CN220038485U - 一种大容量等离子尾气处理设备 - Google Patents

一种大容量等离子尾气处理设备 Download PDF

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CN220038485U CN202320752748.1U CN202320752748U CN220038485U CN 220038485 U CN220038485 U CN 220038485U CN 202320752748 U CN202320752748 U CN 202320752748U CN 220038485 U CN220038485 U CN 220038485U
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刘家富
王彬
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Suzhou Yikehua Environmental Protection Technology Co ltd
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Suzhou Yikehua Environmental Protection Technology Co ltd
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Abstract

本申请属于尾气处理设备技术领域,尤其涉及一种大容量等离子尾气处理设备,包括:反应塔,包括为反应塔提供能量的等离子体火炬、为反应塔提供进气的第一进气腔以及设置于等离子体火炬腔内的反应腔,且第一进气腔与等离子体火炬之间为可拆卸连接;洗涤塔,设置于所述反应塔的一侧;水箱,设置于洗涤塔的底部并与洗涤塔连接,用于为冷却、溶解废气;其中,所述反应塔还包括:进气口,设置于等离子体火炬上,进气口用于将氧化还原气体输入反应塔内部,进气口的数量为十个,且进气口与等离子体火炬连接处安装有y型的三通结构。

Description

一种大容量等离子尾气处理设备
技术领域
本申请属于尾气处理设备技术领域,尤其涉及一种大容量等离子尾气处理设备。
背景技术
随着全球工业化的高度发展,环境污染日趋严重,为了实现可持续发展,各行各业对于污染源的控制也越来越强,其中,尤其是对于工业废气的排放控制得相当严格,在光伏行业中的生产中会产生大量的有毒有害气体,有些还是传统产业中较少使用的剧毒物质,这些有毒有害物质如车间内的浓度超标会对操作人员造成极大伤害,也会对环境造成极大的影响,同时,硅烷、磷烷、TMA等易燃易爆的原料若是直接排放也非常的危险,必须要经过处理才能排放,否则可能会造成极大的安全隐患。
目前主流的废气处理的设备处理量比较小,尾气处理效率较低,无法同时处理大量的废气,不利于生产工作的高效运行。
实用新型内容
本申请的目的是提供一种大容量等离子尾气处理设备,能够解决上述问题。
本申请的目的是提供一种大容量等离子尾气处理设备,包括:
反应塔,包括为反应塔提供能量的等离子体火炬、为反应塔提供进气的第一进气腔以及设置于等离子体火炬腔内的反应腔,且第一进气腔与等离子体火炬之间为可拆卸连接;
洗涤塔,设置于所述反应塔的一侧;
水箱,设置于洗涤塔的底部并与洗涤塔连接,用于为冷却、溶解废气;
其中,所述反应塔还包括:
进气口,设置于等离子体火炬上,进气口用于将氧化还原气体输入反应塔内部,进气口的数量为十个,且进气口与等离子体火炬连接处安装有y型的三通结构;
缩口法兰,所述缩口法兰用于改变反应塔的进气量,且缩口法兰在每个进气口上均有设置;
岩棉区,设置于等离子体火炬下部,所述岩棉区用于分散气体和隔热。
采用上述的一种大容量等离子尾气处理设备,可以有效提高废气的处理效率,本申请采用的等离子体火炬的平均温度为2000℃,最高可达3000℃,可以充分燃烧废气,进而提高了废气的处理效率,在进行处理的过程中,废气通过第一进气腔进入反应塔,经过等离子体火炬的初步处理,再经过水箱的冷却和溶解,最后经过洗涤塔的二次处理达到排放标准,从而实现将有毒有害的废气进行高效无害化处理的功能。
本申请的设备在常压环境下,将氮气作为等离子体发生气源,从而形成针对废气高效处理的能量源,规避了以传统化石能源作为能量源而自身产生的碳排放问题,达到“0”碳排放的结果,有效保护了环境,其中,氮气形成的等离子体产生的温度会达到3000度以上,对光伏行业内的各种废气,尤其是PFC温室效应气体的处理效率显著提高,对CF4的处理效率可达到95%以上,其他气体的处理效率可达99%以上。
CF4气体的C-F化学键是非常稳定的,通常需要超过1600℃才能将其化学键进行打开,然后进行气体处理,所以在等离子产生的3000℃以上的高温环境下,CF4的处理变得更加容易,具有对废气的高效处理效率。
其中,该设备使用的材料及表面涂层材料具有耐酸性和耐高温(≧1200℃)性能,通过特殊水冷却设计,可以使反应腔表面达到人体可触摸温度,不会造成烫伤安全风险。
此外,半导体技术作为工业水平和综合国力的体现,受到国家的高度重视,但半导体生产中会产生大量的有毒有害气体,有些还是传统产业中较少使用的剧毒物质,这些有毒有害物质如车间内的浓度超标会对操作人员造成极大伤害,这些气体大多对人体和环境危害严重,因此需要对产生的废气进行处理。
本申请的尾气处理设备的原理为等离子火焰+水洗,共十个进气口,其主要目的是能有效处理光伏电池片生产中所需要的特殊有害气体,如NH3,CH4,N2O,TMA,TMB,Si H4,BH3等,同时,由于不需要天然气管道点火处理特气,可以使得整个工厂在建设初期投入成本大大降少,十个进气口的设置可以使尾气的处理量达到2500升每分钟,可以连接多个工艺机台,进而进一步减少设备投入的成本,此外,通过在等离子体火炬的下部设置岩棉区,可以起到气体的分散的功能和有效的隔热功能,从而提高了该结构对废气的处理效率。
进一步的:所述反应腔内设置有冷却夹层和第一隔热层,所述第一进气腔的内壁上设置有第二隔热层。
通过在反应腔内设置有冷却夹层,从而可以对反应腔起到保护作用,防止反应腔外壁温度过高,通过在反应腔内部设置第一隔热层,第一隔热层可以有效防止反应腔内的温度散失,有效提高了反应腔的保温效率,通过在第一进气腔内壁设置有第二隔热层,第二隔热层能有效保护内部温度,第二隔热层还可以降低第一进气腔的外部温度,进而提高了对废气的处理效率。
进一步的,所述洗涤塔包括:
洗涤塔本体,所洗涤塔本体包括上塔体和下塔体,所述下塔体为空心结构,上塔体内开设有便于气流通过的孔洞,孔洞为圆形且孔洞均匀分布,且上塔体顶部设有出口;
卡钳式法兰,设置于下塔体的底部;
第一喷嘴,设置于下塔体的侧部,所述第一喷嘴的数量至少为两个;
其中,上塔体与下塔体为可拆卸连接,且上塔体与下塔体均采用耐腐蚀材质制成。
上塔体与下塔体采用耐腐蚀材质制成,上塔体与下塔体之间为拼接连接,在下塔体的底部安装有卡钳式法兰,可以便于对洗涤塔本体进行安装和拆卸,提高安装以及维修的效率,通过在下塔体侧部安装有第二喷嘴,第二喷嘴至少安装两个,第二喷嘴上下间隔设置,可以对废气进行喷淋清洗,从而去除废气中的一些固定颗粒,经过清洗后的废气通过多个孔洞进入上塔体内,最后从出口导出喷淋塔。
进一步的,所述洗涤塔还包括监测机构,所述监测机构包括设置于上塔体的顶部外壁上的负压监测装置、温度监测装置和处理效率探测装置。
通过在洗涤塔上安装有负压监测装置、温度监测装置和处理效率探测装置,可以对洗涤塔的各项数据进行实时监测,可以及时了解洗涤塔的情况,便于产生事故时及时处理,从而对整个设备起到保护作用。
进一步的,所述水箱包括:
进气管,设置于水箱顶部并与水箱内部连通;
出气管,所述出气管设置有两个,两个出气管均设置于水箱顶部,且每个出气管均与水箱的内部连通;
第二喷嘴,设置于进气管的底部,所述第二喷嘴用于冷却与溶解进入的废气;
第二进气腔,设置于水箱的上侧腔内,且所述第二进气腔与进气管相对应;
出气腔,设置于水箱的上侧腔内,且所述出气腔与两个出气管相对应;
第三喷嘴,设置于第二进气腔内,所述喷嘴的数量设有多个,所述第三喷嘴用于冷却与溶解废气;
抽屉型储箱,设置于所述出气腔内,所述抽屉型储箱的数量为两个;
其中,所述水箱的侧壁上固定安装有液位传感器,所述液位传感器用于调整控制水箱的水位。
本申请中的进气管和出气管均采用卡钳式法兰与水箱连接,从而便于安装和拆卸,提高了初期的安装效率和后期的维修效率,进气管上的第二喷嘴至少安装有四个,四个第二喷嘴内主要用于冷却与溶解废气,从而提高了废气的处理效率,同时,在第二进气腔内的第三喷嘴可以提高第二进气腔对废气的处理效率,配合第二喷嘴可以进一步提高处理效率,通过在出气腔中安装有至少两个抽屉型储箱,两个储箱的设置可以增加与空气的接触面积,从而提高了对废气的处理效率,而在水箱侧壁上的液位传感器则可调整控制水箱的水位,此外,在水箱上还安装有漏液传感器,漏液传感器可以用于检测水箱是否存在泄漏的问题。
进一步的,所述水箱的前侧壁面上设有视窗,视窗采用透明耐腐蚀原料制成,所述水箱的上部还安装有用于搬运的定位块。
视窗的设置可以便于使用者观看到水箱内部的情况,如水箱内的水质,从而便于对水箱内部的部件及时进行维护,通过在水箱的上部安装有定位块,定位块设置有多个,焊块上设置有孔,通过孔可以进行移动时的固定,从而便于对水箱进行搬运。
本申请的有益效果是:
1、将氮气作为等离子体发生气源,从而形成针对废气高效处理的能量源,规避了以传统化石能源作为能量源而自身产生的碳排放问题,达到“0”碳排放的结果,有效保护了环境;
2、由于不需要天然气管道点火处理特气,可以使得整个工厂在建设初期投入成本大大降少,同时,十个进气口的设置可以使尾气的处理量达到2500升每分钟,进而可以连接多个工艺机台,进一步减少设备投入的成本;
3、通过在反应腔内设置有冷却夹层,从而可以对反应腔起到保护作用,防止反应腔外壁温度过高,通过在反应腔内部设置第一隔热层,第一隔热层可以有效防止反应腔内的温度散失,有效提高了反应腔的保温效率,通过在第一进气腔内壁设置有第二隔热层,第二隔热层能有效保护内部温度,第二隔热层还可以降低第一进气腔的外部温度,进而提高了对废气的处理效率。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图;
图2是本实用新型反应塔的结构示意图;
图3是本实用新型反应塔的剖视图;
图4本实用新型洗涤塔的结构示意图;
图5是本实用新型洗涤塔的剖视图;
图6是本实用新型水箱的结构示意图。
图中附图标记为:100、反应塔;110、等离子体火炬;120、第一进气腔;121、第二隔热层;130、反应腔;131、冷却夹层;132、第一隔热层;140、进气口;150、缩口法兰;200、洗涤塔本体;210、上塔体;220、下塔体;221、孔洞;223、卡钳式法兰;224、第一喷嘴;230、负压监测装置;240、温度监测装置;250、处理效率探测装置;300、水箱;310、进气管;320、出气管;330、第二喷嘴;340、第三喷嘴;350、抽屉型储箱;360、视窗;370、液位传感器;380、定位块。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚地描述,显然,所描述的实施例是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例,本领域普通技术人员获得的所有其他实施例,都属于本申请保护的范围。
本申请的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象,而不用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换,以便本申请的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施,且“第一”、“第二”等所区分的对象通常为一类,并不限定对象的个数,例如第一对象可以是一个,也可以是多个。此外,说明书以及权利要求中“和/或”表示所连接对象的至少其中之一,字符“/”,一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
下面结合附图,通过具体的实施例及其应用场景对本申请实施例提供的…进行详细地说明。
实施例1:
如图1所示,本申请实施例提供了一种大容量等离子尾气处理设备,包括:
反应塔100,包括为反应塔100提供能量的等离子体火炬110、为反应塔100提供进气的第一进气腔120以及设置于等离子体火炬110腔内的反应腔130,且第一进气腔120与等离子体火炬110之间为可拆卸连接;
洗涤塔,设置于反应塔100的一侧;
水箱300,设置于洗涤塔的底部并与洗涤塔连接,用于为冷却、溶解废气;
其中,反应塔100还包括:
进气口140,设置于等离子体火炬110上,进气口140用于将氧化还原气体输入反应塔100内部,进气口140的数量为十个,且进气口140与等离子体火炬110连接处安装有y型的三通结构。;
缩口法兰150,缩口法兰150用于改变反应塔100的进气量,且缩口法兰150在每个进气口140上均有设置;
岩棉区,设置于等离子体火炬110下部,岩棉区用于分散气体和隔热。
在本申请实施例的部分实施方式中,如图1所示,采用上述的一种大容量等离子尾气处理设备,可以有效提高废气的处理效率,本申请采用的等离子体火炬110的平均温度为2000℃,最高可达3000℃,可以充分燃烧废气,进而提高了废气的处理效率,在进行处理的过程中,废气通过第一进气腔120进入反应塔100,经过等离子体火炬110的初步处理,再经过水箱300的冷却和溶解,最后经过洗涤塔的二次处理达到排放标准,从而实现将有毒有害的废气进行高效无害化处理的功能。
本申请的设备在常压环境下,将氮气作为等离子体发生气源,从而形成针对废气高效处理的能量源,规避了以传统化石能源作为能量源而自身产生的碳排放问题,达到“0”碳排放的结果,有效保护了环境,其中,氮气形成的等离子体产生的温度会达到3000度以上,对光伏行业内的各种废气,尤其是PFC温室效应气体的处理效率显著提高,对CF4的处理效率可达到95%以上,其他气体的处理效率可达99%以上。
CF4气体的C-F化学键是非常稳定的,通常需要超过1600℃才能将其化学键进行打开,然后进行气体处理,所以在等离子产生的3000℃以上的高温环境下,CF4的处理变得更加容易,具有对废气的高效处理效率。
其中,该设备使用的材料及表面涂层材料具有耐酸性和耐高温(≧1200℃)性能,通过特殊水冷却设计,可以使反应腔130表面达到人体可触摸温度,不会造成烫伤安全风险。
此外,半导体技术作为工业水平和综合国力的体现,受到国家的高度重视,但半导体生产中会产生大量的有毒有害气体,有些还是传统产业中较少使用的剧毒物质,这些有毒有害物质如车间内的浓度超标会对操作人员造成极大伤害,这些气体大多对人体和环境危害严重,因此需要对产生的废气进行处理。
本申请的尾气处理设备的原理为等离子火焰+水洗,共十个进气口140,其主要目的是能有效处理光伏电池片生产中所需要的特殊有害气体,如NH3,CH4,N2O,TMA,TMB,SiH4,BH3等,同时,由于不需要天然气管道点火处理特气,可以使得整个工厂在建设初期投入成本大大降少,十个进气口140的设置可以使尾气的处理量达到2500升每分钟,可以连接多个工艺机台,进而进一步减少设备投入的成本,此外,通过在等离子体火炬110的下部设置岩棉区,可以起到气体的分散的功能和有效的隔热功能,从而提高了该结构对废气的处理效率。
实施例2:
本申请实施例提供了一种大容量等离子尾气处理设备,除了包括上述技术特征,本申请实施例的大容量等离子尾气处理设备还包括以下技术特征。
如图所示,反应腔130内设置有冷却夹层131和第一隔热层132,第一进气腔120的内壁上设置有第二隔热层121。
在本申请实施例中,通过在反应腔130内设置有冷却夹层131,从而可以对反应腔130起到保护作用,防止反应腔130外壁温度过高,通过在反应腔130内部设置第一隔热层132,第一隔热层132可以有效防止反应腔130内的温度散失,有效提高了反应腔130的保温效率,通过在第一进气腔120内壁设置有第二隔热层121,第二隔热层121能有效保护内部温度,第二隔热层121还可以降低第一进气腔120的外部温度,进而提高了对废气的处理效率。
实施例3:
本申请实施例提供了一种大容量等离子尾气处理设备,除了包括上述技术特征,本申请实施例的大容量等离子尾气处理设备还包括以下技术特征。
如图所示,洗涤塔包括:
洗涤塔本体200,所洗涤塔本体200包括上塔体210和下塔体220,下塔体220为空心结构,上塔体210内开设有便于气流通过的孔洞221,孔洞221为圆形且孔洞221均匀分布,且上塔体210顶部设有出口;
卡钳式法兰223,设置于下塔体220的底部;
第一喷嘴224,设置于下塔体220的侧部,第一喷嘴224的数量至少为两个;
其中,上塔体210与下塔体220为可拆卸连接,且上塔体210与下塔体220均采用耐腐蚀材质制成。
在本申请实施例中,上塔体210与下塔体220采用耐腐蚀材质制成,上塔体210与下塔体220之间为拼接连接,在下塔体220的底部安装有卡钳式法兰223,可以便于对洗涤塔本体200进行安装和拆卸,提高安装以及维修的效率,通过在下塔体220侧部安装有第二喷嘴330,第二喷嘴330至少安装两个,第二喷嘴330上下间隔设置,可以对废气进行喷淋清洗,从而去除废气中的一些固定颗粒,经过清洗后的废气通过多个孔洞221进入上塔体210内,最后从出口导出喷淋塔。
进一步的,洗涤塔还包括监测机构,监测机构包括设置于上塔体210的顶部外壁上的负压监测装置230、温度监测装置240和处理效率探测装置250。
在本申请的部分实施例中,通过在洗涤塔上安装有负压监测装置230、温度监测装置240和处理效率探测装置250,可以对洗涤塔的各项数据进行实时监测,可以及时了解洗涤塔的情况,便于产生事故时及时处理,从而对整个设备起到保护作用。
实施例4:
本申请实施例提供了一种大容量等离子尾气处理设备,除了包括上述技术特征,本申请实施例的大容量等离子尾气处理设备还包括以下技术特征。
如图所示,水箱300包括:
进气管310,设置于水箱300顶部并与水箱300内部连通;
出气管320,出气管320设置有两个,两个出气管320均设置于水箱300顶部,且每个出气管320均与水箱300的内部连通;
第二喷嘴330,设置于进气管310的底部,第二喷嘴330用于冷却与溶解进入的废气;
第二进气腔,设置于水箱300的上侧腔内,且第二进气腔与进气管310相对应;
出气腔,设置于水箱300的上侧腔内,且出气腔与两个出气管320相对应;
第三喷嘴340,设置于第二进气腔内,喷嘴的数量设有多个,第三喷嘴340用于冷却与溶解废气;
抽屉型储箱350,设置于出气腔内,抽屉型储箱350的数量为两个;
其中,水箱300的侧壁上固定安装有液位传感器370,液位传感器370用于调整控制水箱300的水位。
在本申请实施例中,本申请中的进气管310和出气管320均采用卡钳式法兰223与水箱300连接,从而便于安装和拆卸,提高了初期的安装效率和后期的维修效率,进气管310上的第二喷嘴330至少安装有四个,四个第二喷嘴330内主要用于冷却与溶解废气,从而提高了废气的处理效率,同时,在第二进气腔内的第三喷嘴340可以提高第二进气腔对废气的处理效率,配合第二喷嘴330可以进一步提高处理效率,通过在出气腔中安装有至少两个抽屉型储箱350,两个储箱的设置可以增加与空气的接触面积,从而提高了对废气的处理效率,而在水箱300侧壁上的液位传感器370则可调整控制水箱300的水位,此外,在水箱300上还安装有漏液传感器,漏液传感器可以用于检测水箱300是否存在泄漏的问题。
进一步的,水箱300的前侧壁面上设有视窗360,视窗360采用透明耐腐蚀原料制成,水箱300的上部还安装有用于搬运的定位块380。
在本申请的部分实施例中,视窗360的设置可以便于使用者观看到水箱300内部的情况,如水箱300内的水质,从而便于对水箱300内部的部件及时进行维护,通过在水箱300的上部安装有定位块380,定位块380设置有多个,焊块上设置有孔,通过孔可以进行移动时的固定,从而便于对水箱300进行搬运。
需要说明的是,在本文中,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者装置不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个……”限定的要素,并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者装置中还存在另外的相同要素。此外,需要指出的是,本申请实施方式中的方法和装置的范围不限按示出或讨论的顺序来执行功能,还可包括根据所涉及的功能按基本同时的方式或按相反的顺序来执行功能,例如,可以按不同于所描述的次序来执行所描述的方法,并且还可以添加、省去、或组合各种步骤。另外,参照某些示例所描述的特征可在其他示例中被组合。
上面结合附图对本申请的实施例进行了描述,但是本申请并不局限于上述的具体实施方式,上述的具体实施方式仅仅是示意性的,而不是限制性的,本领域的普通技术人员在本申请的启示下,在不脱离本申请宗旨和权利要求所保护的范围情况下,还可做出很多形式,均属于本申请的保护之内。

Claims (6)

1.一种大容量等离子尾气处理设备,其特征在于:包括:
反应塔(100),包括为反应塔(100)提供能量的等离子体火炬(110)、为反应塔(100)提供进气的第一进气腔(120)以及设置于等离子体火炬(110)腔内的反应腔(130),且第一进气腔(120)与等离子体火炬(110)之间为可拆卸连接;
洗涤塔,设置于所述反应塔(100)的一侧;
水箱(300),设置于洗涤塔的底部并与洗涤塔连接,用于为冷却、溶解废气;
其中,所述反应塔(100)还包括:
进气口(140),设置于等离子体火炬(110)上,进气口(140)用于将氧化还原气体输入反应塔(100)内部,进气口(140)的数量为十个,且进气口(140)与等离子体火炬(110)连接处安装有y型的三通结构;
缩口法兰(150),所述缩口法兰(150)用于改变反应塔(100)的进气量,且缩口法兰(150)在每个进气口(140)上均有设置;
岩棉区,设置于等离子体火炬(110)下部,所述岩棉区用于分散气体和隔热。
2.根据权利要求1所述的一种大容量等离子尾气处理设备,其特征在于:所述反应腔(130)内设置有冷却夹层(131)和第一隔热层(132),所述第一进气腔(120)的内壁上设置有第二隔热层(121)。
3.根据权利要求1所述的一种大容量等离子尾气处理设备,其特征在于:所述洗涤塔包括:
洗涤塔本体(200),所洗涤塔本体(200)包括上塔体(210)和下塔体(220),所述下塔体(220)为空心结构,上塔体(210)内开设有便于气流通过的孔洞(221),孔洞(221)为圆形且孔洞(221)均匀分布,且上塔体(210)顶部设有出口;
卡钳式法兰(223),设置于下塔体(220)的底部;
第一喷嘴(224),设置于下塔体(220)的侧部,所述第一喷嘴(224)的数量至少为两个;
其中,上塔体(210)与下塔体(220)为可拆卸连接,且上塔体(210)与下塔体(220)均采用耐腐蚀材质制成。
4.根据权利要求3所述的一种大容量等离子尾气处理设备,其特征在于:所述洗涤塔还包括监测机构,所述监测机构包括设置于上塔体(210)的顶部外壁上的负压监测装置(230)、温度监测装置(240)和处理效率探测装置(250)。
5.根据权利要求3所述的一种大容量等离子尾气处理设备,其特征在于:所述水箱(300)包括:
进气管(310),设置于水箱(300)顶部并与水箱(300)内部连通;
出气管(320),所述出气管(320)设置有两个,两个出气管(320)均设置于水箱(300)顶部,且每个出气管(320)均与水箱(300)的内部连通;
第二喷嘴(330),设置于进气管(310)的底部,所述第二喷嘴(330)用于冷却与溶解进入的废气;
第二进气腔,设置于水箱(300)的上侧腔内,且所述第二进气腔与进气管(310)相对应;
出气腔,设置于水箱(300)的上侧腔内,且所述出气腔与两个出气管(320)相对应;
第三喷嘴(340),设置于第二进气腔内,所述喷嘴的数量设有多个,所述第三喷嘴(340)用于冷却与溶解废气;
抽屉型储箱(350),设置于所述出气腔内,所述抽屉型储箱(350)的数量为两个;
其中,所述水箱(300)的侧壁上固定安装有液位传感器(370),所述液位传感器(370)用于调整控制水箱(300)的水位。
6.根据权利要求5所述的一种大容量等离子尾气处理设备,其特征在于:所述水箱(300)的前侧壁面上设有视窗(360),视窗(360)采用透明耐腐蚀原料制成,所述水箱(300)的上部还安装有用于搬运的定位块(380)。
CN202320752748.1U 2023-04-07 2023-04-07 一种大容量等离子尾气处理设备 Active CN220038485U (zh)

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