CN220240316U - 一种可变流量抽尘装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种可变流量抽尘装置。包括抽尘管、进尘部；所述抽尘管外接风机，所述进尘部内设置有进尘口，进尘口位于激光切割机切割头下方，进尘口与抽尘管连接，所述进尘部顶面上设置有进风口，进风口与进尘口连通，通过进风口进风在进尘口内形成负压；进风口上可开合地设置有调节盖板，调节盖板设置在进风口两侧，通过改变调节盖板之间的距离，调节进风口的进风量。本实用新型根据不同半导体晶圆的加工，设定相应的进风量，通过步进电机改变调节盖板之间的距离，达到相应的进风量，满足不同半导体晶圆的加工，既保证了抽尘效率又减少了能源的浪费。
Description
技术领域：
本实用新型属于半导体晶圆加工技术领域，特别涉及一种可变流量抽尘装置。
背景技术：
半导体晶圆生产工艺中，需要采用激光器对半导体晶圆进行切割，在切割过程中会产生许多粉尘，如果不对这些粉尘及时清理会影响半导体晶圆的质量。为了解决这个问题，设置了抽尘机构，利用风将粉尘从半导体晶圆上带走。
半导体晶圆在进行不同深度的切割时、不同材质的半导体晶圆切割时，产生的粉尘量均不相同，现有的抽尘机构风的流量无法调节。当粉尘量较多时，抽尘效率较低，当粉尘量较少时，造成了能源的浪费。
公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在增加对本实用新型的总体背景的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域一般技术人员所公知的现有技术。
实用新型内容：
本实用新型的目的在于提供一种可变流量抽尘装置，可根据半导体晶圆的加工，调整气体流量，从而克服上述现有技术中的缺陷。
为实现上述目的，本实用新型提供了一种可变流量抽尘装置，包括抽尘管、进尘部；所述抽尘管外接风机，所述进尘部内设置有进尘口，进尘口位于激光切割机切割头下方，进尘口与抽尘管连接，所述进尘部顶面上设置有进风口，进风口与进尘口连通，通过进风口进风在进尘口内形成负压；进风口上可开合地设置有调节盖板，调节盖板设置在进风口两侧，通过改变调节盖板之间的距离，调节进风口的进风量，满足不同半导体晶圆的加工。
优选地，技术方案中，进尘部一侧面上设置有电机座，电机座上设置有步进电机，电机座内设置有正反丝杆，步进电机与正反丝杆连接，正反丝杆上对称设置有连接块，连接块与对应的调节盖板连接，通过步进电机带动正反丝杆转动，改变调节盖板之间的距离。
优选地，技术方案中，进尘部两侧面上对称设置有导轨，导轨内两侧面上开设有卡槽，导轨内设置有滑块，滑块两侧面上设置有卡块，卡块与卡槽相配合，滑块与调节盖板连接；调节盖板移动时，滑块在导轨内移动。
优选地，技术方案中，进尘口为方形结构，抽尘管包括出尘部、变形部，出尘部与外接风机连接，变形部一端为方形结构，变形部方形结构一端与进尘口连接。
优选地，技术方案中，进尘部顶面上设置有连接件，连接件上设置有连接槽，抽尘装置通过连接槽与激光切割机连接。
与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：
根据不同半导体晶圆的加工，设定相应的进风量，通过步进电机改变调节盖板之间的距离，达到相应的进风量，满足不同半导体晶圆的加工，既保证了抽尘效率又减少了能源的浪费。
附图说明：
图1为本实用新型可变流量抽尘装置结构示意图；
图2为本实用新型可变流量抽尘装置组装示意图。
具体实施方式：
下面对本实用新型的具体实施方式进行详细描述，但应当理解本实用新型的保护范围并不受具体实施方式的限制。
除非另有其它明确表示，否则在整个说明书和权利要求书中，术语“包括”或其变换如“包含”或“包括有”等等将被理解为包括所陈述的元件或组成部分，而并未排除其它元件或其它组成部分。
如图1-2所示，一种可变流量抽尘装置，包括抽尘管1、进尘部2；所述抽尘管1外接风机，所述进尘部2内设置有进尘口3，进尘口3位于激光切割机切割头19下方，进尘口3与抽尘管1连接，进尘口3为方形结构，抽尘管1包括出尘部14、变形部15，出尘部14与外接风机连接，变形部15一端为方形结构，变形部15方形结构一端与进尘口3连接；所述进尘部2顶面上设置有连接件16，连接件16上设置有连接槽17，抽尘装置通过连接槽17与激光切割机18连接；所述进尘部2顶面上设置有进风口4，进风口4与进尘口3连通，通过进风口4进风在进尘口3内形成负压；进风口4上可开合地设置有调节盖板5，调节盖板5设置在进风口4两侧，进尘部2一侧面上设置有电机座6，电机座6上设置有步进电机7，电机座6内设置有正反丝杆8，步进电机7与正反丝杆8连接，正反丝杆8上对称设置有连接块9，连接块9与对应的调节盖板5连接，进尘部2两侧面上对称设置有导轨10，导轨10内两侧面上开设有卡槽11，导轨10内设置有滑块12，滑块12两侧面上设置有卡块13，卡块13与卡槽11相配合，滑块12与调节盖板5连接；通过步进电机7带动正反丝杆8转动，滑块12在导轨10内移动，改变调节盖板5之间的距离，调节进风口4的进风量，满足不同半导体晶圆的加工。
加工时，根据不同半导体晶圆的加工，设定相应的进风量。当需要较小的进风量时，步进电机7正传，带动正反丝杆8转动，在正反丝杆8转动过程中，连接块9对向移动，带动滑块12在导轨10内相互靠近，进而使得调节盖板5相互靠近，调节盖板5遮盖进风口4的面积变大，进入进风口4的风量变小，达到减小进风量的目的。当需要较大的进风量时，步进电机7反转，调节盖板5相互远离，调节盖板5遮盖进风口4的面积变小，进入进风口4的风量变大，达到增加进风量的目的。满足了不同半导体晶圆的加工，既保证了抽尘效率又减少了能源的浪费。
前述对本实用新型的具体示例性实施方案的描述是为了说明和例证的目的。这些描述并非想将本实用新型限定为所公开的精确形式，并且很显然，根据上述教导，可以进行很多改变和变化。对示例性实施例进行选择和描述的目的在于解释本实用新型的特定原理及其实际应用，从而使得本领域的技术人员能够实现并利用本实用新型的各种不同的示例性实施方案以及各种不同的选择和改变。本实用新型的范围意在由权利要求书及其等同形式所限定。
Claims (5)
1.一种可变流量抽尘装置，其特征在于：包括抽尘管、进尘部；所述抽尘管外接风机，所述进尘部内设置有进尘口，进尘口位于激光切割机切割头下方，进尘口与抽尘管连接，所述进尘部顶面上设置有进风口，进风口与进尘口连通，通过进风口进风在进尘口内形成负压；进风口上可开合地设置有调节盖板，调节盖板设置在进风口两侧，通过改变调节盖板之间的距离，调节进风口的进风量。
2.根据权利要求1所述的可变流量抽尘装置，其特征在于：进尘部一侧面上设置有电机座，电机座上设置有步进电机，电机座内设置有正反丝杆，步进电机与正反丝杆连接，正反丝杆上对称设置有连接块，连接块与对应的调节盖板连接，通过步进电机带动正反丝杆转动，改变调节盖板之间的距离。
3.根据权利要求2所述的可变流量抽尘装置，其特征在于：进尘部两侧面上对称设置有导轨，导轨内两侧面上开设有卡槽，导轨内设置有滑块，滑块两侧面上设置有卡块，卡块与卡槽相配合，滑块与调节盖板连接；调节盖板移动时，滑块在导轨内移动。
4.根据权利要求1所述的可变流量抽尘装置，其特征在于：进尘口为方形结构，抽尘管包括出尘部、变形部，出尘部与外接风机连接，变形部一端为方形结构，变形部方形结构一端与进尘口连接。
5.根据权利要求1所述的可变流量抽尘装置，其特征在于：进尘部顶面上设置有连接件，连接件上设置有连接槽，抽尘装置通过连接槽与激光切割机连接。
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2023
- 2023-07-03 CN CN202321711752.XU patent/CN220240316U/zh active Active
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