CN220189567U - 晶圆除尘机构及晶圆除尘设备 - Google Patents

Abstract

本申请涉及晶圆加工技术领域，公开了一种晶圆除尘机构及晶圆除尘设备，包括安装座和设于安装座上的除尘组件、压轮和驱动组件：安装座包括安装台，用于放置晶圆和吸附晶圆；除尘组件包括固定轴、卷轴和蓝膜，固定轴和卷轴沿第一方向间隔设置，蓝膜的相对两端分别绕设于固定轴和卷轴上；压轮设于固定轴和卷轴之间；驱动组件包括第一驱动件和第二驱动件，第一驱动件用于驱动卷轴沿第一方向移动以将蓝膜铺设于晶圆上方，第二驱动件用于驱动压轮沿第一方向移动以使蓝膜与晶圆相贴合。上述晶圆除尘机构通过移除贴合在晶圆上的蓝膜以除尘，除尘后无需烘烤晶圆，除尘效率高，且可降低设备采购成本，解决现有技术中晶圆清洗时间长，清洗成本高的问题。

Description

晶圆除尘机构及晶圆除尘设备

技术领域

本申请涉及晶圆加工技术领域，尤其涉及一种晶圆除尘机构及晶圆除尘设备。

背景技术

目前，针对晶圆表面存在脏污的情况，通常是利用晶圆清洗机在超纯净水的环境下进行晶圆清洗，清洗完成后还需要烘烤晶圆，清洗时间较长；此外，晶圆清洗设备昂贵，且需要导入生产超纯净水的设备系统，增加了晶圆清洗的成本。

实用新型内容

有鉴于此，本申请提供了一种晶圆除尘机构及晶圆除尘设备，解决现有技术中晶圆的清洗时间较长，且清洗成本高的问题。

本申请第一方面的实施例提出一种晶圆除尘机构，包括安装座和设于所述安装座上的除尘组件、压轮和驱动组件：

所述安装座包括安装台，所述安装台用于放置晶圆和吸附所述晶圆；

所述除尘组件包括固定轴、卷轴和蓝膜，所述固定轴和所述卷轴沿第一方向间隔设置，所述蓝膜的相对两端分别绕设于所述固定轴和所述卷轴上；

所述压轮设于所述固定轴和所述卷轴之间；

所述驱动组件包括第一驱动件和第二驱动件，所述第一驱动件用于驱动所述卷轴沿所述第一方向移动以将所述蓝膜铺设于所述晶圆上方，所述第二驱动件用于驱动所述压轮沿所述第一方向移动以使所述蓝膜与所述晶圆相贴合。

在一实施例中，所述晶圆除尘机构还包括设于所述安装台的相对两侧且沿所述第一方向延伸的第一滑轨和第二滑轨，所述卷轴的两端分别通过两个第一移动座、所述压轮的两端分别通过两个第二移动座连接于所述第一滑轨和所述第二滑轨；

所述第一驱动件连接于至少一个所述第一移动座并驱动所述卷轴滑动连接于所述第一滑轨和所述第二滑轨，所述第二驱动件连接于至少一个所述第二移动座并驱动所述压轮滑动连接于所述第一滑轨和所述第二滑轨。

在一实施例中，所述第一驱动件和所述第二驱动件分别设于所述安装台的相对两侧，所述第一驱动件包括相连接的第一驱动电机和第一丝杆，所述第一驱动电机用于驱动所述第一丝杆旋转，其中一个所述第一移动座可沿所述第一丝杆在所述第一方向移动；

所述第二驱动件包括相连接的第二驱动电机和第二丝杆，所述第二驱动电机用于驱动所述第二丝杆旋转，其中一个所述第二移动座可沿所述第二丝杆在所述第一方向移动。

在一实施例中，所述安装座内设有收容空间，所述卷轴、所述压轮、所述第一滑轨和所述第二滑轨均设于所述安装座的顶面上，所述第一驱动电机和所述第二驱动电机均连接于所述安装座，且所述第一丝杆和所述第二丝杆沿所述第一方向收容于所述收容空间内，所述第一移动座部分穿设所述顶面并延伸至所述收容空间内以连接所述第一丝杆，所述第二移动座部分穿设所述顶面并延伸至所述收容空间内以连接所述第二丝杆。

在一实施例中，至少一个所述第一移动座上设有步进电机，所述卷轴朝向所述步进电机的一端固定连接于所述步进电机的驱动端。

在一实施例中，所述晶圆除尘机构还包括第一升降驱动件和第二升降驱动件，所述第一升降驱动件设于所述第一移动座上且所述第一升降驱动件的驱动端连接于所述卷轴，所述第二升降驱动件设于所述第二移动座上且所述第二升降驱动件的驱动端连接于所述压轮。

在一实施例中，所述安装台包括顶针、吸盘和第三驱动件，所述吸盘上开设有通孔和用于与真空发生装置相连通的抽气孔，所述顶针固定连接于所述第三驱动件的驱动端，所述第三驱动件用于驱动所述顶针作升降运动以沿竖直方向活动穿设于所述通孔，所述顶针用于放置所述晶圆并带动所述晶圆移动至所述吸盘的顶部。

在一实施例中，所述吸盘上开设有多个同心设置的环槽，所述环槽内均开设有所述抽气孔。

在一实施例中，所述晶圆除尘机构还包括设于所述安装座上的压杆，所述压杆位于所述固定轴与所述压轮之间，所述压杆的高度低于所述固定轴的高度，且所述压杆和所述卷轴的高度相同，所述压杆用于张紧所述蓝膜。

上述晶圆除尘机构包括安装座、除尘组件、压轮和驱动组件，可于安装座的安装台上放置晶圆并进行吸附以实现晶圆的固定，蓝膜在卷轴的带动下沿第一方向铺设于晶圆的上方，并在压轮的碾压下与晶圆相贴合。由于蓝膜具有粘性，当移除贴合在晶圆上的蓝膜时，蓝膜可将晶圆表面的颗粒物带走，有效除尘，不易对晶圆的表面造成损坏，此外，除尘后无需烘烤晶圆，除尘效率高，且可降低设备采购成本，从而解决现有技术中晶圆的清洗时间较长，且清洗成本高的问题。

本申请第二方面的实施例提出一种晶圆除尘设备，包括如第一方面任一实施例中的晶圆除尘机构和晶圆取放机构，所述晶圆取放机构包括机械手臂，所述机械手臂用于抓取晶圆并将所述晶圆转移至所述晶圆除尘机构的安装座上。

上述晶圆除尘设备通过机械手臂实现晶圆盒内晶圆的抓取和安装台上晶圆的放置，无需人工操作，隔绝人工污染；其次，蓝膜在卷轴的带动下沿第一方向铺设于晶圆的上方，并在压轮的碾压下与晶圆相贴合。由于蓝膜具有粘性，当移除贴合在晶圆上的蓝膜时，蓝膜可将晶圆表面的颗粒物带走，有效除尘，不易对晶圆的表面造成损坏，此外，除尘后无需烘烤晶圆，除尘效率高，且可降低设备采购成本，从而解决现有技术中晶圆的清洗时间较长，且清洗成本高的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的晶圆除尘机构的立体示意图；

图2为图1所示晶圆除尘机构另一角度的立体示意图；

图3为图1所示晶圆除尘机构的立体分解示意图；

图4为本申请实施例提供的晶圆除尘设备的立体示意图；

图5为图4所示晶圆除尘设备的内部结构示意图之一；

图6为图4所示晶圆除尘设备的内部结构示意图之二。

图中标记的含义为：

100、晶圆除尘机构；200、晶圆；300、晶圆除尘设备；

10、安装座；11、安装台；111、顶针；112、吸盘；113、第三驱动件；114、通孔；115、环槽；116、固定柱；117、圆盘；12、收容空间；13、顶面；14、条形通道；

20、除尘组件；21、固定轴；22、卷轴；23、蓝膜；

30、压轮；

40、驱动组件；41、第一驱动件；411、第一驱动电机；412、第一丝杆；42、第二驱动件；421、第二驱动电机；422、第二丝杆；

51、第一滑轨；52、第二滑轨；53、第一移动座；54、第二移动座；55、步进电机；56、第一升降驱动件；57、第二升降驱动件；58、第三升降驱动件；

60、压杆；

70、晶圆取放机构；71、机械手臂；

81、机架；82、晶圆盒；821、盒体；822、盒盖；83、开盖机构；84、外壳。

具体实施方式

为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图即实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

为了说明本申请所述的技术方案，下面结合具体附图及实施例来进行说明。

本申请第一方面的实施例提出一种晶圆除尘机构，用于对晶圆进行除尘。

请参照图1至图3，在本申请的一个实施例中，晶圆除尘机构100包括安装座10和设于安装座10上的除尘组件20、压轮30和驱动组件40。

安装座10包括安装台11，安装台11用于放置晶圆200和吸附晶圆200，即晶圆200可通过安装台11固定放置于安装座10上；除尘组件20包括固定轴21、卷轴22和蓝膜23，固定轴21和卷轴22沿第一方向(图示X方向)间隔设置；蓝膜23的相对两端分别绕设于固定轴21和卷轴22上；压轮30设于固定轴21和卷轴22之间；驱动组件40包括第一驱动件41和第二驱动件42，第一驱动件41用于驱动卷轴22沿第一方向X移动以将蓝膜23铺设于晶圆200上方，第二驱动件42用于驱动压轮30沿第一方向X移动以使蓝膜23与晶圆200相贴合。

其中，压轮30、固定轴21、卷轴22均沿垂直于第一方向X的第二方向(图示Y方向)延伸，即三者平行设置。可以理解，卷轴22在第一驱动件41作用下沿第一方向X移动时，固定轴21应处于转动状态，但固定轴21沿第一方向X无位移。

由于蓝膜23具有粘性，当移除贴合在晶圆200上的蓝膜23时，蓝膜23可将晶圆200表面的颗粒物带走，以进行除尘，且不易对晶圆200的表面造成损坏。

可以理解，第二驱动件42驱动压轮30沿第一方向X移动时，压轮30作用在蓝膜23上并排出蓝膜23与晶圆200之间的空气，以使蓝膜23与晶圆200充分贴合，增加蓝膜23与晶圆200之间的粘结强度。待压合完毕，卷轴22从远离固定轴21的一侧向靠近固定轴21的一侧卷动，以将蓝膜23与晶圆200表面分离开，达到除尘的目的，并将已使用过的蓝膜23收卷。

上述晶圆除尘机构100包括安装座10、除尘组件20、压轮30和驱动组件40，可于安装座10的安装台11上放置晶圆200并进行吸附以实现晶圆200的固定，蓝膜23在卷轴22的带动下沿第一方向X铺设于晶圆200的上方，并在压轮30的碾压下与晶圆200相贴合。由于蓝膜23具有粘性，当移除贴合在晶圆200上的蓝膜23时，蓝膜23可将晶圆200表面的颗粒物带走，有效除尘，不易对晶圆200的表面造成损坏，此外，除尘后无需烘烤晶圆200，除尘效率高，且可降低设备采购成本，从而解决现有技术中晶圆的清洗时间较长，且清洗成本高的问题。

请参照图1至图3，在本申请的一些实施例中，晶圆除尘机构100还包括设于安装台11的相对两侧且沿第一方向X延伸的第一滑轨51和第二滑轨52，卷轴22的两端分别通过两个第一移动座53、压轮30的两端分别通过两个第二移动座54连接于第一滑轨51和第二滑轨52；第一驱动件41连接于至少一个第一移动座53并驱动卷轴22滑动连接于第一滑轨51和第二滑轨52，第二驱动件42连接于至少一个第二移动座54并驱动压轮30滑动连接于第一滑轨51和第二滑轨52。如此，第一滑轨51和第二滑轨52为卷轴22和压轮30的移动提供导向，且卷轴22的两端、压轮30的两端分别连接于第一滑轨51和第二滑轨52时，可减少移动过程中卡顿的可能性。

在本实施例中，第一驱动件41连接于其中一个第一移动座53并驱动卷轴22滑动连接于第一滑轨51和第二滑轨52，第二驱动件42连接于其中一个第二移动座54并驱动压轮30滑动连接于第一滑轨51和第二滑轨52，且第一驱动件41和第二驱动件42所连接的第一移动座53和第二移动座54位于不同的滑轨上。可以理解，第一驱动件41连接于其中一个第一移动座53并驱动其沿第一方向X移动时，由于卷轴22的两端均连接第一移动座53，则在力的传递作用下，卷轴22另一端所连接的第一移动座53也可随之沿第一方向X移动。压轮30的驱动方式与卷轴22的相似，在此不再赘述。

具体地，请参照图1和图2，第一驱动件41和第二驱动件42分别设于安装台11的相对两侧，第一驱动件41包括相连接的第一驱动电机411和第一丝杆412，第一驱动电机411用于驱动第一丝杆412旋转，其中一个第一移动座53可沿第一丝杆412在第一方向X移动；第二驱动件42包括相连接的第二驱动电机421和第二丝杆422，第二驱动电机421用于驱动第二丝杆422旋转，其中一个第二移动座54可沿第二丝杆422在第一方向X移动。如此，第一驱动件41和第二驱动件42的驱动方式简单，且精准度高。

其中，连接于第一丝杆412的第一移动座53和连接于第二丝杆422的第二移动座54分别设于安装台11的相对两侧，可避免第一丝杆412和第二丝杆422位置的干涉，卷轴22和压轮30的移动相独立，且互不影响。

在本实施例中，请参照图1至图3，安装座10内设有收容空间12，卷轴22、压轮30、第一滑轨51和第二滑轨52均设于安装座10的顶面13上，第一驱动电机411和第二驱动电机421均连接于安装座10，且第一丝杆412和第二丝杆422沿第一方向X收容于收容空间12内，第一移动座53部分穿设顶面13并延伸至收容空间12内以连接第一丝杆412，第二移动座54部分穿设顶面13并延伸至收容空间12内以连接第二丝杆422。如此，第一驱动件41和第二驱动件42大部分收容于收容空间12内，相较于分布于安装座10的顶面13上，可减少安装座10上零部件的安装，从而减小晶圆除尘机构100的占地面积。

具体地，顶面13上设有两个沿第一方向X延伸的条形通道14，第一移动座53的部分穿设条形通道14并延伸至收容空间12内以传动连接于第一丝杆412，第二移动座54的部分穿设条形通道14并延伸至收容空间12内以传动连接第二丝杆422。

其中，第一驱动电机411通过紧固件螺纹连接于安装座10，第一驱动电机411的驱动端和第一丝杆412之间通过联轴器实现固定连接，第一丝杆412远离第一驱动电机411的一端螺纹连接于安装座10；第二驱动电机421通过紧固件螺纹连接于安装座10，第二驱动电机421的驱动端和第二丝杆422之间也通过联轴器实现固定连接，第二丝杆422远离第二驱动电机421的一端螺纹连接于安装座10。

可以理解，第一驱动件41和第二驱动件42与第一移动座53和第二移动座54之间的连接关系也可为其他。在本申请的其他实施例中，第一驱动件41连接两个第一移动座53并驱动卷轴22滑动连接于第一滑轨51和第二滑轨52，第二驱动件42连接两个第二移动座54并驱动压轮30滑动连接于第一滑轨51和第二滑轨52，为避免第一驱动件41和第二驱动件42的安装位置相干涉，可将第一驱动件41和第二驱动件42沿竖直方向Z间隔设置，例如，可将第一驱动件41设于顶面13上，并将第二驱动件42设于收容空间12内；或者，第一驱动件41和第二驱动件42均设于顶面13上，且压轮30的长度大于卷轴22的长度，此时，第二驱动件42位于第一驱动件41远离安装台11的一侧，但不限于此。

请参照图3，在本申请的一个实施例中，两个第一移动座53上均设有步进电机55，卷轴22朝向步进电机55的一端固定连接于步进电机55的驱动端。如此，可通过步进电机55控制卷轴22的旋转方向和速度，以完成蓝膜23的移除。

可以理解，在本申请的其他实施例中，也可仅其中一个第一移动座53上设有步进电机55，另一第一移动座53上设有轴承以实现卷轴22两端的转动配合，在此不做限制。

请参照图1和图3，在本申请的一个实施例中，晶圆除尘机构100还包括第一升降驱动件56和第二升降驱动件57，第一升降驱动件56设于第一移动座53上且第一升降驱动件56的驱动端连接于卷轴22，第二升降驱动件57设于第二移动座54上且第二升降驱动件57的驱动端连接于压轮30。如此，可根据实际应用情况以对压轮30和卷轴22的高度进行调节，以适应不同的除尘环境，灵活性强；此外，第一升降驱动件56设于第一移动座53上可节省空间体积，整体性强。

具体地，第一升降驱动件56和第二升降驱动件57均为气缸，卷轴22的两端分别连接于对应第一移动座53上的气缸的驱动端，压轮30的两端分别连接于对应第二移动座54上的气缸的驱动端。

请参照图1至图3，在本申请的一个实施例中，安装台11包括顶针111、吸盘112和第三驱动件113，吸盘112上开设有通孔114和用于与真空发生装置相连通的抽气孔(图未示)，顶针111固定连接于第三驱动件113的驱动端，第三驱动件113用于驱动顶针111作升降运动以沿竖直方向(图示Z方向)活动穿设于通孔114，顶针111用于放置晶圆200并带动晶圆200移动至吸盘112的顶部。如此，顶针111在第三驱动件113的驱动下上升并穿设通孔114至凸出吸盘112，即顶针111的端部与吸盘112之间具有一定距离，便于晶圆200的放置。

在本实施例中，吸盘112设于安装座10的顶面13上，第三驱动件113设于收容空间12内，且通过多个固定柱116固定连接于顶面13。多个顶针111间隔设于一圆盘117上，圆盘117固定连接于第三驱动件113的驱动端，顶面13上开设有多个贯穿孔，顶针111可穿设于对应的贯穿孔内并延伸至对应的通孔114。

可以理解，安装台11的安装方式不唯一，在此不做限制。

请参照图3，在本申请的一个实施例中，吸盘112上开设有多个同心设置的环槽115，环槽115内开设有抽气孔。如此，真空发生装置开启并抽真空后，环槽115可增加吸盘112的真空腔体积，从而增大吸盘112与晶圆200之间的吸力，移除蓝膜23时，晶圆200不易晃动或脱落。

具体地，抽气孔的数量为多个，且部分抽气孔与设于吸盘112内的第一通道相连通，其余部分抽气孔与设于吸盘112内的第二通道相连通，以提高吸盘112抽真空的速率。

可以理解，在本申请的其他实施例中，吸盘112上抽气孔的分布方式也可为其他，在此不做限制。

请参照图1，在本申请的一个实施例中，晶圆除尘机构100还包括设于安装座10上的压杆60，压杆60位于固定轴21与压轮30之间，压杆60的高度低于固定轴21的高度，且压杆60和卷轴22的高度相同，压杆60用于张紧蓝膜23。如此，蓝膜23经由压杆60的下方经过，由于压杆60和卷轴22的高度相同，可防止蓝膜23出现一边高一边低的情况，避免影响贴合在晶圆200上的蓝膜23的平整度。

其中，压杆60的高度是指，沿竖直方向Z，压杆60与顶面13之间的距离。对应地，固定轴21的高度指，沿竖直方向Z，固定轴21与顶面13之间的距离；卷轴22的高度指，沿竖直方向Z，卷轴22与顶面13之间的距离。

此外，压杆60的高度可调。在安装座10上设有两个间隔分布的第三升降驱动件58，压杆60的两端分别连接第三升降驱动件58的驱动端，可通过第三升降驱动件58的驱动调整压杆60的高度，灵活度高。

上述晶圆除尘机构100包括安装座10、除尘组件20、压轮30和驱动组件40，可于安装座10的安装台11上放置晶圆200并进行吸附以实现晶圆200的固定，蓝膜23在卷轴22的带动下沿第一方向X铺设于晶圆200的上方，并在压轮30的碾压下与晶圆200相贴合。由于蓝膜23具有粘性，当移除贴合在晶圆200上的蓝膜23时，蓝膜23可将晶圆200表面的颗粒物带走，有效除尘，不易对晶圆200的表面造成损坏，此外，除尘后无需烘烤晶圆200，除尘效率高，且可降低设备采购成本，从而解决现有技术中晶圆的清洗时间较长，且清洗成本高的问题。

本申请第二方面的实施例提出一种晶圆除尘设备，请参照图1、图4至图6，晶圆除尘设备300包括如第一方面中任一实施例中的晶圆除尘机构100和晶圆取放机构70，晶圆取放机构70包括机械手臂71，机械手臂71用于抓取晶圆200并将晶圆200转移至晶圆除尘机构100的安装座10上。

在本实施例中，晶圆除尘设备300还包括机架81、晶圆盒82和开盖机构83，机架81外罩设有外壳84，外壳84用于隔绝内部结构与外界的连通，减少污染。晶圆盒82包括可拆卸连接的盒体821和盒盖822，盒盖822朝向晶圆取放机构70设置。

开盖机构83滑动连接于机架81，用于拆装和移动盒盖822，以方便机械手臂71抓取晶圆盒82内的晶圆200。

其中，为进行蓝膜23的更换，可在固定轴21对应的外壳84处开设一窗口，方便操作。

上述晶圆除尘设备300通过机械手臂71实现晶圆盒82内晶圆200的抓取和安装台11上晶圆200的放置，无需人工操作，隔绝人工污染；其次，蓝膜23在卷轴22的带动下沿第一方向X铺设于晶圆200的上方，并在压轮30的碾压下与晶圆200相贴合。由于蓝膜23具有粘性，当移除贴合在晶圆200上的蓝膜23时，蓝膜23可将晶圆200表面的颗粒物带走，有效除尘，不易对晶圆200的表面造成损坏，此外，除尘后无需烘烤晶圆200，除尘效率高，且可降低设备采购成本，从而解决现有技术中晶圆的清洗时间较长，且清洗成本高的问题。

以上所述实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的精神和范围，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种晶圆除尘机构，其特征在于，包括安装座和设于所述安装座上的除尘组件、压轮和驱动组件：

所述安装座包括安装台，所述安装台用于放置晶圆和吸附所述晶圆；

所述除尘组件包括固定轴、卷轴和蓝膜，所述固定轴和所述卷轴沿第一方向间隔设置，所述蓝膜的相对两端分别绕设于所述固定轴和所述卷轴上；

所述压轮设于所述固定轴和所述卷轴之间；

所述驱动组件包括第一驱动件和第二驱动件，所述第一驱动件用于驱动所述卷轴沿所述第一方向移动以将所述蓝膜铺设于所述晶圆上方，所述第二驱动件用于驱动所述压轮沿所述第一方向移动以使所述蓝膜与所述晶圆相贴合。

2.根据权利要求1所述的晶圆除尘机构，其特征在于，所述晶圆除尘机构还包括设于所述安装台的相对两侧且沿所述第一方向延伸的第一滑轨和第二滑轨，所述卷轴的两端分别通过两个第一移动座、所述压轮的两端分别通过两个第二移动座连接于所述第一滑轨和所述第二滑轨；

所述第一驱动件连接于至少一个所述第一移动座并驱动所述卷轴滑动连接于所述第一滑轨和所述第二滑轨，所述第二驱动件连接于至少一个所述第二移动座并驱动所述压轮滑动连接于所述第一滑轨和所述第二滑轨。

3.根据权利要求2所述的晶圆除尘机构，其特征在于，所述第一驱动件和所述第二驱动件分别设于所述安装台的相对两侧，所述第一驱动件包括相连接的第一驱动电机和第一丝杆，所述第一驱动电机用于驱动所述第一丝杆旋转，其中一个所述第一移动座可沿所述第一丝杆在所述第一方向移动；

所述第二驱动件包括相连接的第二驱动电机和第二丝杆，所述第二驱动电机用于驱动所述第二丝杆旋转，其中一个所述第二移动座可沿所述第二丝杆在所述第一方向移动。

4.根据权利要求3所述的晶圆除尘机构，其特征在于，所述安装座内设有收容空间，所述卷轴、所述压轮、所述第一滑轨和所述第二滑轨均设于所述安装座的顶面上，所述第一驱动电机和所述第二驱动电机均连接于所述安装座，且所述第一丝杆和所述第二丝杆沿所述第一方向收容于所述收容空间内，所述第一移动座部分穿设所述顶面并延伸至所述收容空间内以连接所述第一丝杆，所述第二移动座部分穿设所述顶面并延伸至所述收容空间内以连接所述第二丝杆。

5.根据权利要求2所述的晶圆除尘机构，其特征在于，至少一个所述第一移动座上设有步进电机，所述卷轴朝向所述步进电机的一端固定连接于所述步进电机的驱动端。

6.根据权利要求2所述的晶圆除尘机构，其特征在于，所述晶圆除尘机构还包括第一升降驱动件和第二升降驱动件，所述第一升降驱动件设于所述第一移动座上且所述第一升降驱动件的驱动端连接于所述卷轴，所述第二升降驱动件设于所述第二移动座上且所述第二升降驱动件的驱动端连接于所述压轮。

7.根据权利要求1所述的晶圆除尘机构，其特征在于，所述安装台包括顶针、吸盘和第三驱动件，所述吸盘上开设有通孔和用于与真空发生装置相连通的抽气孔，所述顶针固定连接于所述第三驱动件的驱动端，所述第三驱动件用于驱动所述顶针作升降运动以沿竖直方向活动穿设于所述通孔，所述顶针用于放置所述晶圆并带动所述晶圆移动至所述吸盘的顶部。

8.根据权利要求7所述的晶圆除尘机构，其特征在于，所述吸盘上开设有多个同心设置的环槽，所述环槽内均开设有所述抽气孔。

9.根据权利要求1-8中任一项所述的晶圆除尘机构，其特征在于，所述晶圆除尘机构还包括设于所述安装座上的压杆，所述压杆位于所述固定轴与所述压轮之间，所述压杆的高度低于所述固定轴的高度，且所述压杆和所述卷轴的高度相同，所述压杆用于张紧所述蓝膜。

10.一种晶圆除尘设备，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一项所述的晶圆除尘机构和晶圆取放机构，所述晶圆取放机构包括机械手臂，所述机械手臂用于抓取晶圆并将所述晶圆转移至所述晶圆除尘机构的安装座上。