CN220082029U - 隔振结构和真空设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种隔振结构和真空设备，涉及真空设备技术领域，为解决被压缩而导致隔振能力下降的问题而设计。隔振结构包括柔性缓冲组件和刚性支撑组件，柔性缓冲组件包括波纹管，刚性支撑组件包括盲法兰，柔性缓冲组件的一端连接有盲法兰，柔性缓冲组件配置为与真空发生器件连通，柔性缓冲组件的端部与刚性支撑组件连接。本实用新型提供的隔振结构可以保证波纹管不被压缩而确保隔振能力。

Description

隔振结构和真空设备

技术领域

本实用新型涉及真空设备技术领域，具体而言，涉及一种隔振结构和真空设备。

背景技术

在一些真空设备中，对振动有非常严格的要求。振动的来源通常有两类，第一类是环境振动，比如来自地面的振动、外界的声波，气流的扰动等；第二类是来自设备本身的运动部件而导致的振动，比如真空泵引起的振动。对于第一类振动，地面振动可以通过隔振器将设备与环境隔开，而对于声波和气流，可以通过隔音棉和通过封装的方式避免设备受到环境的影响。

而对于第二类振动，则需要在振动部件和其余部件之间增加带有隔振功能的连接结构，比如有真空泵厂家发明了一种如图1所示的结构。该结构的原理是上法兰连接设备，下法兰连接真空泵，在真空泵工作时，大气压力会压缩波纹管，上下两个法兰的间距缩小，挤压中间的橡胶套，由于橡胶套的存在，两个法兰的间距不会被压缩得特别小。由于波纹管和橡胶套都是柔性的，所以此时该结构对各个方向的振动都有消除作用。但是该结构的缺点也非常明显，它只能用于竖直安装的工况，并且下法兰连接的结构的重量不能太大以致大气压力不能压缩波纹管，此外如果下法兰连接的结构是分子泵，而此时分子泵在横向是可以活动的，这对于分子泵来说非常危险，极有可能因为横向晃动而损坏分子泵。除此之外，尚无类似的可以消除真空泵的振动的结构。

实用新型内容

本实用新型的第一个目的在于提供一种隔振结构，以解决现有波纹管被压缩而导致隔振能力下降的技术问题。

本实用新型提供的隔振结构，包括柔性缓冲组件和刚性支撑组件，所述柔性缓冲组件包括波纹管，所述刚性支撑组件包括盲法兰，所述柔性缓冲组件的一端连接有所述盲法兰，所述柔性缓冲组件配置为与真空发生器件连通，所述柔性缓冲组件的端部与所述刚性支撑组件固定连接。

本实用新型隔振结构带来的有益效果是：

当柔性缓冲组件的一端为盲法兰时，外部的气压会压缩盲法兰，进而使得波纹管在其长度方向上被压缩，而通过设置刚性支撑组件，可以对柔性缓冲组件进行支撑，由刚性支撑组件承担外部气压的压力，波纹管保持原有的形态，其在长度方向的柔性不会受到影响，仍可以保持隔振能力。当隔振结构所连接的振动发生器件产生振动时，振动会被波纹管的轴向或径向变形而吸收、抵消。

优选的技术方案中，所述柔性缓冲组件还包括连接管，所述连接管连接波纹管，所述连接管配置为连接振动发生器件。

优选的技术方案中，所述连接管为三通管，所述三通管为T形三通管，所述三通管具有第一端、第二端和第三端，所述第一端和所述第二端共线设置，所述第三端配置为连接振动发生器件。

优选的技术方案中，所述第一端和所述第二端分别连接有所述波纹管。

优选的技术方案中，所述第一端和所述第二端所分别连接的所述波纹管对称设置，所述第三端相对于所述第一端和所述第二端居中设置。

优选的技术方案中，刚性支撑组件包括第一贯通法兰和所述盲法兰，所述第一贯通法兰配置为连接所述真空发生器件，所述盲法兰和所述第一贯通法兰通过轴向支撑件固定连接。

优选的技术方案中，所述轴向支撑件包括多根支撑杆，所述支撑杆的端部连接所述盲法兰和所述第一贯通法兰。

优选的技术方案中，所述支撑杆的端部设置外螺纹部，每个所述外螺纹部连接至少两个螺母，每个所述外螺纹部连接的所述螺母位于所述盲法兰或所述第一贯通法兰的两侧。

优选的技术方案中，多根所述支撑杆沿所述第一贯通法兰和所述盲法兰的周向均匀分布。

本实用新型的第二个目的在于提供一种真空设备，以解决被压缩而导致隔振能力下降的技术问题。

本实用新型提供的真空设备，包括上述隔振结构。

通过在真空设备中设置上述隔振结构，相应地，该真空设备具有上述隔振结构的所有优势，在此不再一一赘述。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或背景技术中的技术方案，下面将对实施例或背景技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本实用新型背景技术提及的隔振结构的半剖视结构示意图；

图2为本实用新型实施例一提供的隔振结构的结构示意图；

图3为本实用新型实施例一提供的隔振结构的侧视图；

图4为本实用新型实施例一提供的隔振结构的立体示意图；

图5为本实用新型实施例二提供的真空设备的局部示意图。

附图标记说明：

100-刚性支撑组件；110-第一贯通法兰；120-盲法兰；121-连接耳板；130-支撑杆；140-螺母；200-柔性缓冲组件；210-连接管；211-第一端；212-第二端；213-第三端；214-第二贯通法兰；220-波纹管；300-真空发生器件；400-振动发生器件。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施例做详细的说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例一：

图2为本实用新型实施例一提供的隔振结构的结构示意图；图3为本实用新型实施例一提供的隔振结构的侧视图；图4为本实用新型实施例一提供的隔振结构的立体示意图。如图2-图4所示，本实用新型实施例一提供的一种隔振结构，包括柔性缓冲组件200和刚性支撑组件100，柔性缓冲组件200包括波纹管220，刚性支撑组件100包括盲法兰120，柔性缓冲组件200的一端连接有盲法兰120，柔性缓冲组件200配置为与真空发生器件300连通，柔性缓冲组件200的端部与刚性支撑组件100固定连接。

其中，盲法兰120的具体结构为，在柔性缓冲组件200的一端也设置贯通的法兰环，在法兰环的背离柔性缓冲组件200的一端通过诸如螺钉或螺栓之类的公螺纹连接件连接圆形的堵板，堵板与法兰环之间密封。具体的，本实施例中，真空发生器可以为真空泵。

当柔性缓冲组件200的一端为盲法兰120时，外部的气压会压缩盲法兰120，进而使得波纹管220在其长度方向上被压缩，而通过设置刚性支撑组件100，可以对柔性缓冲组件200进行支撑，由刚性支撑组件100承担外部气压的压力，波纹管220保持原有的形态，其在长度方向的柔性不会受到影响，仍可以保持隔振能力。当隔振结构所连接的振动发生器件400产生振动时，振动会被波纹管220的轴向或径向变形而吸收、抵消。

如图2和图4所示，优选的，柔性缓冲组件200还包括连接管210，连接管210连接波纹管220，连接管210配置为连接振动发生器件400。

其中，连接管210是刚性明显大于波纹管220的零件。而振动发生器件400，并非指的是主要利用其机械振动发挥作用的器件，而是在该振动发生器件400正常工作时会产生振动。例如，振动发生器件400可以为分子泵、机械泵等。

采用连接管210连接振动发生器件400，可以提高振动发生器件400的安装刚度，并且利用连接管210来连接波纹管220，由波纹管220来吸收振动发生器件400的振动。

如图2和图4所示，优选的，连接管210为三通管，三通管为T形三通管，三通管具有第一端211、第二端212和第三端213，第一端211和第二端212共线设置，第三端213配置为连接振动发生器件400。

具体的，第三端213为T字形一竖的底部，可以通过第二贯通法兰214连接诸如分子泵、机械泵之类的振动发生器件400。

通过选用T形三通管为连接管210，可以将振动发生器件400连接在三通管长度方向的侧面，避免振动发生器件400的重量本身和振动产生的惯性力相对于柔性缓冲组件200与真空发生器件300的连接处产生过大的力矩，从而导致刚性支撑组件100形变过大，进而导致连接管210的第一端211、第二端212所在的长度部分不能保持水平。

如图2和图4所示，优选的，第一端211和第二端212分别连接有波纹管220。

具体的，本实施例中，第一端211为连接管210朝向真空发生器的一端，第二端212为连接管210朝向盲法兰120的一端。

通过在第一端211和第二端212分别连接波纹管220，可以在连接管210的长度方向上，在朝向真空发生器件300和背离真空发生器件300的相反两向，都能缓冲、吸收、抵消振动发生器件400的振动，特别可以避免振动发生器件400的振动通过盲法兰120和刚性支撑组件100传递至真空发生器件300而干扰真空发生器件300的运行。

如图2和图4所示，优选的，第一端211和第二端212所分别连接的波纹管220对称设置，第三端213相对于第一端211和第二端212居中设置。

具体的，两个波纹管220沿镜面对称，而且连接管210本身也沿该镜面对称。

采用两个波纹管220对称设置，两个波纹管220本身的性质相同，波纹管220所连接的连接管210也相同，则振动发生器器件在连接管210长度方向的振动则可以受到相同的缓冲、抵消，从而避免正反不同方向的振动受到的缓冲、抵消不同，而造成真空发生器件300在某一向上受到的振动大，另一向上受到的振动小而发生故障。

如图2和图4所示，优选的，刚性支撑组件100包括第一贯通法兰110和盲法兰120，第一贯通法兰110配置为连接真空发生器件300，盲法兰120和第一贯通法兰110通过轴向支撑件固定连接。

通过设置轴向支撑件固定连接盲法兰120和第一贯通法兰110，可以使得第一贯通法兰110、轴向支撑件和盲法兰120三者共同构成一承受外力的整体，以承担盲法兰120所受到的外界气压，外界的气压不会沿柔性缓冲组件200的长度方向作用在波纹管220上，使得波纹管220仍能保持原有的缓冲、抵消振动的能力。

如图2和图4所示，优选的，轴向支撑件包括多根支撑杆130，支撑杆130的端部连接盲法兰120和第一贯通法兰110。

其中，盲法兰120和第一贯通法兰110都设置多个连接耳板121，连接耳板121的数量与支撑杆130的数量一致，盲法兰120和第一贯通法兰110的设置连接耳板121的位置相同，连接耳板121上则设置通孔以供支撑杆130穿过。具体的，本实施例中支撑杆130的数量为三个。

采用多根支撑杆130连接的方式，在保证刚度的同时，可以减少隔振结构的重量，减小真空发生器件300与第一贯通法兰110连接端的负荷。

在另外的实现方式中，支撑杆130也可以采用支撑管支撑，如果不考虑拆卸、更换波纹管220的问题，例如可以采用焊接的方式与第一贯通法兰110和盲法兰120连接。或者，也可以采用一个截面C形的套筒作为轴向支撑件，套筒的两端设置向外的翻边，以便通过诸如螺钉或螺栓之类的公螺纹连接件与盲法兰120和第一贯通法兰110连接。

如图2和图4所示，优选的，支撑杆130的端部设置外螺纹部，每个外螺纹部连接至少两个螺母140，每个外螺纹部连接的螺母140位于盲法兰120或第一贯通法兰110的两侧。

具体的，上述的连接耳板121上的通孔可以为光孔，而在每个连接耳板121的两侧均有螺母140，与支撑杆130上的外螺纹部拧紧。

通过设置外螺纹部，并且利用外螺纹部与盲法兰120或第一贯通法兰110的两侧的螺母140连接，不但可以限制盲法兰120和第一贯通法兰110的相互靠近，而且可以限制二者的相互远离。而且，采用支撑杆130上螺纹连接螺母140的方法，可以分别调整每根支撑杆130上的螺母140，以便固定支撑杆130和盲法兰120、第一贯通法兰110的两侧。

在另外的实现方式中，也可以在支撑杆130的两端设置旋向相反的螺纹，而盲法兰120和第一贯通法兰110的螺纹孔的旋向也相反，将每根支撑杆130的两端与螺纹孔连接后，旋转支撑杆130即可改变盲法兰120与第一贯通法兰110的间距，从而固定三者。但是，采用这种方法，如果设置多根支撑杆130，则需要支撑杆130之间协调运动，例如多个操作人员以同样的速度旋转所有的支撑杆130，从而可以降低支撑杆130相对盲法兰120和第一贯通法兰110运动的不协调性。当然如果盲法兰120和第一贯通法兰110的刚度较大，不需要担心运动不协调对这两个零件造成损坏，也可以分别旋转支撑杆130。

如图2-图4所示，优选的，多根支撑杆130沿第一贯通法兰110和盲法兰120的周向均匀分布。

将多根支撑杆130沿第一贯通法兰110和盲法兰120的周向均匀布置，可以使得刚性支撑组件100受力均匀，避免刚性支撑组件100产生弯矩而导致波纹管220的变形不均匀，进而振动能够不均匀地传递至真空发生器件300。

实施例二：

图5为本实用新型实施例二提供的真空设备的局部示意图。如图5所示，实施例二还提供了一种真空设备，包括上述隔振结构。

具体的，第一端211的第一贯通法兰110与真空发生器件300连接，而第三端213的第二贯通法兰214与诸如分子泵、机械泵之类的振动发生器件400连接。

通过在真空设备中设置上述隔振结构，相应地，该真空设备具有上述隔振结构的所有优势，在此不再一一赘述。

虽然本实用新型披露如上，但本实用新型并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本实用新型的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

最后，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

上述实施例中，诸如“上”、“下”等方位的描述，均基于附图所示。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。

因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种隔振结构，其特征在于，包括柔性缓冲组件(200)和刚性支撑组件(100)，所述柔性缓冲组件(200)包括波纹管(220)，所述刚性支撑组件(100)包括盲法兰(120)，所述柔性缓冲组件(200)的一端连接有所述盲法兰(120)，所述柔性缓冲组件(200)配置为与真空发生器件(300)连通，所述柔性缓冲组件(200)的端部与所述刚性支撑组件(100)固定连接。

2.根据权利要求1所述的隔振结构，其特征在于，所述柔性缓冲组件(200)还包括连接管(210)，所述连接管(210)连接波纹管(220)，所述连接管(210)配置为连接振动发生器件(400)。

3.根据权利要求2所述的隔振结构，其特征在于，所述连接管(210)为三通管，所述三通管为T形三通管，所述三通管具有第一端(211)、第二端(212)和第三端(213)，所述第一端(211)和所述第二端(212)共线设置，所述第三端(213)配置为连接振动发生器件(400)。

4.根据权利要求3所述的隔振结构，其特征在于，所述第一端(211)和所述第二端(212)分别连接有所述波纹管(220)。

5.根据权利要求4所述的隔振结构，其特征在于，所述第一端(211)和所述第二端(212)所分别连接的所述波纹管(220)对称设置，所述第三端(213)相对于所述第一端(211)和所述第二端(212)居中设置。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的隔振结构，其特征在于，刚性支撑组件(100)包括第一贯通法兰(110)和所述盲法兰(120)，所述第一贯通法兰(110)配置为连接所述真空发生器件(300)，所述盲法兰(120)和所述第一贯通法兰(110)通过轴向支撑件固定连接。

7.根据权利要求6所述的隔振结构，其特征在于，所述轴向支撑件包括多根支撑杆(130)，所述支撑杆(130)的端部连接所述盲法兰(120)和所述第一贯通法兰(110)。

8.根据权利要求7所述的隔振结构，其特征在于，所述支撑杆(130)的端部设置外螺纹部，每个所述外螺纹部连接至少两个螺母(140)，每个所述外螺纹部连接的所述螺母(140)位于所述盲法兰(120)或所述第一贯通法兰(110)的两侧。

9.根据权利要求7或8所述的隔振结构，其特征在于，多根所述支撑杆(130)沿所述第一贯通法兰(110)和所述盲法兰(120)的周向均匀分布。

10.一种真空设备，其特征在于，所述真空设备包括权利要求1-9中任一项的隔振结构。