CN220272452U - 一种刻蚀清洗机硅片导向装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种刻蚀清洗机硅片导向装置，属于光伏自动化设备技术领域，其包括支撑架、连接支撑架的滚筒，以及若干套接在滚筒上的归正圈；所述归正圈包括圈体和挡环，所述挡环用于限制硅片在滚筒上沿滚筒轴向移动并对硅片位置导正；所述圈体开设有两端通透的螺孔，所述螺孔中旋接有锁紧螺栓，所述锁紧螺栓穿过螺孔的一端可抵住滚筒表面以固定圈体。本技术方案利用锁紧螺栓来固定归正圈，不限制归正圈在滚筒的位置，增加硅片适用规格的种数，可适用不同硅片道数，节约成本。

Description

一种刻蚀清洗机硅片导向装置

技术领域

本实用新型属于光伏自动化设备技术领域，具体涉及一种刻蚀清洗机硅片导向装置。

背景技术

硅片由滚筒运输经过刻蚀清洗设备的过程中，因为被硅片在输送过程中会发生偏转，所以需要利用导向装置进行校正。公告号为CN216528809U的中国专利公开了一种刻蚀清洗机硅片导向装置，包括支撑架，所述支撑架右壁开设有凹槽，所述支撑架右壁开设的凹槽内壁活动卡接有滚筒。通过设置第一归正圈、第一归正锁紧圈、第二归正锁紧圈、第二归正圈和滚筒的连接关系，使第一归正圈和第一归正锁紧圈内壁设有螺纹，和外壁设有螺纹的滚筒相配合，将第一归正圈和第二归正圈根据硅片的尺寸大小进行调节，再用第一归正锁紧圈和第二归正锁紧圈锁紧，使第一归正圈和第二归正圈的位置得到固定，便于对硅片进行位置导向。

因此，现有的滚筒外壁设置螺纹，限制了归正圈的装配位置，相邻归正圈间距可调范围小，多种规格硅片换片时，硅片尺寸会超过归正圈可调最大/最小间距值，需要停机更换滚筒，延长硅片运输时间，增加人工，提高成本。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：

一种刻蚀清洗机硅片导向装置，包括支撑架、连接支撑架的滚筒，以及若干套接在滚筒上的归正圈；

所述归正圈包括圈体和挡环，所述挡环用于限制硅片在滚筒上沿滚筒轴向移动并对硅片位置导正；

所述圈体开设有两端通透的螺孔，所述螺孔中旋接有锁紧螺栓，所述锁紧螺栓穿过螺孔的一端可抵住滚筒表面以固定圈体。

具体地，所述归正圈分为单向归正圈和双向归正圈，所述单向归正装配在滚筒端部，双向归正圈装配在滚筒中部。

具体地，所述单向归正圈的挡环为侧挡环，所述单向归正圈的圈体为单圈，所述侧挡环设置在单向归正圈朝向支撑架的一端，所述侧挡环具有相对设置的第一端和第二端，第一端接触支撑架侧壁，第二端连接单圈，所述侧挡环的外径从第一端至第二端逐渐减小。

具体地，所述双向归正圈的挡环为隔挡环，所述双向归正圈的圈体包括连接隔挡环一端的左圈和连接隔挡环另一端的右圈，所述隔挡环的外径从中间向两端逐渐减小。

具体地，所述归正圈为一体式成型结构。

具体地，相邻所述挡环之间的间距相等。

具体地，还包括连接支撑架的输送筒，所述输送筒固定套接有若干等间距分布的环体。

具体地，还包括旋转机构，所述旋转机构包括固定在支撑架上的连接板、旋转轴、链条、减速机、主动齿轮、锥齿轮和从动齿轮，所述支撑架固定有连接板，所述连接板旋转连接有旋转柱，所述旋转柱固定连接有主动齿轮，减速机的前端设有马达，所述减速机的后端通过齿轮啮合连接有链条，所述链条与主动齿轮啮合连接；所述滚筒和输送筒的左端都固定连接有锥齿轮，所述旋转柱外壁固定连接有从动齿轮，所述从动齿轮与锥齿轮啮合连接。

本实用新型提供的技术方案与现有技术相比具有如下优势：

利用锁紧螺栓来固定归正圈，归正圈能够被固定在滚筒的任意位置，不受限制，扩大归正圈间距调节范围，适用多种硅片规格；并且能够更换不同的硅片道数，更换便捷，节省人工，且更换硅片道数仅需增减归正圈数量，不需要更换整根滚筒，节省成本。

附图说明

图1是本实用新型实施例中刻蚀清洗机硅片导向装置的整体结构图；

图2是本实用新型图1中A处局部放大图；

图3是本实用新型图1中B处局部放大图。

图中所示：1、支撑架；2、滚筒；3、输送筒；31、轴体；32、环体；4、归正圈；41、单向归正圈；411、侧挡；412、单圈；42、双向归正圈；421、隔挡环；422、左圈；423、右圈；43、螺孔；44、锁紧螺栓；5、旋转机构；51、连接板；52、旋转轴；53、链条；54、减速机；55、马达；56、锥齿轮；57、从动齿轮。

具体实施方式

为了便于理解，下面结合实施例阐述所述刻蚀清洗机硅片导向装置，应理解，这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位和位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1所示，一种刻蚀清洗机硅片导向装置，包括支撑架1，两个支撑支架之间设置有三根滚筒2和五根输送筒3，滚筒2和输送筒3的两端都旋转连接支撑架1，所述输送筒3包括轴体31和环体32，轴体31外壁固定套接有若干等间距分布的环体32，该环体32可为柔性材料制成，减少硅片和输送筒3之间的摩擦和撞击。

滚筒2上套接有归正圈4，具体是归正圈4开设有轴向通透的内孔，滚筒2穿过轴向通透的内孔，优选的，穿过轴向通透的内孔的滚筒2与归正圈4间隙配合，归正圈4分为单向归正圈41和双向归正圈42，归正圈4分为单向归正圈41和双向归正圈42，单向归正装配在滚筒2端部，双向归正圈42装配在滚筒2中部。

如图2所示，单向归正圈41包括侧挡411环和单圈412，侧挡411环设置在单向归正圈41朝向支撑架1的一端，侧挡411环具有相对设置的第一端和第二端，第一端接触支撑架1侧壁，第二端连接单圈412，侧挡411环的外径从第一端至第二端逐渐减小，减小幅度不变，形成斜面，侧挡411环和隔挡环421都限制硅片在滚筒2上沿滚筒2轴向移动，确保硅片不跑偏，本实施例中的单圈412和侧挡411环可一体成型。

如图3所示，双向归正圈42包括隔挡环421、左圈422和右圈423，隔挡环421的一端连接左圈422和另一端连接右圈423，隔挡环421的外径从中间向两端逐渐减小，减小幅度不变，形成斜面，相邻隔挡环421之间的间距以及隔挡环421和侧挡411环之间的间距相等，使用时，硅片会进入相邻隔挡环421之间或者隔挡环421和侧挡411环之间，挡环的斜面能够让倾斜的硅片沿斜面下滑，进入两个挡环之间，因此，放置在两个挡环之间的硅片随着滚筒2的转动能够自动导正，本实施例中的双向归正圈42可为一体成型结构，也可为相互分离的结构，其中，双向归正圈42为相互分离结构时，是由两个单向归正圈41拼装构成。

单圈412、左圈422和右圈423的结构相同，三者都开设有两端通透的螺孔43，两端通透的螺孔43的轴线垂直滚筒2的轴线，螺孔43中通过螺纹旋接有锁紧螺栓44，锁紧螺栓44穿过螺孔43的一端可抵住滚筒2表面，从而将归正圈4固定在滚筒2上。

如图1所示，位于滚筒2左侧的支撑架1外壁上装配有旋转机构5，旋转机构5包括固定在支撑架1上的连接板51、旋转轴52、链条53、减速机54、马达55、主动齿轮、锥齿轮56和从动齿轮57，支撑架1左侧固定有连接板51，连接板51旋转连接有旋转柱，旋转柱固定连接有主动齿轮，减速机54的前端设有马达55，减速机54的后端通过齿轮啮合连接有链条53，链条53与主动齿轮啮合连接；滚筒2和输送筒3的左端都固定连接有锥齿轮56，旋转柱外壁固定连接有从动齿轮57，从动齿轮57与锥齿轮56啮合连接。

归正圈4装配步骤：

取一个单向归正圈41，调整侧挡411环位于单圈412的左边，再将单向归正圈41套装到滚筒2上，然后取指定数量的双向归正圈42，按照任意次序和任意朝向将定量的双向归正圈42套装到滚筒2上，再取一个单向归正圈41，调整侧挡411环位于单圈412的右边，再将单向归正圈41套装到滚筒2上，其中单向归正圈41和双向归正圈42的内孔与滚筒2轴向配合；

在单向归正圈41和双向归正圈42的螺孔43中一一对应装上锁紧螺丝；

推动单向归正圈41沿滚筒2轴向移动，直至一个单向归正圈41位于滚筒2一端，另一个单向归正圈41位于滚筒2另一端，拧紧两个单向归正圈41上的锁紧螺丝，将两个单向归正圈41固定；

推动双向归正圈42沿滚筒2轴向移动，调整单向归正圈41和双向归正圈42之间，以及相邻双向归正圈42之间的间距，拧紧双向归正圈42上的锁紧螺丝，将双向归正圈42固定。

需要更换硅片时，设备停机，先松掉双向归正圈42上的锁紧螺丝，再调整双向归正圈42位置，调整后拧紧锁紧螺丝固定。

需增加硅片道数时，例如将五道硅片更换成六道硅片，设备停机，取下整支滚筒2，先松掉位于滚筒2一端的单向归正圈41上的锁紧螺丝，再从滚筒2直接取下单向归正圈41，拿出一个新的双向归正圈42，装到滚筒2上，把取下的单向归正圈41重新装回滚筒2一端，之后松掉滚筒2上所有双向归正圈42的锁紧螺丝，调整单向归正圈41和双向归正圈42之间，以及相邻双向归正圈42之间的间距，确定各个双向归正圈42的位置，再将其锁紧，最后将滚筒2装回设备。

需要减少硅片道数时，例如将六道硅片更换成五道硅片，设备停机，取下整支滚筒，先拆下距离滚筒左端或右端最近的一个单向归正圈和一个双向归正圈，具体是先拧松单向归正圈和双向归正圈上的锁紧螺丝，然后将其从滚筒上取下，之后将拆下的单向归正圈重新装回滚筒的端部，之后松掉滚筒上所有双向归正圈的锁紧螺丝，调整单向归正圈和双向归正圈之间，以及相邻双向归正圈之间的间距，确定各个双向归正圈的位置，再将其锁紧，最后将滚筒装回设备。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制。尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换，而这些修改或替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (8)

1.一种刻蚀清洗机硅片导向装置，其特征在于，包括支撑架、连接支撑架的滚筒，以及若干套接在滚筒上的归正圈；

所述归正圈包括圈体和挡环，所述挡环用于限制硅片在滚筒上沿滚筒轴向移动并对硅片位置导正；

所述圈体开设有两端通透的螺孔，所述螺孔中旋接有锁紧螺栓，所述锁紧螺栓穿过螺孔的一端可抵住滚筒表面以固定圈体。

2.如权利要求1所述的刻蚀清洗机硅片导向装置，其特征在于，所述归正圈分为单向归正圈和双向归正圈，所述单向归正装配在滚筒端部，双向归正圈装配在滚筒中部。

3.如权利要求2所述的刻蚀清洗机硅片导向装置，其特征在于，所述单向归正圈的挡环为侧挡环，所述单向归正圈的圈体为单圈，所述侧挡环设置在单向归正圈朝向支撑架的一端，所述侧挡环具有相对设置的第一端和第二端，第一端接触支撑架侧壁，第二端连接单圈，所述侧挡环的外径从第一端至第二端逐渐减小。

4.如权利要求2所述的刻蚀清洗机硅片导向装置，其特征在于，所述双向归正圈的挡环为隔挡环，所述双向归正圈的圈体包括连接隔挡环一端的左圈和连接隔挡环另一端的右圈，所述隔挡环的外径从中间向两端逐渐减小。

5.如权利要求1所述的刻蚀清洗机硅片导向装置，其特征在于，所述归正圈为一体式成型结构。

6.如权利要求1所述的刻蚀清洗机硅片导向装置，其特征在于，相邻所述挡环之间的间距相等。

7.如权利要求1所述的刻蚀清洗机硅片导向装置，其特征在于，还包括连接支撑架的输送筒，所述输送筒固定套接有若干等间距分布的环体。

8.如权利要求1所述的刻蚀清洗机硅片导向装置，其特征在于，还包括旋转机构，所述旋转机构包括固定在支撑架上的连接板、旋转轴、链条、减速机、主动齿轮、锥齿轮和从动齿轮，所述支撑架固定有连接板，所述连接板旋转连接有旋转柱，所述旋转柱固定连接有主动齿轮，减速机的前端设有马达，所述减速机的后端通过齿轮啮合连接有链条，所述链条与主动齿轮啮合连接；所述滚筒和输送筒的左端都固定连接有锥齿轮，所述旋转柱外壁固定连接有从动齿轮，所述从动齿轮与锥齿轮啮合连接。