CN220197577U - 一种真空键合装置承物台快速拆卸工装 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种真空键合装置承物台快速拆卸工装，包括：用于操作者握持的把手，拉杆，支撑板，连接板，导柱，弹簧和导套；把手与支撑板固定；连接板置于支撑板下方，拉杆的竖直杆体部分贯穿支撑板与位于下方的连接固定，拉杆的手柄部分位于把手正下方；导柱、弹簧和导套组成一组利用弹簧弹力实现往复复位的弹性夹持单元；通过利用弹簧的弹性力实现导柱的头部与导套底部端面形成实时夹持，进而形成一个快速夹持移动的拆卸工装。

Description

一种真空键合装置承物台快速拆卸工装

技术领域

本实用新型涉及晶圆级真空键合装置技术领域，具体而言，尤其涉及用于快速拆卸真空键合装置上下两部分承物台的拆卸工装。

背景技术

晶圆级真空键合装置是用于传感器制造过程中实现芯片的无应力、无蠕变封装，以保证传感器特有的高精度、高灵敏度特性的封接装置。

该晶圆级真空键合装置承物台分上、下两部分，在使用过程中上承物台表面易氧化，随着氧化物的不断积累，使上承物台表面平行度、光洁度遭到严重破坏，封接过程中损耗率过高，且上承物台在使用过程中带有余温，需要降温后再进行拆装，在一定程度上制约了生产速度。

发明内容

根据上述提出的技术问题，而提供一种不受温度影响能够直接快速拆卸上下分布式承物台的拆卸工装。

本实用新型采用的技术手段如下：

一种真空键合装置承物台快速拆卸工装，包括：

用于操作者握持的把手，拉杆，支撑板，连接板，导柱，弹簧和导套；

上述把手固定在支撑板上端面；

上述连接板设置于支撑板下方，拉杆为T型结构，竖直杆体部分贯穿支撑板预设通孔与位于下方的连接板可拆卸固定，拉杆的横置手柄部分位于把手握持部分正下方，即握持手柄的使用者可通过弯曲手指拉动拉杆的横置手柄部分；

上述导套为顶部敞口底部设有通孔的柱状套筒结构；

上述导柱为T型螺纹杆，杆体部分直径小于等于导套底部通孔的直径；

上述导柱倒置设置，由导套底部通孔伸入，伸入的杆体部分套装弹簧，弹簧底部顶于导套内腔的底部，导套伸入导套的杆体上位于弹簧顶部固定有直径小于等于导套内腔直径的导向块，导向块能够在导套内腔轴向自由滑动，导柱的顶端螺纹部分贯穿支撑板预设的通孔，伸出部分杆体通过锁紧螺母进行锁紧定位，导柱、弹簧和导套组成一组利用弹簧弹力实现往复复位的弹性夹持单元；

上述导套固定在连接板上；

上述弹性夹持单元的数量为偶数个，以拉杆的中心轴为中心两两对称设置。

采用上述技术方案的本实用新型，通常在上承物台外圈对应位置加工有用于导柱头部嵌入的锁孔，在使用过程中先调节导柱的锁紧螺母的锁紧位置，进而调节连接板和支撑板的间距，要保证这个间距大于上承物台外圈厚度，然后使用者握持把手然后提拉拉杆带动连接板和支撑板靠近对弹簧进行压缩，然后将导柱头部与承物台的锁孔对正、插入，然后使用者手部旋转使导柱头部嵌入到锁孔底部非开孔区域，然后松开拉杆，弹簧的复位弹性促使导柱上升进而导柱头部上端面与导套底部端面对承物台进行夹持。

较现有技术相比，本实用新型结构简单，操作方便。在上承物台表面氧化影响使用时，可以快速对上承物台进行更换拆装，不用考虑上承物台余温的影响，在较高温度下也可以进行更换操作，有效的解决了设备连续工作的难题，同时也消除了上承物台更换困难的困扰。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图做以简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型整体结构剖视图。

图2为本实用新型弹性夹持单元结构示意图。

图3为带有预设锁孔的上承物台的俯视图。

图中：1、把手，2、拉杆，3、支撑板，4、连接板，5、导柱，51、锁紧螺母，52、导向块，6、弹簧，7、导套；

A、弹性夹持单元。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本实用新型及其应用或使用的任何限制。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本实用新型的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。

除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本实用新型的范围。同时，应当清楚，为了便于描述，附图中所示出的各个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。对于相关领域普通技术人员己知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中，任向具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，方位词如“前、后、上、下、左、右”、“横向、竖向、垂直、水平”和“顶、底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，在未作相反说明的情况下，这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型保护范围的限制：方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。

为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其位器件或构造之下”。因而，示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90度或处于其他方位)，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。

此外，需要说明的是，使用“第一”、“第二”等词语来限定零部件，仅仅是为了便于对相应零部件进行区别，如没有另行声明，上述词语并没有特殊含义，因此不能理解为对本实用新型保护范围的限制。

如图1至图3所示，本实用新型提供了一种真空键合装置承物台快速拆卸工装，包括：

用于操作者握持的把手1，拉杆2，支撑板3，连接板4，导柱5，弹簧6和导套7；

上述把手1固定在支撑板3上端面；

上述连接板4设置于支撑板3下方，拉杆2为T型结构，竖直杆体部分贯穿支撑板3预设通孔与位于下方的连接板4可拆卸固定，拉杆2的横置手柄部分位于把手1握持部分正下方，即握持手柄的使用者可通过弯曲手指拉动拉杆2的横置手柄部分；

上述导套7为顶部敞口底部设有通孔的柱状套筒结构；

上述导柱5为T型螺纹杆，杆体部分直径小于等于导套7底部通孔的直径；

上述导柱5倒置设置，由导套7底部通孔伸入，伸入的杆体部分套装弹簧6，弹簧6底部顶于导套7内腔的底部，导套7伸入导套7的杆体上位于弹簧6顶部固定有直径小于等于导套7内腔直径的导向块52，导向块52能够在导套7内腔轴向自由滑动，导柱5的顶端螺纹部分贯穿支撑板3预设的通孔，伸出部分杆体通过锁紧螺母51进行锁紧定位，导柱5、弹簧6和导套7组成一组利用弹簧弹力实现往复复位的弹性夹持单元A；

上述导套7固定在连接板4上；

上述弹性夹持单元A的数量为偶数个，以拉杆2的中心轴为中心两两对称设置。

采用上述技术方案的本实用新型，通常在上承物台外圈对应位置加工有用于导柱5头部嵌入的锁孔，在使用过程中先调节导柱5的锁紧螺母51的锁紧位置，进而调节连接板4和支撑板3的间距，要保证这个间距大于上承物台外圈厚度，然后使用者握持把手1然后提拉拉杆2带动连接板4和支撑板3靠近对弹簧6进行压缩，然后将导柱5头部与承物台的锁孔对正、插入，然后使用者手部旋转使导柱5头部嵌入到锁孔底部非开孔区域，然后松开拉杆1，弹簧6的复位弹性促使导柱5上升进而导柱5头部上端面与导套7底部端面对承物台进行夹持。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (1)

1.一种真空键合装置承物台快速拆卸工装，其特征在于，包括：

用于操作者握持的把手(1)，拉杆(2)，支撑板(3)，连接板(4)，导柱(5)，弹簧(6)和导套(7)；

上述把手(1)固定在支撑板(3)上端面；

上述连接板(4)设置于支撑板(3)下方，拉杆(2)为T型结构，竖直杆体部分贯穿支撑板(3)预设通孔与位于下方的连接板(4)可拆卸固定，拉杆(2)的横置手柄部分位于把手(1)握持部分正下方，即握持手柄的使用者可通过弯曲手指拉动拉杆(2)的横置手柄部分；

上述导套(7)为顶部敞口底部设有通孔的柱状套筒结构；

上述导柱(5)为T型螺纹杆，杆体部分直径小于等于导套(7)底部通孔的直径；

上述导柱(5)倒置设置，由导套(7)底部通孔伸入，伸入的杆体部分套装弹簧(6)，弹簧(6)底部顶于导套(7)内腔的底部，导套(7)伸入导套(7)的杆体上位于弹簧(6)顶部固定有直径小于等于导套(7)内腔直径的导向块(52)，导向块(52)能够在导套(7)内腔轴向自由滑动，导柱(5)的顶端螺纹部分贯穿支撑板(3)预设的通孔，伸出部分杆体通过锁紧螺母(51)进行锁紧定位，导柱(5)、弹簧(6)和导套(7)组成一组利用弹簧弹力实现往复复位的弹性夹持单元(A)；

上述导套(7)固定在连接板(4)上；

上述弹性夹持单元(A)的数量为偶数个，以拉杆(2)的中心轴为中心两两对称设置。