CN220079253U - 外延用冷却装置 - Google Patents

Abstract

本申请实施例提供了一种外延用冷却装置，冷却装置设置于外延设备的加热腔内；冷却装置包括冷却板，冷却板的表面设置有反射板，反射板背离冷却板的一面设置有多个灯座，加热腔内还设置有玻璃罩组件，冷却板设置有第一安装孔和多个第二安装孔，玻璃罩组件穿设于所述第一安装孔内，多个所述灯座对应穿设于多个所述第二安装孔内；冷却板包括至少两个拼接板，第一安装孔设置于拼接板的连接处，每个拼接板均设置有冷却通道，冷却通道包括相互连通的进液通道、回液通道和多个液体通道；每个液体通道设置有至少一个进液口和至少一个出液口，进液通道的出液端和进液口连通；回液通道的进液端和出液口连通，方便了冷却板装配和安装。

Description

外延用冷却装置

技术领域

本申请涉及半导体外延设备领域，尤其涉及一种外延用冷却装置。

背景技术

半导体外延设备是对半导体晶圆进行加工处理的设备，半导体外延设备形成有加热腔，加热腔内设置有反射板、玻璃罩组件和多个灯座，反射板设置于加热腔内，多个灯座设置于反射板，多个灯座固定有加热灯，以在加热腔内为晶圆气相生长提供高温工艺环境，玻璃罩组件由加热腔的底壁向背向加热灯的方向延伸，并在加热腔内形成反应腔，且玻璃罩组件在加热腔内形成有反应腔，晶圆设置于反应腔内。

相关技术中，通常在反射板背向加热灯的一侧设置冷却板，以采用冷却板对反射板进行降温防止反射板被损坏。

然而，由于加热腔内设置有玻璃罩组件以及固定加热灯的灯座，不便于冷却板的安装。

实用新型内容

本申请实施例提供了一种外延用冷却装置，以解决相关技术中冷却板不便于安装的技术问题。

本申请实施例提供了一种外延用冷却装置，冷却装置设置于外延设备的加热腔内；

冷却装置包括冷却板，外延设备内还设置有加热腔，冷却板设置于加热腔内，冷却板的表面设置有反射板，反射板背离冷却板的一面设置有多个灯座，且灯座固定有加热灯；加热腔内还设置有玻璃罩组件，玻璃罩组件穿过加热腔的底壁并沿背离冷却板的方向延伸，且在加热腔内形成反应腔，晶圆设置于反应腔内；

冷却板设置有第一安装孔和多个第二安装孔，所述玻璃罩组件穿设于所述第一安装孔内，多个所述灯座对应穿设于多个所述第二安装孔内；

冷却板包括至少两个拼接板，第一安装孔设置于拼接板的连接处；

每个拼接板均设置有冷却通道，冷却通道包括相互连通的进液通道、回液通道和多个液体通道；

每个液体通道设置有至少一个进液口和至少一个出液口，进液通道的出液端和进液口连通；回液通道的进液端和出液口连通；

冷却液由进液通道进入，经由多个液体通道后，再由回液通道流出。

在一种可行的实现方式中，拼接板设置有两个，两个拼接板关于第一安装孔的中轴线对称设置。

在一种可行的实现方式中，多个第二安装孔包括对称设置的第一孔组和第二孔组；

第一孔组和第二孔组分别设置于两个对称设置的拼接板。

在一种可行的实现方式中，冷却通道设置有两个，两个冷却通道沿两个拼接板的对称轴线对称设置于两个拼接板内。

在一种可行的实现方式中，冷却通道包括相互连通的进液通道、回液通道和多个液体通道；

每个液体通道设置有至少一个进液口和至少一个出液口，进液通道的出液端和多个进液口连通；回液通道的进液端和多个出液口连通；

冷却液由进液通道进入，经由多个液体通道后，再由回液通道流出。

在一种可行的实现方式中，进液通道的进液端和回液通道的出液端相邻设置；

拼接板表面设置有循环组件，循环组件设置于进液通道的进液端和回液通道的出液端之间，循环组件具有第一通道和第二通道，第一通道的出液端和进液通道的进液端连接，第二通道的进液端和回液通道的出液端连接。

在一种可行的实现方式中，进液通道和回液通道沿两个拼接板的对称轴线延伸方向设置；

多个液体通道包括第一液体通道和第二液体通道，第一液体通道和第二液体通道的延伸方向并列设置；

第一液体通道的进液口和第二液体通道的进液口均与进液通道的出液端连通；

第一液体通道的出液口和第二液体通道的出液口均与回液通道的进液端连通。

在一种可行的实现方式中，冷却板的形状和加热腔的形状相互适配设置；

所述第一安装孔和所述玻璃罩组件的形状相互适配，所述多个第二安装孔和所述多个灯座的形状相互适配；

冷却通道的外轮廓形状和冷却板的外轮廓形状相互适配设置。

在一种可行的实现方式中，第一通道的进液端和进液管连接，第二通道的出液端和出液管连接；

进液管和出液管均与换热装置连通。

在一种可行的实现方式中，冷却板边缘设置有螺栓孔，紧固螺栓穿过螺栓孔将冷却板固定于反射板表面，反射板固定于加热腔内壁。

在一种可行的实现方式中，拼接板包括盖板和板体，盖板盖合于板体，盖板和板体之间形成有空腔；

空腔内形成有凸起，凸起的一端和盖板连接，凸起的另一端和板体连接，凸起在空腔内分隔形成冷却通道。

本申请实施例通过第一安装孔的设置，能够为玻璃罩组件提供避让空间，通过第二安装孔的设置，能够为灯座提供避让空间，通过在冷却板上设置对玻璃罩组件和灯座的避让空间，方便了冷却板的装配。在冷却板的安装过程中，拼接板由玻璃罩组件的侧壁外围向玻璃罩组件移动并固定于玻璃罩组件的外围，相较于由玻璃罩组件的两端套设于玻璃罩组件，方便了冷却板的第一安装孔内侧壁和玻璃罩组件外侧壁之间的距离控制，避免第一安装孔内侧壁对玻璃罩组件造成损坏，对玻璃罩组件起到了保护作用。本申请实施例通过将冷却板设置有至少两个拼接板，且使第一安装孔设置于拼接板的连接处，便于冷却板围绕冷却组件拼接，方便了冷却板和加热腔的装配，从而便于冷却板的安装。

另外，本申请实施例通过将多个灯座对应穿设于多个第二安装孔内，能够将灯座的部分结构设置于第二安装孔内，使得冷却板内的冷却通道能够对灯座起到冷却散热的作用，避免反射板反射红外光所产生的高温对灯座产生破坏，且能够对灯座起到散热的作用，延长灯座寿命。

进一步的，本申请实施例通过在每一块拼接板上均设置冷却通道，且冷却通道包括相互连通的进液通道、回液通道和多个液体通道，且进液通道的出液端和多个进液口连通，回液通道的进液端和多个出液口连通，冷却液由进液通道同时流入多个液体通道，再由多个液体通道直接流入至回液通道流出，可以增加冷却板内流动区域的面积，从而提高了冷却板的冷却效率。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1是本申请一实施例提供的玻璃罩组件的结构示意图；

图2是本申请一实施例提供的外延用冷却装置和外延设备的加热腔装配示意图；

图3是本申请一实施类提供的外延设备的部分结构剖视图；

图4是图2中外延用冷却装置的结构示意图；

图5是图2中外延用冷却装置和灯座装配的后视图；

图6是图4中外延用冷却装置的内部结构示意图；

图7是图4中外延用冷却装置的剖视图。

附图标记说明：

100-冷却板；200-加热灯；300-灯座；400-玻璃罩组件；500-壳体；600-反射板；

110-第一安装孔；120-第二安装孔；130-拼接板；131-盖板；132-板体；133-凸起；140-冷却通道；141-进液通道；142-回液通道；143-液体通道；1431-第一液体通道；1432-第二液体通道；150-循环组件；151-第一通道；152-第二通道；160-螺栓孔；170-第三安装孔；410-罩设件；411-反应腔；420-支撑件。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本申请中的技术方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。

需说明，在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请，但是，本申请还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本申请的保护范围并不受下面公开的具体实施方式的限制。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。但注明直接连接则说明连接地两个主体之间并不通过过度结构构建连接关系，只通过连接结构相连形成一个整体。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。

半导体外延设备是对半导体晶圆进行加工处理的设备，半导体外延设备形成有加热腔，加热腔内设置有反射板、玻璃罩组件和多个灯座，反射板设置于加热腔内，多个灯座设置于反射板，多个灯座固定有加热灯，以在加热腔内为晶圆气相生长提供高温工艺环境，玻璃罩组件由加热腔的底壁向背向加热灯的方向延伸，并在加热腔内形成反应腔，且玻璃罩组件在加热腔内形成有反应腔，晶圆设置于反应腔内。

在对晶圆进行高温加热时，加热灯发射红外光，其中，一部分红外光能够直接照射于晶圆表面，一部分红外光则经由反射板反射至晶圆表面，通过加热灯和反射板配合，实现了对晶圆的高温工艺处理。

相关技术中，通常在反射板背向加热灯的一侧设置冷却板，以采用冷却板对反射板进行降温防止反射板被损坏。

然而，由于加热腔内设置有玻璃罩组件以及固定加热灯的灯座，不便于冷却板的安装。

图1是本申请一实施例提供的玻璃罩组件的结构示意图。

参照图1，晶圆在加热腔内，通常照射于玻璃罩组件400内，玻璃罩组件400包括锥形的罩设件410和与罩设件410连接的支撑件420，支撑件420的一端设置于加热腔的底部，支撑件420的另一端支撑于罩设件410。

由于加热腔内设置有玻璃罩组件和用于固定加热灯的灯座等结构，在安装冷却板的过程中，冷却板会和玻璃罩组件、灯座等结构产生干涉，不便于冷却板的安装。

因此，本申请实施例提供了一种外延用冷却装置，以解决相关技术中，在安装冷却板的过程中，冷却板和玻璃罩组件、灯座等结构产生干涉，不便于冷却板的安装的技术问题。

图2是本申请一实施例提供的外延用冷却装置和外延设备的加热腔装配示意图。图3是本申请一实施类提供的外延设备的部分结构剖视图。图4是图2中外延用冷却装置的结构示意图。图5是图2中外延用冷却装置和灯座装配的后视图；图6是图4中外延用冷却装置的内部结构示意图。图7是图4中外延用冷却装置的剖视图。

参照图2至图7，本申请实施例提供了一种外延用冷却装置，冷却装置设置于外延设备的加热腔内，冷却装置包括冷却板100，冷却板100的表面设置有反射板600，反射板600背离冷却板100的一面设置有多个灯座，且灯座300固定有加热灯200；加热腔内还设置有玻璃罩组件400，玻璃罩组件400穿过加热腔的底壁并沿背离冷却板100的方向延伸，且在加热腔内形成反应腔411，晶圆设置于反应腔411内。

冷却板100设置有第一安装孔110和多个第二安装孔120，玻璃罩组件400穿设于所述第一安装孔110内，多个所述灯座300对应穿设于多个所述第二安装孔120内。

冷却板100包括至少两个拼接板130，第一安装孔110设置于拼接板130的连接处。

每个拼接板130均设置有冷却通道140，冷却通道140包括相互连通的进液通道141、回液通道142和多个液体通道143；

每个液体通道143设置有至少一个进液口和至少一个出液口，进液通道141的出液端和进液口连通；回液通道142的进液端和出液口连通；

冷却液由进液通道141进入，经由多个液体通道143后，再由回液通道142流出。

加热腔由外延设备的壳体500围合而成。

玻璃罩组件400包括锥形的罩设件410和与罩设件410连接的支撑件420，支撑件420的一端设置于加热腔的底部，支撑件420的另一端穿设于第一安装孔110与罩设件410连接。其中，罩设件410的边缘压紧于外延设备的两个夹紧块之间，靠加热腔一侧的夹紧块通过螺栓与加热腔固定。

灯座300穿过第二安装孔120将弧形加热灯200固定于反射板600的一侧。

灯座300包括第一固定件、第二固定件和卡座，第一固定件设置于第二安装孔120背向晶圆的一侧，第二固定件设置于第二安装孔120朝向晶圆的一侧，且第二固定件朝向晶圆的一侧设置有加热灯200的卡座，通过第一固定件和第二固定件配合，能够将卡座固定于冷却板100表面。需要说明的是，灯座300穿设于第二安装孔120的部分缠绕有电线，电线用于向加热灯200供电。当然，灯座300和第二安装孔120之间可以采用间隙配合方式，也可以采用过渡配合方式。

在对晶圆进行高温工艺处理时，加热灯200发射红外光，有一部分红外光直接照射到晶圆表面，有一部分红外光经由反射板600反射到晶圆表面，晶圆被加热后温度升高，温度传感器经由导光筒接收晶圆的温度信号，以检测晶圆的温度。

示例性的，为了使得温度传感器能够接收到晶圆较多的温度信号，可以在冷却板100的表面远离晶圆中心的位置设置第三安装孔170，其中第三安装孔170的形状和测温组件相互适配，其中，测温组件被配置为实时检测晶圆的温度。

需要进一步说明的是，每个液体通道143均设置有至少一个进液口和至少一个出液口，例如，冷却液流入进液通道141后，经由进液通道141可以从多个进液口进入多个液体通道143，再由多个液体通道143的回液口流入至回液通道142流出。

本申请实施例通过第一安装孔110的设置，能够为玻璃罩组件400提供避让空间，通过第二安装孔120的设置，能够为灯座300提供避让空间，通过在冷却板100上设置对玻璃罩组件400和灯座300的避让空间，方便了冷却板100的装配。在冷却板100的安装过程中，拼接板130由玻璃罩组件400的侧壁外围向玻璃罩组件400移动并固定于玻璃罩组件400的外围，相较于由玻璃罩组件400的两端套设于玻璃罩组件400，方便了冷却板100的第一安装孔110内侧壁和玻璃罩组件400外侧壁之间的距离控制，避免第一安装孔110内侧壁对玻璃罩组件400造成损坏，对玻璃罩组件400起到了保护作用。本申请实施例通过将冷却板100设置有至少两个拼接板130，且使第一安装孔110设置于拼接板130的连接处，便于冷却板100围绕冷却组件拼接，方便了冷却板100和加热腔的装配，从而便于冷却板100的安装。

另外，本申请实施例通过将多个灯座300对应穿设于第二安装孔120内，能够将灯座300的部分结构设置第二安装孔120内，使得冷却板100内的冷却通道140能够对灯座300起到冷却散热的作用，避免反射板600反射红外光所产生的高温对灯座300产生破坏，且能够对灯座300起到散热的作用，延长灯座300寿命。

进一步的，本申请实施例通过在每一块拼接板130上均设置冷却通道140，且冷却通道140包括相互连通的进液通道141、回液通道142和多个液体通道143，且进液通道141的出液端和多个进液口连通，回液通道142的进液端和多个出液口连通，冷却液由进液通道141同时流入多个液体通道143，再由多个液体通道143直接流入至回液通道142流出，可以增加冷却板100内流动区域的面积，从而提高了冷却板的冷却效率。

在一些示例中，拼接板130设置有两个，两个拼接板130关于第一安装孔110的中轴线对称设置。

需要说明的是，冷却通道140遍布每一个拼接板130的内部，以便于对加热腔进行散热。

本申请实施例通过将拼接板130设置为关于第一安装孔110的中轴线对称的两个，一方面，在将冷却板100安装于加热腔时，通过拼接板130围绕玻璃罩组件400装配即可，方便了冷却板100的装配；另一方面，在加工制造冷却板100时，仅通过一个模具加工多个拼接板130，再将拼接板130进行装配后便可得到冷却板100，方便了冷却板100的制造。

进一步的，为了进一步便于冷却板100的加工和装配，对于第二安装孔120的设置，也进行了改进。

例如，多个第二安装孔120包括对称设置的第一孔组和第二孔组。第一孔组和第二孔组分别设置于两个对称设置的拼接板130。

需要说明的是，加热灯200通常设置为多个弧形灯，每个弧形灯具有两个灯座300，故，加热腔内设置为多个灯座300。

本申请实施例通过将第一孔组和第二孔组对称设置于两个对称设置的拼接板130，在对冷却板100进行安装时，能够按照每个第二安装孔120所对应的灯座300位置进行装配，方便了冷却板100的安装。另外，本申请实施例进一步的第一孔组和第二孔组对称设置于两个对称设置的拼接板130，在加工冷却板100时，仅通过加工多个相同的拼接板130后，再进行装配即可，方便了冷却板100的加工。

更进一步的，为了便于冷却板100的加工，冷却通道140设置有两个，两个冷却通道140沿两个拼接板130的对称轴线对称设置于两个拼接板130内。

例如，冷却板100可以为一体成型的结构，在冷却板100的内部设置冷却通道140。又例如，冷却板100也可以包括板体和盖板，可以在板体上设置凹槽，将盖板盖设于凹槽上，形成冷却通道140。

本申请实施例通过将两个冷却通道140沿两个拼接板130的对称轴线对称设置于两个拼接板130内，从而在加工拼接板130时，每个拼接板130的冷却通道140一致，在加工过程中，通过加工多个相同的拼接板130，再进行装配后，即可得到冷却板100，方便了冷却板100的加工。

进一步的，在具体设置时，进液通道141的进液端和回液通道142的出液端相邻设置；

拼接板130表面设置有循环组件150，循环组件150设置于进液通道141的进液端和回液通道142的出液端之间，循环组件150具有第一通道151和第二通道152，第一通道151的出液端和进液通道141的进液端连接，第二通道152的进液端和回液通道142的出液端连接。

需要说明的是，循环组件150设置于拼接板130的表面，可以设置为具有第一通道151和第二通道152的块状结构。

需要进一步说明的是，第一通道151用于向冷却通道140内通入冷却液，第二通道152用于将在冷却板100内进行热交换后的、温度升高的冷却液输出。

本申请实施例通过循环组件150的设置，且将循环组件150设置于进液通道141的进液端和回液通道142的出液端之间，方便了进液通道141的进液端和第一通道151的连接，以及回液通道142的出液端和第二通道152的连接。本申请实施例通过第一通道151的出液端和进液通道141的进液端连接，能够向液体通道143内通入冷却液，以通过冷却液在冷却板100内循环，与加热腔进行热交换，实现对加热腔的散热，本申请实施例通过第二通道152的进液端和回液通道142的出液端连接，便于将人在冷却通道140内进行热交换后的冷却液排出。

对于冷却通道140的具体设置，下面进行具体说明：

例如，进液通道141和回液通道142沿两个拼接板130的对称轴线延伸方向设置。

多个液体通道143包括第一液体通道1431和第二液体通道1432，第一液体通道1431和第二液体通道1432的延伸方向并列设置；第一液体通道1431的进液口和第二液体通道1432的进液口均与进液通道141的出液端连通；第一液体通道1431的出液口和第二液体通道1432的出液口均与回液通道142的进液端连通。

需要说明的是，进液通道141和回液通道142位于沿同一延伸直线延伸。

可行的，第一液体通道1431、第二液体通道1432以及延伸直线并列设置。比如，延伸直线可以设置在第一液体通道1431和第二液体通道1432之间(未图示)。又比如，第一液体通道1431也可以设置于第二液体通道1432和延伸直线之间(参照图5)；再比如，第二液体通道1432也可以设置于第一液体通道1431和延伸直线之间。

本申请实施例通过将进液通道141和回液通道142设置为沿两个拼接板130的对称轴线延伸方向设置，且将第一液体通道1431和第二液体通道1432的延伸方向并列设置，能够使得冷却液在冷却通道140内沿延伸方向快速循环流动，加快了冷却液的流动速度，提高了冷却液和加热腔之间的换热效率。

又例如，对冷却板100和液体通道143的形状进行进一步的限定：

冷却板100的形状和加热腔的形状相互适配设置；第一安装孔110和玻璃罩组件400的形状相互适配设置，多个第二安装孔120和多个灯座300的形状相互适配设置；冷却通道140的外轮廓形状和冷却板100的外轮廓形状相互适配设置。

其中，第一安装孔110和玻璃罩组件400的支撑件420的形状相互适配。

在本申请中，加热腔的形状为圆形，因此，冷却板100的形状设置为圆形。相应的，冷却通道140在设置时，液体通道143的连接处，或者转弯处，可以沿冷却板100的圆形的弧度设置。

本申请实施例通过将冷却板100的形状和加热腔的形状相互适配设置，能够使得冷却板100和加热腔的形状相互适配，以便于冷却板100更好的对加热板进行散热。

本申请实施例通过将在冷却板100上设置第一安装孔110和第二安装孔120，且第一安装孔110玻璃罩组件400的形状相互适配，第二安装孔120和灯座300的形状相互适配，从而能够使得冷却板100更好的与加热腔配合，从而提高冷却板100对加热腔的散热效果。

本申请实施例通过将冷却通道140的形状设置为和冷却板100的形状相互适配，能够增大冷却板100上冷却通道140的面积，从而提高了冷却板100对于加热腔的散热效果。

在另外的一些实现方式中，第一通道151的进液端和进液管连接，第二通道152的出液端和出液管连接；进液管和出液管均与换热装置连通。

需要说明的是，换热装置可以为板式换热器或者管式换热器等装置，能够将换热后温度升高的冷却液依次经由第二通道152、出液管输出至换热装置，在换热装置内进行换热冷却后，再将温度降低的冷却液输入至冷却通道140内对加热腔进行散热。

在其他的一些示例中，冷却板100边缘设置有螺栓孔160，紧固螺栓穿过螺栓孔160将冷却板100固定于反射板(600)表面，反射板600固定于加热腔内壁。

本申请实施例通过在冷却板100的边缘设置螺栓孔160，能够通过紧固螺栓将冷却板100固定于反射板(600)表面。

在其他的一些示例中，拼接板130包括盖板131和板体132，盖板131盖合于板体132，盖板131和板体132之间形成有空腔；

空腔内形成有凸起133，凸起133的一端和盖板131连接，凸起133的另一端和板体132连接，凸起133在空腔内分隔形成冷却通道140。

本申请实施例通过多个液体通道141的设置，能够在冷却通道140内形成多道凸起133，当冷却板100的结构设置为板体132和盖板131时，盖板131盖设于板体132，盖板131可以分别和板体132的外轮廓边缘以及多道凸起133连接，多道凸起133能够对盖板起到支撑和固定的作用，避免盖板变形，从而提高冷却板100的使用寿命。

容易理解的是，本领域技术人员在本申请提供的几个实施例的基础上，可以对本申请的实施例进行结合、拆分、重组等得到其他实施例，这些实施例均没有超出本申请的保护范围。

以上的具体实施方式，对本申请实施例的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上仅为本申请实施例的具体实施方式而已，并不用于限定本申请实施例的保护范围，凡在本申请实施例的技术方案的基础之上，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包括在本申请实施例的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种外延用冷却装置，所述冷却装置设置于外延设备的加热腔内；

所述冷却装置包括冷却板(100)，所述冷却板(100)的表面设置有反射板(600)，所述反射板(600)背离所述冷却板(100)的一面设置有多个灯座(300)，且所述灯座(300)固定有加热灯(200)；所述加热腔内还设置有玻璃罩组件(400)，所述玻璃罩组件(400)穿过所述加热腔的底壁并沿背离所述冷却板(100)的方向延伸，且在所述加热腔内形成反应腔(411)，晶圆设置于所述反应腔(411)内；

其特征在于，所述冷却板(100)设置有第一安装孔(110)和多个第二安装孔(120)，所述玻璃罩组件(400)穿设于所述第一安装孔(110)内，多个所述灯座(300)对应穿设于多个所述第二安装孔(120)内；

所述冷却板(100)包括至少两个拼接板(130)，所述第一安装孔(110)设置于所述拼接板(130)的连接处；

每个所述拼接板(130)均设置有冷却通道(140)，所述冷却通道(140)包括相互连通的进液通道(141)、回液通道(142)和多个液体通道(143)；

每个所述液体通道(143)设置有至少一个进液口和至少一个出液口，所述进液通道(141)的出液端和所述进液口连通；所述回液通道(142)的进液端和所述出液口连通；

冷却液由进液通道(141)进入，经由多个液体通道(143)后，再由回液通道(142)流出。

2.根据权利要求1所述的外延用冷却装置，其特征在于，所述拼接板(130)设置有两个，两个所述拼接板(130)关于所述第一安装孔(110)的中轴线对称设置。

3.根据权利要求2所述的外延用冷却装置，其特征在于，多个所述第二安装孔(120)包括对称设置的第一孔组和第二孔组；

所述第一孔组和所述第二孔组分别设置于两个所述对称设置的拼接板(130)。

4.根据权利要求2所述的外延用冷却装置，其特征在于，所述冷却通道(140)设置有两个，两个所述冷却通道(140)沿两个所述拼接板(130)的对称轴线对称设置于两个所述拼接板(130)内。

5.根据权利要求1-4任一项所述的外延用冷却装置，其特征在于，所述进液通道(141)的进液端和所述回液通道(142)的出液端相邻设置；

所述拼接板(130)表面设置有循环组件(150)，所述循环组件(150)设置于所述进液通道(141)的进液端和所述回液通道(142)的出液端之间，所述循环组件(150)具有第一通道(151)和第二通道(152)，所述第一通道(151)的出液端和所述进液通道(141)的进液端连接，所述第二通道(152)的进液端和所述回液通道(142)的出液端连接。

6.根据权利要求4所述的外延用冷却装置，其特征在于，所述进液通道(141)和所述回液通道(142)沿两个所述拼接板(130)的对称轴线延伸方向设置；

所述多个液体通道(143)包括第一液体通道(1431)和第二液体通道(1432)，所述第一液体通道(1431)和所述第二液体通道(1432)的延伸方向并列设置；

所述第一液体通道(1431)的进液口和所述第二液体通道(1432)的进液口均与所述进液通道(141)的出液端连通；

所述第一液体通道(1431)的出液口和所述第二液体通道(1432)的出液口均与所述回液通道(142)的进液端连通。

7.根据权利要求1-4任一项所述的外延用冷却装置，其特征在于，所述冷却板(100)的形状和所述加热腔的形状相互适配设置；

所述第一安装孔(110)和所述玻璃罩组件(400)的形状相互适配设置，所述多个第二安装孔(120)和多个所述灯座(300)的形状相互适配设置；

所述冷却通道(140)的外轮廓形状和所述冷却板(100)的外轮廓形状相互适配设置。

8.根据权利要求5所述的外延用冷却装置，其特征在于，所述第一通道(151)的进液端和进液管连接，所述第二通道(152)的出液端和出液管连接；

所述进液管和所述出液管均与换热装置连通。

9.根据权利要求1-4任一项所述的外延用冷却装置，其特征在于，所述冷却板(100)边缘设置有螺栓孔(160)，紧固螺栓穿过螺栓孔(160)将所述冷却板(100)固定于所述反射板(600)表面，所述反射板(600)固定于所述加热腔内壁。

10.根据权利要求1-4任一项所述的外延用冷却装置，其特征在于，所述拼接板(130)包括盖板(131)和板体(132)，所述盖板(131)盖合于所述板体(132)，所述盖板(131)和所述板体(132)之间形成有空腔；

所述空腔内形成有凸起(133)，所述凸起(133)的一端和所述盖板(131)连接，所述凸起的另一端和所述板体(132)连接，所述凸起(133)在所述空腔内分隔形成所述冷却通道(140)。