CN220271397U - 一种浮动装置及测试设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种浮动装置及测试设备，浮动装置包括壳体组件和浮动组件，壳体组件用以容纳浮动组件并允许浮动组件相对其浮动；浮动组件包括浮动杆、弹簧和挡环，浮动杆上设置有浮动块，弹簧套设在浮动杆上，弹簧的两端分别与浮动块和挡环抵接；壳体组件包括外壳和盖板，盖板与外壳连接封闭外壳，浮动组件设置于外壳中，浮动杆的一端穿出外壳，在弹簧的弹力作用下，浮动块与外壳内壁抵接，挡环与盖板抵接；浮动组件可在施加在浮动杆上的外力作用下相对外壳移动。本实用新型提供的浮动装置及测试设备，实现探针卡对位置的自适应的微调，实现探针卡与芯片端点的精确定位，提高测试结果的准确性。
Description
技术领域
本实用新型涉及芯片测试技术领域，特别是涉及一种浮动装置及测试设备。
背景技术
芯片在生产时，需要对其性能进行测试，而测试方法通常是通过外接探针把信号传达到测试机上进行分析测试，通过检测信号导通状况来判定其功能是否良好。
现有的测试设备的测试机设置在测试支架上，芯片固定在测试台上，测试机连接探针卡，测试机通过探针卡与芯片的端点连接，实现对芯片的功能和电参数测试。实际测试过程中，通过测试支架的调节定位结构调整测试机及连接的探针卡的位置，实现探针卡与芯片的端点的连接；由于调节定位结构的定位精度有限，而芯片的端点很小，不足以实现探针卡与裸芯片端点的精确定位，甚至可能对探针卡以及裸芯片造成损坏，影响测试结果的准确性。
因此，有必要提供一种浮动装置及测试设备，以有效解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型提供一种浮动装置及测试设备，连接测试机与探针卡，实现探针卡对位置的自适应的微调，实现探针卡与芯片端点的精确定位，提高测试结果的准确性。
本实用新型实施例提供一种浮动装置，包括壳体组件和浮动组件，所述壳体组件用以容纳浮动组件并允许所述浮动组件相对其浮动；
所述浮动组件包括浮动杆、弹簧和挡环，所述浮动杆上设置有浮动块，所述弹簧套设在所述浮动杆上，所述弹簧的两端分别与所述浮动块和所述挡环抵接；
所述壳体组件包括外壳和盖板，所述盖板与所述外壳连接封闭所述外壳，所述浮动组件设置于所述外壳中，所述浮动杆的一端穿出所述外壳，在所述弹簧的弹力作用下，所述浮动块与所述外壳内壁抵接，所述挡环与所述盖板抵接；所述浮动组件可在施加在所述浮动杆上的外力作用下相对所述外壳移动。
优选地，所述外壳的顶部中心设置有第一通孔，所述浮动杆的顶端穿出所述第一通孔，所述第一通孔的直径大于所述浮动杆的外径且小于所述浮动块的外径，使得所述外壳允许所述浮动杆相对所述外壳沿轴向以及在径向平面内移动。
优选地，所述外壳的顶部内壁设置有圆台形的第一接触面，所述第一接触面与所述第一通孔连接，所述浮动块外壁设置有与所述第一接触面匹配的圆台形的第二接触面，所述第二接触面与所述第一接触面具有相同的锥度。
优选地，所述挡环设置有中心孔，所述中心孔的直径与所述浮动杆的外径匹配，所述浮动杆的底端穿过所述中心孔并可沿所述中心孔移动，所述盖板的中心设置有第二通孔，所述浮动杆在受到外力作用时可穿出所述第二通孔，所述第二通孔的直径大于所述浮动杆的直径且小于所述挡环的外径，使得所述盖板允许所述浮动杆相对所述外壳沿轴向以及在径向平面内移动。
优选地，所述浮动杆的顶端设置有连接轴孔，所述浮动杆通过连接轴孔与测试机连接。
优选地，所述挡环设置有弹簧定位槽，所述弹簧的端部设置在弹簧定位槽中。
优选地，所述盖板上设置有第一连接孔，所述盖板通过穿过所述第一连接孔的螺钉与所述外壳连接。
优选地，所述盖板上设置有第二连接孔，所述盖板通过所述第二连接孔与信号资源组件连接。
优选地，所述浮动杆与所述浮动块一体成型。
基于同一构思，本实用新型实施例还提供一种测试设备，包括测试支架、测试机、测试台、信号资源组件和探针卡，所述测试设备还包括上述的浮动装置，所述测试机固定在所述测试支架上，所述测试支架上设置有调节定位结构，所述浮动装置连接所述测试机与所述信号资源组件，所述信号资源组件连接所述探针卡，所述测试台上设置有晶圆，所述晶圆上固定有待测试芯片，通过调节所述测试支架配合所述浮动装置实现所述探针卡与所述待测试芯片的端点的连接。
与现有技术相比，本实用新型实施例的技术方案具有以下有益效果：
本实用新型实施例提供的一种浮动装置及测试设备，设置可相对壳体组件浮动的浮动组件，浮动组件的浮动杆连接测试机，壳体组件连接信号资源组件，在测试支架粗调后通过浮动组件实现探针卡对位置的自适应的微调，实现探针卡与芯片端点的精确定位，提高测试结果的准确性；
进一步地，外壳与浮动块的相互接触面设置为匹配的圆台形，浮动杆在倾斜的外力作用下向下并向一侧倾斜时，接触面相互接触时反作用力使得接触面趋于相互贴合，迫使外壳在水平面内相对浮动杆移动，实现探针卡水平位置的微调；同时在外力消失时，倾斜的接触面有利于浮动杆的复位，便于操作。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图做一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，而不是全部实施例。对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型的一个实施例提供的浮动装置的结构示意图；
图2为本实用新型的一个实施例提供的浮动装置的爆炸图；
图3为本实用新型的一个实施例提供的浮动装置的剖视图；
图4为本实用新型的一个实施例提供的外壳的剖视图；
图5为本实用新型的一个实施例提供的浮动杆的剖视图；
图6为本实用新型的一个实施例提供的浮动装置的浮动状态示意图；
图7为本实用新型的一个实施例提供的测试设备结构示意图。
图中：
1、浮动装置；2、测试机；3、信号资源组件；4、探针卡；5、晶圆；6、测试台；7、测试支架；
11、壳体组件；111、外壳；1111、第一通孔；112、盖板；1121、第二通孔；1122、第一连接孔；1123、第二连接孔；113、螺钉；
12、浮动组件；121、浮动杆； 122、弹簧；123、挡环；1231、中心孔；1232、弹簧定位槽；
71、调节定位结构。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
下面以具体的实施例对本实用新型的技术方案进行详细说明。下面这几个具体的实施例可以相互结合，对于相同或相似的概念或过程可能在某些实施例不再赘述。
基于现有技术存在的问题，本实用新型实施例提供一种浮动装置及测试设备，通过浮动装置连接测试机与探针卡，实现探针卡对位置的自适应的微调，实现探针卡与芯片端点的精确定位，提高测试结果的准确性。
图1为本实用新型的一个实施例提供的浮动装置的结构示意图；图2为本实用新型的一个实施例提供的浮动装置的爆炸图；图3为本实用新型的一个实施例提供的浮动装置的剖视图；图4为本实用新型的一个实施例提供的外壳的剖视图；图5为本实用新型的一个实施例提供的浮动杆的剖视图；图6为本实用新型的一个实施例提供的浮动装置的浮动状态示意图；图7为本实用新型的一个实施例提供的测试设备结构示意图。
现在参看图1至图6，本实用新型实施例提供一种浮动装置，包括壳体组件11和浮动组件12，壳体组件11用以容纳浮动组件12并允许浮动组件12相对其浮动；
浮动组件12包括浮动杆121、弹簧122和挡环123，浮动杆121上设置有浮动块124，弹簧122套设在浮动杆121上，弹簧122的两端部分别与浮动块124和挡环123抵接；
壳体组件11包括外壳111和盖板112，盖板112与外壳111连接封闭外壳111，浮动组件12设置于外壳111中，浮动杆121的一端穿出外壳111，在弹簧122的弹力作用下，浮动块124与外壳111内壁抵接，挡环123与盖板112抵接，此时浮动装置1处于非浮动状态；浮动组件12可在施加在浮动杆121上的外力作用下相对外壳111移动，此时浮动块124脱离外壳111，浮动组件12处于浮动状态。
在具体实施时，外壳111的顶部中心设置有第一通孔1111，浮动杆121的顶端穿出第一通孔1111，第一通孔1111的直径大于浮动杆121的外径且小于浮动块124的外径，使得外壳111允许浮动杆121相对外壳111沿轴向以及在径向平面内移动。
在一些实施例中，外壳111的顶部内壁设置有圆台形的第一接触面1112，第一接触面1112与第一通孔1111连接，浮动块123外壁设置有与第一接触面1112匹配的圆台形的第二接触面1241，第二接触面1241与第一接触面1111具有相同的锥度。外壳111与浮动块124接触面为斜面，浮动杆121在倾斜的外力作用下向下并向一侧倾斜时，接触面相互接触时反作用力使得接触面趋于相互贴合，迫使外壳111在水平面内相对浮动杆121移动；同时在外力消失时，倾斜的接触面有利于浮动杆121的自动复位，便于操作。
在一些实施例中，挡环123设置有中心孔1231，中心孔1231的直径与浮动杆121的外径匹配，浮动杆121的底端穿过中心孔1231并可沿中心孔1231移动，盖板112的中心设置有第二通孔1121，浮动杆121在受到外力作用时可穿出第二通孔1121，第二通孔1121的直径大于浮动杆121的直径且小于挡环123的外径，使得盖板112允许浮动杆121相对外壳111沿轴向以及在径向平面内移动。第二通孔1121的直径大于第一通孔1111的直径。
在一些实施例中，浮动杆121的顶端设置有连接轴孔1211，浮动杆121通过连接轴孔1211与测试机2连接。
在一些实施例中，挡环123设置有弹簧定位槽1232，弹簧122的端部设置在弹簧定位槽1232中。
在一些实施例中，盖板112上设置有第一连接孔1122，盖板112通过穿过第一连接孔1122的螺钉113与外壳111连接。
在一些实施例中，盖板112上设置有第二连接孔1123，盖板112通过第二连接孔1123与信号资源组件3连接。
在一些实施例中，浮动杆121与浮动块124一体成型。
现在参见图7，本实用新型实施例还提供一种测试设备，包括测试支架7、测试机2、测试台6、信号资源组件3和探针卡4，测试设备还包括上述的浮动装置1，测试机2固定在测试支架7上，测试支架7上设置有调节定位结构71，浮动装置1连接测试机2与信号资源组件3，浮动杆121连接测试机2，盖板112连接信号资源组件3，信号资源组件3连接探针卡4，测试台6上设置有晶圆5，晶圆5上固定有待测试芯片，通过调节测试支架7配合浮动装置1实现探针卡4与待测试芯片的端点的连接。
综上所述，本实用新型实施例提供的一种浮动装置及测试设备，设置可相对壳体组件11浮动的浮动组件12，浮动组件12的浮动杆121连接测试机2，壳体组件11连接信号资源组件3，在测试支架7粗调后通过浮动组件12实现探针卡4对位置的自适应的微调，实现探针卡4与芯片端点的精确定位，提高测试结果的准确性；
进一步地，外壳111与浮动块124的相互接触面设置为匹配的圆台形，浮动杆121在倾斜的外力作用下向下并向一侧倾斜时，接触面相互接触时反作用力使得接触面趋于相互贴合，迫使外壳111在水平面内相对浮动杆121移动，实现探针卡4水平位置的微调；同时在外力消失时，倾斜的接触面有利于浮动杆121的复位，便于操作。
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。
Claims (10)
1.一种浮动装置，其特征在于，包括壳体组件和浮动组件，所述壳体组件用以容纳浮动组件并允许所述浮动组件相对其浮动；
所述浮动组件包括浮动杆、弹簧和挡环，所述浮动杆上设置有浮动块，所述弹簧套设在所述浮动杆上，所述弹簧的两端分别与所述浮动块和所述挡环抵接；
所述壳体组件包括外壳和盖板，所述盖板与所述外壳连接封闭所述外壳，所述浮动组件设置于所述外壳中，所述浮动杆的一端穿出所述外壳，在所述弹簧的弹力作用下，所述浮动块与所述外壳内壁抵接，所述挡环与所述盖板抵接；所述浮动组件可在施加在所述浮动杆上的外力作用下相对所述外壳移动。
2.根据权利要求1所述的浮动装置，其特征在于，所述外壳的顶部中心设置有第一通孔，所述浮动杆的顶端穿出所述第一通孔，所述第一通孔的直径大于所述浮动杆的外径且小于所述浮动块的外径，使得所述外壳允许所述浮动杆相对所述外壳沿轴向以及在径向平面内移动。
3.根据权利要求2所述的浮动装置，其特征在于，所述外壳的顶部内壁设置有圆台形的第一接触面，所述第一接触面与所述第一通孔连接，所述浮动块外壁设置有与所述第一接触面匹配的圆台形的第二接触面，所述第二接触面与所述第一接触面具有相同的锥度。
4.根据权利要求1所述的浮动装置，其特征在于，所述挡环设置有中心孔，所述中心孔的直径与所述浮动杆的外径匹配，所述浮动杆的底端穿过所述中心孔并可沿所述中心孔移动，所述盖板的中心设置有第二通孔，所述浮动杆在受到外力作用时可穿出所述第二通孔，所述第二通孔的直径大于所述浮动杆的直径且小于所述挡环的外径，使得所述盖板允许所述浮动杆相对所述外壳沿轴向以及在径向平面内移动。
5.根据权利要求1所述的浮动装置，其特征在于，所述浮动杆的顶端设置有连接轴孔，所述浮动杆通过连接轴孔与测试机连接。
6.根据权利要求1所述的浮动装置，其特征在于，所述挡环设置有弹簧定位槽，所述弹簧的端部设置在弹簧定位槽中。
7.根据权利要求1所述的浮动装置，其特征在于，所述盖板上设置有第一连接孔，所述盖板通过穿过所述第一连接孔的螺钉与所述外壳连接。
8.根据权利要求1所述的浮动装置，其特征在于，所述盖板上设置有第二连接孔，所述盖板通过所述第二连接孔与信号资源组件连接。
9.根据权利要求1所述的浮动装置，其特征在于，所述浮动杆与所述浮动块一体成型。
10.一种测试设备，包括测试支架、测试机、测试台、信号资源组件和探针卡，其特征在于，所述测试设备还包括如权利要求1-9任一项所述的浮动装置，所述测试机固定在所述测试支架上，所述测试支架上设置有调节定位结构，所述浮动装置连接所述测试机与所述信号资源组件，所述信号资源组件连接所述探针卡，所述测试台上设置有晶圆，所述晶圆上固定有待测试芯片，通过调节所述测试支架配合所述浮动装置实现所述探针卡与所述待测试芯片的端点的连接。
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