CN220229781U - 全自动硅片甩干机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了全自动硅片甩干机，本实用新型涉及甩干机技术领域。该全自动硅片甩干机，包括底盒和设置于所述底盒顶部开口端的封盖，所述底盒内腔设置有装载组件，所述装载组件用于对需要甩干的硅片进行夹持定位；所述底盒底部表面且位于装载组件下方设置有驱动组件，并且驱动组件输出端通过定位螺杆与装载组件相连，所述驱动组件用于驱动装载组件高速旋转，以实现对装载组件上的硅片表面的液体离心甩出；所述底盒外壁表面设置有触摸一体机，所述装载组件包括载料板，所述载料板顶部表面中部镶嵌连接有定位管，本实用新型既能起到对硅片进行自动甩干，又能降低硅片的磨损，同时又能节省硅片甩干的时间，提高了硅片甩干的效率。

Description

全自动硅片甩干机

技术领域

本实用新型涉及甩干机技术领域，具体为全自动硅片甩干机。

背景技术

硅片在生产过程中，在切割过后需进行清洗，清洗过后需要进行甩干，现有专利一种水平式硅片甩干机，专利公开号CN209054857U包括无刷伺服电机、连轴转盘和硅片承载盘，所述连轴转盘的底部向下延伸有中心轴，所述硅片承载盘固定于所述连轴转盘上，且所述硅片承载盘的周边均布有若干个硅片承载盒，其中，所述无刷伺服电机的输出轴端安装有联轴器座，所述联轴器座内设置有联轴器，所述联轴器将无刷伺服电机的输出轴与中心轴连接，且所述联轴器与所述联轴器座之间设置有轴承。上述水平式硅片甩干机采用联轴器将电机转轴与转盘的中心轴直连，不仅结构简单，体积小；而且旋转平稳性好，噪音小，干燥效果好。

针对上述中的相关技术，发明人认为存在以下缺陷：虽然能够起到对硅片进行甩干功能，但是其设备是将多个硅片贴合堆叠在一起，然后整体在甩干，这样以来既不方便多个硅片甩干，又容易造成向下相邻的硅片在甩干时磨损，所以我们提出了全自动硅片甩干机来解决上述存在的问题。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了全自动硅片甩干机，解决了由于将多个硅片贴合堆叠在一起再甩干，这样以来既不方便多个硅片甩干，又容易造成向下相邻的硅片在甩干时磨损的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：全自动硅片甩干机，包括底盒和设置于所述底盒顶部开口端的封盖，所述底盒内腔设置有装载组件，所述装载组件用于对需要甩干的硅片进行夹持定位；

所述底盒底部表面且位于装载组件下方设置有驱动组件，并且驱动组件输出端通过定位螺杆与装载组件相连，所述驱动组件用于驱动装载组件高速旋转，以实现对装载组件上的硅片表面的液体离心甩出；

所述底盒外壁表面设置有触摸一体机。

优选的，所述装载组件包括载料板，所述载料板顶部表面中部镶嵌连接有定位管，所述定位管底部表面环设有多个榫头，所述定位管顶部表面环设有多个第一榫槽；

所述载料板顶部表面周侧设置有内螺纹柱，所述载料板上方设置有压圈，并且压圈通过固定螺钉与内螺纹柱相连。

优选的，所述装载组件还包括垫块，所述垫块设置有三个，三个所述垫块环设在所述载料板顶部表面，所述垫块用于托起需要甩干的硅片。

优选的，所述驱动组件包括电机，所述电机通过固定架与所述底盒内腔底部表面相连，所述电机输出端通过轴杆安装有定位板，所述定位板顶部表面中部开设有定位螺孔，所述定位板顶部表面环设有第二榫槽，所述轴杆上设置有稳固组件。

优选的，所述稳固组件包括稳固架，所述稳固架顶部表面中部设置有用于对轴杆限位的轴承，所述稳固架两端均设置有支杆，并且两个支杆底端均与固定架侧壁相连。

优选的，所述底盒内腔侧壁且位于装载组件相同高度位置设置有防溅圈，所述防溅圈用于防止同一位置高度的装载组件甩出的液体向上溅射。

优选的，所述底盒底部表面一侧导通连接有排水管，所述排水管用于将底盒内的水分排出。

有益效果

本实用新型提供了全自动硅片甩干机。与现有技术相比具备以下有益效果：

（1）、该全自动硅片甩干机，当需要对硅片进行甩干时，首先将三个硅片安装在同一装载组件上，然后再将多个装有硅片的装载组件依次且上下叠放在驱动组件输出端上，接着通过一个定位螺杆，从而能够将上下堆叠的多个装载组件固定形成一个整体，然后盖上封盖，接着通过触摸一体机，可控制驱动组件运行，从而能够使得驱动组件的输出端驱动上下堆叠的装载组件高速转动，通过高速的转动的装载组件，从而能够产生离心力，进而能够将位于装载组件中硅片上的水渍进行甩下，以便于能够起到对硅片自动甩干作用，同时又能保证各个硅片甩干的质量和效率。

（2）、该全自动硅片甩干机，通过装载组件中的载料板，既能对定位管和内螺纹柱进行安装，又能对硅片进行摆放，并且摆放的硅片放置在比较靠近的两个内螺纹柱处，此时两个内螺纹柱起到了对硅片限位阻挡的作用，然后工作人员再通过固定螺钉将压圈固定在内螺纹柱上，进而能够起到对摆放的硅片进行定位作用，通过定位管上的第一榫槽和榫头，可方便不同装载组件中的定位管上下卡合对接，进而能够提高上下装载组件连接的稳定性，通过垫块，可托起需要甩干的硅片，进而能够防止硅片在旋转甩干时上下浮动。

（3）、该全自动硅片甩干机，通过驱动组件中的电机，既能经固定架固定在底盒内腔底部表面，又能经轴杆驱动定位板进行安装，然后通过定位板上的第二榫槽，可方便装载组件上的榫头插接，从而能够使得定位管卡合安装在定位板上，然后通过定位螺孔，可对定位螺杆转动安装，从而能够对所有上下对堆叠的装载组件固定，进而能够提高所有装载组件旋转的稳定性，通过电机，可带动定位板旋转，从而能够同步带动装载组件转动，进而能够方便装载组件上的水渍甩出。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图。

图2为本实用新型剖面结构示意图。

图3为本实用新型装载组件结构示意图。

图4为本实用新型装载组件底部结构示意图。

图5为本实用新型驱动组件爆炸结构示意图。

图6为本实用新型稳固组件结构示意图。

图中：1、底盒；2、封盖；3、装载组件；301、载料板；302、定位管；303、榫头；304、第一榫槽；305、垫块；306、内螺纹柱；307、压圈；4、驱动组件；401、电机；402、固定架；403、定位板；404、定位螺孔；405、第二榫槽；406、稳固组件；4061、稳固架；4062、轴承；4063、支杆；5、定位螺杆；6、触摸一体机；7、防溅圈；8、排水管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：全自动硅片甩干机，包括底盒1和设置于底盒1顶部开口端的封盖2，底盒1内腔设置有装载组件3，装载组件3用于对需要甩干的硅片进行夹持定位；底盒1底部表面且位于装载组件3下方设置有驱动组件4，并且驱动组件4输出端通过定位螺杆5与装载组件3相连，驱动组件4用于驱动装载组件3高速旋转，以实现对装载组件3上的硅片表面的液体离心甩出；底盒1外壁表面设置有触摸一体机6；

当需要对硅片进行甩干时，首先将三个硅片安装在同一装载组件3上，然后再将多个装有硅片的装载组件3依次且上下叠放在驱动组件4输出端上，接着通过一个定位螺杆5，从而能够将上下堆叠的多个装载组件3固定形成一个整体，然后盖上封盖2，接着通过触摸一体机6，可控制驱动组件4运行，从而能够使得驱动组件4的输出端驱动上下堆叠的装载组件3高速转动，通过高速的转动的装载组件3，从而能够产生离心力，进而能够将位于装载组件3中硅片上的水渍进行甩下，以便于能够起到对硅片自动甩干作用，同时又能保证各个硅片甩干的质量和效率。

参阅图3、图4，装载组件3包括载料板301，载料板301顶部表面中部镶嵌连接有定位管302，定位管302底部表面环设有多个榫头303，定位管302顶部表面环设有多个第一榫槽304；载料板301顶部表面周侧设置有内螺纹柱306，载料板301上方设置有压圈307，并且压圈307通过固定螺钉与内螺纹柱306相连；

通过装载组件3中的载料板301，既能对定位管302和内螺纹柱306进行安装，又能对硅片进行摆放，并且摆放的硅片放置在比较靠近的两个内螺纹柱306处，此时两个内螺纹柱306起到了对硅片限位阻挡的作用，然后工作人员再通过固定螺钉将压圈307固定在内螺纹柱306上，进而能够起到对摆放的硅片进行定位作用，通过定位管302上的第一榫槽304和榫头303，可方便不同装载组件3中的定位管302上下卡合对接，进而能够提高上下装载组件3连接的稳定性。

参阅图3，装载组件3还包括垫块305，垫块305设置有三个，三个垫块305环设在载料板301顶部表面，通过垫块305，可托起需要甩干的硅片，进而能够防止硅片在旋转甩干时上下浮动。

参阅图5、图6，驱动组件4包括电机401，电机401通过固定架402与底盒1内腔底部表面相连，电机401输出端通过轴杆安装有定位板403，定位板403顶部表面中部开设有定位螺孔404，定位板403顶部表面环设有第二榫槽405，轴杆上设置有稳固组件406，通过驱动组件4中的电机401，既能经固定架402固定在底盒1内腔底部表面，又能经轴杆驱动定位板403进行安装，然后通过定位板403上的第二榫槽405，可方便装载组件3上的榫头303插接，从而能够使得定位管302卡合安装在定位板403上，然后通过定位螺孔404，可对定位螺杆5转动安装，从而能够对所有上下对堆叠的装载组件3固定，进而能够提高所有装载组件3旋转的稳定性，通过电机401，可带动定位板403旋转，从而能够同步带动装载组件3转动，进而能够方便装载组件3上的水渍甩出。

参阅图5、图6，稳固组件406包括稳固架4061，稳固架4061顶部表面中部设置有用于对轴杆限位的轴承4062，稳固架4061两端均设置有支杆4063，并且两个支杆4063底端均与固定架402侧壁相连，通过稳固组件406中的两个支杆4063，既能固定在固定架402侧壁，又能对稳固架4061侧壁安装，然后通过稳固架4061，可经轴承4062对轴杆限位，从而能够提高轴杆旋转的稳定性。

参阅图2，底盒1内腔侧壁且位于装载组件3相同高度位置设置有防溅圈7，通过防溅圈7，可防止同一位置高度的装载组件3甩出的液体向上溅射。

参阅图1、图2，底盒1底部表面一侧导通连接有排水管8，所通过排水管8，可经将底盒1内的水分排出。

工作时，当需要对硅片进行甩干时，首先将三个硅片安装在同一装载组件3上，然后再将多个装有硅片的装载组件3依次且上下叠放在驱动组件4输出端上，接着通过一个定位螺杆5，从而能够将上下堆叠的多个装载组件3固定形成一个整体，然后盖上封盖2，接着通过触摸一体机6，可控制驱动组件4运行，从而能够使得驱动组件4的输出端驱动上下堆叠的装载组件3高速转动，通过高速的转动的装载组件3，从而能够产生离心力，进而能够将位于装载组件3中硅片上的水渍进行甩下，以便于能够起到对硅片自动甩干作用，同时又能保证各个硅片甩干的质量和效率；

通过装载组件3中的载料板301，既能对定位管302和内螺纹柱306进行安装，又能对硅片进行摆放，并且摆放的硅片放置在比较靠近的两个内螺纹柱306处，此时两个内螺纹柱306起到了对硅片限位阻挡的作用，然后工作人员再通过固定螺钉将压圈307固定在内螺纹柱306上，进而能够起到对摆放的硅片进行定位作用，通过定位管302上的第一榫槽304和榫头303，可方便不同装载组件3中的定位管302上下卡合对接，进而能够提高上下装载组件3连接的稳定性，通过垫块305，可托起需要甩干的硅片，进而能够防止硅片在旋转甩干时上下浮动；

通过驱动组件4中的电机401，既能经固定架402固定在底盒1内腔底部表面，又能经轴杆驱动定位板403进行安装，然后通过定位板403上的第二榫槽405，可方便装载组件3上的榫头303插接，从而能够使得定位管302卡合安装在定位板403上，然后通过定位螺孔404，可对定位螺杆5转动安装，从而能够对所有上下对堆叠的装载组件3固定，进而能够提高所有装载组件3旋转的稳定性，通过电机401，可带动定位板403旋转，从而能够同步带动装载组件3转动，进而能够方便装载组件3上的水渍甩出，通过稳固组件406中的两个支杆4063，既能固定在固定架402侧壁，又能对稳固架4061侧壁安装，然后通过稳固架4061，可经轴承4062对轴杆限位，从而能够提高轴杆旋转的稳定性；

通过防溅圈7，可防止同一位置高度的装载组件3甩出的液体向上溅射，所通过排水管8，可经将底盒1内的水分排出。

综上，该装置既能起到对硅片进行自动甩干，又能降低硅片的磨损，同时又能节省硅片甩干的时间，提高了硅片甩干的效率。

同时本说明书中未作详细描述的内容均属于本领域技术人员公知的现有技术。

Claims (7)

1.全自动硅片甩干机，包括底盒（1）和设置于所述底盒（1）顶部开口端的封盖（2），其特征在于：所述底盒（1）内腔设置有装载组件（3），所述装载组件（3）用于对需要甩干的硅片进行夹持定位；

所述底盒（1）底部表面且位于装载组件（3）下方设置有驱动组件（4），并且驱动组件（4）输出端通过定位螺杆（5）与装载组件（3）相连，所述驱动组件（4）用于驱动装载组件（3）高速旋转，以实现对装载组件（3）上的硅片表面的液体离心甩出；

所述底盒（1）外壁表面设置有触摸一体机（6）。

2.根据权利要求1所述的全自动硅片甩干机，其特征在于：所述装载组件（3）包括载料板（301），所述载料板（301）顶部表面中部镶嵌连接有定位管（302），所述定位管（302）底部表面环设有多个榫头（303），所述定位管（302）顶部表面环设有多个第一榫槽（304）；

所述载料板（301）顶部表面周侧设置有内螺纹柱（306），所述载料板（301）上方设置有压圈（307），并且压圈（307）通过固定螺钉与内螺纹柱（306）相连。

3.根据权利要求2所述的全自动硅片甩干机，其特征在于：所述装载组件（3）还包括垫块（305），所述垫块（305）设置有三个，三个所述垫块（305）环设在所述载料板（301）顶部表面，所述垫块（305）用于托起需要甩干的硅片。

4.根据权利要求1所述的全自动硅片甩干机，其特征在于：所述驱动组件（4）包括电机（401），所述电机（401）通过固定架（402）与所述底盒（1）内腔底部表面相连，所述电机（401）输出端通过轴杆安装有定位板（403），所述定位板（403）顶部表面中部开设有定位螺孔（404），所述定位板（403）顶部表面环设有第二榫槽（405），所述轴杆上设置有稳固组件（406）。

5.根据权利要求4所述的全自动硅片甩干机，其特征在于：所述稳固组件（406）包括稳固架（4061），所述稳固架（4061）顶部表面中部设置有用于对轴杆限位的轴承（4062），所述稳固架（4061）两端均设置有支杆（4063），并且两个支杆（4063）底端均与固定架（402）侧壁相连。

6.根据权利要求1所述的全自动硅片甩干机，其特征在于：所述底盒（1）内腔侧壁且位于装载组件（3）相同高度位置设置有防溅圈（7），所述防溅圈（7）用于防止同一位置高度的装载组件（3）甩出的液体向上溅射。

7.根据权利要求1所述的全自动硅片甩干机，其特征在于：所述底盒（1）底部表面一侧导通连接有排水管（8），所述排水管（8）用于将底盒（1）内的水分排出。