转速，系统还包括控制器7，控制器7与驱动电机通信连接。采用控制器7控制驱动电机的转速控制第二透光板5的转速，便于准确控制第二透光板5的转速，以确保多个细光束依次经过第二透光孔后作为入射光束打在待测光栅样品表面当前区域的测量点位。

基材治具转动带动待测光栅样品2旋转至特定位置，从而确定待测光栅样品表面当前区域的测量点位的衍射周期。这里的特定位置为设定级次的衍射光与当前入射光束重合的位置。

具体的，基材治具包括堆叠设置的转台8-1、角位台8-2、横向滑轨8-3以及纵向滑轨8-4，转台8-1、角位台8-2、横向滑轨8-3以及纵向滑轨8-4对应采用现有部件即可。

在基材治具转动带动待测光栅样品2旋转至特定位置之前，通过调整角位台8-2以及转台8-1对待测光栅样品2进行姿态调节，使得当前入射光束的反射光与当前入射光束重合。从而保证当前入射光束与待测光栅样品2之间保持垂直状态，从而保证后续设定级次的衍射光与当前入射光束重合。

转台8-1转动以带动待测光栅样品2绕Z轴旋转至上述特定位置，从而确定待测光栅表面当前区域内当前测量点位的衍射周期。这里可以将控制器7与转台8-1通信连接，通过控制器7控制转台8-1旋转从而带动待测光栅样品2旋转。

对于确定待测光栅表面当前区域内当前测量点位的衍射周期，可通过转台8-1转动以带动待测光栅样品2旋转至上述特定位置时，基于转台8-1的旋转角度获取待测光栅样品表面当前区域内当前测量点位的衍射角与入射角，并根据光栅方程，确定待测光栅表面当前区域内当前测量点位的衍射周期。

具体的，转台8-1转动以带动待测光栅样品2旋转过程中，通过人眼判断设定级次的衍射光是否通过第二透光孔，当设定级次的衍射光通过第二透光孔，则说明设定级次的衍射光与当前入射光束重合(即位于上述特定位置)，此时，θ＝α＝-β，其中，θ表示转台8-1的旋转角度、α表示待测光栅样品表面当前区域内当前测量点位的入射角，β表示待测光栅样品表面当前区域内当前测量点位的衍射角，即获取待测光栅样品表面当前区域内当前测量点位的衍射角与入射角。对于转台8-1旋转角度的确定，这里可以先记录转台8-1旋转前的显示角度，然后记录设定级次的衍射光与当前入射光束重合时的转台8-1显示角度，两个角度作差即得到转台8-1的旋转角度θ。然后基于当前测量点位的衍射角与入射角，根据光栅方程mλ＝d(sinα±sinβ)，按照下述公式(1)手动计算确定待测光栅表面当前区域内当前测量点位的衍射周期。

其中，d表示待测光栅样品表面当前区域内当前测量点位的衍射周期，m表示衍射光的设定级次，λ表示波长，α表示待测光栅样品表面当前区域内当前测量点位的入射角，β表示待测光栅样品表面当前区域内当前测量点位的衍射角，θ表示转台的旋转角度。

作为优选实施方案，为了快速完成对光栅表面所有区域的测量点位的衍射周期的测量，在确定待测光栅样品表面当前区域的测量点位的衍射周期之后，调整上述横向滑轨8-3以及纵向滑轨8-4移动待测光栅样品，将多个细光束作为入射光束依次打在待测光栅样品表面下一区域的测量点位，确定待测光栅样品表面下一区域的测量点位的衍射周期。

如此重复，直至测量完成光栅表面所有区域的测量点位的衍射周期。

在上述确定待测光栅表面当前区域内当前测量点位的衍射周期的过程中，为了降低人工参与度，提高系统的自动化程度，如图2以及图3所示，系统进一步包括角度感应箱体9、信号处理器10以及计算机11。

角度感应箱体9与信号处理器10通信连接，信号处理器10与计算机11通信连接。

角度感应箱体9内放置上述驱动部件6、第二透光板5以及设置待测光栅样品2的基材治具。

角度感应箱体9靠近第二透光板5一侧开设一个第三透光孔(图中未示出)；多个细光束依次经过第三透光孔后入射第二透光孔作为入射光束打在待测光栅样品表面当前区域内的测量点位。

在转台8-1转动带动待测光栅样品旋转的过程中，角度感应箱体9感应上述特定位置的衍射角的模拟信号信息，将模拟信号信息发送给信号处理器10。示例性的，可以将角度感应箱体9设计为能够感应设定级次的衍射光，以及能够感应与设定级次的衍射光的衍射角绝对值相等的其他设定级次的衍射光，在设定级次的衍射光与当前入射光束重合，即设定级次的衍射光通过第二透光孔的情况下，角度感应箱体9即可以感应到与设定级次的衍射光的衍射角绝对值相等的其他设定级次的衍射光的衍射角，从而可以得到设定级次的衍射光与当前入射光束重合状态时的衍射角的模拟信号信息。示例性的，这里的角度感应箱体9可以通过角度传感器进行构建。

信号处理器10将模拟信号处理为数字信号信息，并将数字信号信息发送给计算机11。示例性的，这里的信号处理器10可以采用A/D转换器。

计算机11接收数字信号信息，解析得到待测光栅样品表面当前区域内当前测量点位的衍射角，且得到待测光栅样品表面当前区域内当前测量点位的入射角，并基于利用光栅方程构建的衍射周期计算模型确定待测光栅表面当前区域内当前测量点位的衍射周期。

其中，利用光栅方程构建衍射周期如下计算模型：

其中，d表示待测光栅样品表面当前区域内当前测量点位的衍射周期，m表示衍射光的设定级次，λ表示波长，β表示待测光栅样品表面当前区域内当前测量点位的衍射角。

下面以衍射光的设定级次为+1级次为例，给出利用上述光栅表面衍射周期均一性的快速测量系统对光栅表面衍射周期进行测量的两个实施例。

实施例1

K1设定基材治具的放置位置，将待测光栅样品置于基材治具上。

K2激光器发射的单个细光束入射扩束镜，扩束镜将单个细光束变为单个宽光束，单个宽光束入射第一透光板的多个第一透光孔，单个宽光束经第一透光板上的多个第一透光孔后变为多个细光束。

K3驱动部件驱动第二透光板转动，使得第二透光板上的第二透光孔进行转动，通过控制器控制驱动部件进而控制第二透光板的转速，使得多个细光束依次经过第二透光孔后作为入射光束打在待测光栅样品表面当前区域内的测量点位。

K4调整基材治具的角位台以及转台对待测光栅样品进行姿态调节，使得当前入射光束的反射光与当前入射光束重合。

K5转动基材治具的转台，使得待测光栅样品围绕Z轴进行旋转，直至+1级次的衍射光与当前入射光束重合，可通过人眼判断+1级次的衍射光是否通过第二透光孔，若+1级次的衍射光通过第二透光孔，则确定+1级次的衍射光与当前入射光束重合。此时，θ＝α＝-β，其中，θ表示转台的旋转角度、α表示待测光栅样品表面当前区域内当前测量点位的入射角，β表示待测光栅样品表面当前区域内当前测量点位的衍射角。

K6获取转台的旋转角度θ，即得到待测光栅样品表面当前区域内当前测量点位的入射角α或者衍射角β。

K7将当前测量点位的衍射角、当前测量点位的入射角、衍射光的设定级次、波长带入光栅方程mλ＝d(sinα±sinβ)，手动按如下公式直接进行计算：

其中，d表示待测光栅样品表面当前区域内当前测量点位的衍射周期，λ表示波长，α表示待测光栅样品表面当前区域内当前测量点位的入射角，β表示待测光栅样品表面当前区域内当前测量点位的衍射角，θ表示转台的旋转角度。

K8调整基材治具的横向滑轨以及纵向滑轨移动待测光栅样品，将多个上述细光束作为入射光束依次打在待测光栅样品表面下一区域的测量点位,确定待测光栅样品表面下一区域的测量点位的衍射周期。如此重复，直至测量完成光栅表面所有区域的测量点位的衍射周期。

实施例2

M1设定基材治具的放置位置，将待测光栅样品置于基材治具上。

M2激光器发射的单个细光束入射扩束镜，扩束镜将单个细光束变为单个宽光束，单个宽光束入射第一透光板的多个第一透光孔，单个宽光束经第一透光板上的多个第一透光孔后变为多个细光束。

M3驱动部件驱动第二透光板转动，使得第二透光板上的第二透光孔进行转动，通过控制器控制驱动部件进而控制第二透光板的转速，使得多个细光束依次经过第二透光孔后作为入射光束打在待测光栅样品表面当前区域内的测量点位。

M4调整基材治具的角位台以及转台对待测光栅样品进行姿态调节，使得当前入射光束的反射光与当前入射光束重合。

M5转动基材治具的转台，使得待测光栅样品围绕Z轴进行旋转。

M6采用角度感应箱体感应设定级次的衍射光与当前入射光束重合状态时的衍射角的模拟信号信息，将模拟信号信息发送给信号处理器。

信号处理器将模拟信号处理为数字信号信息，并将数字信号信息发送给计算机。

计算机接收数字信号信息，解析得到待测光栅样品表面当前区域内当前测量点位的衍射角。

M7以当设定级次的衍射光与当前入射光束重合状态下，在计算机内利用光栅方程构建的衍射周期如下计算模型确定待测光栅表面当前区域内当前测量点位的衍射周期：

其中，d表示待测光栅样品表面当前区域内当前测量点位的衍射周期，λ表示波长，β表示待测光栅样品表面当前区域内当前测量点位的衍射角；

将待测光栅样品表面当前区域内当前测量点位的衍射角输入上述计算模型，即得到待测光栅表面当前区域内当前测量点位的衍射周期。

M8调整基材治具的横向滑轨以及纵向滑轨移动待测光栅样品，将多个上述细光束作为入射光束依次打在待测光栅样品表面下一区域的测量点位,确定待测光栅样品表面下一区域的测量点位的衍射周期。如此重复，直至测量完成光栅表面所有区域的测量点位的衍射周期。

以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非对其限制，尽管参照上述实施例对本实用新型进行了详细的说明，所属领域的普通技术人员依然可以对本实用新型的具体实施方式进行修改或者等同替换，这些未脱离本实用新型精神和范围的任何修改或者等同替换，均在申请待批的本实用新型的权利要求保护范围之内。

Claims (13)

1.一种光栅表面衍射周期均一性的快速测量系统，其特征在于，包括基材治具、激光器、第一光束转换部件、第二光束转换部件；

所述基材治具置于设定位置，用于放置待测光栅样品；

所述激光器发射单个细光束，单个细光束经所述第一光束转换部件后变为多个细光束，多个细光束依次经过第二光束转换部件后作为入射光束打在待测光栅样品表面当前区域的测量点位；

所述基材治具转动以带动所述待测光栅样品旋转至特定位置，从而确定所述待测光栅样品表面当前区域的测量点位的衍射周期；

所述特定位置为设定级次的衍射光与当前入射光束重合的位置。

2.根据权利要求1所述的光栅表面衍射周期均一性的快速测量系统，其特征在于，

所述第一光束转换部件包括扩束镜和第一透光板；

单个所述细光束经过所述扩束镜后变为单个宽光束，单个所述宽光束经所述第一透光板后变为多个所述细光束。

3.根据权利要求2所述的光栅表面衍射周期均一性的快速测量系统，其特征在于，

所述第一透光板上设置多个第一透光孔；

单个所述宽光束分别入射多个所述第一透光孔后得到与第一透光孔数目对应的多个细光束。

4.根据权利要求1所述的光栅表面衍射周期均一性的快速测量系统，其特征在于，

所述第二光束转换部件包括驱动部件以及第二透光板，所述驱动部件与所述第二透光板连接；

所述驱动部件带动所述第二透光板旋转，使得多个细光束依次经过第二透光板后作为入射光束打在待测光栅样品表面当前区域的测量点位。

5.根据权利要求4所述的光栅表面衍射周期均一性的快速测量系统，其特征在于，

所述驱动部件包括驱动电机和从动轴；所述第二透光板上设置一个第二透光孔；

所述驱动电机与所述从动轴连接，所述从动轴与所述第二透光板连接；

所述驱动电机通过从动轴带动所述第二透光板转动，使得多个所述细光束依次经过所述第二透光孔后作为入射光束打在待测光栅样品表面当前区域的测量点位。

6.根据权利要求5所述的光栅表面衍射周期均一性的快速测量系统，其特征在于，还包括控制器；

所述驱动电机与所述控制器通信连接；

所述控制器控制驱动电机的转速使得第二透光板以设定速度旋转，确保多个所述细光束依次经过所述第二透光孔后作为入射光束打在待测光栅样品表面当前区域的测量点位。

7.根据权利要求6所述的光栅表面衍射周期均一性的快速测量系统，其特征在于，

所述基材治具包括转台；

所述转台转动以带动所述待测光栅样品旋转至所述特定位置，通过转台的旋转角度获取待测光栅样品表面当前区域内当前测量点位的衍射角与入射角。

8.根据权利要求7所述的光栅表面衍射周期均一性的快速测量系统，其特征在于，

所述控制器与所述转台通信连接；

所述控制器控制所述转台转动。

9.根据权利要求7所述的光栅表面衍射周期均一性的快速测量系统，其特征在于，所述基材治具还包括角位台；

调整所述角位台以及转台对所述待测光栅样品进行姿态调节，使得当前入射光束的反射光与当前入射光束重合。

10.根据权利要求7所述的光栅表面衍射周期均一性的快速测量系统，其特征在于，所述基材治具还包括横向滑轨和纵向滑轨；

滑动所述横向滑轨以及纵向滑轨以移动所述待测光栅样品的位置，将入射光束打在待测光栅样品表面下一区域的测量点位。

11.根据权利要求5所述的光栅表面衍射周期均一性的快速测量系统，其特征在于，还包括角度感应箱体、信号处理器以及计算机；

所述角度感应箱体与所述信号处理器通信连接，所述信号处理器与所述计算机通信连接；

所述角度感应箱体内放置所述驱动部件、第二透光板以及设置待测光栅样品的基材治具；

所述角度感应箱体靠近第二透光板一侧开设一个第三透光孔；多个所述细光束依次经过所述第三透光孔后入射所述第二透光孔作为入射光束打在待测光栅样品表面当前区域内的测量点位。

12.根据权利要求2所述的光栅表面衍射周期均一性的快速测量系统，其特征在于，所述扩束镜的尺寸不小于所述第一透光板的尺寸。

13.根据权利要求3所述的光栅表面衍射周期均一性的快速测量系统，其特征在于，所述第一透光孔在第一透光板上呈圆周分布。