CN220183365U - 一种轴承端面薄膜图案的制备工装 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及表面镀膜技术领域，具体涉及一种轴承端面薄膜图案的制备工装。该工装包括转接板、图案掩模板、压板和紧固件，转接板可拆卸地安装于薄膜加工样品台，转接板与图案掩模板之间形成用于放置待镀轴承的安装空间，压板贴合压设于图案掩模板远离转接板的端面，紧固件依次贯穿压板、图案掩模板及待镀轴承并整体紧固于转接板。该轴承端面薄膜图案的制备工装的目的是解决现有的工件薄膜制备工艺复杂、工期长、生产效率低的问题。

Description

一种轴承端面薄膜图案的制备工装

技术领域

本实用新型涉及表面镀膜技术领域，具体涉及一种轴承端面薄膜图案的制备工装。

背景技术

现有技术中，有时需要在结构部件表面制备图案，实现部件标记或性能标定等目的，目前常用镀膜配合刻蚀、电镀等形式实现。

现有技术中，有的实现步骤复杂，工艺繁琐，且待镀膜工件需要承受化学腐蚀等环境，在形成图案的过程中会对结构本体造成损坏。尤其对轴承等精密零件，通过刻蚀容易造成轴承生锈或滚动体精度降低，严重影响后期的使用性能；采用电镀的方式很难找到合适的方式来保护滚动体及滚道等部分不受影响。另外，目前的方法工艺复杂，工期长，在高效率生产方面存在劣势。

因此，发明人提供了一种轴承端面薄膜图案的制备工装。

实用新型内容

(1)要解决的技术问题

本实用新型实施例提供了一种轴承端面薄膜图案的制备工装，解决了现有的工件薄膜制备工艺复杂、工期长、生产效率低的技术问题。

(2)技术方案

本实用新型提供了一种轴承端面薄膜图案的制备工装，包括转接板、图案掩模板、压板和紧固件，所述转接板可拆卸地安装于薄膜加工样品台，所述转接板与所述图案掩模板之间形成用于放置待镀轴承的安装空间，所述压板贴合压设于所述图案掩模板远离所述转接板的端面，所述紧固件依次贯穿所述压板、所述图案掩模板及所述待镀轴承并整体紧固于所述转接板。

进一步地，所述紧固件包括紧固螺柱及紧固螺母，所述紧固螺柱的一端穿过所述压板、所述图案掩模板及所述待镀轴承并旋入所述转接板上的螺纹孔中，所述紧固螺柱的另一端安装所述紧固螺母，并通过旋紧所述紧固螺母以实现所述转接板、所述待镀轴承、所述图案掩模板及所述压板的压紧动作。

进一步地，所述转接板具有用于定位所述待镀轴承的第一轴承定位结构。

进一步地，所述转接板的中间部位至少有一个与所述紧固件配合的螺纹孔。

进一步地，所述图案掩模板为环状结构，且与所述待镀轴承的端面相适配。

进一步地，所述图案掩模板沿其周向设有至少一种待加工图案，每种所述待加工图案至少为一个；所述图案掩模板上设有与所述压板配合定位的定位孔。

进一步地，所述压板具有用于定位所述待镀轴承的第二轴承定位结构。

进一步地，所述压板具有用于定位所述图案掩模板的掩模板定位结构。

进一步地，所述压板的中间部位至少有一个用于穿过所述紧固件的通孔。

(3)有益效果

综上，本实用新型通过紧固件将压板、图案掩模板及待镀轴承整体紧固，通过图案掩模板实现轴承端面薄膜图案的快速制备，通过该制备工装能够实现制备工艺简单、工期较短、生产效率高。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对本实用新型实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面所描述的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例提供的一种轴承端面薄膜图案的制备工装的主视图；

图2是本实用新型实施例提供的一种轴承端面薄膜图案的制备工装的立视图；

图3是本实用新型实施例提供的一种轴承端面薄膜图案的制备工装的转接板的结构示意图；

图4是本实用新型实施例提供的一种轴承端面薄膜图案的制备工装的图案掩模板的结构示意图；

图5是本实用新型实施例提供的一种轴承端面薄膜图案的制备工装的压板的结构示意图；

图6是本实用新型实施例提供的一种轴承样件的结构示意图。

图中：

100-转接板；101-第一轴承定位结构；102-螺纹孔；103-转接板安装孔；200-待镀轴承；300-图案掩模板；301-待加工图案；302-定位孔；400-压板；401-第二轴承定位结构；402-掩模板定位结构；500-紧固螺柱；600-紧固螺母。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型的实施方式作进一步详细描述。以下实施例的详细描述和附图用于示例性地说明本实用新型的原理，但不能用来限制本实用新型的范围，即本实用新型不限于所描述的实施例，在不脱离本实用新型的精神的前提下覆盖了零件、部件和连接方式的任何修改、替换和改进。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参照附图并结合实施例来详细说明本申请。

本实用新型中出现的“第一”、“第二”等用语仅是为了方便描述，以区分具有相同名称的不同组成部件，并不表示先后或主次关系。

此外，当元件被称作“在”另一元件“上”时，该元件可以直接在所述另一元件上，或者可以间接地在所述另一元件上并且在它们之间插入有一个或更多个中间元件。另外，当元件被称作“连接到”另一元件时，该元件可以直接连接到所述另一元件，或者可以间接地连接到所述另一元件并且在它们之间插入有一个或更多个中间元件。在下文中，同样的附图标记表示同样的元件。

本实用新型中出现的“多个”指的是两个以上(包括两个)，同理，“多组”指的是两组以上(包括两组)。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是本实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

图1是本实用新型实施例提供的一种轴承端面薄膜图案的制备工装的结构示意图，如图1-2所示，该工装可以包括转接板100、图案掩模板300、压板400和紧固件，转接板100可拆卸地安装于薄膜加工样品台，转接板100与图案掩模板300之间形成用于放置待镀轴承200的安装空间，压板400贴合压设于图案掩模板300远离转接板100的端面，紧固件依次贯穿压板400、图案掩模板300及待镀轴承200并整体紧固于转接板100。

在上述实施方式中，转接板100可转接安装于薄膜加工样品台上，其安装方式可以是螺栓固定、磁吸、真空吸或粘接中的一种或几种配合。

转接板100可以是一个零件，也可以是多个零件的组合体，目的是实现制备工装与镀膜机样品台的可靠连接；图案掩模板300可以是一个，也可以是多个，以实现不同图案的拼接。

作为一种可选的实施方式，紧固件包括紧固螺柱500及紧固螺母600，紧固螺柱500的一端穿过压板400、图案掩模板300及待镀轴承200并旋入转接板100上的螺纹孔102中，紧固螺柱500的另一端安装紧固螺母600，并通过旋紧紧固螺母600以实现转接板100、待镀轴承200、图案掩模板300及压板400的压紧动作。

具体地，如图1-2所示，紧固螺柱500和紧固螺母600为根据安装空间和数量确定的标准件，实现转接板100、待镀轴承200、图案掩模板300以及压板400的压紧动作，螺栓压紧扭矩设置为30N。

其中，紧固螺柱500的数量可以是1个、3个、5个中的一种，可以无规则排列或是对称排列。

作为一种可选的实施方式，转接板100具有用于定位待镀轴承200的第一轴承定位结构101。其中，如图3所示，该第一轴承定位结构101主要是限制待镀轴承200发生径向窜动和周向转动。图中的第一轴承定位结构101不限于图中所示型式，可以是分段布局，也可以是安装配合结构。

作为一种可选的实施方式，转接板100的中间部位至少有一个与紧固件配合的螺纹孔102。其中，如图3所示，螺纹孔102可与紧固螺柱500配合，可根据待镀轴承200直径选择螺纹孔102的数量，轴承直径越大所需的螺纹孔102的数量越多。图中的螺纹孔102只是采用螺纹连接镀膜样品台的一种示意方式，实际情况中可根据安装定位方式设置其他型式的连接，如吸附或粘接等。

作为一种可选的实施方式，图案掩模板300为环状结构，且与待镀轴承200的端面相适配沿其周向设有至少一种待加工图案301，每种待加工图案301至少为一个；图案掩模板300上设有与压板400配合定位的定位孔302。

具体地，如图4所示，图案掩模板300上有待加工图案301和定位孔302是通过激光加工、刻蚀加工或微细加工中的一种方法加工出镂空结构，其中待加工图案301为设计所需图案，定位孔302用于确定图案掩模板300与待镀轴承200贴合的相对位置。实际的待加工图案301的形式和布局包括但不限于此，依具体情况灵活设置。所示定位孔302的数量和形状也不做特殊限定。

作为一种可选的实施方式，压板400具有用于定位待镀轴承200的第二轴承定位结构401，以及用于定位图案掩模板300的掩模板定位结构402。

具体地，如图5所示，第二轴承定位结构401能够限制待镀轴承200发生径向窜动和周向转动，掩模板定位结构402用于配合定位孔302实现图案掩模板300的定位。图中只是代表了压板400实现功能所需要的各个部件，并不代表压板400的最终结构，可以根据示意图演化多种结构型式或者组合件，图中的第二轴承定位结构401不限于图中所示型式，可以是分段布局，也可以是安装配合结构；图中所示的掩模板定位结构402可根据定位孔302进行相应的设计，但为了增加灵活性，掩模板定位结构402的数量可以不等于定位孔302的数量。

其中，压板400要留出空间不能遮挡图案掩模板300上的待加工图案301。

作为一种可选的实施方式，压板400的中间部位至少有一个用于穿过紧固件的通孔403。

在上述实施方式中，磁控与离子束复合溅射沉积系统为FJL-560a型，工艺参数具体如下表1所示：

参数	流量	气压	时间	温度
					指标	40sccm	1.2Pa	10min	100℃

步骤S400，具体为按照步骤S100的方式继续安装另一种图案掩模板，按照类似步骤S300的工艺参数完成另一种图案的制备，完成含有图案的轴承样件。

需要明确的是，本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，各个实施例之间相同或相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。本实用新型并不局限于上文所描述并在图中示出的特定步骤和结构。并且，为了简明起见，这里省略对已知方法技术的详细描述。

以上仅为本申请的实施例而已，并不限制于本申请。在不脱离本实用新型的范围的情况下对于本领域技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的权利要求范围内。

Claims (9)

1.一种轴承端面薄膜图案的制备工装，其特征在于，包括转接板(100)、图案掩模板(300)、压板(400)和紧固件，所述转接板(100)可拆卸地安装于薄膜加工样品台，所述转接板(100)与所述图案掩模板(300)之间形成用于放置待镀轴承(200)的安装空间，所述压板(400)贴合压设于所述图案掩模板(300)远离所述转接板(100)的端面，所述紧固件依次贯穿所述压板(400)、所述图案掩模板(300)及所述待镀轴承(200)并整体紧固于所述转接板(100)。

2.根据权利要求1所述的轴承端面薄膜图案的制备工装，其特征在于，所述紧固件包括紧固螺柱(500)及紧固螺母(600)，所述紧固螺柱(500)的一端穿过所述压板(400)、所述图案掩模板(300)及所述待镀轴承(200)并旋入所述转接板(100)上的螺纹孔(102)中；所述紧固螺柱(500)的另一端安装所述紧固螺母(600)，并通过旋紧所述紧固螺母(600)以实现所述转接板(100)、所述待镀轴承(200)、所述图案掩模板(300)及所述压板(400)的压紧动作。

3.根据权利要求1所述的轴承端面薄膜图案的制备工装，其特征在于，所述转接板(100)具有用于定位所述待镀轴承(200)的第一轴承定位结构(101)。

4.根据权利要求1或3中任一项所述的轴承端面薄膜图案的制备工装，其特征在于，所述转接板(100)的中间部位至少有一个与所述紧固件配合的螺纹孔(102)。

5.根据权利要求1所述的轴承端面薄膜图案的制备工装，其特征在于，所述图案掩模板(300)为环状结构，且与所述待镀轴承(200)的端面相适配。

6.根据权利要求5所述的轴承端面薄膜图案的制备工装，其特征在于，所述图案掩模板(300)沿其周向设有至少一种待加工图案(301)，每种所述待加工图案(301)至少为一个；所述图案掩模板(300)上设有与所述压板(400)配合定位的定位孔(302)。

7.根据权利要求1所述的轴承端面薄膜图案的制备工装，其特征在于，所述压板(400)具有用于定位所述待镀轴承(200)的第二轴承定位结构(401)。

8.根据权利要求1或7所述的轴承端面薄膜图案的制备工装，其特征在于，所述压板(400)具有用于定位所述图案掩模板(300)的掩模板定位结构(402)。

9.根据权利要求1所述的轴承端面薄膜图案的制备工装，其特征在于，所述压板(400)的中间部位至少有一个用于穿过所述紧固件的通孔(403)。