CN220181210U - 一种硅片收料机构及分选机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片收料机构，其包括料盒组件、输送机构和吹气组件，其中，料盒组件包括至少一个倾斜设置的料盒，输送机构设置在料盒组件的一侧，吹气组件设置在输送机构与料盒之间，输送机构用于将承载的硅片经吹气组件上方依次送入料盒内，吹气组件至少用于对经过吹气组件上方的硅片进行吹气，使硅片以与料盒倾斜姿态相同的状态进入料盒。上述硅片收料机构通过在输送机构与料盒之间设置吹气组件，通过吹气组件对硅片吹气，使硅片以与料盒倾斜姿态相同或大致相同的状态进入料盒，以减少硅片进入料盒的碰撞，大大降低了硅片分选工序的不良率，同时能提高硅片收片的整齐度。

Description

一种硅片收料机构及分选机

技术领域

本实用新型属于硅片加工技术领域，尤其涉及一种硅片收料机构及分选机。

背景技术

硅片经检测后，需要根据检测结果对硅片进行分类收片。目前的硅片分选机的收料机构中，料盒都是倾斜设置的，但是硅片在进入料盒前是水平状态，在硅片进入料盒时，首先与料盒的最高点接触的硅片边缘处会发生碰撞，易造成硅片边缘损伤。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅片收料机构，以解决现有技术中硅片收料机构在硅片进入料盒时因硅片边缘处与料盒的最高点会发生碰撞，造成硅片边缘损伤的问题。另外，本实用新型的目的还在于提供一种包含该硅片收料机构的硅片分选机。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种硅片收料机构，其包括料盒组件、输送机构和吹气组件，其中，料盒组件包括至少一个倾斜设置的料盒，输送机构设置在料盒组件的一侧，吹气组件设置在输送机构与料盒之间，输送机构用于将承载的硅片经吹气组件上方依次送入料盒内，吹气组件至少用于对经过吹气组件上方的硅片进行吹气，使硅片以与料盒倾斜姿态相同的状态进入料盒。

通过在输送机构与料盒之间设置吹气组件，通过吹气组件对硅片吹气，使硅片以与料盒倾斜姿态相同的状态进入料盒，以减少硅片进入料盒的碰撞，大大降低了硅片分选工序的不良率，同时能提高硅片收片的整齐度。

可选的，料盒组件包括升降组件和至少两个料盒，至少两个料盒沿高度方向间隔安装在升降组件的驱动端，升降组件驱动至少两个料盒同步升降，以使至少两个料盒交替对接输送机构的出料端。

通过升降组件驱动至少两个料盒交替对接输送机构的出料端，实现了至少两个料盒交替承接输送机构输送的硅片，能满足快节拍的收料需求，提高了工作效率。

可选的，吹气组件包括调节组件和吹气件，吹气件安装在调节组件上，调节组件用于调整吹气件与料盒之间的位置和/或角度。

通过调节组件和吹气件的配合，能够实现吹气件相对于料盒的位置和/或角度调整，以保证吹气件对硅片的吹气效果，同时能适应不同的应用场景，兼容性好。

可选的，吹气组件至少用于对经过吹气组件上方的硅片的尾部区域吹气，尾部区域为硅片进入料盒后与料盒的翘起端对应的一端。

通过吹气组件对硅片进入料盒后与料盒的翘起端对应的一端吹气，能够使硅片更容易形成与料盒倾斜姿态相同的状态。

一种硅片收料机构，其包括料盒组件、输送机构和吹气组件，其中，料盒组件包括至少一个倾斜设置的料盒，输送机构设置在料盒组件的上方，输送机构用于依次将承载的硅片释放落入料盒内，每个料盒均对应设置有吹气组件，吹气组件至少用于在输送机构释放的硅片落入料盒之前向上对硅片吹气，以降低硅片下落的速度。

通过将每个料盒对应设置吹气组件，吹气组件实现在输送机构释放的硅片落入料盒之前向上对硅片吹气，以降低硅片下落的速度，进而减少硅片下落后与料盒底板或者料盒内的硅片碰撞，大大降低了硅片分选工序的不良率。

可选的，吹气组件靠近料盒的翘起端设置，吹气组件还用于在输送机构释放的硅片落入料盒前对硅片与料盒的翘起端对应的一端吹气，使得硅片以与料盒倾斜姿态相同的状态最终落入料盒内。

通过将吹气组件靠近料盒的翘起端设置，吹气组件对硅片与料盒的翘起端对应的一端吹气，使硅片以与料盒倾斜姿态相同的状态最终落入料盒内，能够在降低硅片下料速度的同时，进一步减少硅片下落后与料盒底板或者料盒内的硅片碰撞，降低硅片分选工序的不良率，同时能提高硅片收片的整齐度。

可选的，输送机构上沿硅片的输送方向设置有至少两个释放位置，料盒组件包括至少两个倾斜设置的料盒，每个料盒对应一个释放位置。

通过至少两个释放位置和至少两个料盒的配合，实现了双工位或多工位收料，能满足快节拍的收料需求，提高了硅片的收料效率。

可选的，至少两个料盒设置在同一水平面上，或至少两个料盒设置在不同的水平面上。

通过将至少两个料盒设置在同一水平面上，提供了一种结构简单，易于实现的料盒布置方式，通过将至少两个料盒设置在不同的水平面上，提供了一种结构紧凑，占用空间小的料盒布置方式。

可选的，吹气组件包括支撑柱、连接件和吹气块，连接件可转动安装在支撑柱的端部，吹气块固定安装在连接件上。

通过支撑柱、连接件和吹气块的配合，能够调节连接件相对于支撑柱的角度，进而实现了对吹气块的吹气角度的调节，以保证吹气块对硅片的吹气效果。

一种硅片分选机，其包括上料装置、输送装置、检测装置和上述的硅片收料机构，其中，上料装置用于为将硅片依次输送至输送装置，输送装置用于接收上料装置提供的硅片，并将硅片输送至检测装置和硅片收料机构处，检测装置用于对输送至检测区域的硅片进行检测，硅片收料机构用于根据检测结果对输送至收料区域的硅片进行收料。

通过上料装置、输送装置、检测装置和硅片收料机构配合，实现了硅片的上料、检测和分选的自动化作业，工作效率高，同时硅片收料机构设置有吹气组件，能够减少硅片进入料盒的碰撞，大大降低了硅片分选工序的不良率。

附图说明

图1是本实用新型实施例一提供的硅片收料机构的立体结构示意图；

图2是本实用新型实施例二提供的硅片收料机构的立体结构示意图；

图3是本实用新型实施例二提供的硅片收料机构的料盒组件和吹气组件的立体结构示意图；

图4是本实用新型实施例二提供的硅片收料机构的吹气组件的立体结构示意图。

图1至图4中包括如下附图标记：

料盒组件10，料盒11、升降组件12；

输送机构20；

吹气组件30，吹气件31、第一调节杆32、第二调节杆33、第三调节杆34、第一调节块35、第二调节块36、支撑柱37、连接件38、调节孔380、吹气块39；

硅片40。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

硅片经检测后，需要根据检测结果对硅片进行分类收片。目前的硅片分选机的收料机构中，料盒都是倾斜设置的，但是硅片在进入料盒前是水平状态，在硅片进入料盒时，首先与料盒的最高点接触的硅片边缘处会发生碰撞，易造成硅片边缘损伤。

实施例一

因此，本实用新型提供了一种硅片收料机构，用于对分选后的硅片自动收料，请参阅图1所示，本实用新型实施例一提供的硅片收料机构包括料盒组件10、输送机构20和吹气组件30，其中，料盒组件10包括至少一个倾斜设置的料盒11，输送机构20设置在料盒组件10的一侧，吹气组件30设置在输送机构20与料盒11之间，输送机构20用于将承载的硅片40经吹气组件30上方依次送入料盒11内，吹气组件30至少用于对经过吹气组件30上方的硅片40进行吹气，使硅片40以与料盒11倾斜姿态相同或大致相同的状态进入料盒11。

可见，通过在输送机构20与料盒11之间设置吹气组件30，通过吹气组件30对经过吹气组件30上方的硅片40吹气，使硅片40以与料盒11倾斜姿态相同或大致相同的状态进入料盒11，以减少硅片40进入料盒11的碰撞，大大降低了硅片分选工序的不良率，同时能提高硅片收片的整齐度。

作为一种实施方式，料盒组件10包括升降组件12和两个料盒11，两个料盒11沿高度方向间隔安装在升降组件12的驱动端，升降组件12驱动两个料盒11同步升降，以使两个料盒11交替对接输送机构20的出料端。

可见，通过升降组件12驱动两个料盒11交替对接输送机构20的出料端，实现了两个料盒11交替承接输送机构20输送的硅片，能满足快节拍的收料需求，提高了工作效率。

作为一种实施方式，吹气组件30包括调节组件和吹气件31，吹气件31安装在调节组件上，调节组件用于调整吹气件31与料盒11之间的位置和/或角度。

具体的，调节组件包括第一调节杆32、第二调节杆33和第三调节杆34，吹气件31可转动地安装在所述第一调节杆32的第一端，第二调节杆33竖直设置，第一调节杆32的第二端通过第一调节块35可转动和升降地安装在所述第二调节杆33的第一端，第二调节杆33的第二端通过第二调节块36可转动和升降地安装在第三调节杆34的第一端，第三调节杆34的第二端固定在输送机构20上。

可见，通过调节组件能够实现吹气件31相对于料盒11的位置和/或角度调整，以保证吹气件31对硅片40的吹气效果，同时能适应不同的应用场景，兼容性好。

作为一种实施方式，吹气组件30还用于降低硅片40进入料盒11的速度，进一步降低硅片40与料盒11的发生碰撞的可能。

作为一种实施方式，吹气组件30至少用于对经过吹气组件30上方的硅片40的尾部区域吹气，尾部区域为硅片40进入料盒11后与料盒11的翘起端对应的一端。

可见，通过吹气组件30对硅片40进入料盒11后与料盒11的翘起端对应的一端吹气，能够使硅片40更容易形成与料盒11倾斜姿态相同或大致相同的状态。

本实施例一提供的硅片收料机构具有以下优点：

1)增设有吹气组件，通过吹气组件对硅片吹气，使硅片以与料盒倾斜姿态相同的状态进入料盒，以减少硅片进入料盒的碰撞，大大降低了硅片分选工序的不良率，同时能提高硅片收片的整齐度。

2)采用两个料盒交替承接输送机构输送的硅片的方式，能满足快节拍的收料需求，提高了工作效率。

3)吹气件的位置和吹气角度可相对于料盒进行调整，能保证吹气件对硅片的吹气效果，同时能适应不同的应用场景，兼容性好。

4)吹气件对硅片进入料盒后与料盒的翘起端对应的一端吹气，能够使硅片更容易形成与料盒倾斜姿态相同的状态。

5)采用硅片侧向滑入料盒的方式进行收料，结构简单，易于实现，成本低。

实施例二

本实用新型提供了另外一种硅片收料机构，用于对分选后的硅片自动收料，请参阅图2至图4所示，本实用新型实施例二提供的硅片收料机构包括料盒组件10、输送机构20和吹气组件30，其中，料盒组件10包括至少一个倾斜设置的料盒11，输送机构20设置在料盒组件10的上方，输送机构20用于依次将承载的硅片40释放落入料盒11内，每个料盒11均对应设置有吹气组件30，吹气组件30至少用于在输送机构20释放的硅片40落入料盒11之前向上对硅片40吹气，以降低硅片40下落的速度。

可见，每个料盒11对应设置有吹气组件30，吹气组件30用于在硅片40落入料盒11之前向上对硅片40吹气，以降低硅片40下落的速度，进而减少硅片40下落后与料盒11底板或者料盒11内的硅片碰撞，大大降低了硅片分选工序的不良率。

作为一种实施方式，吹气组件30靠近料盒11的翘起端设置，吹气组件30还用于在输送机构20释放的硅片40落入料盒11前对硅片40与料盒的翘起端对应的一端吹气，使得硅片40以与料盒11倾斜姿态相同或大致相同的状态最终落入料盒11内。

可见，吹气组件30对硅片40与料盒11的翘起端对应的一端吹气，使硅片40以与料盒11倾斜姿态相同或大致相同的状态最终落入料盒11内，能够在降低硅片40下料速度的同时，进一步减少硅片40下落后与料盒11底板或者料盒11内的硅片碰撞，降低硅片40分选工序的不良率，同时能提高硅片40收片的整齐度。

作为一种实施方式，输送机构20上沿硅片的输送方向设置有两个释放位置，料盒组件10包括两个倾斜设置的料盒11，每个料盒11对应一个释放位置。

可见，输送机构20设置两个释放位置，每个释放位置对应一个料盒11，实现了双工位收料，能满足快节拍的收料需求，提高了硅片40的收料效率。

作为一种实施方式，两个料盒11设置在同一水平面上，或两个料盒11设置在不同的水平面上。

具体的，两个料盒11设置在不同的水平面上的实施方式中，位于上层的料盒11相对于下层的料盒11能够横移，位于下层的料盒11相对于位于上层的料盒11能够横移和升降，能够将两个料盒11移至便于取料的位置，方便收取硅片。

可见，将两个料盒11设置在同一水平面上，提供了一种结构简单，易于实现的料盒11布置方式，将两个料盒11设置在不同的水平面上，提供了一种结构紧凑，占用空间的料盒布置方式。

作为一种实施方式，吹气组件30包括支撑柱37、连接件38和吹气块39，连接件38可转动安装在支撑柱37的端部，吹气块39固定安装在连接件38上。

具体的，支撑柱37靠近料盒11竖直设置，连接件38上开设有圆弧形的调节孔380，锁紧件通过调节孔380将连接件38锁紧固定在支撑柱37的端部，通过调节孔380来调节吹气块39的吹气角度。

可见，通过调节连接件38相对于支撑柱37的角度，进而实现了对吹气块39的吹气角度的调节，以保证吹气块39对硅片的吹气效果。

本实施例二提供的硅片收料机构具有以下优点：

1)增设有吹气组件，吹气组件实现在输送机构释放的硅片落入料盒之前向上对硅片吹气，以降低硅片下落的速度，进而减少硅片下落后与料盒底板或者料盒内的硅片碰撞，大大降低了硅片分选工序的不良率。

2)吹气组件对硅片与料盒的翘起端对应的一端吹气，使硅片以与料盒倾斜姿态相同或大致相同的状态最终落入料盒内，能够在降低硅片下料速度的同时，进一步减少硅片下落后与料盒底板或者料盒内的硅片碰撞，降低硅片分选工序的不良率，同时能提高硅片收片的整齐度。

3)实现了双工位收料，能满足快节拍的收料需求，提高了硅片的收料效率。

4)吹气块的吹气角度可进行调节，以保证吹气块对硅片的吹气效果。

5)采用输送机构将释放位置的硅片释压下放到下方的料盒中的收料方式，收料效率高，收料整齐度高。

本实用新型还提供一种硅片分选机，其包括上料装置、输送装置、检测装置和上述的硅片收料机构，其中，上料装置用于为将硅片依次输送至输送装置，输送装置用于接收上料装置提供的硅片，并将硅片输送至检测装置和硅片收料机构处，检测装置用于对输送至检测区域的硅片进行检测，硅片收料机构用于根据检测结果对输送至收料区域的硅片进行收料。

可见，通过上料装置、输送装置、检测装置和硅片收料机构配合，实现了硅片的上料、检测和分选的自动化作业，工作效率高；同时硅片收料机构设置有吹气组件，能够减少硅片进入料盒的碰撞，大大降低了硅片分选工序的不良率。

以上实施例只是阐述了本实用新型的基本原理和特性，本实用新型不受上述事例限制，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还有各种变化和改变，这些变化和改变都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (10)

1.一种硅片收料机构，其特征在于，所述硅片收料机构包括料盒组件、输送机构和吹气组件，其中，

所述料盒组件包括至少一个倾斜设置的料盒，

所述输送机构设置在所述料盒组件的一侧，所述吹气组件设置在所述输送机构与所述料盒之间，所述输送机构用于将承载的硅片经所述吹气组件上方依次送入所述料盒内，

所述吹气组件至少用于对经过所述吹气组件上方的硅片进行吹气，使硅片以与所述料盒倾斜姿态相同的状态进入所述料盒。

2.根据权利要求1所述的硅片收料机构，其特征在于，所述料盒组件包括升降组件和至少两个料盒，所述至少两个料盒沿高度方向间隔安装在所述升降组件的驱动端，所述升降组件驱动所述至少两个料盒同步升降，以使所述至少两个料盒交替对接所述输送机构的出料端。

3.根据权利要求1所述的硅片收料机构，其特征在于，所述吹气组件包括调节组件和吹气件，所述吹气件安装在所述调节组件上，所述调节组件用于调整所述吹气件与所述料盒之间的位置和/或角度。

4.根据权利要求1所述的硅片收料机构，其特征在于，所述吹气组件至少用于对经过所述吹气组件上方的硅片的尾部区域吹气，所述尾部区域为硅片进入所述料盒后与所述料盒的翘起端对应的一端。

5.一种硅片收料机构，其特征在于，所述硅片收料机构包括料盒组件、输送机构和吹气组件，其中，

所述料盒组件包括至少一个倾斜设置的料盒，

所述输送机构设置在所述料盒组件的上方，所述输送机构用于依次将承载的硅片释放落入所述料盒内，

每个料盒均对应设置有所述吹气组件，所述吹气组件至少用于在所述输送机构释放的硅片落入所述料盒之前向上对所述硅片吹气，以降低所述硅片下落的速度。

6.根据权利要求5所述的硅片收料机构，其特征在于，所述吹气组件靠近所述料盒的翘起端设置，所述吹气组件还用于在所述输送机构释放的硅片落入所述料盒前对所述硅片与所述料盒的翘起端对应的一端吹气，使得所述硅片以与所述料盒倾斜姿态相同的状态最终落入所述料盒内。

7.根据权利要求5所述的硅片收料机构，其特征在于，所述输送机构上沿硅片的输送方向设置有至少两个释放位置，所述料盒组件包括至少两个倾斜设置的料盒，每个料盒对应一个所述释放位置。

8.根据权利要求7所述的硅片收料机构，其特征在于，至少两个所述料盒设置在同一水平面上，或至少两个所述料盒设置在不同的水平面上。

9.根据权利要求5所述的硅片收料机构，其特征在于，所述吹气组件包括支撑柱、连接件和吹气块，所述连接件可转动安装在所述支撑柱的端部，所述吹气块固定安装在所述连接件上。

10.一种硅片分选机，其特征在于，所述硅片分选机包括上料装置、输送装置、检测装置和如权利要求1-9任一项所述的硅片收料机构，其中，

所述上料装置用于为将硅片依次输送至所述输送装置，

所述输送装置用于接收所述上料装置提供的硅片，并将所述硅片输送至所述检测装置和硅片收料机构处，

所述检测装置用于对输送至检测区域的硅片进行检测，

所述硅片收料机构用于根据检测结果对输送至收料区域的硅片进行收料。