CN220200655U - 吸嘴机构及其吸嘴模组 - Google Patents

Abstract

本申请涉及半导体加工技术领域，特别是涉及一种吸嘴机构及其吸嘴模组。一种吸嘴机构，包括：安装座，开设有贯穿设置的第一气孔，第一气孔用以连接气路；固定座，安装于安装座，且开设有气腔；第一固定轴，安装于气腔内，且开设有第二气孔，第二气孔与所述第一气孔连通；密封件，位于所述安装座和所述第一固定轴之间，用以密封所述安装座和所述第一固定轴之间的间隙；吸盘组件，用以取/放物料，所述吸盘组件的部分伸入所述气腔内，并与所述第一固定轴连接，且与第二气孔连通。一种吸嘴模组包括气缸以及吸嘴机构。本申请相较于其他靠吸嘴端部压装实现密封的方式，本申请提供的吸嘴机构的密封性更好，且能够避免漏气的情况发生。

Description

吸嘴机构及其吸嘴模组

技术领域

本申请涉及半导体加工技术领域，特别是涉及一种吸嘴机构及其吸嘴模组。

背景技术

在半导体加工领域，吸嘴机构主要用于取、放以及搬运物料。在吸取或者搬运物料过程中，吸嘴通过负压方式将物料进行吸附。而目前的吸嘴一般采用压紧的方式与其他部件形成紧密接触以实现密封，但此密封方式容易漏气，密封性较差，使得吸嘴在吸取半导体物料的时候会有掉料或者吸不上料的风险。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种密封性能较好，且无掉料或者吸不上料的风险的吸嘴机构及其吸嘴模组。

一种吸嘴机构，其特征在于，所述吸嘴机构包括：

安装座，开设有贯穿设置的第一气孔，所述安装孔用以连接气路；

固定座，安装于所述安装座，且开设有气腔；

第一固定轴，安装于所述气腔内，且开设有第二气孔，所述第二气孔与所述第一气孔连通；

密封件，设于所述安装座和所述第一固定轴之间，用以密封所述安装座和所述第一固定轴之间的间隙；

吸盘组件，用以取/放物料，所述吸盘组件的部分伸入所述气腔内，并与所述第一固定轴连接，且与所述第二气孔连通。

在本申请中，由于本申请中的吸盘组件与第一固定轴之间的连接是在气腔内部实现，不再与外部大气直接接触；并且安装座与固定座之间虽与外界大气接触，但安装座和固定座之间也设有密封件，以通过密封件来保证第一气孔和第二气孔之间连接的密封性。如此，相较于其他靠吸嘴端部压装实现密封的方式，本申请提供的吸嘴机构的密封性更好，且能够避免漏气的情况发生。

在其中一个实施方式中，所述第一固定轴朝向所述安装座的一端开设有围成在所述第二气孔周向的安装槽，所述密封件的部分嵌设于所述安装槽内。

在其中一个实施方式中，所述密封件设置为O形密封圈。

在其中一个实施方式中，所述吸嘴机构还包括：

第一限位件，位于所述第一固定轴处且穿设所述固定座，并与所述第一固定轴形成限位配合。

在其中一个实施方式中，所述吸盘组件包括：

风琴吸盘，设于所述气腔内，且所述风琴吸盘的一端固定于所述第一固定轴，并与所述第二气孔连通设置，所述风琴吸盘的另一端配置为活动端；

真空吸盘单元，其部分伸入所述气腔内并与所述气腔内壁滑动连接，且所述真空吸盘单元伸入所述气腔内的部分连接于所述活动端；

其中，所述活动端能够响应外力而沿着所述气腔的轴线方向作伸/缩运动，所述真空吸盘单元能够随着所述活动端的运动而运动。

可以理解的是，通过设置风琴吸盘，风琴吸盘能够提供较大的缓冲行程，可以有效避免因过压而导致吸嘴压碎物料的风险；同时，风琴吸盘是收容在气腔内，且利用风琴吸盘内部中空的特性，实现与气路的连通。如此，在实现缓冲的同时亦能够很好的保证密封性能。

在其中一个实施方式中，所述吸盘组件还包括：

弹性件，位于所述气腔内且套设于所述风琴吸盘外侧，所述弹性件的一端抵接于所述第一固定轴，另一端抵接于所述真空吸盘单元。

可以理解的是，弹性件的设置，可以辅助风琴吸盘的复位，避免风琴吸盘出现卡滞等情况。

在其中一个实施方式中，所述真空吸盘单元包括：

第二固定轴，其一端伸入所述气腔内并与所述活动端连接，另一端位于所述气腔外部；其中，所述第二固定轴上开设有第三气孔，所述第三气孔与所述风琴吸盘连通；

真空吸盘，用以取/放物料，所述真空吸盘安装于所述第二固定轴位于所述气腔外的一端，且与所述第三气孔连通设置。

在其中一个实施方式中，所述真空吸盘单元还包括：

第二限位件，安装于所述固定座，用以限制所述第二固定轴沿着所述气腔轴线方向运动的行程以及相对所述固定座轴线转动。

可以理解的是，通过设置第二限位件，从而实现对第二固定轴在气腔轴线方向的限位；并且避免第二固定轴与安装座之间相互转动而造成放料时物料转动无法贴合料盘而损坏。

在其中一个实施方式中，所述第二固定轴的外壁开设有沿着所述气腔轴线方向延伸的配合槽；

所述第二限位件部分伸入所述配合槽内，且随着所述第二固定轴的运动，所述第二限位件能够在所述气腔轴线方向与所述配合槽的槽壁形成限位配合。

本申请还提供如下技术方案：

一种吸嘴模组，包括气缸以及吸嘴机构，所述吸嘴机构连接于所述气缸；

其中，所述吸嘴机构采用上述的吸嘴机构。

与现有技术相比，上述吸嘴机构通过设置其吸盘组件与第一固定轴之间的连接是在气腔内部完成，不再与外部大气直接接触；并且安装座与固定座之间虽与外界大气接触，但安装座和固定座之间也设有密封件，以通过密封件来保证第一气孔和第二气孔之间连通的密封性。如此，相较于其他靠吸嘴端部压装实现密封的方式，本申请提供的吸嘴机构的密封性更好，且能够避免漏气的情况发生。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或传统技术中的技术方案，下面将对实施例或传统技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请提供的吸嘴模组的结构示意图。

图2为本申请提供的吸嘴机构一视角的剖视示意图。

图3为本申请提供的固定座剖视示意图。

图4为本申请提供的吸嘴机构另一视角的剖视示意图。

附图标记：100、吸嘴机构；101、第一限位件；10、安装座；11、第一气孔；20、固定座；21、气腔；30、第一固定轴；31、第二气孔；32、安装槽；33、限位槽；40、密封件；50、吸盘组件；51、风琴吸盘；511、活动端；52、真空吸盘单元；521、第二固定轴；5211、第三气孔；522、真空吸盘；523、第二限位件；524、配合槽；53、弹性件；200、吸嘴模组。

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。

需要说明的是，当组件被称为“固定于”或“设置于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。本申请的说明书所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”、“下”可以是第一特征直接和第二特征接触，或第一特征和第二特征间接地通过中间媒介接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

除非另有定义，本申请的说明书所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本申请。本申请的说明书所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

如图1所示，本申请提供一种吸嘴模组200，吸嘴模组200包括气缸(图未示)以及吸嘴机构100，吸嘴机构100主要用于拾取和释放物料。吸嘴机构100连接于气缸，从而响应气缸的动力使得吸嘴机构100形成负压，以实现取/放物料。在这里，物料可以为芯片等半导体部件。

在一实施例中，吸嘴机构100的数量可以为多个，且多个吸嘴机构100之间间隔设置，并在气缸的作用下能够同时取/放物料。

如图2至图4所示，吸嘴机构100包括安装座10、固定座20、第一固定轴30、密封件40及吸盘组件50。安装座10开设有贯穿设置的第一气孔11，第一气孔11用以连接气路。固定座20安装于安装座10，且开设有气腔21。第一固定轴30，安装于气腔21内，且第一固定轴30开设有第二气孔31，第二气孔31与第一气孔11连通。密封件40位于安装座10和第一固定轴30之间，用以密封安装座10和第一固定轴30之间的间隙。作为优选，密封件沿第二气孔31的周向方向进行围设布置。吸盘组件50，用以取/放物料，吸盘组件50的部分伸入气腔21内，并与第一固定轴30连接且与第二气孔31连通。

如此，在本申请中，由于吸盘组件50与第一固定轴30之间的连接是在气腔21内部完成，不再与外部大气直接接触；并且安装座10与固定座20之间虽与外界大气接触，但安装座10和固定座20之间也设有密封件40，以通过密封件40来保证第一气孔11和第二气孔31之间连接的密封性。如此，相较于其他靠吸嘴端部压装实现密封的方式，本申请提供的吸嘴机构100的密封性更好，且能够避免漏气的情况发生，进而避免在吸取物料时出现掉料或者吸不上料的风险。

如图2所示，安装座10的第一气孔11是沿着其厚度方向贯穿设置。沿着安装座10的厚度方向，安装座10的一侧面用于连接气路，安装座10的另一侧面用于与固定座20抵靠并连接。

固定座20与安装座10之间可以通过可拆卸结构连接，也可以通过固定连接的方式连接。在这里，可拆卸结构可以为螺纹件连接、卡扣连接等。固定连接的方式可以是焊接、铆接等。在本实施例中，固定座20与安装座10之间通过螺纹件实现两者之间的可拆卸连接，以便于其他部件的安装和拆卸。

如图2所示，气腔21为沿着安装座10的厚度方向贯穿固定座20。第一固定轴30位于气腔21靠近安装座10的一端。

如图3所示，第一固定轴30朝向安装座10的一端开设有围成在第二气孔31周向的安装槽32，密封件40的一部分嵌设于安装槽32内，另一部分凸出安装槽32，并用于与安装座10形成抵靠密封。

在一实施例中，密封件40设置为O形密封圈或者其他具有密封功能的部件。需要说明的是，固定座20与安装座10也可以采用硬密封的方式进行密封，当然采用硬密封的方式时，此时的密封件40理解为密封面或者密封凸起等。

如图4所示，为实现第一固定轴30的限位，吸嘴机构100还包括第一限位件101，第一限位件101位于第一固定轴30处且穿设固定座20，并与第一固定轴30形成限位配合。

具体地，固定座20上开设有与气腔21连通的第一限位孔(图未标)，第一固定轴30外侧壁上开设有与第一限位孔对应的限位槽33。第一限位件101的一端依次穿过第一限位孔和限位槽33，并固定在固定座20上，从而通过第一限位件101实现对第一固定轴30的限位。其中，第一固定轴30的限位涉及沿着气腔21的轴线方向的限位以及相对固定座20周向转动的限位。同时，第一限位件101可以设置为销轴，如此设置，不仅结构简单且安装、拆卸方便。

如图2至图3所示，吸盘组件50包括风琴吸盘51及真空吸盘单元52，风琴吸盘51设于气腔21内，且风琴吸盘51的一端固定于第一固定轴30上，并与第二气孔31连通设置，风琴吸盘51的另一端配置为活动端511。真空吸盘单元52用于取/放物料，其部分伸入气腔21内并与气腔21内壁滑动连接，且真空吸盘单元52伸入气腔21内的部分连接于活动端511。其中，活动端511能够响应外力而沿着气腔21的轴线方向作伸/缩运动，真空吸盘单元52能够随着活动端511的运动而运动，从而实现真空吸盘单元52整体的缓冲。可以理解的是，通过设置风琴吸盘51，风琴吸盘51能够提供较大的缓冲行程，可以有效避免因过压而导致吸嘴压碎物料的风险；同时，风琴吸盘51是设置于气腔21内，且利用风琴吸盘51内部中空的特性，来实现与气路的连通。如此，在实现缓冲的同时亦能够很好的保证密封性能。

同时，通过设置风琴吸盘51，其能够提供更大的缓冲行程，且在有缓冲行程的需求情况下，风琴吸盘51的设置能极大程度地缩小吸嘴机构100整体的空间尺寸，且同时满足空间紧凑及缓冲行程大的需求。

如图2所示，真空吸盘单元52包括第二固定轴521及真空吸盘522，第二固定轴521的一端伸入气腔21内并与活动端511连接，另一端位于气腔21外部；其中，第二固定轴521上开设有第三气孔5211，第三气孔5211与风琴吸盘51连通。真空吸盘522，用以取/放物料，真空吸盘522安装于第二固定轴521位于气腔21外的一端，且与第三气孔5211连通设置。如此，真空吸盘522、第三气孔5211、风琴吸盘51、第二气孔31以及第一气孔11之间互相连通，从而形成完整的气路，并通过该气路实现真空吸盘522对物料的取/放。

如图4所示，真空吸盘单元52还包括第二限位件523，第二限位件523安装于固定座20上，第二限位件523用以限制第二固定轴521沿着气腔21轴线方向运动的行程以及相对固定座20轴线转动。如此，可避免第二固定轴521与安装座10之间相互转动而造成放料时物料转动无法贴合料盘而损坏、以及限制第二固定轴521沿着气腔21的轴线方向过渡运动。

具体地，第二固定轴521的外壁上开设有沿着气腔21轴线方向延伸的配合槽524。固定座20上开设有第二限位孔(图未标)，第二限位件523部分经过第二限位孔伸入配合槽524内，且随着第二固定轴521的运动，第二限位件523能够在气腔21轴线方向与配合槽524的槽壁形成限位配合。同时，第二限位件523也与固定座20之间形成周向的限位，从而限制第二固定轴521相对固定座20/安装座10转动。其中，第二限位件523可以设置为销轴，如此不仅结构简单且安装、拆卸方便。

进一步地，如图2和图3所示，吸盘组件50还包括弹性件53，弹性件53位于气腔21内且套设于风琴吸盘51外侧，弹性件53的一端抵接于第一固定轴30，另一端抵接于真空吸盘单元52。可以理解的是，弹性件53的设置，可以辅助风琴吸盘51的复位，避免风琴吸盘51出现卡滞等情况。其中，弹性件53与风琴吸盘51之间形成有预设间隙，以免对风琴吸盘51的伸缩运动造成干扰。

在这里，弹性件53可以是弹簧、弹性套筒或者其他具有弹性功能的部件。

以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请的专利保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种吸嘴机构，其特征在于，所述吸嘴机构包括：

安装座，开设有贯穿设置的第一气孔，所述第一气孔用以连接气路；

固定座，安装于所述安装座，且开设有气腔；

第一固定轴，安装于所述气腔内，且开设有第二气孔，所述第二气孔与所述第一气孔连通；

密封件，设于所述安装座和所述第一固定轴之间，用以密封所述安装座和所述第一固定轴之间的间隙；

吸盘组件，用以取/放物料，所述吸盘组件的部分伸入所述气腔内，并与所述第一固定轴连接，且与所述第二气孔连通。

2.根据权利要求1所述的吸嘴机构，其特征在于，所述第一固定轴朝向所述安装座的一端开设有围成在所述第二气孔周向的安装槽，所述密封件的部分嵌设于所述安装槽内。

3.根据权利要求2所述的吸嘴机构，其特征在于，所述密封件设置为O形密封圈。

4.根据权利要求2所述的吸嘴机构，其特征在于，所述吸嘴机构还包括：

第一限位件，位于所述第一固定轴处且穿设所述固定座，并与所述第一固定轴形成限位配合。

5.根据权利要求1所述的吸嘴机构，其特征在于，所述吸盘组件包括：

风琴吸盘，设于所述气腔内，且所述风琴吸盘的一端固定于所述第一固定轴，并与所述第二气孔连通设置，所述风琴吸盘的另一端配置为活动端；

真空吸盘单元，其部分伸入所述气腔内并与所述气腔内壁滑动连接，且所述真空吸盘单元伸入所述气腔内的部分连接于所述活动端；

其中，所述活动端能够响应外力而沿着所述气腔的轴线方向作伸/缩运动，所述真空吸盘单元能够随着所述活动端的运动而运动。

6.根据权利要求5所述的吸嘴机构，其特征在于，所述吸盘组件还包括：

弹性件，位于所述气腔内且套设于所述风琴吸盘外侧，所述弹性件的一端抵接于所述第一固定轴，另一端抵接于所述真空吸盘单元。

7.根据权利要求5所述的吸嘴机构，其特征在于，所述真空吸盘单元包括：

第二固定轴，其一端伸入所述气腔内并与所述活动端连接，另一端位于所述气腔外部；其中，所述第二固定轴上开设有第三气孔，所述第三气孔与所述风琴吸盘连通；

真空吸盘，用以取/放物料，所述真空吸盘安装于所述第二固定轴位于所述气腔外的一端，且与所述第三气孔连通设置。

8.根据权利要求7所述的吸嘴机构，其特征在于，所述真空吸盘单元还包括：

第二限位件，安装于所述固定座，用以限制所述第二固定轴沿着所述气腔轴线方向运动的行程以及相对所述固定座轴线转动。

9.根据权利要求8所述的吸嘴机构，其特征在于，所述第二固定轴的外壁开设有沿着所述气腔轴线方向延伸的配合槽；

所述第二限位件部分伸入所述配合槽内，且随着所述第二固定轴的运动，所述第二限位件能够在所述气腔轴线方向与所述配合槽的槽壁形成限位配合。

10.一种吸嘴模组，其特征在于，包括气缸以及吸嘴机构，所述吸嘴机构连接于所述气缸，

其中，所述吸嘴机构采用如权利要求1-9任一项所述吸嘴机构。