CN220207024U - 一种光纤的检测系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种光纤检测系统,包括线性位移平台、电控线性位移平台、电控旋转位移平台、形貌检测装置、能量场检测装置、光纤、第一检测光源和探针夹;探针夹固定在电控旋转位移平台的套筒内,探针夹连接光纤的固定部,第一检测光源连接光线的固定部的端部;线性位移平台和形貌检测装置固定在电控旋转位移平台上,电控线性位移平台固定在线性位移平台上,能量场检测装置固定在电控线性位移平台上,检测部位于能量场检测装置和形貌检测装置之间;该系统结合光功率与形貌特征检测两套检测设备为一体,设备光路结构紧凑,集成化程度高,可以实现光纤的能量场分布与形貌特征检测同步进行,有效提高了光纤的检测效率和检测精度。
Description
技术领域
本实用新型实施例涉及光纤检测技术领域,尤其涉及一种光纤的检测系统。
背景技术
近年来,微创手术在医学领域获得飞速发展和进步,激光间质热疗(LaserInterstitial Thermal Therapy,LITT)是一种磁共振成像(Magnetic ResonanceImaging,MRI)引导下的经皮微创手术。LITT疗法利用了一个关键要素是立体定向方法,将激光探针精确定位在治疗目标内,手术激光系统随时间变化对热组织消融,MRI热像仪可实时监测温度变化和组织破坏。但目前存在的问题是,手术中使用的激光探针光纤由于加工方法、工艺等的不足,使得激光探针光纤周边的光能量无法均匀散发,进而导致在手术时,不能精确的消融目标热组织。目前,该种探针主要采用热敏功率探头及显微宽场成像进行检测,该种技术主要检测探针在工作状态下,探针周围辐射能量的均匀性和其形貌特征。当前,该技术主要由这几部分组成:热敏功率探头、宽场显微镜、手动位移平台组成。
这种检测手段仍存在以下不足点:
1.检测系统各个位移平台(旋转、径向、轴向)均采用手动调节,属于人工检测范畴,检测效率低。
2.光功率值与形貌特征检测分步进行,效率低,且无法做到每层的环向叠加能量场功率值与每层形貌特征之间形成对应的关系。
3.传统宽场成像对微纳结构细节部分成像精度不高;。
4.光功率与形貌特征检测两套检测设备占地面积大,集成化程度欠缺。
实用新型内容
本实用新型提供了一种光纤的检测系统,本申请主要利用光电检测与共聚焦成像技术相结合,实现光纤样品的高精度、高效率检测工作。此技术也可以用于生物医学、科研教学以及光电信息等领域。
第一方面,本申请提供了一种光纤的检测系统,包括线性位移平台、电控线性位移平台、电控旋转位移平台、形貌检测装置、能量场检测装置、光纤、第一检测光源和探针夹;所述光纤包括固定部和检测部;
所述探针夹固定在所述电控旋转位移平台的套筒内,所述探针夹连接所述固定部,用于固定所述光纤;所述第一检测光源连接所述固定部的端部,用于向所述光纤输入光信号;
所述线性位移平台和所述形貌检测装置固定在所述电控旋转位移平台上,所述电控线性位移平台固定在所述线性位移平台上,所述能量场检测装置固定在所述电控线性位移平台上,所述检测部位于所述能量场检测装置和所述形貌检测装置之间;所述电控旋转位移平台用于带动所述线性位移平台和所述形貌检测装置绕所述光纤轴线旋转;所述线性位移平台用于调节所述能量场检测装置的探测面中心与所述光纤轴线之间的距离;所述能量场检测装置用于探测所述光纤环向的辐射信息;所述电控线性位移平台用于带动所述能量场检测装置沿所述光纤的轴向方向往复移动;所述形貌检测装置用于获取所述检测部的表面形貌参数。
可选的,所述线性位移平台的行程为0nm~25mm,所述线性位移平台的测微头最小刻度为10μm。
可选的,所述电控线性位移平台的行程为0nm~30mm。
可选的,所述电控旋转位移平台的旋转角度范围为0°~360°。
可选的,所述能量场检测装置包括热敏功率探头,所述热敏功率探头用于探测所述光纤环向的光功率值。
可选的,所述形貌检测装置包括线性移动台和共聚焦成像模块,所述线性移动台固定在所述电控旋转位移平台上,所述共聚焦成像模块固定在所述线性移动台上;所述共聚焦成像模块包括依次设置的第二检测光源、准直器、第一分束镜、第二分束镜、物镜、第一检测单元和第二检测单元,所述第一检测单元包括在所述第一分束镜的反射路径上依次设置的反射镜、第一聚焦透镜、针孔、第二聚焦透镜和光电探测器;所述第二检测单元包括在所述第二分束镜的反射路径上依次设置的第三透镜和CCD相机。
可选的,所述准直器的有效焦距为18±0.5mm,用于将所述第二检测光源输出的自由空间的光束耦合进传输光纤。
可选的,所述第一分束镜的分光能量比为50:50,所述第二分束镜的分光能量比为50:50,均用于将入射光分束为透射及反射两束出射光。
可选的,所述套筒的一端与所述光纤扶直器连接,所述顶压器压住所述套筒的另一端,所述光纤的固定部位于所述光纤扶直器内。
可选的,还包括支撑架;所述电控旋转位移平台固定在所述支撑架上。
综上,本申请提供的一种光纤的检测系统,该系统结合光能量场检测和形貌特征检测两套检测设备为一体,设备光路结构紧凑,集成化程度高,可以实现光纤的光能量场光功率值与形貌特征检测同步进行,采用电控线性位移平台带动检测装置进行径向运动以及电控旋转位移平台带动检测装置和形貌检测装置进行旋转运动,可以做到每层的环向功率值与每层形貌特征之间形成一一对应的关系,有效提高了光纤检测效率和检测精度,此技术也可以用于生物医学、科研教学以及光电信息等领域。
附图说明
图1是本申请提供的一种光纤的检测系统的示意图;
图2是本申请提供的一种光纤的检测系统的剖视图;
图3是本申请提供的一种光纤的检测系统的共聚焦成像模块内部示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型,而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。
本实用新型鉴于现有技术中所存在的上述问题中的一个或多个而提出的一种光纤的检测系统。图1是本申请提供的一种光纤的检测系统的示意图;图2是本申请提供的一种光纤的检测系统的剖视图。结合图1和图2,本申请提供的光纤的检测系统,可以满足激光探针光纤的检测,该系统包括线性位移平台1、电控线性位移平台2、电控旋转位移平台3、形貌检测装置40、能量场检测装置6、光纤50、第一检测光源(图中未示出)和探针夹60;光纤50包括检测部51和固定部52;探针夹60固定在电控旋转位移平台3的套筒8内,探针夹60连接固定部52,用于固定光纤50;第一检测光源(图中未示出)连接固定部52的端部,用于向光纤50输入光信号;线性位移平台1和形貌检测装置40固定在电控旋转位移平台3上,电控线性位移平台2固定在线性位移平台1上,能量场检测装置6固定在电控线性位移平台2上,检测部51位于能量场检测装置6和形貌检测装置40之间;电控旋转位移平台3用于带动线性位移平台1和形貌检测装置40绕光纤50轴线旋转;线性位移平台1用于调节能量场检测装置6的探测面中心与光纤50轴线之间的距离L;能量场检测装置6用于探测光纤50环向的辐射信息;电控线性位移平台2用于带动能量场检测装置6沿光纤50的轴向方向移动;形貌检测装置40用于获取检测部51的表面形貌参数。其中,光纤50的轴向方向与图中Z方向平行。
本实施例中,结合图1和图2所示,检测系统是对光纤50进行检测的系统,可对光纤50的表面进行共聚焦成像,得到光纤50的各层形貌特征,还可以得到该层光功率的对应关系等。可选的,光纤50的材料为TECS硬质包层多模光纤,作为一个示例,选用光纤50的数值孔径NA为0.39,芯径为600μm,但不限于此,该检测系统可以检测任意一种光纤。光纤50是一个整体,可以自定义划分为固定部52和检测部51,在此光纤区域划分井不是固定的,而是对光纤进行自定义功能区域划分。具体的,可以将光纤50的可被夹持的部分定义为光纤50的固定部52,将光纤50的可被检测辐射能量的部分定义为光纤50的检测部51,检测部51中自端部开始的部分或全部区域未被保护膜层包裹,该区域可以向四周辐射能量,便于进行光纤辐射能量检测。可以理解,光纤50作为一个整体,仅具有两个端部,其中,固定部52具有一端部且检测部51具有另一端部。
检测系统包括第一检测光源(图中未示出),第一检测光源可以采用输出连续光的连续激光器,但不限于此,该检测系统中第一检测光源可以是任意一种适用于光纤辐射能量检测的光源。第一检测光源与固定部52连接,第一检测光源通过固定部52的端部向光纤50输入激光,激光在光纤50中传输至检测部51,光纤50的检测部51以此向四周辐射能量。可选的,第一检测光源输出连续光的波长范围在400-1μm,作为一个示例,选用激光波长为1064nm的连续激光器。
检测系统包括探针夹60,探针夹60连接光纤50的固定部52,探针夹60的功能是固定光纤50,保证光纤50在检测过程中的稳定。可以理解,探针夹60和光纤50的固定部52的连接位置,可以根据实际情况而调节,例如探针夹60和固定部52的连接位置可以靠近固定部52的端部。
检测系统包括线性位移平台1、电控线性位移平台2和电控旋转位移平台3,线性位移平台1和形貌检测装置40固定在电控旋转位移平台3上,电控线性位移平台2固定在线性位移平台1上,能量场检测装置6固定在电控线性位移平台2上,检测部51位于能量场检测装置6和形貌检测装置40之间,当线性位移平台1进行水平方向往复运动时,可以带动其上的能量场检测装置6沿+X方向或-X方向进行水平方向运动,从而调节能量场检测装置6的探测面中心与光纤50轴线之间的距离L。其中,线性位移平台1可以采用手动线性位移平台或者电动线性位移平台,本申请图1-图2中仅以手动线性位移平台为例进行示例性说明。当电控线性位移平台2进行纵向往复运动时,可以带动其上的能量场检测装置6沿+Z方向或-Z方向进行纵向运动,从而可以实现沿光纤50的轴线方向对其检测部51进行全方位的检测。电控旋转位移平台3可以在XY轴所在的平面内进行水平旋转运动,当电控旋转位移平台3进行水平旋转运动时,可以带动其上的能量场检测装置6和形貌检测装置40环绕检测部51以其光纤轴线为旋转轴进行水平旋转运动,能量场检测装置6和形貌检测装置40的运行轨迹为圆弧,在此过程中能量场检测装置6的探测面与检测部51之间的间距保持为L,形貌检测装置40与检测部51的端部的垂直距离保持不变,具体距离可以根据需要进行适当调整。其中,纵向运动方向Z平行于检测部51的光纤轴线方向,水平旋转运动为圆周运动。
能量场检测装置6具有探测面61,探测面61面向检测部51且两者间隔设置,探测面61平行于检测部51的光纤轴线。在检测过程中,探测面61和检测部51的间距L保持为一固定值,在此探测面61实际为能量场检测装置6的面向检测部51的一侧平面。探测面61面向检测部51,那么检测部51向四周辐射能量时,使能量场检测装置6通过探测孔面61探测得到检测部51的辐射信息,如光功率值。需要说明的是,图1所示具有一定厚度的探测面61仅是一种示例。
在固定设置完成光纤50与能量场检测装置6和形貌检测装置40的相对距离后,在一些实施例中,可以单独采用形貌检测装置40采集光纤50的检测部51的表面形貌;在一些实施例中,可以同时采用形貌检测装置40获取光纤50的检测部51表面形貌以及采用能量场检测装置6探测检测部51的辐射量大小。
需要说明的是,该检测系统还包括电机,用于驱动电控线性位移平台2线性运动和驱动电控旋转位移平台3旋转运动,本申请实施例附图未示出。
采用本申请提供的光纤的检测系统,该系统结合光能量场光功率检测与形貌特征检测两套检测设备为一体,设备光路结构紧凑,集成化程度高,可以实现光纤的光功率值、形貌特征检测同步进行,采用电控线性位移平台带动检测装置进行径向运动以及电控旋转位移平台带动检测装置和形貌检测装置进行旋转运动,可以做到每层的环向叠加能量场功率值与每层形貌特征之间形成一一对应的关系,有效提高了光纤的检测效率和检测精度。
一种可行的实施方式,继续结合图2所示,光纤的检测系统还包括顶压器7和光纤扶直器9,套筒8的一端与光纤扶直器9连接,顶压器7压住探针夹60的另一端,光纤50的固定部52位于光纤扶直器9内。其中,套筒8和光纤扶直器9用于对光纤50进行限位和保护,顶压器7用于固定光纤50以避免检测过程中光纤50移动。
在上述实施例的基础上,继续结合图1-图2所示,该系统还包括支撑架22;电控旋转位移平台3固定在支撑架22上。支撑架22用于支撑电控旋转位移平台3,其形状可以根据实际的应用进行调整,本申请实施例图1-图3仅示出一种简单可行的实施方式。
在上述实施例的基础上,继续结合图1-图2所示,线性位移平台1的行程为0~25mm,设置最小移动精度为10μm。作为一个示例,采用手动线性位移平台手动沿图中X方向或者-X方向移动,调节检测装置6的探测面距光纤轴线之间的距离L,通过采用线性位移平台1和合理设置线性位移平台1的参数,使得系统具有成本低、调节范围大、调节精度高的优势。
在上述实施例的基础上,继续结合图1-图2所示,电控线性位移平台2的行程为0~30mm,设置分辨率小于或者等于1μm。作为一个示例,采用电控线性位移平台2带动检测装置6沿图中Z方向或者-Z方向移动,带动检测装置6的探测面沿光纤50的轴向方向移动,以对光纤50的检测部51进行全面检测,该系统采用电控线性位移平台2具有调节范围大、调节精度高、调节速度快的优势。
在上述实施例的基础上,继续结合图1-图2所示,电控旋转位移平台3的旋转角度范围为0°~360°,设置分辨率小于或者等于0.02°。作为一个示例,采用电控旋转位移平台3带动能量场检测装置6和形貌检测装置40旋转运动,以对光纤50的检测部51进行全面检测,可以做到每层的环向功率值与每层形貌特征之间形成一一对应的关系,有效提高了光纤的检测效率和检测精度。
在上述实施例的基础上,继续结合图1-图2所示,能量场检测装置40包括热敏功率探头,热敏功率探头5用于探测光纤50环向的光功率值,光功率值也可称为辐射量,作为一个示例,热敏功率探头5的测量范围为2mW-50W,测量分辨率为100±0.5μW。需要说明的是,能量场检测装置6的结构不限于热敏功率探头等,还包括其他,例如处理芯片等,处理芯片根据热敏功率探头的辐射量可以计算得到光纤的辐射相关数据,在此不具体赘述。
在上述实施例的基础上,继续结合图1所示,形貌检测装置40包括线性移动台4和共聚焦成像模块5,线性移动台4固定在电控旋转位移平台3上,共聚焦成像模块5固定在线性移动台4上。采用电控旋转位移平台3带动线性移动台4在XY轴所在的平面内进行水平旋转运动,线性移动台4可以为手动或者电控线性位移平台,采用线性位移平台4带动共聚焦成像模块5沿图中Z方向或者-Z方向移动,以及沿图中X方向或者-X方向移动,从而实现以对光纤50的检测部51进行全面检测。
图3是本申请提供的一种光纤的检测系统的共聚焦成像模块内部示意图。结合图3所示,共聚焦成像模块5还包括主光路单元53、第一检测单元54和第二检测单元55,主光路单元包括第二检测光源10、准直器11、第一分束镜12、第二分束镜16和物镜15;第一检测单元54包括在第一分束镜12的反射路径上,依次设置的反射镜17、第一聚焦透镜18、针孔19、第二聚焦透镜20和光电探测器21;第二检测单元55包括在第二分束镜16的反射路径上依次设置的第三透镜14和CCD相机13。
具体的,结合图3所示,主光路单元53的第二检测光源10可以采用激光光源,根据检测需要,可以采用不同类型的激光器,作为一个示例,采用1064nm激光波长的自由空间输出的连续激光器。在第二检测光源10的出射激光光路上设置准直器11、第一分束镜12、第二分束镜16和物镜15,可选的,准直器11准直器11的有效焦距为18±0.5mm,用于将第二检测光源10输出的自由空间的光束耦合进传输光纤中。第一分束镜12和第二分束镜16可以均采用立方体分束镜,立方体分束镜是一种镀有宽带增透膜和分光膜的非偏振分束立方体,基底N-BK7,用于光束分束,形成反射光与透射光。
可选的,继续结合图3所示,第一分束镜12的分光能量比为50:50,第二分束镜16的分光能量比为50:50,均用于将入射光分束为透射及反射两束出射光。如此分光比设置,第二检测光源10出射的激光光束透过第一分束镜12的透过光率为50%,透过第二分束镜16的透过光率为50%。在其他实施例中,第一分束镜12和第二分束镜16的分光能量比可以为其他比值参数,本申请实施例不做限制。
可选的,继续结合图3所示,物镜15的放大倍数大于或者等于50X,用于成像光束汇聚和像面的放大。
第二检测光源10出射的激光光束透过物镜15后汇聚至光纤表面,部分激光光束被光纤表面反射后再次进入物镜15后经第二分束镜16反射,经第一检测单元54的第三透镜14聚焦后进入CCD相机13的探测面。第三透镜14可以对光纤表面反射的光束准直;采用CCD(Charge-Coupled Device)相机,用于成像信号的接收处理,实时观察光纤表面的成像面的聚焦情况。
部分激光光束被光纤表面反射后再次进入物镜15后透过第二分束镜16,经第一分束镜12反射后经第一检测单元54的反射镜17反射后,经第一聚焦透镜18聚焦后穿过针孔19,再经第一聚焦透镜18聚焦后到达光电探测器21的探测面,第一聚焦透镜18和第一聚焦透镜18均用于对光纤表面反射的光束汇聚,提升成像质量。
可选的,继续结合图3所示,针孔19的直径小于或者等于20μm。针孔19可以设计为圆形、椭圆形、方形或长方形等形状,不具体限制。探测面17的可以为不锈钢材质,通过减小针孔19的尺寸可以提升探测计算精度。作为一个示例,针孔19的直径为20μm,用于去除成像光束汇聚点的周边的杂散光,提升成像质量。
可选的,该系统还包括分析终端(图中未示出),能量场检测装置、CCD相机和光电探测器均与分析终端连接,光电探测器21用于将成像光束的光信号调制为电信号,并传输至终端,进行存储,以便后续检测分析。其中,分析终端可以为上位机,实现最终的实时观测,示例性的,如计算机、电脑等。
在上述实施例的基础上,结合图1-图3所示,本申请实施例提供了一种激光间质热疗光纤探针的性能及形貌检测方法,作为一个示例,以检测光纤探针为例进行说明,其中,下文中光纤探针简称为光纤50。
首先测量光纤50的直径,根据光纤50的直径调整光纤准直器11,同时控制光纤准直器11出口处露出的光纤的长度,即漏出检测部51,保证能量场检测装置6的探测面中心可以在电控线性位移平台2的带动下完整扫整根光纤的检测部51,同时将探针夹60具放进套筒8内,并用顶压器7固定探针夹60,形成支点。进一步,通过调整手动线性位移平台1,控制能量场检测装置6的探测面61距光纤50之间的距离L,间隙L原则上近似于0mm。
进一步,对整个检测系统进行初始位置的教零,并设置电控旋转位移平台3的扫描旋转间隔角度为θ,电控线性位移平台2沿Z方向的层间隔为zmm,每个测试点的停留时间为t,以及扫描结束的高度位置进行设置。
开始工作时,电机驱动电控旋转位移平台3完成一圈环向扫描工作后,回到起始位置,电控线性位移平台2带动能量场检测装置6移动至下一个探测面位置进行旋转扫描,直至完成整根光纤长度的探测工作。
能量场检测装置6采集的数据以功率值作为半径,高度值作为z轴参数,在圆柱坐标系下进行绘图数据分析,理想情况下,一根完好光纤的光功率能量分布图近似于纺锤体。
进一步,共聚焦成像模块5可根据具体测试情况进行加装,定位及系统工作条件与光功率检测类似,区别在于由于探针表面存在微纳加工,所以物镜15在完成一圈换向检测后需要重新聚焦,该系统成像分辨率优于1μm,共聚焦成像模块5集成于一套高精度线性移动台4上,线性移动台4可以带动模块进行上下移动,实现对光纤的不同高度层的扫描,以及前后移动,实现物镜调焦。
作为一个示例,采用530nm的连续激光依次经过准直器11和第一分束镜12、第二分束镜16后,由物镜15进行聚焦到样品面,其反射光将带有样品信息的反射回原光路,其中第二分束镜16,将反射光入射至CCD相机13,进行实时观测,第一分束镜12将反射光传递至光电探测器21的探测端,最后由光电探测器21接收。当两种检测模块同时工作时,通过电控位移平台的同步联调,既可得到光纤的各层形貌特征还可以得到各层叠加能量场光功率的对应关系。
注意,上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解,本实用新型不限于这里所述的特定实施例,对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整、相互组合和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此,虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明,但是本实用新型不仅仅限于以上实施例,在不脱离本实用新型构思的情况下,还可以包括更多其他等效实施例,而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。
Claims (10)
1.一种光纤的检测系统,其特征在于,包括线性位移平台、电控线性位移平台、电控旋转位移平台、形貌检测装置、能量场检测装置、光纤、第一检测光源和探针夹;所述光纤包括固定部和检测部;
所述探针夹固定在所述电控旋转位移平台的套筒内,所述探针夹连接所述固定部,用于固定所述光纤;所述第一检测光源连接所述固定部的端部,用于向所述光纤输入光信号;
所述线性位移平台和所述形貌检测装置固定在所述电控旋转位移平台上,所述电控线性位移平台固定在所述线性位移平台上,所述能量场检测装置固定在所述电控线性位移平台上,所述检测部位于所述能量场检测装置和所述形貌检测装置之间;所述电控旋转位移平台用于带动所述线性位移平台和所述形貌检测装置绕所述光纤轴线旋转;所述线性位移平台用于调节所述能量场检测装置的探测面中心与所述光纤轴线之间的距离;所述能量场检测装置用于探测所述光纤环向的辐射信息;所述电控线性位移平台用于带动所述能量场检测装置沿所述光纤的轴向方向往复移动;所述形貌检测装置用于获取所述检测部的表面形貌参数。
2.根据权利要求1所述的检测系统,其特征在于,所述线性位移平台的行程为0nm~25mm,所述线性位移平台的测微头最小刻度为10μm。
3.根据权利要求1所述的检测系统,其特征在于,所述电控线性位移平台的行程为0nm~30mm。
4.根据权利要求1所述的检测系统,其特征在于,所述电控旋转位移平台的旋转角度范围为0°~360°。
5.根据权利要求1所述的检测系统,其特征在于,所述能量场检测装置包括热敏功率探头,所述热敏功率探头用于探测所述光纤环向的光功率值。
6.根据权利要求1所述的检测系统,其特征在于,所述形貌检测装置包括线性移动台和共聚焦成像模块,所述线性移动台固定在所述电控旋转位移平台上,所述共聚焦成像模块固定在所述线性移动台上;所述共聚焦成像模块包括主光路单元、第一检测单元和第二检测单元,所述主光路单元包括依次设置的第二检测光源、准直器、第一分束镜、第二分束镜、物镜,所述第一检测单元包括在所述第一分束镜的反射路径上依次设置的反射镜、第一聚焦透镜、针孔、第二聚焦透镜和光电探测器;所述第二检测单元包括在所述第二分束镜的反射路径上依次设置的第三透镜和CCD相机。
7.根据权利要求6所述的检测系统,其特征在于,所述准直器的有效焦距为18±0.5mm,用于将所述第二检测光源输出的自由空间的光束耦合进传输光纤。
8.根据权利要求6所述的检测系统,其特征在于,所述第一分束镜的分光能量比为50:50,所述第二分束镜的分光能量比为50:50,均用于将入射光分束为透射及反射两束出射光。
9.根据权利要求6所述的检测系统,其特征在于,还包括顶压器和光纤扶直器,所述套筒的一端与所述光纤扶直器连接,所述顶压器压住所述套筒的另一端,所述光纤的固定部位于所述光纤扶直器内。
10.根据权利要求1所述的检测系统,其特征在于,还包括支撑架;所述电控旋转位移平台固定在所述支撑架上。
Priority Applications (1)
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Family Applications (1)
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