CN220065632U - 硅片脱落后预防碎片的保护装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了硅片脱落后预防碎片的保护装置，属于硅片处理领域，硅片脱落后预防碎片的保护装置，包括承接架，承接架的内侧设置有承接仓，承接架的一侧且靠近底端的位置处固定有架设板，承接架远离架设板的一侧且靠近中间位置处固定有卡条，承接仓的内侧安装有两个阻挡件，阻挡件用于阻挡硅片，阻挡件为阻挡防护板，且两个阻挡防护板分别架设在承接仓内侧的两端，阻挡防护板靠近架设板一端的底部设置有第一卡槽，阻挡防护板靠近卡条一端的中心位置处设置有第二卡槽；它可以承受住硅片一定的压力而保护硅片倾斜角度，避免硅片倾斜在治具上面，减少了硅片倒下时产生的摩擦和重量压力，从而减少了硅片的损失。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片处理领域，更具体地说，涉及硅片脱落后预防碎片的保护装置。
背景技术
在半导体制造过程中，硅片是一种重要的原材料，它通常需要与塑料板粘合在一起，以便进行切割、打磨等工序，为了将硅片和塑料板分离开，需要使用一种脱胶槽，其中注入一定温度和浓度的水和乳酸溶液，通过浸泡和冲洗的方式使硅片和塑料板脱离；
然而，在脱胶过程中，硅片容易受到损伤，尤其是当硅片很薄且材质较脆时，如厚度仅为0.15mm的硅片，一旦硅片出现倾斜或碰撞，就可能导致硅片破裂或产生碎片，从而影响产品质量和造成经济损失；
目前已有的脱胶槽设备，通常采用一种脱胶治具来固定和保护硅片，该脱胶治具仅在左右两侧有圆钢杆挡住硅片，以防止硅片在水流的冲击下移动或滑落，然而，该脱胶治具在头尾两端没有设置任何阻挡组件，因此当硅片与塑料板分离后，硅片很容易往一端倾斜或倒下，从而增加了硅片受损的风险。
实用新型内容
1.要解决的技术问题
针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供硅片脱落后预防碎片的保护装置，它可以承受住硅片一定的压力而保护硅片倾斜角度，避免硅片倾斜在治具上面，减少了硅片倒下时产生的摩擦和重量压力，从而减少了硅片的损失。
2.技术方案
为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案。
硅片脱落后预防碎片的保护装置，包括承接架，所述承接架的内侧设置有承接仓，所述承接架的一侧且靠近底端的位置处固定有架设板，所述承接架远离所述架设板的一侧且靠近中间位置处固定有卡条；
所述承接仓的内侧安装有两个阻挡件，所述阻挡件用于阻挡硅片。
进一步的，所述阻挡件为阻挡防护板，且两个所述阻挡防护板分别架设在所述承接仓内侧的两端，所述阻挡防护板靠近所述架设板一端的底部设置有第一卡槽，所述阻挡防护板靠近所述卡条一端的中心位置处设置有第二卡槽，且所述阻挡防护板分别通过第一卡槽和所述第二卡槽与所述架设板和所述卡条相抵接。
进一步的，所述第一卡槽的内侧设置有多个第一卡紧弹片，所述第二卡槽的内侧设置有多个第二卡紧弹片。
进一步的，所述阻挡防护板的材质为环氧板。
进一步的，所述第一卡紧弹片和所述第二卡紧弹片为圆弧形。
进一步的，所述第二卡槽的深度大于所述第一卡槽的深度。
3.有益效果
相比于现有技术，本实用新型的优点在于：
本方案通过承接架两侧设置的阻挡防护板，使得阻挡防护板对硅片进行阻挡，进而防止硅片出现歪斜的情况，从而保护的硅片，尽量减少其出现破碎的情况，其可以承受住硅片一定的压力而保护硅片倾斜角度，避免硅片倾斜在治具上面，减少了硅片倒下时产生的摩擦和重量压力，从而减少了硅片的损失。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用阻挡防护板、第一卡槽和第二卡槽之间的结构示意图；
图3为本实用阻挡防护板、第二卡槽和第一卡槽之间的结构示意图；
图4为本实用图3中A处的放大图；
图5为本实用图3中B处的放大图。
图中标号说明：
1、承接架；2、承接仓；3、架设板；4、卡条；5、阻挡防护板；6、第一卡槽；7、第二卡槽；8、第一卡紧弹片；9、第二卡紧弹片。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
实施例：
请参阅图1-5，硅片脱落后预防碎片的保护装置，包括承接架1，承接架1的内侧设置有承接仓2，承接架1的一侧且靠近底端的位置处固定有架设板3，承接架1远离架设板3的一侧且靠近中间位置处固定有卡条4；
承接仓2的内侧安装有两个阻挡件，阻挡件用于阻挡硅片。
参阅图2-3，阻挡件为阻挡防护板5，且两个阻挡防护板5分别架设在承接仓2内侧的两端，第一卡槽6和第二卡槽7开口的朝向合理，支撑稳固且方便员工操作，阻挡防护板5的材质为环氧板，通过此种设置，使得阻挡防护板5能够在对硅片进行阻挡时，可避免对硅片造成磕碰的情况，且环氧板相对耐酸，耐65度的水温，避免因温度导致的裂纹和变形等不良现象，相对不锈钢材质有一定的柔韧和缓冲性，不会轻易出现断裂情况，使用寿命延长，减少更换频率，成本降低，也可避免硅片在硬碰硬的情况下发生损伤，阻挡防护板5靠近架设板3一端的底部设置有第一卡槽6，阻挡防护板5靠近卡条4一端的中心位置处设置有第二卡槽7，第二卡槽7的深度大于第一卡槽6的深度，通过此种设置，使得卡条4在横向卡紧卡条4时，进一步避免出现脱离的情况，且阻挡防护板5分别通过第一卡槽6和第二卡槽7与架设板3和卡条4相抵接，通过第一卡槽6的设置，使得阻挡防护板5能够通过第一卡槽6限位在架设板3的外侧，且通过第二卡槽7的设置，使得阻挡防护板5能够通过第二卡槽7限位在卡条4的外侧，进而通过这两处的限制，使得阻挡防护板5几乎不会脱离承接架1，进而能够为硅片进行阻挡。
参阅图4-5，第一卡槽6的内侧设置有多个第一卡紧弹片8，第二卡槽7的内侧设置有多个第二卡紧弹片9，第一卡紧弹片8和第二卡紧弹片9为圆弧形，通过此种设置，使得第一卡紧弹片8和第二卡紧弹片9在形变之后，对架设板3和卡条4的夹持效果更好，通过第一卡紧弹片8和第二卡紧弹片9和设置，使得第一卡紧弹片8和第二卡紧弹片9与架设板3和卡条4接触时，进行形变，并能够对架设板3和卡条4进行夹持，从而使得阻挡防护板5减少出现位移的情况。
工作原理：使用者使用该装置时，通过承接架1上的承接仓2对硅片进行承接，并通过承接架1两侧设置的阻挡防护板5，使得阻挡防护板5对硅片进行阻挡，进而防止硅片出现歪斜的情况，从而保护的硅片，尽量减少其出现破碎的情况。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式；但本实用新型的保护范围并不局限于此。任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其改进构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。
Claims (6)
1.硅片脱落后预防碎片的保护装置，包括承接架(1)，其特征在于：所述承接架(1)的内侧设置有承接仓(2)，所述承接架(1)的一侧且靠近底端的位置处固定有架设板(3)，所述承接架(1)远离所述架设板(3)的一侧且靠近中间位置处固定有卡条(4)；
所述承接仓(2)的内侧安装有两个阻挡件，所述阻挡件用于阻挡硅片。
2.根据权利要求1所述的硅片脱落后预防碎片的保护装置，其特征在于：所述阻挡件为阻挡防护板(5)，且两个所述阻挡防护板(5)分别架设在所述承接仓(2)内侧的两端，所述阻挡防护板(5)靠近所述架设板(3)一端的底部设置有第一卡槽(6)，所述阻挡防护板(5)靠近所述卡条(4)一端的中心位置处设置有第二卡槽(7)，且所述阻挡防护板(5)分别通过第一卡槽(6)和所述第二卡槽(7)与所述架设板(3)和所述卡条(4)相抵接。
3.根据权利要求2所述的硅片脱落后预防碎片的保护装置，其特征在于：所述第一卡槽(6)的内侧设置有多个第一卡紧弹片(8)，所述第二卡槽(7)的内侧设置有多个第二卡紧弹片(9)。
4.根据权利要求2所述的硅片脱落后预防碎片的保护装置，其特征在于：所述阻挡防护板(5)的材质为环氧板。
5.根据权利要求3所述的硅片脱落后预防碎片的保护装置，其特征在于：所述第一卡紧弹片(8)和所述第二卡紧弹片(9)为圆弧形。
6.根据权利要求2所述的硅片脱落后预防碎片的保护装置，其特征在于：所述第二卡槽(7)的深度大于所述第一卡槽(6)的深度。
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