CN220145973U - 一种用于多个晶片吸附的真空陶瓷吸盘 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种用于多个晶片吸附的真空陶瓷吸盘，属于陶瓷吸盘技术领域，包括基底，所述基底顶部设有把手，所述基底侧面呈环形阵列固定连接有若干个旋转机构，所述旋转机构包括销头、销座和阻尼轴组件，所述销头固定连接在基底侧面，且所述销座呈U型，销头的一端插入销座的U型内部，所述阻尼轴组件贯通销头和销座，且销头通过阻尼轴组件与销座转动连接，所述销座另一端固定连接有固定外杆，所述固定外杆的一端内滑动连接有伸缩内杆，所述伸缩内杆与固定外杆之间连接有弹性卡接组件，实现了吸附盘可以与晶片位置进行调节对应，加大了吸附盘的使用范围。

Description

一种用于多个晶片吸附的真空陶瓷吸盘

技术领域

本申请属于陶瓷吸盘技术领域，尤其涉及一种用于多个晶片吸附的真空陶瓷吸盘。

背景技术

陶瓷真空吸盘，不易阻塞真空力大，用于自动化搬运、对象吸取、定位、精密网板印刷用工作台，利用孔洞透气性陶瓷接上真空吸力，将工作物（包括晶圆、玻璃、PET 膜或其他薄型工作物）放置陶瓷工作吸盘上，利用真空吸力使工作物固定，进行清洗、切割、研磨、网版印刷及其他加工程序。

在实现本申请过程中，发明人发现该技术中至少存在如下问题：目前对用于多个晶片吸附的真空陶瓷吸盘，类似于授权公告号CN210778534U的一种用于多个晶片吸附的真空陶瓷吸盘，包括主支杆，所述主支杆的顶部固定安装有把手，且把手的四周均匀且等间隙分布设置橡胶垫，所述主支杆的底端四侧壁分别设置第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆以及第四连接杆，该申请虽然设置吸附盘，可以对多个晶片进行真空吸附，但是该申请的吸附盘设置为等距，导致只能对位置放置为等距的晶体进行吸附，造成使用范围较小。

为此，我们提出来一种用于多个晶片吸附的真空陶瓷吸盘解决上述问题。

实用新型内容

本申请的目的是为了解决现有技术中，吸附盘只能对位置放置为等距的晶体进行吸附，使用范围较小的问题，而提出的一种用于多个晶片吸附的真空陶瓷吸盘。

为了实现上述目的，本申请采用了如下技术方案：

一种用于多个晶片吸附的真空陶瓷吸盘，包括基底，所述基底顶部设置把手，其特征在于，所述基底侧面呈环形阵列固定连接若干个旋转机构，所述旋转机构包括销头、销座和阻尼轴组件，所述销头固定连接在基底侧面，且所述销座呈U型，销头的一端插入销座的U型内部，所述阻尼轴组件贯通销头和销座，且销头通过阻尼轴组件与销座转动连接，所述销座另一端固定连接固定外杆，所述固定外杆的一端内滑动连接伸缩内杆，所述伸缩内杆与固定外杆之间连接弹性卡接组件，且伸缩内杆的一端通过弹性卡接组件在固定外杆内滑动连接，所述伸缩内杆远离固定外杆的一端固定连接固定套筒，且所述固定套筒底端滑动连接升降轴，且升降轴位于固定套筒内的一端与固定套筒之间也连接弹性卡接组件，所述升降轴的底端连接吸附盘。

通过设置固定外杆、伸缩内杆、固定套筒和升降轴，实现了对吸附盘的位置进行调节。

优选的，所述阻尼轴组件包括转轴、第一弹簧和阻尼板，所述转轴贯通销座和销头，且转轴与销座和销头转动连接，所述阻尼板设置两个分别卡在销头的两端，所述第一弹簧套在转轴外侧，且第一弹簧两端分别与销座和阻尼板抵接。

通过设置转轴、第一弹簧和阻尼板，实现了既可以使固定外杆进行旋转，还可以使固定外杆进行固定。

优选的，所述固定外杆呈中空设置且设置开口，其中开口竖向截面小于固定外杆内腔竖向截面，所述伸缩内杆呈T型，伸缩内杆一端贴合固定外杆内部、另一端滑动连接于固定外杆的开口。

通过设置固定外杆竖向截面小于固定外杆内腔竖向截面,伸缩内杆呈T型，实现了可以对伸缩内杆进行限位，防止伸缩内杆滑出。

优选的，所述弹性卡接组件包括凸块、第二弹簧和卡孔，所述伸缩内杆的一端以及升降轴的一端两侧面均开有供凸块滑动的侧槽，所述卡孔在固定外杆内壁两侧以及固定套筒内壁两侧均呈线性设置，所述第二弹簧设在侧槽内且一端固定连接在凸块侧面。

通过设置凸块、第二弹簧、卡孔，实现了对伸缩内杆和升降轴进行固定。

优选的，所述凸块远离侧槽的一端呈半圆状，且凸块远离侧槽的一端吻合在卡孔。

通过设置凸块顶端呈“半圆”状，实现了伸缩内杆和升降轴分别在固定外杆内部和固定套筒内部即可进行滑动，又可以进行固定。

优选的，所述升降轴伸入固定套筒内，且升降轴与固定套筒内壁贴合。

通过设置升降轴呈柱状，实现了可以将升降轴可以进行拆卸。

优选的，所述吸附盘顶端固定连接橡胶垫块，所述橡胶垫块顶端固定连接升降轴，所述吸附盘侧面开设置真空管，所述吸附盘内部设置吸附腔，所述吸附盘底端设置连通吸附腔的吸附孔。

通过设置真空管、吸附腔和吸附孔，实现了对晶体进行吸附。

综上所述，本申请的技术效果和优点：该用于多个晶片吸附的真空陶瓷吸盘，通过设置销头、销座、转轴、第一弹簧和阻尼板，销头与销座相对应，转轴贯通销头销座，且销头通过转轴与销座转动连接，销头两端均固定连接阻尼板，第一弹簧两端分别固定连接销座U型内部和阻尼板一端，实现了对固定外杆进行转动调节和固定，从而带动吸附盘进行转动调节，加大了吸附盘的使用范围；

通过设置固定外杆、伸缩内杆、凸块、第二弹簧和卡孔，固定外杆和伸缩内杆滑动连接，凸块固定连接在伸缩内杆上，第二弹簧两端固定连接在凸块内壁两端，卡孔设置在固定外杆内壁，实现了可以对吸附盘进行伸缩调节和固定，使吸附盘可以随着晶片位置进行调节对应，进一步的加大了吸附盘的使用范围。

附图说明

图1为本申请结构示意图；

图2为本申请旋转机构侧面剖视图；

图3为本申请吸附盘结构示意图；

图4为本申请图1中固定外杆和伸缩内杆的侧面剖视图；

图5为本申请图1中固定套筒和升降轴的侧面剖视图。

图中：1、基底；2、把手；3、固定外杆；4、伸缩内杆；5、吸附盘；6、橡胶垫块；7、销头；8、销座；9、转轴；10、第一弹簧；11、阻尼板；12、吸附腔；13、吸附孔；14、真空管；15、凸块；16、第二弹簧；17、卡孔；18、固定套筒；19、升降轴。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-2，一种用于多个晶片吸附的真空陶瓷吸盘，包括基底1，基底1顶部设有把手2，基底1侧面呈环形阵列固定连接有若干个旋转机构，旋转机构包括销头7、销座8和阻尼轴组件，销头7固定连接在基底1侧面，且销座8呈U型，销头7的一端插入销座8的U型内部，阻尼轴组件贯通销头7和销座8，且销头7通过阻尼轴组件与销座8转动连接，阻尼轴组件包括转轴9、第一弹簧10和阻尼板11，转轴9贯通销座8和销头7，且转轴9与销座8和销头7转动连接，转轴9为螺栓，下侧与螺母转动连接，可以对阻尼轴组件进行拆卸、固定，销头7两端均固定连接阻尼板11，第一弹簧10套在转轴9外侧，且第一弹簧10两端分别与在销座8阻尼板11抵接，转动销座8时，转轴9跟着转动，第一弹簧10对固定在销头7上的阻尼板11产生弹力，第一弹簧10的两端与销座8和阻尼板11间通过压力产生的静摩擦力，起到转动阻尼的效果，实现对固定外杆3进行转动调节和固定，从而带吸附盘5进行转动调节。

参照图2-3，吸附盘5顶端固定连接有橡胶垫块6，吸附盘5为陶瓷材料，橡胶垫块6顶端固定连接升降轴19，吸附盘5侧面开设有真空管20，吸附盘5顶端固定连接有橡胶垫块6，橡胶垫块6顶端固定连接升降轴19，吸附盘5内部设有吸附腔12，吸附盘5底端设有连通吸附腔12的吸附孔13，真空管20通过与真空设备接通,吸附盘5底端连通的吸附腔12对应晶体,起动真空设备抽吸,使吸附腔12内产生负气压,从而对晶体进行吸附。

参照图4，销座8另一端固定连接有固定外杆3，固定外杆3的一端内滑动连接有伸缩内杆4，伸缩内杆4与固定外杆3之间连接有弹性卡接组件，且伸缩内杆4的一端通过弹性卡接组件在固定外杆3内滑动连接，固定外杆3呈中空设置且设有开口，其中开口竖向截面小于固定外杆3内腔竖向截面，伸缩内杆4呈T型，伸缩内杆4一端贴合固定外杆3内部、另一端滑动连接于固定外杆3的开口，弹性卡接组件包括凸块15、第二弹簧16和卡孔17，凸块15固定连接在伸缩内杆4上，凸块15远离侧槽的一端呈半圆状，卡孔17设置在固定外杆3内壁，第二弹簧16固定连接在凸块15内壁两端，可以对吸附盘5进行伸缩调节和固定，使吸附盘5可以随着晶片位置进行调节对应，加大了吸附盘5的使用范围。

参照图4-5，弹性卡接组件包括凸块15、第二弹簧16和卡孔17，凸块15远离侧槽的一端呈半圆状，且凸块15远离侧槽的一端吻合在卡孔17，伸缩内杆4和升降轴18分别在固定外杆3内部和固定套筒18内部即可进行滑动，又可以进行固定，伸缩内杆4的一端以及升降轴19的一端两侧面均开有供凸块15滑动的侧槽，卡孔17在固定外杆3内壁两侧以及固定套筒18内壁两侧均呈线性设置，第二弹簧16设在侧槽内且一端固定连接在凸块15侧面。

参照图5，伸缩内杆4远离固定外杆3的一端固定连接有固定套筒18，且固定套筒18底端滑动连接有升降轴19，且升降轴19位于固定套筒18内的一端与固定套筒18之间也连接有弹性卡接组件，可以对升降轴19进行位置调节，从而调节吸附盘5的位置，升降轴19伸入固定套筒18内，且升降轴19与固定套筒18内壁贴合，可以将升降轴19可以进行拆卸。

工作原理：在对晶片进行吸附前，转动固定外杆3，对伸缩内杆4进行伸缩，对升降轴19进行拉伸，调整吸附盘5位置，将吸附盘5与晶片相对应。

在对晶片吸附时，吸附盘5下表面设置的吸附腔12和吸附孔13在真空条件下将晶片进行吸附。

以上所述，仅为本申请较佳的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，根据本申请的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本申请的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种用于多个晶片吸附的真空陶瓷吸盘，包括基底（1），所述基底（1）顶部设有把手（2），其特征在于，所述基底（1）侧面呈环形阵列固定连接有若干个旋转机构，所述旋转机构包括销头（7）、销座（8）和阻尼轴组件，所述销头（7）固定连接在基底（1）侧面，且所述销座（8）呈U型，销头（7）的一端插入销座（8）的U型内部，所述阻尼轴组件贯通销头（7）和销座（8），且销头（7）通过阻尼轴组件与销座（8）转动连接，所述销座（8）另一端固定连接有固定外杆（3），所述固定外杆（3）的一端内滑动连接有伸缩内杆（4），所述伸缩内杆（4）与固定外杆（3）之间连接有弹性卡接组件，且伸缩内杆（4）的一端通过弹性卡接组件在固定外杆（3）内滑动连接，所述伸缩内杆（4）远离固定外杆（3）的一端固定连接有固定套筒（18），且所述固定套筒（18）底端滑动连接有升降轴（19），且升降轴（19）位于固定套筒（18）内的一端与固定套筒（18）之间也连接有弹性卡接组件，所述升降轴（19）的底端连接有吸附盘（5）。

2.根据权利要求1所述的一种用于多个晶片吸附的真空陶瓷吸盘，其特征在于，所述阻尼轴组件包括转轴（9）、第一弹簧（10）和阻尼板（11），所述转轴（9）贯通销座（8）和销头（7），且转轴（9）与销座（8）和销头（7）转动连接，所述阻尼板（11）设有两个分别卡在销头（7）的两端，所述第一弹簧（10）套在转轴（9）外侧，且第一弹簧（10）两端分别与销座（8）和阻尼板（11）抵接。

3.根据权利要求1所述的一种用于多个晶片吸附的真空陶瓷吸盘，其特征在于，所述固定外杆（3）呈中空设置且设有开口，其中开口竖向截面小于固定外杆（3）内腔竖向截面，所述伸缩内杆（4）呈T型，伸缩内杆（4）一端贴合固定外杆（3）内部、另一端滑动连接于固定外杆（3）的开口。

4.根据权利要求3所述的一种用于多个晶片吸附的真空陶瓷吸盘，其特征在于，所述弹性卡接组件包括凸块（15）、第二弹簧（16）和卡孔（17），所述伸缩内杆（4）的一端以及升降轴（19）的一端两侧面均开有供凸块（15）滑动的侧槽，所述卡孔（17）在固定外杆（3）内壁两侧以及固定套筒（18）内壁两侧均呈线性设置，所述第二弹簧（16）设在侧槽内且一端固定连接在凸块（15）侧面。

5.根据权利要求4所述的一种用于多个晶片吸附的真空陶瓷吸盘，其特征在于，所述凸块（15）远离侧槽的一端呈半圆状，且凸块（15）远离侧槽的一端吻合在卡孔（17）。

6.根据权利要求1所述的一种用于多个晶片吸附的真空陶瓷吸盘，其特征在于，所述升降轴（19）伸入固定套筒（18）内，且升降轴（19）与固定套筒（18）内壁贴合。

7.根据权利要求6所述的一种用于多个晶片吸附的真空陶瓷吸盘，其特征在于，所述吸附盘（5）顶端固定连接有橡胶垫块（6），所述橡胶垫块（6）顶端固定连接升降轴（19），所述吸附盘（5）侧面开设有真空管（20），所述吸附盘（5）内部设有吸附腔（12），所述吸附盘（5）底端设有连通吸附腔（12）的吸附孔（13）。