CN220144189U - 一种单晶硅片自动去胶的水热装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及单晶硅片加工的技术领域，且公开了一种单晶硅片自动去胶的水热装置，包括主体机构、传送机构和支撑机构，所述传送机构位于主体机构的外端，所述支撑机构位于传送机构的下端，所述主体机构包括机体、抽气泵、排气口、抽气管、电动推杆一、推动杆一、压板、热水槽、支撑板、加热棒、弹簧体、出水口、进水口和控制面板，所述抽气泵固定安装在机体的上端。该单晶硅片自动去胶的水热装置，通过将加工件放在进料传送带上，传送到支撑板上，通过启动电动推杆三，从而推动推板将加工件推到支撑板中部，再启动电动推杆一，推动压板往下移动，使得支撑板压到热水槽内，使得加工件放入热水中去胶，提升装置的自动性，较少人工参与。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶硅片加工的技术领域，具体为一种单晶硅片自动去胶的水热装置。
背景技术
单晶硅片是一种具有基本完整的点阵结构的晶体，不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，用于制造半导体器件、太阳能电池等，用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。
现有专利CN218655821U一种单晶硅片自动去胶的水热装置的文献提出，本实用新型提供的单晶硅片自动去胶水热装置，能够更好地用于清除硅片加工后其上残存的粘胶渍、废屑以及灰尘等异物，工作效率高，使用方便。
但是现有专利CN218655821U在上料和出料上达不到装置的自动化目的，需要人工参与，同时因为去胶流程没有一体化，降低了单晶硅片自动去胶的加工效率，并且对于不同尺寸的加工件，不能灵活调节支撑架的大小，使得装置使用面较为局限。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
本实用新型的目的在于提供一种单晶硅片自动去胶的水热装置，以解决上述背景技术中提出现有专利CN218655821U在上料和出料上达不到装置的自动化目的，需要人工参与，同时因为去胶流程没有一体化，降低了单晶硅片自动去胶的加工效率，并且对于不同尺寸的加工件，不能灵活调节支撑架的大小，使得装置使用面较为局限的问题。
(二)技术方案
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种单晶硅片自动去胶的水热装置，包括主体机构、传送机构和支撑机构，所述传送机构位于主体机构的外端，所述支撑机构位于传送机构的下端，所述主体机构包括机体、抽气泵、排气口和抽气管，所述抽气泵固定安装在机体的上端，所述排气口固定设置在抽气泵的上端，所述抽气管固定安装在机体的内端，所述抽气管与抽气泵连通，通过抽气泵将机体内的废气通过抽气管抽出，通过排气口排出去。
优选的，所述主体机构还包括电动推杆一、推动杆一、压板、热水槽、支撑板、加热棒、弹簧体、出水口、进水口和控制面板，所述电动推杆一固定安装在机体内部的上端，所述推动杆一活动安装在电动推杆一的下端，所述压板固定安装在推动杆一的下端，启动电动推杆一，使得推动杆一向下移动，从而使得压板向下移动。
优选的，所述热水槽固定设置在机体内部的下端，所述支撑板活动安装在热水槽的内部，所述加热棒固定安装在支撑板的下方，所述弹簧体活动安装在支撑板的下端，所述出水口固定设置在热水槽的前端，所述进水口固定设置在出水口的上方，所述控制面板固定安装在机体的前端，通过压板的两端突出的压块将支撑板往下压，从而使得支撑板进入热水槽里面，通过支撑板内部的通孔，使得热水可以通过，从而对支撑板上面的加工件进行去胶加工，完成之后将推动杆一往上移动，在弹簧体的弹力下，支撑板恢复原位，通过加热棒，给水体加热，当要排废水时，打开出水口排水，通过进水口，对热水槽进行补水。
优选的，所述传送机构包括支撑横板、电动推杆二、限位板一、限位板二、进料传送带、电动推杆三、推动杆二、推板和出料传送带，所述支撑横板固定安装在机体的左端。
优选的，所述电动推杆二固定安装在支撑横板的前端，所述限位板一活动安装在电动推杆二的前端，所述限位板二固定安装在限位板一的前方，所述进料传送带活动安装在限位板二的下方，所述电动推杆三固定安装在进料传送带的下方，所述推动杆二活动安装在电动推杆三的右端，所述推板固定安装在推动杆二的右端，所述出料传送带活动安装在支撑板的右侧，操作员将加工件放在进料传送带上，启动电动推杆二，推动限位板一往前移动，通过限位板二，将加工件限位在特定的位置，对加工件整理传输，再启动进料传送带，从而将加工件传送到支撑板上，通过启动电动推杆三，从而推动推板将加工件推到支撑板中部，再把推板收缩回来，加完工之后支撑板通过弹簧体恢复原位高度，再通过推板将加完工的硅片推到出料传送带上，通过出料传送带传输到下一步加工工艺，如此反复加工，提升装置的自动加工效率。
优选的，所述支撑机构包括支撑杆一、塑胶垫一、支撑杆二和塑胶垫二，所述支撑杆一固定安装在支撑横板的下端，所述塑胶垫一固定安装在支撑杆一的下端，通过支撑杆一，支撑支撑横板的重量。
优选的，所述支撑杆二固定安装在机体的下端，所述塑胶垫二固定安装在支撑杆二的下端，通过支撑杆二，支撑机体的重量，使得装置运行过程的平稳。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1、该单晶硅片自动去胶的水热装置，启动电动推杆一，使得推动杆一向下移动，从而使得压板向下移动，通过压板的两端突出的压块将支撑板往下压，从而使得支撑板进入热水槽里面，通过支撑板内部的通孔，使得热水可以通过，从而对支撑板上面的加工件进行去胶加工，完成之后将推动杆一往上移动，在弹簧体的弹力下，支撑板恢复原位，通过加热棒，给水体加热，当要排废水时，打开出水口排水，通过进水口，对热水槽进行补水；
2、该单晶硅片自动去胶的水热装置，操作员将加工件放在进料传送带上，启动电动推杆二，推动限位板一往前移动，通过限位板二，将加工件限位在特定的位置，对加工件整理传输，同时能对不同尺寸的加工件进行限位治理传输，提升装置的使用面；
3、该单晶硅片自动去胶的水热装置，启动进料传送带，从而将加工件传送到支撑板上，通过启动电动推杆三，从而推动推板将加工件推到支撑板中部，再把推板收缩回来，加完工之后支撑板通过弹簧体恢复原位高度，再通过推板将加完工的硅片推到出料传送带上，通过出料传送带传输到下一步加工工艺，如此反复加工，提升装置的自动加工效率。
附图说明
图1为本实用新型立体结构示意图；
图2为本实用新型主体机构剖面结构示意图；
图3为本实用新型主体机构局部剖面结构示意图；
图4为本实用新型主体机构局部结构示意图。
图中：1、主体机构；101、机体；102、抽气泵；103、排气口；104、抽气管；105、电动推杆一；106、推动杆一；107、压板；108、热水槽；109、支撑板；110、加热棒；111、弹簧体；112、出水口；113、进水口；114、控制面板；2、传送机构；201、支撑横板；202、电动推杆二；203、限位板一；204、限位板二；205、进料传送带；206、电动推杆三；207、推动杆二；208、推板；209、出料传送带；3、支撑机构；301、支撑杆一；302、塑胶垫一；303、支撑杆二；304、塑胶垫二。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-图4，本实用新型提供一种技术方案：一种单晶硅片自动去胶的水热装置，包括主体机构1、传送机构2和支撑机构3，传送机构2位于主体机构1的外端，支撑机构3位于传送机构2的下端，主体机构1包括机体101、抽气泵102、排气口103和抽气管104，抽气泵102固定安装在机体101的上端，排气口103固定设置在抽气泵102的上端，抽气管104固定安装在机体101的内端，抽气管104与抽气泵102连通，主体机构1还包括电动推杆一105、推动杆一106、压板107、热水槽108、支撑板109、加热棒110、弹簧体111、出水口112、进水口113和控制面板114，电动推杆一105固定安装在机体101内部的上端，推动杆一106活动安装在电动推杆一105的下端，压板107固定安装在推动杆一106的下端，热水槽108固定设置在机体101内部的下端，支撑板109活动安装在热水槽108的内部，加热棒110固定安装在支撑板109的下方，弹簧体111活动安装在支撑板109的下端，出水口112固定设置在热水槽108的前端，进水口113固定设置在出水口112的上方，控制面板114固定安装在机体101的前端，启动电动推杆一105，使得推动杆一106向下移动，从而使得压板107向下移动，通过压板107的两端突出的压块将支撑板109往下压，从而使得支撑板109进入热水槽108里面，通过支撑板109内部的通孔，使得热水可以通过，从而对支撑板109上面的加工件进行去胶加工，完成之后将推动杆一106往上移动，在弹簧体111的弹力下，支撑板109恢复原位，通过加热棒110，给水体加热，当要排废水时，打开出水口112排水，通过进水口113，对热水槽108进行补水。
传送机构2包括支撑横板201、电动推杆二202、限位板一203、限位板二204、进料传送带205、电动推杆三206、推动杆二207、推板208和出料传送带209，支撑横板201固定安装在机体101的左端，电动推杆二202固定安装在支撑横板201的前端，限位板一203活动安装在电动推杆二202的前端，限位板二204固定安装在限位板一203的前方，进料传送带205活动安装在限位板二204的下方，电动推杆三206固定安装在进料传送带205的下方，推动杆二207活动安装在电动推杆三206的右端，推板208固定安装在推动杆二207的右端，出料传送带209活动安装在支撑板109的右侧，操作员将加工件放在进料传送带205上，启动电动推杆二202，推动限位板一203往前移动，通过限位板二204，将加工件限位在特定的位置，对加工件整理传输，同时能对不同尺寸的加工件进行限位治理传输，然后启动进料传送带205，从而将加工件传送到支撑板109上，通过启动电动推杆三206，从而推动推板208将加工件推到支撑板109中部，再把推板208收缩回来，加完工之后支撑板109通过弹簧体111恢复原位高度，再通过推板208将加完工的硅片推到出料传送带209上，通过出料传送带209传输到下一步加工工艺，如此反复加工。
支撑机构3包括支撑杆一301、塑胶垫一302、支撑杆二303和塑胶垫二304，支撑杆一301固定安装在支撑横板201的下端，塑胶垫一302固定安装在支撑杆一301的下端，支撑杆二303固定安装在机体101的下端，塑胶垫二304固定安装在支撑杆二303的下端，通过支撑杆一301，支撑支撑横板201的重量，通过支撑杆二303，支撑机体101的重量，使得装置运行过程的平稳。
工作原理：操作员将加工件放在进料传送带205上，通过控制面板114启动电动推杆二202，推动限位板一203往前移动，通过限位板二204，将加工件限位在特定的位置，对加工件整理传输，同时能对不同尺寸的加工件进行限位治理传输，然后启动进料传送带205，从而将加工件传送到支撑板109上，通过启动电动推杆三206，从而推动推板208将加工件推到支撑板109中部，再把推板208收缩回来，再启动电动推杆一105，使得推动杆一106向下移动，从而使得压板107向下移动，通过压板107的两端突出的压块将支撑板109往下压，从而使得支撑板109进入热水槽108里面，通过支撑板109内部的通孔，使得热水可以通过，从而对支撑板109上面的加工件进行去胶加工，完成之后将推动杆一106往上移动，在弹簧体111的弹力下，支撑板109恢复原位高度，再通过推板208将支撑板109上加完工的硅片推到出料传送带209上，通过出料传送带209传输到下一步加工工艺，如此反复加工，提升装置的自动加工效率。
最后应当说明的是，以上内容仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对本实用新型保护范围的限制，本领域的普通技术人员对本实用新型的技术方案进行的简单修改或者等同替换，均不脱离本实用新型技术方案的实质和范围。
Claims (6)
1.一种单晶硅片自动去胶的水热装置，包括主体机构(1)、传送机构(2)和支撑机构(3)，其特征在于：所述传送机构(2)位于主体机构(1)的外端，所述支撑机构(3)位于传送机构(2)的下端，所述主体机构(1)包括机体(101)、抽气泵(102)、排气口(103)和抽气管(104)，所述抽气泵(102)固定安装在机体(101)的上端，所述排气口(103)固定设置在抽气泵(102)的上端，所述抽气管(104)固定安装在机体(101)的内端，所述抽气管(104)与抽气泵(102)连通；
所述主体机构(1)还包括电动推杆一(105)、推动杆一(106)、压板(107)、热水槽(108)、支撑板(109)、加热棒(110)、弹簧体(111)、出水口(112)、进水口(113)和控制面板(114)，所述电动推杆一(105)固定安装在机体(101)内部的上端，所述推动杆一(106)活动安装在电动推杆一(105)的下端，所述压板(107)固定安装在推动杆一(106)的下端。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片自动去胶的水热装置，其特征在于：所述热水槽(108)固定设置在机体(101)内部的下端，所述支撑板(109)活动安装在热水槽(108)的内部，所述加热棒(110)固定安装在支撑板(109)的下方，所述弹簧体(111)活动安装在支撑板(109)的下端，所述出水口(112)固定设置在热水槽(108)的前端，所述进水口(113)固定设置在出水口(112)的上方，所述控制面板(114)固定安装在机体(101)的前端。
3.根据权利要求2所述的一种单晶硅片自动去胶的水热装置，其特征在于：所述传送机构(2)包括支撑横板(201)、电动推杆二(202)、限位板一(203)、限位板二(204)、进料传送带(205)、电动推杆三(206)、推动杆二(207)、推板(208)和出料传送带(209)，所述支撑横板(201)固定安装在机体(101)的左端。
4.根据权利要求3所述的一种单晶硅片自动去胶的水热装置，其特征在于：所述电动推杆二(202)固定安装在支撑横板(201)的前端，所述限位板一(203)活动安装在电动推杆二(202)的前端，所述限位板二(204)固定安装在限位板一(203)的前方，所述进料传送带(205)活动安装在限位板二(204)的下方，所述电动推杆三(206)固定安装在进料传送带(205)的下方，所述推动杆二(207)活动安装在电动推杆三(206)的右端，所述推板(208)固定安装在推动杆二(207)的右端，所述出料传送带(209)活动安装在支撑板(109)的右侧。
5.根据权利要求4所述的一种单晶硅片自动去胶的水热装置，其特征在于：所述支撑机构(3)包括支撑杆一(301)、塑胶垫一(302)、支撑杆二(303)和塑胶垫二(304)，所述支撑杆一(301)固定安装在支撑横板(201)的下端，所述塑胶垫一(302)固定安装在支撑杆一(301)的下端。
6.根据权利要求5所述的一种单晶硅片自动去胶的水热装置，其特征在于：所述支撑杆二(303)固定安装在机体(101)的下端，所述塑胶垫二(304)固定安装在支撑杆二(303)的下端。
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