CN220206247U - 一种适用于集成电路加工用的烘干装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种适用于集成电路加工用的烘干装置，包括壳体和进料槽，所述壳体内的两侧均通过轴承安装丝杆，所述丝杆的外围设置有对应的丝块，所述丝块的内侧均通过螺栓连接转动架，所述转动架之间通过转轴连接有用于调节烘干角度的烘干台，所述烘干台的表面开设有放置槽，所述放置槽内的两侧均开设有滑槽，所述滑槽内滑动连接有滑块，所述滑块的一侧通过螺丝固定连接有用于支撑集成电路板的限位架。本实用新型一种适用于集成电路加工用的烘干装置，结构简单易操作，更加省力方便，实用价值高，适合被广泛推广和使用。

Description

一种适用于集成电路加工用的烘干装置

技术领域

本实用新型涉及集成电路加工技术领域，特别涉及一种适用于集成电路加工用的烘干装置。

背景技术

集成电路板是集成电路的一个载体，采用半导体制作工艺，通常在集成电路的生产加工过程中，为提高集成电路的抗腐蚀性能，需要在集成电路的表面涂抹涂层，为加快集成电路的加工速度，通常配合烘干装置对其进行烘干处理。

公开号：CN211739773U公开了一种集成电路板烘干装置，包括工作板、立板、烘干板、输送带，所述立板设置有两块，两块立板相互平行，固定在工作板上；所述输送带设置有传动辊，传动辊两端固定在两块立板上，输送带套在传动辊外侧；所述烘干板设置在输送带上侧，所述立板上相对设置有承托架。

目前，现有的烘干装置在使用时存在以下缺点：通常使用热风吹送对集成电路板表面进行烘干处理，但是由于底部难以与热风直接接触，导致集成电路的底部烘干效果较差，需要人工手动翻面或增加出风机构，使用的灵活性一般，而且还会增加电力消耗。为此，我们提出一种适用于集成电路加工用的烘干装置。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种适用于集成电路加工用的烘干装置，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种适用于集成电路加工用的烘干装置，包括壳体和进料槽，所述壳体内的两侧均通过轴承安装丝杆，所述丝杆的外围设置有对应的丝块，所述丝块的内侧均通过螺栓连接转动架，所述转动架之间通过转轴连接有用于调节烘干角度的烘干台，所述烘干台的表面开设有放置槽，所述放置槽内的两侧均开设有滑槽，所述滑槽内滑动连接有滑块，所述滑块的一侧通过螺丝固定连接有用于支撑集成电路板的限位架。

进一步地，所述壳体内的一侧设置有进料槽，所述进料槽内设置有储料槽，所述进料槽内位于储料槽的一侧通过轴承安装有用于下料的推杆，所述进料槽的底部设置有驱动电机，所述驱动电机通过驱动轴连接推杆，进料槽通过螺栓连接驱动电机。

进一步地，所述滑槽内位于滑块的一侧设置有压簧，所述烘干台内位于放置槽的两侧均设置有与限位架对应的电磁铁，滑槽通过弹簧座安装压簧。

进一步地，所述壳体的一侧设置有伺服电机，所述伺服电机通过驱动轴连接丝杆，所述转动架的一侧设置有第二伺服电机，所述第二伺服电机通过驱动轴连接烘干台，壳体通过螺栓连接伺服电机，转动架通过螺栓连接第二伺服电机。

进一步地，所述壳体内的顶部设置有加热槽，所述加热槽内设置有加热管，所述壳体的顶部设置有风扇，所述风扇的出风端位于加热槽内，加热槽通过螺栓连接加热管，壳体通过螺栓连接风扇。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1.通过设置的转动架、烘干台、放置槽、滑槽和限位架，能够调节烘干角度，避免局部与热风接触面积小、时间短，影响烘干效率，同时还能根据集成电路板的尺寸大小进行快速限位固定，结构简单易操作，而且使用更加灵活，更加高效实用。

2.通过设置的进料槽、储料槽、推杆和驱动电机，能够代替人工手动反复上料，更加不易由于开关导致装置内部热量的流失增加能源消耗，通过压簧、滑块、限位架和电磁铁，还能利用磁力和弹力的推动，代替人工手动夹持与下料，有利于提高连续烘干作业的效率。

附图说明

图1为本实用新型一种适用于集成电路加工用的烘干装置的整体结构示意图。

图2为本实用新型一种适用于集成电路加工用的烘干装置的剖面结构示意图。

图3为本实用新型一种适用于集成电路加工用的烘干装置的烘干台剖面结构示意图。

图4为本实用新型一种适用于集成电路加工用的烘干装置的进料槽剖面结构示意图。

图中：1、壳体；2、丝杆；3、丝块；4、转动架；5、烘干台；6、放置槽；7、滑槽；8、滑块；9、限位架；10、电磁铁；11、压簧；12、伺服电机；13、第二伺服电机；14、进料槽；15、储料槽；16、推杆；17、驱动电机；18、风扇；19、加热槽；20、加热管。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

如图2和3所示，一种适用于集成电路加工用的烘干装置，包括壳体1和进料槽14，所述壳体1内的两侧均通过轴承安装丝杆2，所述丝杆2的外围设置有对应的丝块3，所述丝块3的内侧均通过螺栓连接转动架4，所述转动架4之间通过转轴连接有用于调节烘干角度的烘干台5，所述烘干台5的表面开设有放置槽6，所述放置槽6内的两侧均开设有滑槽7，所述滑槽7内滑动连接有滑块8，所述滑块8的一侧通过螺丝固定连接有用于支撑集成电路板的限位架9。

壳体1一侧的表面开设有与储料槽15连通的进料口。

壳体1内的底部设置有回收槽。

烘干台5的顶部与底部均通过阻尼转轴连接有用于引导热风的导流板。

其中，所述壳体1内的一侧设置有进料槽14，所述进料槽14内设置有储料槽15，所述进料槽14内位于储料槽15的一侧通过轴承安装有用于下料的推杆16，所述进料槽14的底部设置有驱动电机17，所述驱动电机17通过驱动轴连接推杆16。

本实施例中如图2和4所示，通过进料槽14和储料槽15，能够利用驱动电机17和推杆16转动，代替人工手动下料，操作更加省力方便，而且还能避免反复开关装置，减少内部的热量流失，进料槽14的一侧为开口结构，进料槽14一侧的开口通过通孔连通储料槽15，以便于利用装置内部对未烘干的集成电路板进行加温预烘干处理。

其中，所述滑槽7内位于滑块8的一侧设置有压簧11，所述烘干台5内位于放置槽6的两侧均设置有与限位架9对应的电磁铁10。

本实施例中如图3所示，限位架9材质为铁，通过压簧11弹力推动滑块8，能够快速利用限位架9将集成电路夹紧进行限位处理，通过电磁铁10，能够利用磁力吸引限位架9反向滑动，使集成电路在自重作用下落入回收槽内完成下料，更加方便可靠。

其中，所述壳体1的一侧设置有伺服电机12，所述伺服电机12通过驱动轴连接丝杆2，所述转动架4的一侧设置有第二伺服电机13，所述第二伺服电机13通过驱动轴连接烘干台5。

本实施例中如图2所示，通过伺服电机12便于驱动丝杆2转动，通过第二伺服电机13能够带动烘干台5及集成电路旋转，调节与热风接触的角度，进而提高烘干效率。

其中，所述壳体1内的顶部设置有加热槽19，所述加热槽19内设置有加热管20，所述壳体1的顶部设置有风扇18，所述风扇18的出风端位于加热槽19内。

本实施例中如图1和2所示，通过加热槽19、加热管20和风扇18，能够吹送热风进入壳体1内对集成电路进行烘干处理。

需要说明的是，本实用新型为一种适用于集成电路加工用的烘干装置，工作时，首先操作人员通过一侧的进料口将集成电路板送入进料槽14的储料槽15内，人工开启驱动电机17转动，带动推杆16转动将底部的集成电路板推出落下至烘干台5的放置槽6内，落在限位架9之间，关闭电磁铁10后，在压簧11弹力推动下，滑块8快速带动限位架9将集成电路夹紧进行限位处理，接着通过开启伺服电机12驱动丝杆2转动，丝块3带动转动架4和烘干台5水平移动，同时人工开启加热管20和风扇18，吹送热风至集成电路表面进行烘干处理，而且还可以人工开启第二伺服电机13驱动烘干台5转动，带动集成电路旋转，能够调节其烘干角度及位置，结构简单可靠，还能提高烘干效率，最后烘干完成后，人工开启电磁铁10利用磁力将限位架9向外侧滑动，集成电路落下至底部的回收槽完成下料回收，操作更加省力便捷，代替了人工反复手动上下料，实用价值高。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (5)

1.一种适用于集成电路加工用的烘干装置，包括壳体(1)和进料槽(14)，其特征在于：所述壳体(1)内的两侧均通过轴承安装丝杆(2)，所述丝杆(2)的外围设置有对应的丝块(3)，所述丝块(3)的内侧均通过螺栓连接转动架(4)，所述转动架(4)之间通过转轴连接有用于调节烘干角度的烘干台(5)，所述烘干台(5)的表面开设有放置槽(6)，所述放置槽(6)内的两侧均开设有滑槽(7)，所述滑槽(7)内滑动连接有滑块(8)，所述滑块(8)的一侧通过螺丝固定连接有用于支撑集成电路板的限位架(9)。

2.根据权利要求1所述的一种适用于集成电路加工用的烘干装置，其特征在于：所述壳体(1)内的一侧设置有进料槽(14)，所述进料槽(14)内设置有储料槽(15)，所述进料槽(14)内位于储料槽(15)的一侧通过轴承安装有用于下料的推杆(16)，所述进料槽(14)的底部设置有驱动电机(17)，所述驱动电机(17)通过驱动轴连接推杆(16)。

3.根据权利要求1所述的一种适用于集成电路加工用的烘干装置，其特征在于：所述滑槽(7)内位于滑块(8)的一侧设置有压簧(11)，所述烘干台(5)内位于放置槽(6)的两侧均设置有与限位架(9)对应的电磁铁(10)。

4.根据权利要求1所述的一种适用于集成电路加工用的烘干装置，其特征在于：所述壳体(1)的一侧设置有伺服电机(12)，所述伺服电机(12)通过驱动轴连接丝杆(2)，所述转动架(4)的一侧设置有第二伺服电机(13)，所述第二伺服电机(13)通过驱动轴连接烘干台(5)。

5.根据权利要求1所述的一种适用于集成电路加工用的烘干装置，其特征在于：所述壳体(1)内的顶部设置有加热槽(19)，所述加热槽(19)内设置有加热管(20)，所述壳体(1)的顶部设置有风扇(18)，所述风扇(18)的出风端位于加热槽(19)内。